DE202022103528U1

DE202022103528U1 - Ein Sprühpyrolyse-System zur Beschichtung einer Mehrfachschicht auf einem dünnen Film

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Publication number: DE202022103528U1
Application number: DE202022103528.8U
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Priority date: 2022-06-24
Filing date: 2022-06-24
Publication date: 2022-07-11
Anticipated expiration: 2032-06-25

Abstract

Sprühpyrolysesystem (100) zur Beschichtung einer Mehrschicht auf einem dünnen Film, wobei das System (100) Folgendes umfasst:
einen Gehäuserahmen (102);
einen Träger (104), der mit Schrauben und Unterlegscheiben am Gehäuserahmen (102) befestigt ist;
ein Sprühmodul (106), das einen Lösungsinjektor (106a) und eine Rohrleitung (106b) umfasst, wobei ein Einlass (106c) des Injektors (106) mit einer Schlauchleitung (106d) verbunden ist, wobei der Injektor (106a) ein Sprühmodul (106) mit einstellbarem Gehäuse ist, um die Sprühpyrolyse mit einer minimalen Durchflussrate von 0. 1-0.5 mL/min durchzuführen, wobei der Injektor (106a) eine Vielzahl von Elementen zum Einstellen der Durchflussrate umfasst, um die minimale Durchflussrate zu erhalten, wobei ein flüssiger Brennstoff mit hohem Druck in das Sprühmodul (106) eingespritzt wird;
ein Steuermodul (108), das mit dem Sprühmodul (106) verbunden ist, um Befehlssignale zu erzeugen, um ein Moment des Sprühmoduls (106) über mindestens einen Motor (110) einzuleiten, wobei sich der Motor (110) entweder im Uhrzeigersinn oder gegen den Uhrzeigersinn zum Moment des Sprühmoduls (106) dreht, wenn er das Befehlssignal von dem Steuermodul (108) empfängt;
ein Heizmodul (112), das mit einer Heizplatte (112a) mit einem Heizbereich von 250-350oC ausgestattet ist, wobei die Heizplatte (112a) eine Oberfläche zum Platzieren eines zu beschichtenden und zu erhitzenden Objekts bereitstellt;
eine Pumpe (114), die mit dem Heizmodul (112) und dem Steuermodul (108) verbunden ist, um die Lösung aus dem Vorratsbehälter zu entnehmen und dem Sprühmodul (106) mit erhöhtem Druck zuzuführen, wobei der Motor die mehreren Befehlssignale empfängt, um die Sprühpistole in mindestens eine Richtung zu bewegen und die Lösung durch die Düse auf das auf der Heizplatte (112a) platzierte Objekt zu sprühen; und
ein Abscheidungsmodul (116) zum Abscheiden von Titanoxid- und Siliziumoxid-Dünnschichten auf einem Substrat durch Einstellen einer Vielzahl von Parametern wie Rotationsgeschwindigkeit, Durchflussrate der Lösung, Konzentration der Lösung, Substrattemperatur und Sprühabstand.

Description

BEREICH DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Gebiet der Beschichtung von Nanopartikeln. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf das Gebiet eines Systems zur Beschichtung einer mehrschichtigen Dünnschicht durch Sprühpyrolyse Maschine.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Die Sprühpyrolyse ist ein einfaches, billiges und schnelles Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten, das die schnelle Herstellung von Prototypen verschiedener chemischer Dünnschichten ermöglicht. Die Abscheidung dünner Schichten auf verschiedenen Arten von Substraten im Nanometerbereich ist wichtig, da sie in den verschiedenen Bereichen von Wissenschaft und Technik, einschließlich der Elektronik, Optik, Raumfahrt, Verteidigung und anderer Industriezweige, eine entscheidende Rolle spielen. Raumfahrt, Flugzeugbau, Verteidigung und andere Industriezweige. Es gibt verschiedene physikalische und chemische Verfahren zur Herstellung dünner Schichten, wie z. B. gepulste Laserabscheidung, Ionenstrahlzerstäubung, thermische Verdampfung, Vakuumabscheidung, chemische Gasphasenabscheidung, Ko-Präzipitation, Sol-Gel, chemische Badabscheidung usw. Unter diesen Verfahren ist die Sprühpyrolyse eine der vielversprechendsten Techniken, bei der die Dünnschichtbildung durch das Aufsprühen einer Lösung auf eine erhitzte Oberfläche erfolgt, und mit dieser Technik können Dünnschichten in großem Maßstab hergestellt werden.
Der technologische Fortschritt in vielen Bereichen der modernen Gesellschaft hängt letztlich von der Fähigkeit der Werkstoffwissenschaft und des Ingenieurwesens ab, neue Werkstoffe mit außergewöhnlichen Kombinationen physikalischer und mechanischer Eigenschaften zu entwickeln. Gerade die ungewöhnlichen Kombinationen physikalischer Eigenschaften, die für diese Werkstoffe erforderlich sind, schließen ihre Herstellung durch herkömmliche Verarbeitungstechniken aus.
Folglich hängt die erfolgreiche Entwicklung solcher Materialien von der Konzeption radikal anderer Verarbeitungsschemata ab.
Die Forschung in der Materialwissenschaft und -technik, die zum Teil durch diesen kritischen Bedarf angetrieben wird, hat sich zunehmend auf die Untersuchung und Anwendung in einer Vielzahl von Geräten verlagert. Es gibt verschiedene Techniken, mit denen man dünne Schichten abscheiden kann.
Die Wahl der jeweiligen Methode hängt von mehreren Faktoren ab, wie

1. Material, das als dünne Schichten abgeschieden werden soll
2. Beschaffenheit des Substrats
3. Dicke der Schicht
4. Struktur des Films
5. Anwendung der Folie

Unter den Methoden sind die chemischen Methoden relativ wirtschaftlich und einfacher als die physikalischen Methoden.
Es gibt jedoch keine ideale Methode zur Herstellung von Verbindungen und Legierungen in Form von Dünnschichten, die alle möglichen Anforderungen erfüllt. Unter den oben genannten chemischen Methoden ist die Sprühpyrolyse-Technik (SPT) aufgrund ihrer Einfachheit und geringen Kosten die beliebteste. Eine große Anzahl von leitenden, halbleitenden, Edelmetalloxiden, Spinelloxiden, Chalkogeniden und supraleitenden Materialien kann mit dieser Technik in Form von Dünnschichten hergestellt werden. Verbindungen in Form von Dünnschichten auf einer Vielzahl von Substraten wie Glas, Keramik oder Metall wurden mit SPT hergestellt.
Im Laufe von etwa drei Jahrzehnten wurden zahlreiche Studien über SPT durchgeführt, und der Mechanismus der Dünnschichtbildung und der Einfluss der Variablen auf den Filmbildungsprozess wurden in der Literatur umfassend untersucht.
KR100925150B1 offenbart eine Ultraschall-Sprühpyrolysevorrichtung, die ein Spray, einen Lösungszufuhrteil, einen Ultraschalloszillator, einen Transfergaszufuhrteil, eine Reaktionskammer und einen Kollektor umfasst. Die Oberseite und eine Seite des Sprays sind aus einem Material mit chemischer Beständigkeit und Korrosionsbeständigkeit hergestellt. Der Lösungszuführungsteil enthält einen Massendurchflussregler und ein Ventil. Die Reaktionskammer enthält eine Heizeinheit. Ein Pumpenteil umfasst eine Kreiselpumpe und ein Ventil.
Der oben erwähnte Stand der Technik ist jedoch komplex und kostspielig, erfordert hochwertige Targets und/oder Substrate oder erfordert in jeder Phase ein Vakuum, was für Anwendungen im großen Maßstab ungeeignet ist.
Daher besteht die Notwendigkeit, ein einfaches und kostengünstiges Sprühpyrolysesystem für die Dünnschichtbeschichtung von Nanopartikeln zu entwickeln.
Der technische Fortschritt, der durch die vorliegende Erfindung offenbart wird, überwindet die Einschränkungen und Nachteile bestehender und konventioneller Systeme und Methoden.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf ein Sprühpyrolysesystem zur Beschichtung einer Mehrschicht auf einem dünnen Film.
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, ein Sprühpyrolysesystem bereitzustellen,
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Mehrschicht auf eine dünne Folie aufzutragen,
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, ein dauerhaftes Sprühpyrolysesystem im Inland zu geringen Kosten herzustellen,
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine extrem einfache Möglichkeit zu bieten, Filme mit praktisch jedem Element in jedem Verhältnis zu dotieren, indem es einfach indem es in irgendeiner Form der Sprühlösung zugesetzt wird,
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, die Abscheiderate und die Dicke der Schichten über einen weiten Bereich durch Veränderung der Sprühparameter zu steuern, und
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Herstellung von Folien auf weniger robusten Materialien.
In einer Ausführungsform ein Sprühpyrolysesystem zum Beschichten einer Mehrschicht auf einem dünnen Film, wobei das System umfasst: einen Gehäuserahmen; einen Träger, der an dem Gehäuserahmen mit Bolzen und Unterlegscheiben befestigt ist; ein Sprühmodul, das einen Lösungsinjektor und eine Rohrleitung umfasst, wobei ein Einlass des Injektors mit einem Schlauchrohr verbunden ist, wobei der Injektor ein einstellbares Gehäusesprühmodul ist, um die Sprühpyrolyse mit einer minimalen Durchflussrate von 0.1-0.5 mL/min durchzuführen, wobei das Sprühmodul eine Vielzahl von Elementen zum Einstellen der Durchflussrate umfasst, um die minimale Durchflussrate zu erhalten, wobei ein flüssiger Brennstoff unter hohem Druck in das Sprühmodul eingespritzt wird; ein Steuermodul, das mit dem Sprühmodul verbunden ist, um Befehlssignale zu erzeugen, um den Moment des Sprühmoduls über mindestens einen Motor einzuleiten; ein Heizmodul, das mit einer Heizplatte mit einem Heizbereich von 250-350 °C ausgeführt ist, wobei die Heizplatte eine Oberfläche bereitstellt, um ein zu beschichtendes Objekt zu platzieren und zu erhitzen; eine Pumpe, die mit dem Sprühmodul verbunden ist, um die Pyrolyse durchzuführen. Heizmodul und das Steuermodul, um die Lösung aus dem Reservoir zu entnehmen und dem Sprühmodul mit erhöhtem Druck zuzuführen, wobei der Motor die Mehrzahl von Befehlssignalen empfängt, um die Sprühpistole in mindestens eine Richtung zu bewegen und die Lösung durch die Düse auf das auf der Heizplatte platzierte Objekt zu sprühen; und ein Abscheidungsmodul zum Abscheiden von Titanoxid- und Siliziumoxid-Dünnschichten auf einem Substrat durch Einstellen einer Mehrzahl von Parametern wie Rotationsgeschwindigkeit, Flussrate der Lösung, Konzentration der Lösung, Substrattemperatur und Sprühabstand.
In einer Ausführungsform ist die Einspritzdüse auf einen benutzerdefinierten Schwellendruckbereich eingestellt, wobei die Einspritzdüse automatisch stoppt, wenn ein Druckbereich der Einspritzdüse einen oberen Druckwert des benutzerdefinierten Schwellendruckbereichs überschreitet, und die Einspritzdüse wieder startet, wenn der Druckbereich unter einen unteren Druckwert des benutzerdefinierten Temperaturbereichs fällt.
In einer Ausführungsform wird die Heizplatte durch Einstecken eines Heizgerätes in eine Hochleistungssteckdose eingerichtet und das Heizgerät durch einen Temperaturregler eingeschaltet, wobei der Regler auf eine bestimmte Position eingestellt wird, um im Heizbereich zu liegen, wobei der Heizbereich auf einem Anzeigemodul angezeigt wird.
In einer Ausführungsform, ein Reservoir speichert die Lösung für die Beschichtung des Objekts, wobei eine zentrale Welle DC-Shunt-Motor, um die Bewegung des Spray-Modul.
In einer Ausführungsform besteht die Vielzahl der Elemente des Sprühmoduls aus einem Druckstift, einem Düsenkörper, einer Düsennadel, einem Einlasskanal, einer Druckkammer, einem Sprühloch und einem Sackloch.
In einer Ausführungsform ist die Einspritzdüse ein Mehrkanal-Kraftstoffeinspritzmodul mit einer Einspritzdüse für jeden Zylinder, wobei die Einspritzdüse den Kraftstoff direkt an ein Einlassventil sprüht, wobei die Einspritzdüse eine gleichmäßige Dosierung des Kraftstoffs für jeden Zylinder liefert.
In einer Ausführungsform empfängt der Motor ein erstes Befehlssignal, um das Sprühmodul in Vorwärtsrichtung zu bewegen, ein zweites Befehlssignal, um das Sprühmodul in Rückwärtsrichtung zu bewegen, ein drittes Befehlssignal, ein viertes Befehlssignal, um das Sprühmodul seitlich entweder nach links oder nach rechts zu bewegen und ein fünftes Befehlssignal, um das Sprühmodul diagonal zu bewegen.
In einer Ausführungsform ist ein Abluftgebläse angebracht, um die Wärme aus dem System an die Außenatmosphäre abzugeben, wobei das Abluftgebläse während der Abscheidung eingeschaltet und nach der Abscheidung ausgeschaltet wird.
In einer Ausführungsform erfolgt die Abscheidung der Beschichtung im Abscheidungsmodul, indem das Substrat auf einen Jobhalter geladen und in einer Kammer gehalten wird.
In einer Ausführungsform wird der Abstand zwischen dem Sprühmodul und dem Substrat auf 8-12 cm eingestellt, wobei die Temperatur auf
160°C eingestellt und 15 Minuten lang beibehalten wird, um ein Gleichgewicht in der Kammer zu erreichen, die Substratrotation auf Höchstgeschwindigkeit gehalten wird und der Wert für die Lösungszufuhr auf offen eingestellt wird, bis die Beschichtung abgeschlossen ist, wobei das Substrat auf Raumtemperatur abkühlen kann und der Jobhalter nach Abschluss der Beschichtung entfernt wird.
Um die Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung weiter zu verdeutlichen, wird eine genauere Beschreibung der Erfindung durch Bezugnahme auf spezifische Ausführungsformen davon, die in den beigefügten Figuren dargestellt ist, gemacht werden. Es wird davon ausgegangen, dass diese Figuren nur typische Ausführungsformen der Erfindung zeigen und daher nicht als Einschränkung ihres Umfangs zu betrachten sind. Die Erfindung wird mit zusätzlicher Spezifität und Detail mit den beigefügten Figuren beschrieben und erläutert werden.
Figurenliste
Diese und andere Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden besser verstanden, wenn die folgende detaillierte Beschreibung unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren gelesen wird, in denen gleiche Zeichen gleiche Teile in den Figuren darstellen, wobei:

1 ein Blockdiagramm eines Sprühpyrolysesystems zur Beschichtung einer Mehrfachschicht auf einem dünnen Film zeigt,
2 eine schematische Darstellung des Sprühmoduls zeigt, und
3 eine schematische Darstellung von Sprühpyrolysesystemen zeigt.

Der Fachmann wird verstehen, dass die Elemente in den Figuren der Einfachheit halber dargestellt sind und nicht unbedingt maßstabsgetreu gezeichnet wurden. Die Flussdiagramme veranschaulichen beispielsweise das Verfahren anhand der wichtigsten Schritte, um das Verständnis der Aspekte der vorliegenden Offenbarung zu verbessern. Darüber hinaus kann es sein, dass eine oder mehrere Komponenten der Vorrichtung in den Figuren durch herkömmliche Symbole dargestellt sind und dass die Figuren nur die spezifischen Details zeigen, die für das Verständnis der Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung relevant sind, um die Figuren nicht mit Details zu überfrachten, die für Fachleute, die mit der vorliegenden Beschreibung vertraut sind, leicht erkennbar sind.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
Um das Verständnis der Erfindung zu fördern, wird nun auf die in den Figuren dargestellte Ausführungsform Bezug genommen und diese mit bestimmten Worten beschrieben. Es versteht sich jedoch von selbst, dass damit keine Einschränkung des Umfangs der Erfindung beabsichtigt ist, wobei solche Änderungen und weitere Modifikationen des dargestellten Systems und solche weiteren Anwendungen der darin dargestellten Grundsätze der Erfindung in Betracht gezogen werden, wie sie einem Fachmann auf dem Gebiet der Erfindung normalerweise einfallen würden.
Es versteht sich für den Fachmann von selbst, dass die vorstehende allgemeine Beschreibung und die folgende detaillierte Beschreibung beispielhaft und erläuternd für die Erfindung sind und diese nicht einschränken sollen.
Wenn in dieser Beschreibung von „einem Aspekt“, „einem anderen Aspekt“ oder ähnlichem die Rede ist, bedeutet dies, dass ein bestimmtes Merkmal, eine bestimmte Struktur oder eine bestimmte Eigenschaft, die im Zusammenhang mit der Ausführungsform beschrieben wird, in mindestens einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung enthalten ist. Daher können sich die Ausdrücke „in einer Ausführungsform“, „in einer anderen Ausführungsform“ und ähnliche Ausdrücke in dieser Beschreibung alle auf dieselbe Ausführungsform beziehen, müssen es aber nicht.
Die Ausdrücke „umfasst“, „enthaltend“ oder andere Variationen davon sollen eine nicht ausschließliche Einbeziehung abdecken, so dass ein Verfahren oder eine Methode, die eine Liste von Schritten umfasst, nicht nur diese Schritte einschließt, sondern auch andere Schritte enthalten kann, die nicht ausdrücklich aufgeführt sind oder zu einem solchen Verfahren oder einer solchen Methode gehören. Ebenso schließen eine oder mehrere Vorrichtungen oder Teilsysteme oder Elemente oder Strukturen oder Komponenten, die mit „umfasst...a“ eingeleitet werden, nicht ohne weitere Einschränkungen die Existenz anderer Vorrichtungen oder anderer Teilsysteme oder anderer Elemente oder anderer Strukturen oder anderer Komponenten oder zusätzlicher Vorrichtungen oder zusätzlicher Teilsysteme oder zusätzlicher Elemente oder zusätzlicher Strukturen oder zusätzlicher Komponenten aus.
Sofern nicht anders definiert, haben alle hierin verwendeten technischen und wissenschaftlichen Begriffe die gleiche Bedeutung, wie sie von einem Fachmann auf dem Gebiet, zu dem diese Erfindung gehört, allgemein verstanden wird. Das System, die Methoden und die Beispiele, die hier angegeben werden, dienen nur der Veranschaulichung und sind nicht als Einschränkung gedacht.
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden im Folgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren im Detail beschrieben.
1 zeigt ein Blockdiagramm eines Sprühpyrolysesystems (100) zur Beschichtung einer Mehrschicht auf einem dünnen Film, wobei das System (100) Folgendes umfasst: einen Gehäuserahmen (102), einen Träger (104), ein Sprühmodul (106), einen Lösungsinjektor (106a), eine Rohrleitung (106b), einen Einlass (106c), eine Schlauchleitung (106d), ein Steuermodul (108), einen Motor (110), ein Heizmodul (112), eine Heizplatte (112a), eine Pumpe (114) und ein Beschichtungsmodul (116).
Die Stütze (104) ist mit Schrauben und Unterlegscheiben am Gehäuserahmen (102) befestigt.
Das Sprühmodul (106) umfasst einen Lösungsinjektor (106a) und eine Rohrleitung (106b), wobei ein Einlass (106c) des Injektors (106) mit einer Schlauchleitung (106d) verbunden ist, wobei der Injektor (106a) ein Sprühmodul (106) mit einstellbarem Gehäuse ist, um die Sprühpyrolyse mit einer minimalen Durchflussrate von 0.1-0.5 mL/min durchzuführen, wobei das Sprühmodul (106) eine Vielzahl von Elementen zum Einstellen der Durchflussrate umfasst, um die minimale Durchflussrate zu erhalten, wobei ein flüssiger Brennstoff mit hohem Druck in das Sprühmodul (106) eingespritzt wird. Der Injektor (106a) ist auf einen benutzerdefinierten Schwellendruckbereich eingestellt, wobei der Injektor (106a) automatisch stoppt, wenn ein Druckbereich des Injektors (106a) einen oberen Druckwert des benutzerdefinierten Schwellendruckbereichs überschreitet, und der Injektor (106a) wieder startet, wenn der Druckbereich unter einen unteren Druckwert des benutzerdefinierten Temperaturbereichs fällt. Die Einspritzdüse (106a) ist ein Mehrkanal-Kraftstoffeinspritzmodul mit einer Einspritzdüse für jeden Zylinder, wobei die Einspritzdüse (106a) den Kraftstoff direkt an ein Einlassventil spritzt, wobei die Einspritzdüse (106a) eine gleichmäßige Dosierung von Kraftstoff an jeden Zylinder liefert.
Das Steuermodul (108) ist mit dem Sprühmodul (106) verbunden, um Befehlssignale zu erzeugen, um das Moment des Sprühmoduls (106) über mindestens einen Motor (110) einzuleiten, wobei sich der Motor
(110) entweder im Uhrzeigersinn oder gegen den Uhrzeigersinn für das Moment des Sprühmoduls (106) dreht, wenn er das Befehlssignal von dem Steuermodul (108) empfängt. Der Motor (110) empfängt ein erstes Befehlssignal, um das Sprühmodul (106) in Vorwärtsrichtung zu bewegen, ein zweites Befehlssignal, um das Sprühmodul (106) in Rückwärtsrichtung zu bewegen, ein drittes Befehlssignal, ein viertes Befehlssignal, um das Sprühmodul (106) seitlich entweder nach links oder nach rechts zu bewegen, und ein fünftes Befehlssignal, um das Sprühmodul (106) diagonal zu bewegen.
Das Heizmodul (112) ist mit einer Heizplatte (112a) ausgestattet, die einen Heizbereich von 250-350 °C aufweist, wobei die Heizplatte (112a) eine Oberfläche zum Auflegen eines zu beschichtenden und zu erhitzenden Objekts bietet. Die Heizplatte (112a) wird durch Einstecken eines Heizgeräts in eine Hochleistungssteckdose eingerichtet, und das Heizgerät wird durch einen Temperaturregler eingeschaltet, wobei der Regelknopf auf eine bestimmte Position eingestellt wird, die im Heizbereich liegt, wobei der Heizbereich auf einem Anzeigemodul angezeigt wird. Die Pumpe (114) ist mit dem Heizmodul (112) und dem Steuermodul (108) verbunden, um die Lösung aus dem Vorratsbehälter zu entnehmen und dem Sprühmodul (106) mit erhöhtem Druck zuzuführen, wobei der Motor (110) die mehreren Befehlssignale empfängt, um die Sprühpistole in mindestens eine Richtung zu bewegen und die Lösung durch die Düse auf das auf der Heizplatte (112a) platzierte Objekt zu sprühen.
Das Abscheidungsmodul (116) zum Abscheiden von Titanoxid- und Siliziumoxid-Dünnschichten auf einem Substrat durch Einstellen einer Vielzahl von Parametern wie Rotationsgeschwindigkeit, Durchflussrate der Lösung, Konzentration der Lösung, Substrattemperatur und Sprühabstand. Die Abscheidung der Beschichtung im Abscheidungsmodul (116) erfolgt durch Einlegen des Substrats in einen Jobhalter und Halten in einer Kammer. Der Abstand zwischen dem Sprühmodul (106) und dem Substrat wird auf 8-12 cm eingestellt, wobei die Temperatur auf 160°C eingestellt und 15 Minuten lang beibehalten wird, um ein Gleichgewicht in der Kammer zu erreichen, die Substratrotation auf maximaler Geschwindigkeit gehalten wird und der Lösungszufuhrwert auf offen eingestellt wird, bis die Beschichtung abgeschlossen ist, wobei das Substrat auf Raumtemperatur abkühlen kann und der Jobhalter nach Abschluss der Beschichtung entfernt wird.
Das Reservoir speichert die Lösung für die Beschichtung des Objekts, wobei eine zentrale Welle DC-Shunt-Motor (110), um die Bewegung des Spray-Modul (106).
Das Abluftgebläse wird angebracht, um die Wärme aus dem System an die Außenatmosphäre abzugeben, wobei das Abluftgebläse während der Abscheidung eingeschaltet und nach der Abscheidung ausgeschaltet wird. Das System besteht aus einer Halterung (104) und dem Gehäuserahmen (102), der auf das Gehäuse aufgesetzt wird. Zunächst wird ein kastenförmiger Gehäuserahmen (102) aus GI-Vierkantprofilen und ein Fensterrahmen hergestellt. Dann werden GI-Bleche an den Gehäuserahmen (102) geschweißt, und der Fensterrahmen (mit den angebrachten Gläsern) wird mit vier GI-FTC-Scharnieren an dem Kasten befestigt. Griffe und Magnete werden ebenfalls an den Fensterrahmen angebracht. Für die Belüftung, die Rohrleitungen (106b), die Verkabelung usw. müssen die erforderlichen Löcher gebohrt oder ausgeschnitten werden. Der SS-Rahmen wird dann mit SS-Schrauben und Unterlegscheiben am MS-Gehäuse befestigt.
In einer Ausführungsform wird das Gehäuse aus Weichstahlblech (GI) und GI-Kastenrohren, Fiberglas und anschließendem Anstrich hergestellt, und die Haube besteht aus Edelstahlteilen.
2 zeigt eine schematische Darstellung des Sprühmoduls.
Das Sprühmodul (106) besteht aus einer Vielzahl von Elementen zum Einstellen der Durchflussmenge, um die minimale Durchflussmenge zu erhalten, wobei ein flüssiger Kraftstoff mit hohem Druck in das Sprühmodul (106) eingespritzt wird. Die Mehrzahl der Elemente des Sprühmoduls (106) besteht aus einem Druckstift, einem Düsenkörper, einer Düsennadel, einem Einlasskanal, einer Druckkammer, einem Sprühloch und einem Sackloch.
Nach einer alternativen Ausführungsform kann eine Micro DC 3-6V Micro Submersible Pump Mini Wasserpumpe (114) verwendet werden, die bis zu 120 Liter pro Stunde mit einem sehr geringen Stromverbrauch von 220mA nimmt. Das Rohr ist mit dem Motor (110) Auslass verbunden ist, tauchte es in Wasser und Macht es.
3 zeigt eine schematische Darstellung von Sprühpyrolysesystemen. Das Sprühsystem bestand aus einem Lösungsinjektor (106a) und Rohrleitungen (106b), um sie miteinander zu verbinden. Der Injektor (106a) wurde auf einen Druckbereich eingestellt, so dass er automatisch stoppt, wenn er den oberen Druckwert überschreitet, und wieder startet, wenn er unter den eingestellten unteren Druckwert fällt. Der Einlass (106c) des Injektors (106a) ist mit einer Schlauchleitung verbunden.
Das Heizmodul (112) ist mit einer Heizplatte (112a) ausgestattet, die einen Heizbereich von 250-350 °C aufweist, wobei die Heizplatte (112a) eine Oberfläche zum Auflegen eines zu beschichtenden und zu erhitzenden Objekts bietet. Die Heizplatte (112a) wird durch Einstecken eines Heizgeräts in eine Hochleistungssteckdose eingerichtet, und das Heizgerät wird durch einen Temperaturregler eingeschaltet, wobei der Regelknopf auf eine bestimmte Position eingestellt wird, die im Heizbereich liegt, wobei der Heizbereich auf einem Anzeigemodul angezeigt wird.
Die Kraftstoffeinspritzdüse (106a) ist eine kleine Düse, in die flüssiger Kraftstoff mit hohem Druck eingespritzt wird. Sie funktioniert wie eine Sprühdüse eines Hochdruckreinigers. Die Einspritzdüse (106a) kann je nach Art des verwendeten Kraftstoffeinspritzsystems in einem anderen Teil des Motors angeordnet sein. Der Kraftstoff wird mit hohem Druck von der Kraftstoffpumpe (114) an die Einspritzdüse (106a) geleitet.
Ein Gleichstrommotor (110) ist eine elektromechanische Energieumwandlungsvorrichtung, die elektrische Energie in mechanische Energie umwandelt. Der Betrieb des Gleichstrommotors (110) basiert auf dem Prinzip, dass eine mechanische Kraft auf den Leiter einwirkt, wenn ein stromdurchflossener Leiter in ein Magnetfeld gebracht wird. Die Größe der Kraft ist gegeben durch, $F = BIL Newton$
Die Richtung ist durch die Fleming'sche Regel für die linke Hand gegeben. Der Gleichstrommotor (110) funktioniert nach dem Lorentz-Gesetz, das besagt, dass „der stromdurchflossene Leiter, der sich in einem magnetischen und elektrischen Feld befindet, eine Kraft erfährt“. Die linke Fläming-Regel gibt die Richtung der Kraft an.
Gemäß einer Ausführungsform wird ein 12-V-Gleichstrom-Getriebemotor (110) mit 5000 U/min und Mittelwelle als Gleichstrommotor verwendet. Diese Motoren (110) verfügen über eine 3 mm Gewindebohrung in der Mitte der Welle, so dass sie einfach an das Getriebe angeschlossen werden können. Räder oder jede andere mechanische Baugruppe. Das populärste L298N H-Brückenmodul mit integriertem Spannungsregler-Motortreiber wird mit diesem Motor (110) verwendet, der eine Spannung zwischen 5 und 35V DC hat. Mutter und Gewinde auf der Welle für einen einfachen Anschluss und eine Welle mit Innengewinde für eine einfache Verbindung mit dem Rad. Mutter und Gewinde auf der Welle zum einfachen Anschließen und eine Welle mit Innengewinde zum einfachen Anschließen an das Rad.
Die Antriebssteuerungsplatine bietet eine variable Drehzahlregelung für Gleichstrommotoren (110), die eine niedrige Drehzahlregelung, ein geringes Drehmoment und eine hohe Leistung erfordern. Die Einstellung der Drehzahl ist einfach und erfolgt in der Regel über ein Potentiometer oder ein analoges Eingangssignal. Iron Horse-Gleichstromantriebe sind entweder mit Gleich- oder Wechselspannungseingang und in offener oder geschlossener Ausführung nach NEMA 4/12 oder 4X erhältlich. Antriebe sind elektrische oder elektronische Geräte, die die Motordrehzahl, das Drehmoment und die Positionsausgänge regeln. Der Antrieb modifiziert die Leistungszufuhr zum Motor (110), um die gewünschte Leistung zu erzielen. Die Steuerschaltungen sind in der Regel in die Antriebsschaltungen integriert und bilden eine eigenständige Einheit, weshalb die Begriffe Motorantrieb und Motorsteuerung häufig synonym verwendet werden. Es gibt vier grundlegende Arten von Motorsteuerungen und -antrieben: Wechselstrom-, Gleichstrom-, Servo- und Schrittmotorantriebe, die jeweils über eine an die gewünschte Ausgangsfunktion angepasste Eingangsleistung verfügen, um einer Anwendung gerecht zu werden. Wenn die Drehzahl des Motors (110) dem Motordrehmoment entgegengesetzt ist, wird der Motor (110) zu einem Generator, dessen mechanische Energie einen Strom zurück zur Stromquelle treibt (bekannt als „regeneratives Bremsen“). Diese Funktion reduziert Energieverluste und lädt die Stromquelle wieder auf, wodurch der Wirkungsgrad des Motors effektiv erhöht wird. Diese Methode ermöglicht nicht nur die Steuerung von Gleichstrommotoren, sondern bietet auch eine clevere Möglichkeit, den Stromverbrauch verbrauch.
Wenn der Motor (110) abbremst, ist Ea (die vom Motor erzeugte/verbrauchte Spannung) größer als die Versorgungsspannung (Va), und der Strom fließt zurück in die Stromquelle.
Gemäß einer Ausführungsform wird ein auf L298N 2a basierendes Motortreibermodul als Schnittstelle verwendet. Das L298N-Motortreibermodul ist ein Hochstrom-Motortreiber mit einigen zusätzlichen Funktionen, die üblicherweise mit Arduino und Raspberry Pi für Robotik-Anwendungen verwendet werden. Das L298N-Motortreibermodul basiert auf dem L298-Dual-Vollbrückentreiber-IC und kann die Geschwindigkeit und Richtung von zwei Gleichstrommotoren (Motor A und Motor B) gleichzeitig steuern. Die Nennspannung dieser Motoren kann zwischen 5V und 35V liegen und der Spitzenstrom kann bis zu 2A betragen.
Trapezgewindespindeln sind ebenfalls Gewindespindeln, die eine trapezförmige Gewindeform haben, aber Trapezgewindespindeln haben einen Gewindewinkel von 30° und werden in metrischen Abmessungen hergestellt. Die Größe einer Trapezgewindespindel wird durch den Spindelschaftdurchmesser und die Steigung des Gewindes bestimmt.
Nach einer Ausführungsform, INVENTO 1pcs 500mm(0.5mtr) trapezförmige Leitspindel t8 8mm Steigung 2mm Steigung.
Die Induktionserwärmung ist ein Verfahren zur Erwärmung eines elektrisch leitfähigen Materials, z. B. eines Metalls, um dessen physikalische Eigenschaften zu verändern, ohne dass das Material mit dem Induktor in Kontakt kommt. Die Wärme wird dem leitfähigen Material durch zirkulierende elektrische Ströme zugeführt, während es sich in einem Magnetfeld befindet. Metalle werden auf hohe Temperaturen vorgewärmt, bevor sie zum Beispiel gepresst und gehämmert werden. Dies wird als Induktionsschmieden bezeichnet, und zur Erwärmung wird ein Induktionsheizer verwendet.
Ein Temperaturregler ist ein Gerät, das zur Steuerung einer Heizung oder eines anderen Geräts verwendet wird, indem es ein Sensorsignal mit einem Sollwert vergleicht und Berechnungen entsprechend der Abweichung zwischen diesen Werten durchführt. Geräte, die auch andere Sensorsignale als Temperatursignale verarbeiten können, z. B. Luftfeuchtigkeit, Druck und Durchflussmenge, werden als Regler bezeichnet.
Gemäß einer Ausführungsform ein digitales Thermostatmodul W1209 mit Anzeige. W1209 Thermostatmodul hat einen Temperatursensor, Tasten, LED-Anzeige, Relais und benötigt DC 12V Stromversorgung. Es ist ein erschwinglicher Thermostatregler von guter Qualität. Thermostate erfassen die Temperatur eines Systems, so dass die Temperatur auf dem gewünschten Sollwert oder in dessen Nähe gehalten wird. Der W1209 hat einen eingebauten Mikrocontroller und besteht aus drei Schaltern zur Konfiguration der verschiedenen Parameter, einschließlich der Ein- und Ausschalttemperaturen. Das Relais kann mit Spannungen von bis zu 240V AC bei 5A oder 14V DC bei 10A betrieben werden, um sich einzuschalten. Die Temperatur wird in Grad Celsius und mit Hilfe der 7-Segment-Anzeige und des Relais angezeigt.
Die aktuelle Temperatur wird auf dem Modul standardmäßig in Grad Celsius angezeigt. Wenn in einen anderen Modus gewechselt wird, führt eine Inaktivität von ca. 5 Sekunden dazu, dass der Wert des Moduls auf die Standardtemperaturanzeige zurückgesetzt wird. Temperatur auslösen: Drücken Sie die Taste „SET“ auf dem Modul und die aktuelle Temperatur wird auf dem Bildschirm angezeigt. Mit den Tasten „+“ und „-“ kann die Temperatur in Schritten von 0,1 Grad (Celsius) eingestellt werden. Schritten einstellen. Wenn 2 Sekunden lang keine Aktivität erfolgt, wird die Auslösetemperatur eingestellt und gespeichert, und dann wird auf dem Bildschirm die aktuelle Temperatur angezeigt.
Hysterese Parameter P1: Dieser Parameter legt den Bereich der Temperaturänderung fest, der auftreten muss, bevor das Relais seinen Zustand ändert.
Parameter P2 (Obere Grenztemperatur): P2 begrenzt die maximale Auslösetemperatur, die eingestellt werden kann. Er dient als Sicherheitsfunktion, die den Benutzer daran hindert, eine extrem hohe Auslösetemperatur einzustellen.
Parameter P3 (Untere Grenztemperatur): P3 begrenzt die minimale Auslösetemperatur, die eingestellt werden kann. Er dient auch als Sicherheitsfunktion, die den Benutzer daran hindert, eine niedrige Auslösetemperatur einzustellen.
Offsetkorrektur Parameter P4: Mit diesem Parameter können Änderungen vorgenommen werden, wenn ein Unterschied zwischen der angezeigten Temperatur und der tatsächlichen Temperaturmessung besteht.
Verzögerung Parameter P5: Die Verzögerung beim Schalten des Relais, wenn die Auslösetemperatur erreicht ist, kann mit Hilfe des Verzögerungsparameters P5 eingestellt werden. Sie kann in Schritten von 1 Minute bis zu einem Maximum von 10 Minuten eingestellt werden.
Alarm-Parameter P6: Dieser Parameter bewirkt, dass sich das Relais ausschaltet, wenn die Temperatur die eingestellten Werte erreicht. In der Anzeige erscheint ' --- ', um einen Alarmzustand anzuzeigen. Das Relais wird erst dann wieder aktiviert, wenn die Temperatur unter diesen Wert fällt.
Gemäß einer Ausführungsform ist eine Stahlplatte von 0.05 mm, 10x10 Zoll.
Ein Schaltnetzteil (SMPS) ist ein elektronischer Schaltkreis, der Strom mit Hilfe von Schaltvorrichtungen umwandelt, die bei hohen Frequenzen ein- und ausgeschaltet werden, sowie mit Speicherkomponenten wie Induktoren oder Kondensatoren, die Strom liefern, wenn sich die Schaltvorrichtung in ihrem nichtleitenden Zustand befindet. Die Eingangs-Gleichstromversorgung von einem Gleichrichter oder einer Batterie wird in den Wechselrichter eingespeist, wo sie von den Schalt-MOSFETs oder Leistungstransistoren mit hohen Frequenzen zwischen 20 KHz und 200 KHz ein- und ausgeschaltet wird. Die hochfrequenten Spannungsimpulse des Wechselrichters werden in die Primärwicklung des Transformators eingespeist, und der sekundäre Wechselstromausgang wird gleichgerichtet und geglättet, um die erforderlichen Gleichspannungen zu erzeugen. Ein Rückkopplungskreis überwacht die Ausgangsspannung und weist den Steuerkreis an, das Tastverhältnis anzupassen, um den Ausgang auf dem gewünschten Niveau zu halten.
Gemäß einer Ausführungsform ist ein LEDOLUX 12v 10amp/120 watt dc switched smps.
Der Ausgangssensor nimmt das Signal auf und leitet es an das Steuergerät weiter. Das Signal ist von den anderen Teilen isoliert, so dass plötzliche Spannungsspitzen die Schaltung nicht beeinträchtigen können. Eine Referenzspannung wird als ein Eingang zusammen mit dem Signal an den Fehlerverstärker gegeben, der ein Komparator ist, der das Signal mit dem erforderlichen Signalpegel vergleicht. Durch Steuerung der Zerhackungsfrequenz wird der endgültige Spannungspegel aufrechterhalten. Dies wird durch den Vergleich der Eingänge des Fehlerverstärkers gesteuert, dessen Ausgang hilft zu entscheiden, ob die Zerhackungsfrequenz erhöht oder verringert werden soll. Der PWM-Oszillator erzeugt eine Standard-PWM-Welle mit fester Frequenz.
Abluftventilatoren halten die ideale Temperatur und Luftqualität aufrecht. Abluftventilatoren werden verwendet, um überschüssige Feuchtigkeit und unerwünschte Gerüche aus einem bestimmten Raum oder Bereich abzusaugen. In einer Ausführungsform wird ein 12V-Gleichstromventilator verwendet.
Nach einer Ausführungsform, 3-D Innovationen kfl08 8mm Stehlager Rhombisches Lager Zinklegierungseinsatz Linearlager Wellenstütze CNC-Teil wird als Lager verwendet.
In einer Ausführungsform wird eine 2 mm dicke transparente Acrylplatte als Substrat verwendet. Ein Schalter befindet sich in der EIN-Stellung, wenn er den Stromkreis schließt oder schließt und den Strom durchlässt. Ebenso ist ein Schalter in der AUS-Stellung, wenn er den Stromkreis unterbricht und den Strom nicht durchlässt. Die gebräuchlichste Form des elektrischen Leistungsschalters ist eine einfache manuelle elektromechanische Einheit.
Gemäß einer Ausführungsform, ein Netzschalter-18a, 230v, 50hz. Gemäß einer Ausführungsform, ein 12-V-Motorständer.
Die Figuren und die vorangehende Beschreibung geben Beispiele für Ausführungsformen. Der Fachmann wird verstehen, dass eines oder mehrere der beschriebenen Elemente durchaus zu einem einzigen Funktionselement kombiniert werden können. Alternativ dazu können bestimmte Elemente in mehrere Funktionselemente aufgeteilt werden. Elemente aus einer Ausführungsform können einer anderen Ausführungsform hinzugefügt werden. So kann beispielsweise die Reihenfolge der hier beschriebenen Prozesse geändert werden und ist nicht auf die hier beschriebene Weise beschränkt. Darüber hinaus müssen die Aktionen eines Flussdiagramms nicht in der gezeigten Reihenfolge ausgeführt werden; auch müssen nicht unbedingt alle Aktionen durchgeführt werden. Auch können die Handlungen, die nicht von anderen Handlungen abhängig sind, parallel zu den anderen Handlungen ausgeführt werden. Der Umfang der Ausführungsformen ist durch diese spezifischen Beispiele keineswegs begrenzt. Zahlreiche Variationen sind möglich, unabhängig davon, ob sie in der Beschreibung explizit aufgeführt sind oder nicht, wie z. B. Unterschiede in der Struktur, den Abmessungen und der Verwendung von Materialien. Der Umfang der Ausführungsformen ist mindestens so groß wie in den folgenden Ansprüchen angegeben.
Vorteile, andere Vorzüge und Problemlösungen wurden oben im Hinblick auf bestimmte Ausführungsformen beschrieben. Die Vorteile, Vorzüge, Problemlösungen und Komponenten, die dazu führen können, dass ein Vorteil, ein Nutzen oder eine Lösung auftritt oder ausgeprägter wird, sind jedoch nicht als kritisches, erforderliches oder wesentliches Merkmal oder Komponente eines oder aller Ansprüche zu verstehen.
Bezugszeichenliste

100: Ein Sprühpyrolysesystem zur Beschichtung einer mehrschichtigen Dünnschicht.
102: Einschließungsrahmen
104: Stütze
106: Sprühmodul
106a: Lösungsinjektor
106b: Verrohrung
106c: Einlass
106d: Schlauchleitung
108: Steuermodul
110: Motor
112: Heizungsmodul
112a: Heizplatte
114: Pumpe
116: Abscheidungsmodul
202: Druckstift
204: Düsenkörper
206: Düsennadel
208: Einlasskanal
210: Druckkammer
212: Spritzloch
214: Sackloch
302: Pumpe
304: Lösung
306: Motor
308: Steuermodul
310: Sprühmodul
312: Steuerplatine
314: Heizmodul
316: Induktionsheizung
318: Leistungsregler

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

KR 100925150 B1 [0010]

Claims

Sprühpyrolysesystem (100) zur Beschichtung einer Mehrschicht auf einem dünnen Film, wobei das System (100) Folgendes umfasst: einen Gehäuserahmen (102); einen Träger (104), der mit Schrauben und Unterlegscheiben am Gehäuserahmen (102) befestigt ist; ein Sprühmodul (106), das einen Lösungsinjektor (106a) und eine Rohrleitung (106b) umfasst, wobei ein Einlass (106c) des Injektors (106) mit einer Schlauchleitung (106d) verbunden ist, wobei der Injektor (106a) ein Sprühmodul (106) mit einstellbarem Gehäuse ist, um die Sprühpyrolyse mit einer minimalen Durchflussrate von 0. 1-0.5 mL/min durchzuführen, wobei der Injektor (106a) eine Vielzahl von Elementen zum Einstellen der Durchflussrate umfasst, um die minimale Durchflussrate zu erhalten, wobei ein flüssiger Brennstoff mit hohem Druck in das Sprühmodul (106) eingespritzt wird; ein Steuermodul (108), das mit dem Sprühmodul (106) verbunden ist, um Befehlssignale zu erzeugen, um ein Moment des Sprühmoduls (106) über mindestens einen Motor (110) einzuleiten, wobei sich der Motor (110) entweder im Uhrzeigersinn oder gegen den Uhrzeigersinn zum Moment des Sprühmoduls (106) dreht, wenn er das Befehlssignal von dem Steuermodul (108) empfängt; ein Heizmodul (112), das mit einer Heizplatte (112a) mit einem Heizbereich von 250-350oC ausgestattet ist, wobei die Heizplatte (112a) eine Oberfläche zum Platzieren eines zu beschichtenden und zu erhitzenden Objekts bereitstellt; eine Pumpe (114), die mit dem Heizmodul (112) und dem Steuermodul (108) verbunden ist, um die Lösung aus dem Vorratsbehälter zu entnehmen und dem Sprühmodul (106) mit erhöhtem Druck zuzuführen, wobei der Motor die mehreren Befehlssignale empfängt, um die Sprühpistole in mindestens eine Richtung zu bewegen und die Lösung durch die Düse auf das auf der Heizplatte (112a) platzierte Objekt zu sprühen; und ein Abscheidungsmodul (116) zum Abscheiden von Titanoxid- und Siliziumoxid-Dünnschichten auf einem Substrat durch Einstellen einer Vielzahl von Parametern wie Rotationsgeschwindigkeit, Durchflussrate der Lösung, Konzentration der Lösung, Substrattemperatur und Sprühabstand.
System nach Anspruch 1, wobei der Injektor (106a) auf einen benutzerdefinierten Schwellendruckbereich eingestellt ist, wobei der Injektor (106a) automatisch stoppt, wenn ein Druckbereich des Injektors (106a) einen oberen Druckwert des benutzerdefinierten Schwellendruckbereichs überschreitet, und der Injektor (106a) wieder startet, wenn der Druckbereich unter einen unteren Druckwert des benutzerdefinierten Temperaturbereichs fällt.
System nach Anspruch 1, wobei die Heizplatte (112a) durch Einstecken eines Heizgerätes in eine Hochleistungssteckdose eingerichtet wird und das Heizgerät durch einen Temperaturregler eingeschaltet wird, wobei der Regler auf eine bestimmte Position eingestellt wird, um im Heizbereich zu liegen, wobei der Heizbereich auf einem Anzeigemodul angezeigt wird.
System nach Anspruch 1, bei dem ein Vorratsbehälter die Lösung zum Beschichten des Objekts speichert, wobei ein Gleichstrom- Nebenschlussmotor mit zentraler Welle für die Bewegung des Sprühmoduls (106) sorgt.
System nach Anspruch 1, wobei die Mehrzahl der Elemente des Sprühmoduls (106) einen Druckstift, einen Düsenkörper, eine Düsennadel, einen Einlasskanal, eine Druckkammer, ein Sprühloch und ein Sackloch umfasst.
System nach Anspruch 1, wobei die Einspritzdüse (106a) ein Mehrkanal-Kraftstoffeinspritzmodul mit einer Einspritzdüse (106a) für jeden Zylinder ist, wobei die Einspritzdüse (106a) den Kraftstoff direkt an ein Einlassventil spritzt, wobei die Kraftstoffeinspritzdüse (106a) eine gleichmäßige Kraftstoffdosierung an jeden Zylinder liefert.
System nach Anspruch 1, bei dem der Motor ein erstes Befehlssignal empfängt, um das Sprühmodul (106) in Vorwärtsrichtung zu bewegen, ein zweites Befehlssignal, um das Sprühmodul (106) in Rückwärtsrichtung zu bewegen, ein drittes Befehlssignal, ein viertes Befehlssignal, um das Sprühmodul (106) seitlich entweder nach links oder nach rechts zu bewegen, und ein fünftes Befehlssignal, um das Sprühmodul (106) diagonal zu bewegen.
System nach Anspruch 1, wobei ein Abluftgebläse angebracht ist, um die Wärme aus dem System an die Außenatmosphäre abzugeben, wobei das Abluftgebläse während der Abscheidung eingeschaltet ist und nach der Abscheidung ausgeschaltet wird.
System nach Anspruch 1, wobei die Abscheidung der Beschichtung in dem Abscheidungsmodul (116) durch Laden des Substrats auf einen Jobhalter und Halten in einer Kammer erfolgt.
System nach Anspruch 1, wobei der Abstand zwischen dem Sprühmodul (106) und dem Substrat auf 8-12 cm eingestellt ist, wobei die Temperatur auf 160°C eingestellt und 15 Minuten lang beibehalten wird, um ein Gleichgewicht innerhalb der Kammer zu erreichen, wobei die Substratrotation auf maximaler Geschwindigkeit gehalten wird und der Wert für die Lösungszufuhr auf offen eingestellt ist, bis die Beschichtung abgeschlossen ist, wobei das Substrat auf Raumtemperatur abkühlen kann und der Jobhalter nach Abschluss der Beschichtung entfernt wird.