DE202021103452U1 - Aufnahmeschale für Wafer-Transportbehälter und Haltevorrichtung zur Halterung derartiger Aufnahmeschalen - Google Patents

Aufnahmeschale für Wafer-Transportbehälter und Haltevorrichtung zur Halterung derartiger Aufnahmeschalen Download PDF

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Abstract

Aufnahmeschale (1) zur Aufnahme eines Wafer-Transportbehälters, umfassend eine im Wesentlichen ebene Grundplatte (2), dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2)
- eine im Wesentlichen mittig angeordnete Öffnung (3) aufweist, wobei
- an zumindest zwei Seiten der Öffnung (3) Halterungselemente (4) zur formschlüssigen Aufnahme der Unterseite eines Wafer-Transportbehälters vorgesehen sind, wobei
- die Grundplatte (2) eine Vorderseite (5) und eine Rückseite (6) aufweist, wobei die Vorderseite (5) schmäler ist als die Rückseite (6), und wobei
- an der Rückseite (6) der Grundplatte (2) ein C-förmiger Haltebügel (7) vorgesehen ist, der sich vorzugsweise entlang der gesamten Rückseite (6) erstreckt.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Aufnahmeschale für Wafer-Transportbehälter und eine Haltevorrichtung zur Halterung derartiger Aufnahmeschalen.
  • In modernen Fabriken der Halbleiterproduktion werden Halbleiterwafer (meist Siliziumwafer) zu Einheiten in Losen zu meist 25 Wafern zusammengefasst und in Transportbehältern, sogenannten FOUPs (Front Opening Unified Pod) transportiert und gelagert. In diesen FOUPs befinden sich Einschübe zur Aufnahme der Wafer. Darüber hinaus ist ein FOUP maschinentransportierbar und das Öffnen und Verschließen der Fronttür, sowie die Entnahme und das Einlegen der Wafer, erfolgen in der Regel maschinell.
  • Die Produktion von Halbleiterchips dauert bei komplexen Bausteinen unter Umständen mehrere Monate. Während dieser Produktdurchlaufzeit werden die Wafer in einer Vielzahl von Tools prozessiert und in Zwischenlagern aufbewahrt. Neben der reinen Bearbeitung der Wafer sind somit auch die Bedingungen, unter denen die Wafer zwischen einzelnen Bearbeitungsschritten gelagert werden, von zentraler Bedeutung. In dem Zwischenlager sind definierte Lagerbedingungen zu schaffen, die insbesondere verhindern, dass unterschiedlich lange Lagerdauern zu unterschiedlichen Oberflächeneigenschaften der Wafer führen.
  • Die Aufnahmeschalen der FOUPs in Zwischenlagern werden im Stand der Technik als FOUP-Nester bezeichnet. Im Folgenden werden unter FOUP-Nestern alle Stellplätze von FOUPs verstanden, die der Zwischenlagerung dienen, ohne Bestandteil eines Tools zu sein. In den FOUP-Nestern des Zwischenlagers werden die Wafer nicht prozessiert, sondern lediglich gelagert. Die Bauformen der FOUPs, ihrer Bodenplatten und der FOUP-Nester variieren jedoch in Abhängigkeit vom Hersteller, sodass je nach Hersteller unterschiedliche FOUP-Nester und entsprechend auch unterschiedliche Zwischenlagerkonstruktionen beschafft werden müssen.
  • Derartige FOUP-Nester und Zwischenlagerkonstruktionen sind teuer, sodass in kleineren Halbleiterwerken und Laboren mit geringerem Durchsatz die FOUPs aus Kostengründen meist in herkömmlichen Regalen gelagert werden. Um den Inhalt des FOUPs feststellen zu können, muss am Regal der FOUP-Code manuell oder mit einem Lesegerät eingelesen werden, sodass die Anordnung der FOUPs auf den Regalen entsprechend beschränkt ist und die Bearbeiter Zeit durch Suchen des richtigen FOUPs verlieren. Diese herkömmlichen Regale sind in der Regel auch nicht optimiert für die Transportbehälter und brauchen wesentlich mehr Platz; darüber hinaus sind herkömmliche Regale nicht erweiterbar, sodass die Betreiber des Labors sich vorab auf eine bestimmte Anzahl an Transportbehältern festlegen müssen.
  • Die Aufgabe der Erfindung besteht somit unter anderem darin, eine Aufnahmeschale für FOUPs und eine Anordnung zur Lagerung derartiger Aufnahmeschalen zu schaffen, die einfach in der Herstellung ist und eine systematische sowie modular erweiterbare Lagermöglichkeit für FOUPs verschiedener Hersteller ermöglicht.
  • Diese und andere Aufgaben werden erfindungsgemäß durch eine Aufnahmeschale für Wafer-Transportbehälter und eine Haltevorrichtung für derartige Aufnahmeschalen gemäß den unabhängigen Gebrauchsmusteransprüchen gelöst.
  • Eine erfindungsgemäße Aufnahmeschale ist zur Aufnahme eines Wafer-Transportbehälters (FOUP) ausgebildet und umfasst eine im Wesentlichen ebene Grundplatte, auf die der FOUP platziert werden kann.
  • Die Grundplatte weist eine im Wesentlichen mittig angeordnete Öffnung auf, die sicherstellt, dass im unbenutzten Zustand die laminare senkrechte Luftströmung des Reinraums nicht behindert wird und dient auch dazu, dass keine anderen Gegenstände in die Aufnahmeschale gelegt werden können.
  • An zumindest zwei Seiten der Öffnung sind Halterungselemente zur formschlüssigen Aufnahme der Unterseite eines Wafer-Transportbehälters vorgesehen. Dabei kann es sich um tiefgezogene Erhebungen („Kiemen“), Ausnehmungen oder dergleichen handeln, die mit korrespondierenden Mitteln des FOUP zusammenwirken, um den FOUP auf der Grundplatte zu fixieren. Da verschiedene FOUP-Bauarten bekannt sind, können verschieden ausgebildete Aufnahmeschalen zur Aufnahme verschiedener FOUP-Bauformen vorgesehen sein. Beispielsweise kann die Zahl, Positionierung und Ausbildung der Halterungselemente an die verschiedenen FOUP-Bauformen angepasst sein.
  • Die Grundplatte weist eine Vorderseite und eine Rückseite auf, wobei die Vorderseite schmäler ist als die Rückseite. Insbesondere kann die Vorderkante der Grundplatte eine geringere Ausdehnung aufweisen als die Rückkante. Dies hat den Vorteil, dass der FOUP einfacher manuell mit zwei Händen auf die Grundplatte aufgesetzt und von der Grundplatte entfernt werden kann. An der Rückseite der Grundplatte ist ein C-förmiger Haltebügel vorgesehen, der sich vorzugsweise entlang der gesamten Rückseite erstreckt. Dieser Haltebügel ist dazu ausgebildet, in eine korrespondierende Nut eines Querträgers eingesetzt zu werden, sodass die Grundplatte und somit die gesamte Aufnahmeschale an einem Querträger einer Haltevorrichtung fixiert werden kann.
  • An der Unterseite der Grundplatte kann an deren Rückseite zumindest eine Fixierlasche mit einem Fixierelement, beispielsweise einer Stellschraube, vorgesehen sein, um die Grundplatte am Querträger einer Haltevorrichtung im eingehängten Zustand zu fixieren.
  • In der Grundplatte können an zumindest einer Seite der Öffnung, gegebenenfalls an beiden Seiten, eine Vielzahl an weiteren Ausnehmungen vorgesehen sein. Dabei kann es sich um Löcher handeln, um den vertikalen laminaren Flow zu verbessern.
  • Die Grundplatte kann seitliche Verstärkungsrippen oder Laschen aufweisen. Diese erhöhen die Stabilität und Steifigkeit der Aufnahmeschale. Die Aufnahmeschale kann im Wesentlichen einstückig sein. Die Aufnahmeschale kann metallisch sein, insbesondere aus pulverbeschichtetem Aluminium oder Edelstahl. Bevorzugt ist die Aufnahmeschale aus Edelstahl gefertigt oder umfasst Edelstahl. Die Aufnahmeschale kann in Form eines gestanzten und/oder tiefgezogenen Blechs ausgebildet sein.
  • Es kann eine Aufnahmevorrichtung zur Aufnahme eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines RFID-Moduls vorgesehen sein. Die Aufnahmevorrichtung kann im Bereich der Vorderseite, insbesondere angrenzend an die Öffnung angeordnet sein. Dabei kann es sich insbesondere um einen Einschub oder dergleichen handeln. Die Aufnahmevorrichtung kann mit einem Lichtleitelement, beispielsweise einem transparenten Acrylstab, in Verbindung stehen, der von der Aufnahmevorrichtung zur Vorderseite führt. Dadurch wird ermöglicht, dass ein RFID-Modul in die Aufnahmevorrichtung eingebracht, insbesondere von Seiten der Öffnung eingeschoben werden kann. Das Licht eines Leuchtelements des RFID-Moduls kann durch das Lichtleitelement an die Vorderseite der Aufnahmeschale geleitet werden, um den Status des RFID-Moduls an einen Benutzer anzuzeigen.
  • Durch das RFID-Modul, welches den FOUP und dessen Inhalt eindeutig kennzeichnet, wird ermöglicht, dass keine Suche nach freien Plätzen bzw. Abstellplätzen für FOUPs mehr notwendig ist. Es bedarf auch keiner manuellen Suche der befüllten FOUPs, da jedes einzelne an seiner Position getrackt wird. Dabei wird nicht nur die Position des Regals festgehalten, sondern auch die konkrete Aufnahmeschale, in welcher sich der FOUP befindet.
  • Die Erfindung erstreckt sich ferner auf eine Haltevorrichtung zur Halterung zumindest einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale, beispielsweise in Form eines Regals. Eine derartige Haltevorrichtung umfasst zumindest zwei vertikal verlaufende Steher mit vorzugsweise mehreren, dazwischen angeordneten horizontal verlaufenden Querträgern, wobei die Querträger an ihrer Oberseite jeweils eine in Längsrichtung verlaufende Nut zum Einführen der Haltebügel der Aufnahmeschalen aufweisen.
  • Zwischen den Stehern und vorzugsweise über den Querträgern kann eine Beschriftungsblende angeordnet sein, um das Regal für den Benutzer zu kennzeichnen.
  • Die Querträger können mit zumindest einem vertikal verlaufenden Kabelkanal verbunden sein.
  • Die Querträger können sich einseitig oder beidseitig über die Steher hinaus erstrecken. Dadurch wird ermöglicht, dass die Aufnahmeschalen nicht nur im Bereich zwischen den Stehern, sondern auch seitlich darüber hinaus angeordnet werden können.
  • Darüber hinaus kann die an der Oberseite der Querträger in Längsrichtung verlaufende Nut derart an den Haltebügel der Aufnahmeschale angepasst sein, dass zwei Aufnahmeschalen in die Nut eingefügt werden können, deren Rückseiten zueinander weisen („back-to-back‟-Konfiguration). Dadurch können auf beiden Seiten der Querträger Aufnahmeschalen angeordnet werden, was eine besonders platzsparende Aufnahme der FOUPs ermöglicht. Alternativ dazu kann natürlich ebenfalls vorgesehen sein, dass an der Oberseite der Querträger zwei parallel in Längsrichtung verlaufende und beabstandete Nuten vorgesehen sind, um eine „back-to-back“-Konfiguration von Aufnahmeschalen in jeweils eigene Nuten zu ermöglichen.
  • Die Erfindung umfasst ferner ein Zwischenlager für Wafer-Transportbehälter, umfassend zumindest eine erfindungsgemäße Aufnahmeschale und eine erfindungsgemäße Haltevorrichtung, wobei zur Halterung der Aufnahmeschale der Haltebügel einer oder mehrerer Aufnahmeschalen in die Nut eines Querträgers eingeführt ist, und gegebenenfalls die Fixierlaschen der Aufnahmeschalen am Querträger befestigt, beispielsweise verschraubt sind.
  • Die Aufnahmeschalen können insbesondere zu beiden Seiten eines Querträgers angeordnet sein, wobei ihre Haltebügel jeweils in derselben Nut des Querträgers eingeführt sind, oder auch in jeweils separate, parallel zueinander verlaufende Nuten des Querträgers eingeführt sind.
  • Die Haltevorrichtung kann insbesondere zwei Steher und vier Querträger aufweisen und bis zu acht, zwölf, sechzehn, vierundzwanzig oder zweiunddreißig Aufnahmeschalen tragen, die vorzugsweise beidseitig der Querträger angeordnet sind.
  • Eine derartige Haltevorrichtung kann individuell mit Aufnahmeschalen ausgestattet werden. Dabei wird für jeden Transportbehälter eine eigene Aufnahmeschale konstruiert, damit nur dieser Transportbehälter und kein anderer eingesetzt werden kann. Das Regal kann sowohl in der Höhe und Länge beliebig anpassbar sein. Dies bietet eine Platzersparnis gegenüber den bestehenden Lösungen. Die Aufnahmeschalen werden eingehängt und mittels Stellschraube fixiert. Somit kann das Regal nach Belieben nachgerüstet und es können neue Module eingesetzt werden.
  • Durch Nutzung einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale entsteht kein Abrieb im Reinraum durch Verrücken der Transportbehälter; diese stehen fest in der Aufnahmeschale. Zusätzlich wird verhindert das Mitarbeiter andere Materialien (Stifte, Notizblöcke etc.) auf dem Regal ablegen, sodass die Aufrechterhaltung eines ständigen laminaren Luftstroms im Reinraum gewährleistet werden kann.
  • Weitere erfindungsgemäße Merkmale ergeben sich aus den Ansprüchen, der Beschreibung der Ausführungsbeispiele und den Figuren.
  • Die Erfindung wird nun an Hand von nicht-exklusiven Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
    • 1a - 1d eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale;
    • 2 eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale;
    • 3 eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale;
    • 4a - 4d eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung;
    • 5a - 5d eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung;
    • 6a - 6d eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung;
    • 7a - 7d eine vierte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung;
    • 8a - 8d eine fünfte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung;
    • 9a - 9d eine sechste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung.
  • 1a - 1d zeigen eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale 1. 1a zeigt eine schematische dreidimensionale Ansicht der Aufnahmeschale 1. Die Aufnahmeschale 1 ist zur Aufnahme eines (nicht dargestellten) Wafer-Transportbehälters ausgebildet und umfasst eine im Wesentlichen ebene Grundplatte 2. Die Grundplatte 2 weist eine im Wesentlichen mittig angeordnete Öffnung 3 auf, die den Großteil der durch die Grundplatte aufgespannten Fläche abdeckt. Die Grundplatte ist im Wesentlichen rechteckförmig, wobei sie eine Vorderseite 5 aufweist, die in Richtung des Benutzers weist und von der FOUPs eingesetzt und entnommen werden können, und eine Rückseite 6 aufweist, mit der die Aufnahmeschale 1 am Querträger eines Regals angeordnet werden kann. Die Vorderseite 5 ist in dieser Ausführungsform schmäler als die Rückseite 6, um das Einsetzen und Entfernen der FOUPs zu erleichtern und eine bessere Kraftübertragung an den Querträger des Regals zu ermöglichen.
  • An zwei Seiten der Öffnung 3 sind je drei Halterungselemente 4 in Form von tiefgezogenen, kiemenförmigen Laschen ausgebildet, die zur formschlüssigen Aufnahme von entsprechenden Ausnehmungen an der Unterseite eines Wafer-Transportbehälters dienen. An der Rückseite 6 der Grundplatte 2 befindet sich ein langgestreckter Haltebügel 7 mit C-förmigem Querschnitt, der sich entlang der Rückseite 6 erstreckt.
  • 1b zeigt eine schematische Draufsicht der Aufnahmeschale 1. Es ist ersichtlich, dass sich der Haltebügel 7 etwa über 80% bis 90% der Rückseite 6 erstreckt, und dass die Vorderseite 5 über etwa 40% parallel zur Rückseite 6 verläuft, und entlang der verbleibenden Länge abgeschrägt zu den beiden, im Wesentlichen rechtwinkelig zur Rückfläche 6 verlaufenden Seitenflächen verläuft. Die Abschrägung beträgt hier etwa 45°. Die Öffnung 3 ist im Wesentlichen rechteckförmig mit abgerundeten Ecken und bedeckt etwa 40% der durch die Grundplatte 2 aufgespannten Fläche.
  • In der Grundplatte 2 sind zu zwei Seiten der Öffnung 3 eine Vielzahl an weiteren Ausnehmungen 9 vorgesehen, die dazu dienen, dass die Grundplatte 2 den laminaren Flow im Reinraum nicht behindert.
  • 1 c zeigt eine Ansicht der Rückseite 6 und 1 d eine Ansicht der Aufnahmeschale 1 von der Seite. Es ist ersichtlich, dass an der Unterseite der Grundplatte 2 im Bereich der Rückseite 6 zwei Fixierlaschen 8 vorgesehen sind, die sich nach unten erstrecken. Über diese Fixierlaschen 8 kann die Aufnahmeschale 1 nach dem Einführen des Haltebügels 7 in eine Nut 17 eines Querträgers 16 am Querträger 16 fixiert, beispielsweise angeschraubt werden. 1d zeigt auch die Ausbildung des von der Rückseite der Grundplatte 2 nach oben abstehenden Haltebügels 7, der im Wesentlichen C-förmig ausgebildet ist, um in eine Nut 17 eines Querträgers 16 einführbar zu sein.
  • Ferner ist in diesen Darstellungen ersichtlich, dass die Grundplatte 2 seitliche Verstärkungsrippen 10 in Form von Wulsten oder Bördelungen aufweist, um die Stabilität der Grundplatte 2 zu erhöhen. Die Aufnahmeschale ist in diesem Ausführungsbeispiel im Wesentlichen einstückig und aus poliertem Edelstahl gefertigt.
  • 2 zeigt eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale 1. Diese Aufnahmeschale ist im Wesentlichen identisch zu jener aus 1a - 1d, wobei identische Bezugszeichen auf identische bauliche Merkmale kennzeichnen. Bei dieser Ausführungsform sind jedoch keine Ausnehmungen 9 vorgesehen. Ferner verfügt die Grundplatte 2 in dieser Ausführungsform über eine Aufnahmevorrichtung 11 zur Aufnahme eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines RFID-Moduls 12. Die Aufnahmevorrichtung 11ist als Einschub ausgebildet, der an der Vorderseite 5 der Grundplatte 2 angeordnet ist, und in den das RFID-Modul 12 von vorne eingeschoben werden kann. Der Einschub erstreckt sich von der Grundplatte 2 nach unten, sodass das RFID-Modul 12 auch eingeschoben werden kann, wenn sich ein FOUP auf der Grundplatte 2 befindet.
  • 3 zeigt eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale 1. Diese Aufnahmeschale ist im Wesentlichen identisch zu jener aus 1a - 1d, wobei identische Bezugszeichen auf identische bauliche Merkmale kennzeichnen. Die Grundplatte 2 verfügt auch in dieser Ausführungsform über eine Aufnahmevorrichtung 11 zur Aufnahme eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines RFID-Moduls 12. Zur Verständlichkeit ist das eingeschobene RFID-Modul 12 schematisch dargestellt. Die Aufnahmevorrichtung 11 ist wiederum als Einschub ausgebildet, der im Bereich der Vorderseite 5 der Grundplatte 2 angrenzend an die Öffnung 3 angeordnet ist, und in den das RFID-Modul 12 von der Öffnung 3 eingeschoben werden kann. Der Einschub erstreckt sich wiederum von der Grundplatte 2 nach unten, sodass das RFID-Modul 12 auch eingeschoben werden kann, wenn sich ein FOUP auf der Grundplatte 2 befindet. Da das RFID-Modul in dieser Ausführungsform nicht von vorne sichtbar ist, steht die Aufnahmevorrichtung 11 mit einem transparenten Acrylstab 13 in Verbindung, der von der Aufnahmevorrichtung 11 zur Vorderseite 5 führt. Dadurch können optische Signale des RFID-Moduls 12 an der Vorderseite 5 der Grundplatte 2 ausgegeben werden, um dem Benutzer beispielsweise Status- oder Warnsignale zu geben, oder beim Tracking eines FOUPs behilflich zu sein.
  • 4a - 4d zeigen eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 mit eingesetzten Aufnahmeschalen 1. 4a zeigt eine schematische dreidimensionale Ansicht; 4b eine Ansicht von der Seite, 4c eine Ansicht von vorne und 4d eine Ansicht von oben. Eine derartige Kombination aus Haltevorrichtung 14 und Aufnahmeschalen 1 bildet ein Zwischenlager 20 für Wafer-Transportbehälter, wobei zur Halterung der Aufnahmeschale 1 die Haltebügel 7 mehrerer Aufnahmeschalen 1 in die Nuten 17 der Querträger 16 eingeführt sind, und die Fixierlaschen 8 der Aufnahmeschalen 1 am Querträger 16 angeschraubt sind.
  • Die Haltevorrichtung 14 ist zur Halterung von sechzehn Aufnahmeschalen 1 ausgebildet und umfasst zwei vertikal verlaufende Steher 15 mit vier dazwischen parallel angeordneten horizontal verlaufenden Querträgern 16. Jeder der Querträger 16 weist an seiner Oberseite eine in Längsrichtung verlaufende Nut 17 auf.
  • Die Nut 17 ist derart ausgebildet, dass die Haltebügel 7 der Aufnahmeschalen 1 formschlüssig eingeführt werden können, sodass die Aufnahmeschalen 1 formschlüssig in den Querträgern 16 gehalten werden. Ferner sind die Querträger 16 auch derart ausgebildet, dass die Aufnahmeschalen 1 über Fixierlaschen 8 an den Querträgern 16 angeschraubt werden können, das heißt die Querträger 16 sind mindestens so hoch wie die vertikale Erstreckung der Fixierlaschen 8 von der Grundplatte 2. Zwischen den Stehern 15 und über den Querträgern 16 ist ferner eine Beschriftungsblende 18 angeordnet. Die Querträger 16 sind mit einem vertikal verlaufenden Kabelkanal 19 verbunden.
  • 5a - 5d zeigen eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von acht Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus 4a - 4d, wobei identische Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen.
  • 6a - 6d zeigen eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von zwölf Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus 4a - 4d, wobei identische Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen. In dieser Ausführungsform erstrecken sich jedoch die Querträger 16 einseitig über die Steher 15 hinaus, sodass vier weitere Aufnahmeschalen 1 seitlich der Steher 15 angeordnet werden können.
  • 7a - 7d zeigen eine vierte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von sechzehn Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus 4a - 4d, wobei identische Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen.
  • In dieser Ausführungsform sind die Aufnahmeschalen 1 zu beiden Seiten der Querträger 16 angeordnet, wobei ihre Haltebügel 7 jeweils in derselben Nut 17 des Querträgers 16 eingeführt sind.
  • 8a - 8d zeigen eine fünfte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von vierundzwanzig Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus 4a - 4d, wobei identische Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen. In dieser Ausführungsform sind die Aufnahmeschalen 1 zu beiden Seiten der Querträger 16 angeordnet, wobei ihre Haltebügel 7 jeweils in derselben Nut 17 des Querträgers 16 eingeführt sind. Darüber hinaus erstrecken sich jedoch die Querträger 16 einseitig über die Steher 15 hinaus, sodass acht weitere Aufnahmeschalen 1 seitlich der Steher 15 angeordnet werden können.
  • 9a - 9d zeigen eine sechste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von zweiunddreißig Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus 4a - 4d, wobei identische Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen. In dieser Ausführungsform sind die Aufnahmeschalen 1 zu beiden Seiten der Querträger 16 angeordnet, wobei ihre Haltebügel 7 jeweils in derselben Nut 17 des Querträgers 16 eingeführt sind. Darüber hinaus erstrecken sich jedoch die Querträger 16 beidseitig über die Steher 15 hinaus, sodass sechzehn weitere Aufnahmeschalen 1 seitlich der Steher 15 angeordnet werden können.
  • Die erfindungsgemäße Haltevorrichtung kann jedoch beliebig viele Aufnahmeschalen tragen. Dabei können auch verschiedene Ausführungsbeispiele kombiniert werden, nicht nur die vorgegebene Anzahl von bis zu acht, zwölf, sechzehn, vierundzwanzig oder zweiunddreißig Aufnahmeschalen.
  • Zusätzlich kann die Haltevorrichtung auch an Wänden befestigt werden. Somit ist es auch möglich, Haltevorrichtungen in unbegrenzter Länge aneinander zu stellen.
  • Die Erfindung beschränkt sich nicht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele, sondern erstreckt sich auf sämtliche Aufnahmeschalen, Haltevorrichtungen und Zwischenlager im Rahmen der nachfolgenden Ansprüche.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Aufnahmeschale
    2
    Grundplatte
    3
    Öffnung
    4
    Halterungselemente
    5
    Vorderseite
    6
    Rückseite
    7
    Haltebügel
    8
    Fixierlasche
    9
    Ausnehmungen
    10
    Verstärkungsrippe
    11
    Aufnahmevorrichtung
    12
    RFID-Modul
    13
    Acrylstab
    14
    Haltevorrichtung
    15
    Steher
    16
    Querträger
    17
    Nut
    18
    Beschriftungsblende
    19
    Kabelkanal
    20
    Zwischenlager

Claims (15)

  1. Aufnahmeschale (1) zur Aufnahme eines Wafer-Transportbehälters, umfassend eine im Wesentlichen ebene Grundplatte (2), dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2) - eine im Wesentlichen mittig angeordnete Öffnung (3) aufweist, wobei - an zumindest zwei Seiten der Öffnung (3) Halterungselemente (4) zur formschlüssigen Aufnahme der Unterseite eines Wafer-Transportbehälters vorgesehen sind, wobei - die Grundplatte (2) eine Vorderseite (5) und eine Rückseite (6) aufweist, wobei die Vorderseite (5) schmäler ist als die Rückseite (6), und wobei - an der Rückseite (6) der Grundplatte (2) ein C-förmiger Haltebügel (7) vorgesehen ist, der sich vorzugsweise entlang der gesamten Rückseite (6) erstreckt.
  2. Aufnahmeschale (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an der Unterseite der Grundplatte (2) zumindest eine Fixierlasche (8) vorgesehen ist.
  3. Aufnahmeschale (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass in der Grundplatte (2) an zumindest einer Seite der Öffnung (3) eine Vielzahl an weiteren Ausnehmungen (9) vorgesehen sind.
  4. Aufnahmeschale (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2) seitliche Verstärkungsrippen (10) aufweist.
  5. Aufnahmeschale (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeschale (1) im Wesentlichen einstückig und vorzugsweise metallisch ist, insbesondere aus Edelstahl gefertigt ist oder Edelstahl umfasst.
  6. Aufnahmeschale (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine Aufnahmevorrichtung (11) zur Aufnahme eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines RFID-Moduls (12) vorgesehen ist.
  7. Aufnahmeschale (1) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmevorrichtung (11) im Bereich der Vorderseite (5), insbesondere angrenzend an die Öffnung (3) angeordnet ist.
  8. Aufnahmeschale (1) nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmevorrichtung (11) mit einem Lichtleitelement, beispielsweise einem transparenten Acrylstab (13), in Verbindung steht, der von der Aufnahmevorrichtung (11) zur Vorderseite (5) führt.
  9. Haltevorrichtung (14) zur Halterung zumindest einer Aufnahmeschale (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, umfassend zumindest zwei vertikal verlaufende Steher (15) mit vorzugsweise mehreren, dazwischen angeordneten horizontal verlaufenden Querträgern (16), wobei die Querträger (16) an ihrer Oberseite jeweils eine in Längsrichtung verlaufende Nut (17) aufweisen.
  10. Haltevorrichtung (14) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Stehern (15) und vorzugsweise über den Querträgern (16) eine Beschriftungsblende (18) angeordnet ist.
  11. Haltevorrichtung (14) nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Querträger (16) mit zumindest einem vertikal verlaufenden Kabelkanal (19) verbunden sind.
  12. Haltevorrichtung (14) nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Querträger (16) einseitig oder beidseitig über die Steher (15) hinaus erstrecken.
  13. Zwischenlager (20) für Wafer-Transportbehälter, umfassend zumindest eine Aufnahmeschale (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8 und eine Haltevorrichtung (14) nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei zur Halterung der Aufnahmeschale (1) der Haltebügel (7) einer oder mehrerer Aufnahmeschalen (1) in die Nut (17) eines Querträgers (16) eingeführt ist, und gegebenenfalls die Fixierlaschen (8) der Aufnahmeschalen (1) am Querträger (16) befestigt, beispielsweise verschraubt sind.
  14. Zwischenlager (20) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeschalen (1) zu beiden Seiten eines Querträgers (16) angeordnet sind, wobei ihre Haltebügel (7) jeweils in derselben Nut (17) des Querträgers (16) eingeführt sind oder in separate, parallel zueinander verlaufende Nuten (17) des Querträgers (16) eingeführt sind.
  15. Zwischenlager (20) nach einem der Ansprüche 13 oder 14, wobei die Haltevorrichtung (14) zwei Steher (15) und vier Querträger (16) aufweist und bis zu acht, zwölf, sechzehn, vierundzwanzig oder zweiunddreißig Aufnahmeschalen (1) trägt, die vorzugsweise beidseitig der Querträger (16) angeordnet sind.
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