TWM594269U - 儲架模組 - Google Patents

Abstract

一種儲架模組，係由背架、複數個支撐桿以及複數個支撐板所構成，背架係由複數個立桿與複數個橫桿所構成，橫桿係連接於兩相鄰之立桿之間，進而固定兩相鄰之立桿之間距離，各支撐桿係分別定位於各背架，使支撐桿形成橫向並排間隔狀，支撐板係具有連接部以及連接部兩側同向延伸之抵靠部，各支撐板之抵靠部係分別定位於前述兩相鄰支撐桿之支撐部表面，俾使搬運裝置僅須對其中之一支撐板之位置進行定位，即可準確對各支撐板進行晶圓盒取放。

Description

儲架模組

一種儲架模組，尤指用以收納製造半導體元件用之基板的晶圓盒，並可減少自動搬運裝置定位次數之儲架模組。

在半導體的各項製程裝置中，為了能夠縮短處理時間以及提高處理量，以及縮短處理時間等目的，會在製程裝置內盡可能保管更多收納基板之晶圓盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)，利用製程裝置中所設置的搬運裝置(機械手臂)，將保管的晶圓盒移載進行處理，但目前保管晶圓盒的儲存架，由於儲存架上的儲存位置無法精確的定位，因此儲存架在使用前都必須一一的對各晶圓盒的儲存位置進行定位，才能使搬運裝置準確的存取儲存位置上的晶圓盒。

是以，要如何能使儲存架上的儲存位置具有精準的間距，使搬運裝置只需進行一次對位，即可精準的存取所有儲存位置上的晶圓盒，即為此行業相關業這所即欲改善之課題所在。

本創作之主要目的乃在於，將儲架模組用以供晶圓盒置放之支撐板，以固定間隔方式設置，俾使搬運裝置僅須對其中之一支撐板之位置進行定位，即可準確的對各支撐板進行晶圓盒取放。

為達上述目的，本創作之儲架模組係由背架、複數個支撐桿以及複數個支撐板所構成，背架係由複數個立桿與複數個橫桿所構成，立桿係以並排豎立設置，橫桿係連接於兩相鄰之立桿之間，進而固定兩相鄰之立桿之間距離，且各立桿上設置有非圓型之定位孔；支撐桿係具有支撐部以及支撐部一側所凸設之定位部，定位部外緣形狀相同於前述背架之定位孔，各支撐桿之定位部係分別定位於各背架之定位孔內，使支撐桿形成橫向並排間隔狀；支撐板係具有連接部以及連接部兩側同向延伸之抵靠部，各支撐板之抵靠部係分別定位於前述兩相鄰支撐桿之支撐部表面。

前項所述之儲架模組，其中該背架係進一步設置有複數個定位片，定位片係具有基部以及基部側方所延伸之延伸部，各定位片之基部係以固定元件固定於立桿，使延伸部位於相鄰於該立桿之橫桿端部，並以固定元件將延伸部固定於該橫桿。

前項所述之儲架模組，其中該支撐板之連接部與抵靠部之間外側設置有缺槽，使立桿位於缺槽處，讓連接部進入於兩相鄰之立桿之間。

請參閱請參閱第一圖至第五圖所示，由圖中可清楚看出，本創作係設置有背架1、複數個支撐桿2以及複數個支撐板3，其中：

該背架1係由複數個立桿11、複數個橫桿12以及複數個定位片13，該立桿11上設置有非圓型之定位孔111，定位片13係具有基部131以及基部131側方所延伸之延伸部132。

支撐桿2係具有支撐部21以及支撐部21一側所凸設之定位部22，定位部22外緣形狀相同於前述背架1之定位孔111。

該支撐板3係具有連接部31以及連接部31兩側同向延伸之抵靠部32，且連接部31與抵靠部32之間外側設置有缺槽33，而支撐板3係用以提供晶圓盒置放。

請參閱第二圖所示，由圖中可清楚看出，當本創作於組構時，係先組裝背架1，將立桿11係以並排豎立設置，並以橫桿12係連接於兩相鄰之立桿11之間，利用橫桿12固定兩相鄰之立桿11之間距離，並將各定位片13之基部131與延伸部132，分別以固定元件(圖中未示出)固定於立桿11以及相鄰於該立桿11之橫桿12端部，進而組裝成背架。

請參閱第三圖與第四圖所示，由圖中可清楚看出，背架1組裝完成後，續將各支撐桿2之定位部22係分別定位於各背架1之定位孔111內，並以固定元件(圖中未示出)固定，使支撐桿2形成橫向並排間隔狀，由於立桿11的間隔距離受到橫桿12所固定，因此兩相鄰支撐桿2之間的距離也會固定。

請參閱第五圖所示，由圖中可清楚看出，支撐桿2組裝於背架1後，續將各支撐板3之抵靠部32係分別定位於前述兩相鄰支撐桿2之支撐部21表面，並使立桿11位於缺槽33處，讓連接部31進入於兩相鄰之立桿11之間。

藉上，各支撐板3之位置即會相距一定距離，搬運裝置只需針對部分支撐板3進行定位後，即可依據該相距之距離得知所有支撐板3的確定位置，進而可對所有支撐板3進行晶圓盒存放。

1:背架 11:立桿 111:定位孔 12:橫桿 13:定位片 131:基部 132:延伸部 2:支撐桿 21:支撐部 22:定位部 3:支撐板 31:連接部 32:抵靠部 33:缺槽

第一圖係本創作之立體外觀圖。 第二圖係本創作背架之正視圖。 第三圖係本創作支撐桿組合於背架之示意圖。 第四圖係本創作支撐桿與背架組合後之立體外觀圖。 第五圖係本創作支撐板組合於支撐桿之示意圖。

1:背架

11:立桿

12:橫桿

13:定位片

131:基部

132:延伸部

2:支撐桿

21:支撐部

3:支撐板

31:連接部

32:抵靠部

Claims (3)

1. 一種儲架模組，尤指用以收納製造半導體元件用之基板的晶圓盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)，並可減少自動搬運裝置定位次數之儲架模組，該儲架模組係由背架、複數個支撐桿以及複數個支撐板所構成，其中： 該背架係由複數個立桿與複數個橫桿所構成，立桿係以並排豎立設置，橫桿係連接於兩相鄰之立桿之間，進而固定兩相鄰之立桿之間距離，且各立桿上設置有非圓型之定位孔； 該支撐桿係具有支撐部以及支撐部一側所凸設之定位部，定位部外緣形狀相同於前述背架之定位孔，各支撐桿之定位部係分別定位於各背架之定位孔內，使支撐桿形成橫向並排間隔狀； 該支撐板係具有連接部以及連接部兩側同向延伸之抵靠部，各支撐板之抵靠部係分別定位於前述兩相鄰支撐桿之支撐部表面。
2. 如請求項1所述之儲架模組，其中該背架係進一步設置有複數個定位片，定位片係具有基部以及基部側方所延伸之延伸部，各定位片之基部係以固定元件固定於立桿，使延伸部位於相鄰於該立桿之橫桿端部，並以固定元件將延伸部固定於該橫桿。
3. 如請求項1所述之儲架模組，其中該支撐板之連接部與抵靠部之間外側設置有缺槽，使立桿位於缺槽處，讓連接部進入於兩相鄰之立桿之間。

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