DE202017006721U1 - Luftlagereinrichtung, Halteeinrichtung und Koordinatenmessgerät - Google Patents

Luftlagereinrichtung, Halteeinrichtung und Koordinatenmessgerät Download PDF

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Abstract

Luftlagereinrichtung, insbesondere zur Lagerung eines beweglichen Teils eines Koordinatenmessgeräts (36), dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Grundkörper (2) der Luftlagereinrichtung (1) eine bionische Struktur aufweist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Luftlagereinrichtung, insbesondere zur Lagerung eines beweglichen Teils eines Koordinatenmessgeräts, eine Halteeinrichtung für eine solche Luftlagereinrichtung und ein Koordinatenmessgerät.
  • Zur Bewegungsführung von hoch- und ultrapräzisen Werkzeugmaschinen sowie Messmaschinen, beispielsweise Koordinatenmessgeräten, werden u.a. Luftlagereinrichtungen verwendet, die den Vorteil einer annähernden Reibungsfreiheit und einer hohen Steifigkeit der Lagerung bieten. Auch können kurzperiodische oder lokal auftretende Führungsfehler bei Verwendung bestimmter Luftlagertypen ausgeglichen werden, welches in vorteilhafter Weise ein homogenes Führungsverhalten ermöglicht.
  • Luftlagereinrichtungen sind in verschiedenen Ausführungsformen bekannt. Neben verschiedenen Größen und unterschiedlichen Geometrien unterscheiden sich Luftlagereinrichtungen auch in der Ausbildung des Luftaustritts. Einige Luftlagereinrichtungen weisen z.B. eine Luftausströmung durch eine mittig angeordnete Drosselbohrung auf. Andere Luftlagereinrichtungen weisen Drosselbohrungen auf, welche auf einer Kreislinie mit einem definierten Durchmesser radial um eine Lagermittelachse angeordnet sind. Auch bekannt ist die Verwendung eines porösen Werkstoffes zur flächigen Durchströmung, welcher im bzw. am Auslass der Luftlagereinrichtung angeordnet sein kann.
  • Luftlagereinrichtungen werden zumeist aus Metallen, insbesondere aus Aluminium, Stahl oder Messing, gefertigt, wobei über zerspanende Herstellungsverfahren aus einem Vollkörper eine gewünschte Ausbildung der Luftlagereinrichtung hergestellt wird. Z.B. können Auslassöffnungen durch Bohrungen eingebracht werden. Über zerspanende Herstellungsverfahren können somit Elemente zur Luftversorgung, Luftauslässe hergestellt werden.
  • Aus der DE 102 40 700 A1 ist ein Koordinatenmessgerät bekannt, welches eine an einem Schlitten gelagerte Pinole aufweist, wobei der Schlitten an einer Traverse mit Luftlagern gelagert ist. Weiter ist eine Vorspannung von Führungslagern durch Luftlager offenbart.
  • Die EP 2 924 721 A1 offenbart eine Positioniereinrichtung in Portalbauweise mit einem Laufwagen, der auf Luftlagern auf einem Granit ruht.
  • Weiter bekannt ist die DE 195 33 690 A1 , die ein Luftlager offenbart, welches aus einem Körper besteht, in den Bohrungen zur Führung von Luft zu einer Unterfläche des Körpers eingeformt sind. Der Körper des Luftlagers ist als Aluminium-Gussteil hergestellt.
  • Es stellt sich das technische Problem, eine Luftlagereinrichtung, eine Halteeinrichtung für eine Luftlagereinrichtung und ein Koordinatenmessgerät zu schaffen, die Eigenschaften der Luftlagereinrichtung, der Halteeinrichtung und des Koordinatenmessgeräts optimieren, beispielsweise ein Gewicht reduzieren, eine gewünschte Steifigkeit bereitstellen, eine geringe temperaturbedingte Verformbarkeit aufweisen und eine möglichst verlustfreie Führung von Luftströmung ermöglichen, sowie einfach zur fertigen sind.
  • Die Lösung des technischen Problems ergibt sich durch die Gegenstände mit den Merkmalen der Ansprüche 1, 13 und 15. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
  • Vorgeschlagen wird eine Luftlagereinrichtung, insbesondere zur Lagerung eines beweglichen Teils eines Koordinatenmessgeräts. Über die Luftlagereinrichtung kann eine Luftschicht, die auch als Luftfilm bezeichnet werden kann, zwischen zwei Lagerungspartnerkörper, beispielsweise zwischen der Luftlagereinrichtung und einem Trägerkörper, erzeugt werden. Die Luftlagereinrichtung kann hierbei einen der Lagerungspartnerkörper bereitstellen und eine Lauffläche aufweisen. Ein weiterer Lagerungspartnerkörper kann dann eine Gegenlauffläche aufweisen. Dies kann beispielsweise der Trägerkörper sein. Der Trägerkörper kann beispielsweise ein Führungsbalken sein, insbesondere ein Querträger oder eine Traverse eines Koordinatenmessgeräts. Es ist jedoch auch möglich, dass der Lagerungspartnerkörper ein Rotor ist.
  • Die zwischen diese Lagerungspartnerkörper eingebrachte Druckluft kann hierbei ein Schmiermedium und gleichzeitig ein Druckpolster bilden, welches z.B. eine Last berührungsfrei an/auf dem Lagerungspartnerkörper lagern kann.
  • Die Luftlagereinrichtung kann insbesondere eine Lagereinrichtung sein, die eine Relativbewegung zwischen den Lagerungspartnerkörpern ermöglicht. Die Relativbewegung kann insbesondere eine Linearbewegung sein. Beispielsweise kann die Luftlagereinrichtung Bestandteil einer Führungseinrichtung sein, welche zur Führung der erläuterten Bewegung, insbesondere Linearbewegung, dient. Insbesondere kann die Luftlagereinrichtung Teil eines Laufwagens sein. Dies wird später näher erläutert.
  • Es ist selbstverständlich auch vorstellbar, dass die Relativbewegung eine Rotationsbewegung ist. In diesem Fall kann beispielsweise die Luftlagereinrichtung an einem Stator angeordnet sein, wobei der Lagerungspartnerkörper ein Rotor ist.
  • Erfindungsgemäß weist zumindest ein Grundkörper der Luftlagereinrichtung eine bionische Struktur auf. Eine bionische Struktur kann insbesondere eine Wabenstruktur, eine Sternstruktur, eine Baumstruktur oder eine Knochenstruktur sein. Auch kann die bionische Struktur eine Wölbstruktur sein. Bionische Strukturen können insbesondere Strukturen bezeichnen, deren geometrische Ausgestaltung sich an natürlichen, also in der Natur vorkommenden, Strukturen orientiert oder diesem gleicht. Ein Vorteil kann hierbei insbesondere eine hohe Belastbarkeit bei geringem Gewicht sein.
  • Der Abschnitt mit einer bionischen Struktur kann hierbei insbesondere an einer Unterseite oder Rückseite des Grundkörpers angeordnet sein oder die Unterseite bzw. Rückseite ausbilden.
  • Der Grundkörper kann hierbei aus Metall, Keramik, Kunststoff, insbesondere einem faserverstärkten Kunststoff, ausgebildet sein. Ebenfalls kommt als Material eine Metalllegierung infrage.
  • Elemente zur Luftführung und/oder zum Luftauslass können hierbei in den Grundkörper, also die bionische Struktur, integriert sein bzw. von diesem ausgebildet werden.
  • Die geometrische Ausbildung des Grundkörpers kann hierbei in Abhängigkeit von Anforderungen an die bzw. in Abhängigkeit von gewünschten Eigenschaften der Luftlagereinrichtung gewählt werden. Anforderungen an die bzw. Eigenschaften der Luftlagereinrichtung können insbesondere durch Parameter gegeben sein, die ein gewünschtes statisches Verhalten, ein gewünschtes dynamisches Verhalten, gewünschte aufzunehmende Kräfte/Momente, eine gewünschte Steifigkeit, eine gewünschte Lager- bzw. Lauffläche, eine gewünschte Luftspaltbreite, eine gewünschte Dämpfung, einen gewünschten Durchfluss, eine gewünschte Luftlagergröße und einen gewünschten Luftverbrauch charakterisieren bzw. beschreiben. Weiter kann die geometrische Ausbildung in Abhängigkeit einer Lage und/oder Form und/oder Anzahl von Lufteinströmöffnungen, Luftausströmöffnungen, Luftkanäle im Grundkörper, Druckluftanschlusseinrichtungen und/oder Druckluftkammern gewählt werden.
  • Es ist möglich, dass der Grundkörper eine rechteckförmige Grundfläche, eine quadratische Grundfläche, eine kreisförmige Grundfläche oder eine polygonale Grundfläche aufweist. Die Grundfläche kann hierbei orthogonal zu einer zentralen Mittelachse des Grundkörpers orientiert sein. Diese Mittelachse kann die Mittelachse der Luftlagereinrichtung sein. Mit anderen Worten kann der Grundkörper einen rechteckförmigen, quadratischen, kreisförmigen oder polygonalen Querschnitt in einer Querschnittsebene senkrecht zur Mittelachse der Luftlagereinrichtung aufweisen. Die zentrale Mittelachse kann sich im montierten Zustand vom Grundkörper zum Lagerungspartnerkörper erstrecken. Insbesondere kann die zentrale Mittelachse senkrecht zu einer Lagerfläche orientiert sein.
  • Der Grundkörper kann eine Oberseite oder Vorderseite aufweisen oder ausbilden. Diese kann eine dem durch die Luftlagereinrichtung erzeugbaren Luftspalt zugeordnete Seite des Grundkörpers bezeichnen. Die Unter- oder Rückseite kann eine dem durch die Luftlagereinrichtung erzeugbaren Luftspalt abgewandte Seite des Grundkörpers bezeichnen. Die zentrale Mittelachse kann sich hierbei von der Unter-/Rückseite zur Ober-/Vorderseite hin erstrecken. An der Vorderseite kann die Lauffläche der Luftlagereinrichtung ausgebildet oder ein Element angeordnet sein, welches die Lauffläche ausbildet, beispielsweise ein nachfolgend noch näher erläuterter Ausströmkörper.
  • Der Grundkörper kann verschiedene Abschnitte aufweisen, beispielsweise Abschnitte mit verschiedenen Strukturen. Verschiedene Abschnitte können hierbei von dem monolithischen Grundkörper ausgebildet werden. Mit anderen Worten sind die verschiedenen Abschnitte integral ausgebildet.
  • Der Grundkörper kann weiter zumindest eine Anschlusseinrichtung oder eine Anschlussschnittstelle für pneumatische Versorgungsmittel, beispielsweise Leitungen, aufweisen oder ausbilden. Derartige Anschlussschnittstellen können beispielsweise an einer Seitenwand des Grundkörpers und/oder an einer Bodenwand bzw. Rückseite des Grundkörpers angeordnet sein.
  • Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine Bereitstellung gewünschter Eigenschaften der Luftlagereinrichtung mit im Vergleich zu aus Vollmaterial hergestellten Luftlagereinrichtungen reduzierten Gewicht. Insbesondere kann eine ähnliche Steifigkeit als bei einer aus Vollmaterial hergestellten Luftlagereinrichtung erreicht werden, wobei jedoch das Gewicht reduziert wird. Alternativ oder kumulativ kann ein gewünschtes Übertragungsverhalten für thermische Energie und somit ein gewünschtes Temperaturverhalten, insbesondere keine oder eine nur sehr geringe Verformung aufgrund von Temperaturänderungen, erreicht werden. Hierbei sind die zu vergleichenden Luftlagereinrichtungen selbstverständlich Luftlagereinrichtungen, die zum gleichen Zweck eingesetzt werden, also z.B. einen gleichen Durchfluss und eine gleiche Lagergröße aufweisen, insbesondere auch eine gleiche Anzahl von Einströmöffnungen, Ausströmöffnungen und Kanälen sowie die gleiche Lagerfläche, die gleiche Lagerspaltbreite, die gleiche Dämpfung und/oder den gleichen Luftverbrauch aufweisen.
  • In einer weiteren, bevorzugten Ausführungsform weist zumindest ein Teil des Grundkörpers eine Wabenstruktur auf oder bildet diese aus. Hierbei ist es vorstellbar, dass nur ein Teil, nicht aber der gesamte Grundkörper die Wabenstruktur aufweist oder ausbildet. Allerdings ist es auch möglich, dass der gesamte Grundkörper als Wabenstruktur ausgebildet ist.
  • Eine Wabenstruktur kann insbesondere eine Vielzahl von Hohlräumen umfassen, die räumlich nebeneinander angeordnet sind. Mittelachsen oder Symmetrieachsen der Waben der Wabenstruktur können hierbei parallel zueinander orientiert sein. Weiter kann die Mittelachse des Grundkörpers ebenfalls parallel dazu orientiert sein. Mit anderen Worten können Waben in einer planen Ebene nebeneinander angeordnet sein.
  • Dies ist jedoch nicht zwingend. Es ist z.B. auch vorstellbar, dass Waben in einer gekrümmten Ebene nebeneinander angeordnet sind. So können Waben beispielsweise an einer Mantelfläche eines Hohlzylinders angeordnet oder ausgebildet sein. Der Hohlzylinder kann hierbei eine kreisförmige Grundfläche aufweisen. Hierbei können z.B. Mittelachsen der Waben eine Mittelachse des Hohlzylinders schneiden. Es ist jedoch auch vorstellbar, dass der Hohlzylinder eine polygonale Grundfläche aufweist. In einem solchen Fall kann ein Lagerungspartnerkörper, z.B. ein Rotor, im Hohlraum des Hohlzylinders angeordnet sein.
  • Durch die Ausbildung als Wabenstruktur ergibt sich in vorteilhafter Weise eine hohe Steifigkeit bei geringem Gewicht.
  • In einer weiteren Ausführungsform ist ein Querschnitt einer Wabe dreieckförmig, rechteckförmig, kreisförmig oder hexagonal ausgebildet. Selbstverständlich sind auch weitere polygonale Querschnittsausbildungen oder Freiformen des Querschnitts denkbar. Eine Querschnittsebene kann senkrecht zur Mittelachse der Wabe bzw. senkrecht zur Mittelachse der Luftlagereinrichtung orientiert sein. Die geometrische Ausbildung des Querschnitts der Wabe kann hierbei abhängig von einer gewünschten Belastbarkeit, Steifigkeit oder weiteren Eigenschaften gewählt werden.
  • Es ist vorstellbar, dass die Wabenstruktur Waben mit verschiedenen Querschnittsformen umfasst. Beispielsweise kann die Wabenstruktur mindestens eine Wabe mit dreieckförmigen Querschnitt, mindestens eine Wabe mit rechteckförmigen Querschnitt und/oder mindestens eine Wabe mit kreisförmigen Querschnitt umfassen. Es ist vorstellbar, dass Querschnitte der Waben der Wabenstruktur ausschließlich dreieckförmig oder rechteckförmig oder kreisförmig sind.
  • Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine besonders gute Anpassung der geometrischen Ausbildung des Grundkörpers an gewünschte Eigenschaften, insbesondere an gewünschte aufzunehmende Kräfte/Momente.
  • In einer weiteren Ausführungsform weist zumindest ein Teil des Grundkörpers eine Sternstruktur auf oder bildet diese aus. Eine Sternstruktur kann hierbei eine Struktur mit einer Anzahl n von Strahlabschnitten umfassen, wobei die Strahlabschnitte in einem Mittelpunkt der Sternstruktur mechanisch miteinander verbunden sind.
  • Die Anzahl n kann hierbei größer als zwei, bevorzugt größer als drei, sein. Bevorzugt ist zumindest ein Teil des Grundkörpers als Kreuzstruktur ausgebildet oder weist eine Kreuzstruktur auf. Eine Kreuzstruktur kann insbesondere eine vierstrahlige Sternstruktur sein. Ein Winkel zwischen den Strahlabschnitten der Sternstruktur kann hierbei gleich 90° sein. Es ist allerdings auch möglich, dass Winkel zwischen den in Umfangsrichtung benachbarten Strahlabschnitten größer als oder kleiner als 90° sind.
  • Strahlabschnitte der Sternstruktur können hierbei als Stege ausgebildet sein. Auch kann ein Strahlabschnitt oder ein Strahlteilabschnitt der Sternstruktur einen Wandabschnitt von einer Wabe der Wabenstruktur bilden. Ein Strahlabschnitt oder -teilabschnitt der Sternstruktur kann hierbei plattenförmig ausgebildet sein, insbesondere als ungekrümmte Platte. Auch kann ein Strahlabschnitt Wandabschnitte von verschiedenen Waben ausbilden, insbesondere Wandabschnitte von verschiedenen Waben mit jeweils dreieckförmigem Querschnitt.
  • Beispielsweise kann der Grundkörper Abschnitte aufweisen oder ausbilden, wobei ein erster Abschnitt eine Wabenstruktur aufweist oder ausbildet, wobei ein weiterer Abschnitt eine Sternstruktur aufweist oder ausbildet. Die Abschnitte können hierbei voneinander verschieden sein oder sich, wie nachfolgend noch näher erläutert, überlappen.
  • Auch eine Sternstruktur ermöglicht in vorteilhafter Weise eine einfache mechanische Fertigung der Luftlagereinrichtung, wobei diese ein geringes Gewicht, jedoch eine hohe Steifigkeit aufweist.
  • Es ist weiter möglich, dass der Grundkörper einen Aufnahmeabschnitt für ein Verbindungselement zur mechanischen Verbindung des Grundkörpers mit einer Halteeinrichtung für den Grundkörper aufweist oder ausbildet. Ein Verbindungselement kann z.B. (teil-)kugelförmig ausgebildet sein oder einen (teil-)kugelförmigen Abschnitt aufweisen, der in dem Aufnahmeabschnitt angeordnet werden kann. Hierbei kann ein Durchmesser des Aufnahmeabschnitts kleiner als ein Durchmesser des (teil-) kugelförmigen Abschnitts sein.
  • Der Aufnahmeabschnitt kann insbesondere an einer Rück- oder Unterseite des Grundkörpers ausgebildet sein. Der Aufnahmeabschnitt kann durch eine Ausnehmung, Aussparung oder Vertiefung im Bereich der Rück- oder Unterseite der Luftlagereinrichtung ausgebildet sein.
  • Diese Ausnehmung oder Aussparung oder Vertiefung kann insbesondere sacklochartig ausgebildet sein. Weiter insbesondere kann der Aufnahmeabschnitt kugelsegmentförmig, pyramiden- oder pyramidensegmentförmig oder kegel- oder kegelstumpfförmig sein.
  • Der Aufnahmeabschnitt kann hierbei von einer Wabe ausgebildet werden oder mehrere Waben umfassen. Es ist jedoch auch möglich, dass der Aufnahmeabschnitt in einem Abschnitt mit Wabenstruktur angeordnet ist und die Wabenstruktur unterbricht. Allerdings kann eine zentrale Mittelachse des Aufnahmeabschnitts parallel zu Mittelachsen von Waben der Wabenstruktur orientiert sein oder eine Mittelachse eines Hohlzylinders schneiden, dessen Mantelfläche eine Wabenstruktur aufweist.
  • In einer weiteren Ausführungsform entspricht eine zentrale Mittelachse der Wabenstruktur der zentralen Mittelachse der Sternstruktur. Hierbei kann die zentrale Mittelachse der Wabenstruktur auch der zentralen Mittelachse des Grundkörpers entsprechen.
  • Es ist weiter möglich, dass die zentrale Mittelachse der Wabenstruktur einer Mittelachse einer Wabe entspricht, insbesondere einer Wabe mit kreisförmigem Querschnitt. Diese Wabe kann auch als Zentralwabe bezeichnet werden. Auch kann die Mittelachse eines Aufnahmeabschnitts der zentralen Mittelachse der Wabenstruktur und/oder Sternstruktur und/oder des Grundkörpers entsprechen. Ein Wandabschnitt des Aufnahmeabschnitts kann einen Wandabschnitt einer Wabe bilden, insbesondere einer zum Aufnahmeabschnitt benachbarten Wabe.
  • In diesem Fall können Strahlabschnitte der Sternstruktur sich von einem Wandabschnitt dieser Zentralwabe bzw. des Aufnahmeabschnitts weg erstrecken. Ist die Zentralwabe oder der Aufnahmeabschnitt beispielsweise kreisförmig im Querschnitt ausgebildet, so können sich die Strahlabschnitte der Sternstruktur in Radialrichtung von den Wandabschnitten der Zentralwabe des Aufnahmeabschnitts weg erstrecken. Es ist jedoch auch vorstellbar, dass die Zentralwabe bzw. der Aufnahmeabschnitt einen rechteckförmigen oder quadratischen Querschnitt aufweist. In diesem Fall können sich Strahlabschnitte entlang einer Diagonalrichtung von Eckabschnitten der Zentralwabe bzw. des Aufnahmeabschnitts wegerstrecken.
  • Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine bauliche Integration der Sternstruktur in die Wabenstruktur. Somit kann einerseits ein Bauraum für die Luftlagereinrichtung reduziert werden, wobei gleichzeitig jedoch gewünschte Steifigkeiten und ein gewünschtes (geringes) Gewicht erreicht werden kann.
  • In einer weiteren Ausführungsform überlappen sich Waben- und Sternstruktur. Insbesondere können sich die Waben- und Sternstruktur in einer gemeinsamen Projektionsebene überlappen, wobei die gemeinsame Projektionsebene senkrecht zur zentralen Mittelachse des Grundkörpers orientiert ist. Dass sich Waben- und Sternstruktur überlappen, kann insbesondere bedeuten, dass sich äußere Einhüllende der Waben- und Sternstruktur in der gemeinsamen Projektionsebene zumindest teilweise überschneiden oder dass eine Einhüllende der Sternstruktur vollständig in einer Einhüllenden der Wabenstruktur oder andersrum angeordnet ist. Dass sich Waben- und Sternstruktur überlappen, kann insbesondere aber auch bedeuten, dass Strahlabschnitte der Sternstruktur sich durch Waben der Wabenstruktur erstrecken.
  • Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine hohe bauliche Integration von Waben- und Sternstruktur.
  • Allerdings ist es auch möglich, dass sich Waben- und Sternstruktur in der gemeinsamen Projektionsebene nicht überlappen. Die voneinander verschiedenen Abschnitte können hierbei in der gemeinsamen Projektionsebene sich nicht überlappen, insbesondere z.B. aneinander anliegen.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform ist in zumindest einer Wabe ein Diagonalsteg angeordnet. In diesem Fall können Waben der Wabenstruktur insbesondere einen rechteckförmigen oder quadratischen Querschnitt aufweisen. Allerdings ist es auch möglich, dass eine Wabe einen polygonalen Querschnitt aufweist, wobei eine Anzahl der Ecken größer als vier ist. Insbesondere ist es möglich, dass eine Wabe mit einem polygonalen Querschnitt durch den Diagonalsteg in zwei Waben mit ebenfalls polygonalem Querschnitt geteilt wird, wobei sich die Anzahl von Ecken einer aus der Teilung resultierenden Wabe im Vergleich zu der Anzahl der Ecken der ungeteilten Wabe verringert. Beispielsweise kann eine Wabe mit rechteckförmigem oder quadratischem Querschnitt durch den Diagonalsteg in zwei Waben mit dreieckförmigem Querschnitt geteilt werden. Ein Diagonalsteg ermöglicht in vorteilhafter Weise eine besonders einfache Herstellung des Grundkörpers der Luftlagereinrichtung mit hoher Steifigkeit.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform bildet der Diagonalsteg der zumindest einen Wabe einen Abschnitt, insbesondere einen Strahlabschnitt oder einen Strahlteilabschnitt, also einen Teil eines Strahlabschnitts, der Sternstruktur.
  • Es ist möglich, dass der Strahlabschnitt der Sternstruktur den Diagonalsteg von mindestens einer Wabe, insbesondere einer Wabe mit rechteckförmigem Querschnitt, ausbildet. Bevorzugt bildet ein Strahlabschnitt der Sternstruktur jedoch Diagonalstege einer Anzahl m von Waben, die insbesondere jeweils einen rechteckförmigen oder quadratischen Querschnitt aufweisen können, aus. Beispielsweise kann die Anzahl m der Waben größer als Eins sein, insbesondere Zwei oder Drei betragen.
  • Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine besonders gute bauliche Integration der Sternstruktur in die Wabenstruktur, wodurch eine besonders hohe Steifigkeit bei geringem Gewicht und eine einfache Herstellung gewährleistet wird.
  • In einer weiteren Ausführungsform weist zumindest ein Teil des Grundkörpers eine Baumstruktur, eine Wölbungsstruktur oder eine Knochenstruktur auf oder bildet diese aus. Eine Baum- oder Knochenstruktur bilden hierbei weitere Beispiele für eine bionische Struktur.
  • Es ist vorstellbar, dass voneinander verschiedene Abschnitte des Grundkörpers voneinander verschiedene Strukturen aufweisen oder ausbilden, wobei Strukturen aus der Gruppe „Wabenstruktur, Sternstruktur, Baumstruktur, Knochenstruktur, Wölbungsstruktur“ sein können.
  • Hierbei können sich Abschnitte des Grundkörpers, die verschiedene Struktur ausbilden oder aufweisen, in einer gemeinsamen Projektionsebene nicht überlappen. Es ist jedoch auch vorstellbar, dass ein Abschnitt des Grundkörpers sowohl einen Teil einer ersten Struktur als auch einen Teil einer weiteren Struktur aus der erläuterten Gruppe aufweist oder ausbildet. Somit können sich Abschnitte des Grundkörpers, die verschiedene Struktur ausbilden oder aufweisen, in einer gemeinsamen Projektionsebene überlappen. Wie vorhergehend erläutert, kann z.B. ein Abschnitt des Grundkörpers eine Wabenstruktur aufweisen oder ausbilden und gleichzeitig einen Teil einer Sternstruktur aufweisen oder ausbilden.
  • Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine besonders einfache Anpassung einer Struktur des Grundkörpers an gewünschte Eigenschaften, insbesondere an gewünschte Steifigkeiten, ein gewünschtes Gewicht sowie gewünschte thermische Eigenschaften.
  • In einer weiteren Ausführungsform weist der Grundkörper einen Ausströmabschnitt aus oder bildet diesen aus. Somit kann der Grundkörper also einen Abschnitt, der die Wabenstruktur aufweist oder ausbildet, als auch einen Ausströmabschnitt aufweisen oder ausbilden. Der wabenstrukturförmige Abschnitt sowie der Ausströmabschnitt können hierbei monolithisch oder integral ausgebildet sein, insbesondere einteilig.
  • Der Ausströmabschnitt kann einen oder mehrere, insbesondere zwei, Luftauslasskanal/ -kanäle aufweisen oder ausbilden. Ein Luftauslasskanal kann pneumatisch mit Druckluft-Anschlusseinrichtung des Grundkörpers pneumatisch verbunden sein, insbesondere über mindestens einen Verbindungskanal. Hierbei kann ein nachfolgend noch näher erläuterter Ausströmkörper, der an dem Grundkörper, insbesondere an einer Vorder- bzw. Oberseite des Grundkörpers angeordnet wird, pneumatisch mit dem mindestens einen Luftauslasskanal verbunden sein, wobei der Ausstromkörper die Lauffläche der Luftlagereinrichtung bereitstellt.
  • Alternativ kann der Ausströmabschnitt die Lauffläche bereitstellen. In diesem Fall kann der Ausströmabschnitt eine oder mehrere Düsen(n), z.B. als Drosselbohrung(en) ausgebildete Düse(n), aufweisen oder ausbilden. Diese kann/können pneumatisch mit Druckluft-Anschlusseinrichtung des Grundkörpers pneumatisch verbunden sein, insbesondere über mindestens einen Verbindungskanal.
  • Diese Luftauslasskanäle können insbesondere rinnenförmig ausgebildet sein. Ein Querschnitt eines Luftauslasskanals in einer Querschnittsebene senkrecht zu einer Mittelachse des Luftauslasskanals kann insbesondere teilkreisförmig, halbkreisförmig ausgebildet sein. Z.B. kann ein Luftauslasskanal als eine Nut an einer Ober- oder Vorderseite des Grundkörpers ausgebildet sein. Eine zentrale Mittelachse eines Luftauslasskanals kann hierbei in einer Ebene angeordnet sein, die senkrecht zur zentralen Mittelachse des Grundkörpers orientiert ist. Somit kann also eine zentrale Mittelachse orthogonal zu einer zentralen Mittelachse einer Wabe der Wabenstruktur angeordnet sein.
  • Es ist jedoch auch möglich, dass eine zentrale Mittelachse eines Luftauslasskanals mit einem vorbestimmten Winkel, der von 0° oder 180° verschieden sein kann, gegenüber der zentralen Mittelachse des Grundkörpers geneigt orientiert ist.
  • Ein Luftauslasskanal kann über mindestens einen Verbindungskanal mit einer Druckluft-Anschlusseinrichtung oder einer Druckluft-Anschlussöffnung des Grundkörpers verbunden sein. Ein Verbindungskanal kann, wie nachfolgend noch erläutert, vorzugsweise zumindest einen Abschnitt aufweisen, der einen gekrümmten Verlauf aufweist. Auch kann ein Luftauslasskanal einen gekrümmten Verlauf aufweisen.
  • Vorzugsweise ist ein Luftauslasskanal ein geschlossener Kanal. Somit kann eine zentrale Mittelachse eines solchen Luftauslasskanals z.B. kreisförmig, ovalförmig, rechteckförmig oder quadratisch sein.
  • Insbesondere kann der Ausströmabschnitt zwei Luftauslasskanäle aufweisen oder ausbilden, wobei beide Luftauslasskanäle geschlossene Luftauslasskanäle sind. Hierbei kann ein Luftauslasskanal ein innerer Luftauslasskanal und ein weiterer Luftauslasskanal ein äußerer Luftauslasskanal sein. Weiter kann der innere Luftauslasskanal von dem äußeren Luftauslasskanal umgeben oder eingefasst sein. Der innere und der äußere Luftauslasskanal können pneumatisch voneinander getrennt sein, z.B. durch eine Trennwand bzw. einen Trennsteg.
  • Durch das Anordnen von mehreren, insbesondere zwei, Luftauslasskanälen kann in vorteilhafter Weise ein Betrieb, insbesondere ein bereitgestellter Durchfluss, variiert werden. So kann beispielsweise nur einer von mehreren, mehrere, aber nicht alle oder aber alle Luftauslasskanäle mit Druckluft beaufschlagt werden.
  • Insbesondere kann also der Grundkörper im Ausströmabschnitt einen ersten Luftauslasskanal und mindestens einen zweiten Luftauslasskanal umfassen, wobei der erste Luftauslasskanal über mindestens eine erste Luftzufuhrvorrichtung mit Luft beaufschlagbar ist, wobei der zweite Luftauslasskanal über mindestens eine zweite Luftzufuhrvorrichtung mit Luft beaufschlagbar ist. Der erste Luftauslasskanal und der zweite Luftauslasskanal können fluidisch getrennt voneinander ausgestaltet sein. Weiter können der erste Luftauslasskanal und der zweite Luftauslasskanal getrennt voneinander mit Luft beaufschlagbar sein.
  • Weiter kann die Luftlagereinrichtung mindestens einen Luftzufuhrkanal, der auch als Verbindungskanal bezeichnet werden kann, aufweisen, wobei der erste Luftauslasskanal und/oder der zweite Luftauslasskanal über der Luftzufuhrkanal mit Luft beaufschlagbar sind. Weiter kann die Luftlagereinrichtung eine Vielzahl von Luftauslasskanälen aufweisen.
  • Weiter kann der erste Luftauslasskanal in mindestens einem ersten Bereich des Grundkörpers, insbesondere des Ausströmabschnitts, und der zweite Luftauslasskanal in mindestens einem zweiten Bereich des Grundkörpers, insbesondere des Ausströmabschnitts, angeordnet sein. Weiter kann die Luftlagereinrichtung mindestens ein Ventil zur Steuerung der Beaufschlagung des ersten Luftauslasskanals und/oder des zweiten Luftauslasskanals mit Luft aufweisen.
  • Weiter kann die Luftlagereinrichtung mindestens eine Steuerung aufweisen, welche eingerichtet ist, eine Beaufschlagung des ersten Luftauslasskanals und/oder des zweiten Luftauslasskanals mit Luft einzustellen. Weiter kann die Luftlagereinrichtung mindestens einen Sensor aufweisen, welcher eingerichtet ist, einen Lagerhub und/oder einen Lagerdruck und/oder einen Lagerdurchfluss zu erfassen, wobei die Steuerung eingerichtet ist, die Beaufschlagung des ersten Luftauslasskanals und/oder des zweiten Luftauslasskanals in Abhängigkeit von dem erfassten Lagerhub und/oder Lagerdruck und/oder Lagerdurchfluss einzustellen.
  • In einer weiteren Ausführungsform umfasst die Luftlagereinrichtung einen Ausströmkörper, wobei der Ausströmkörper an dem Grundkörper, insbesondere an dessen Vorder- oder Oberseite, angeordnet ist. Der Ausströmkörper kann insbesondere Luftauslässe aufweisen oder ausbilden, durch die Luft zur Bildung des vorhergehend erläuterten Luftspalts aus der Luftlagereinrichtung, insbesondere durch den Ausströmabschnitt, austreten kann. Somit kann der Ausströmkörper die Lauffläche der Luftlagereinrichtung aufweisen oder ausbilden.
  • Die Luftauslassöffnungen des Ausströmkörpers können mit Luftkanälen in dem Grundkörper oder mit den Luftauslasskanälen des Ausströmabschnitts pneumatisch verbunden sein. Insbesondere kann der Ausströmkörper an dem Grundkörper angeklebt sein.
  • Der Ausstromkörper kann insbesondere plattenförmig ausgebildet sein. Weiter kann der Ausströmkörper oder zumindest ein Teil davon aus porösem Material, z.B. aus Graphit, ausgebildet sein. Alternativ kann der Ausströmkörper einen oder mehrere Bohrungen, insbesondere Drosselbohrungen, aufweisen.
  • In einer weiteren Ausführungsform ist mindestens ein Luftkanal im Grundkörper angeordnet oder wird von diesem ausgebildet. Weiter weist zumindest ein Abschnitt des Luftkanals einen gekrümmten Verlauf auf. Ein Verlauf des Luftkanals kann hierbei einen Verlauf einer zentralen Mittelachse des Luftkanals bzw. einer zentralen Längsachse bezeichnen. Ein gekrümmter Verlauf kann beispielsweise eben sein, wenn eine von Null verschiedene Richtungsänderung entlang der zentralen Mittelachse in einem globalen Referenzkoordinatensystem erfolgt. Hierbei kann die Richtungsänderung eine stetige Richtungsänderung sein. Dies bedeutet, dass ein gekrümmter Verlauf insbesondere keinen abgeknickten oder abgewinkelten Verlauf bezeichnet.
  • Der Luftkanal kann beispielsweise eine Anschlusseinrichtung des Grundkörpers mit dem Ausströmabschnitt, insbesondere einem Luftauslasskanal, oder mit dem Ausströmkörper pneumatisch verbinden.
  • Es ist beispielsweise möglich, dass der Ausströmkörper an einer Vorder- oder Oberseite des Grundkörpers angeordnet ist, wobei Anschlusseinrichtungen für pneumatische Versorgungsmittel an einer Boden- oder Rückseite der Luftlagereinrichtung oder an einer Seitenwand der Luftlagereinrichtung angeordnet sind.
  • Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise, dass eine möglichst verlustfreie Bereitstellung von Druckluft erfolgen kann. Hierbei ist zu beachten, dass ein derart gekrümmter Verlauf zumindest eines Abschnitts des Luftkanals nicht oder nur in sehr aufwendiger Weise mit herkömmlichen zerspanenden Fertigungsverfahren möglich ist.
  • Weiter vorgeschlagen wird eine Halteeinrichtung für mindestens eine Luftlagereinrichtung. Die Luftlagereinrichtung kann insbesondere eine Luftlagereinrichtung gemäß einer der in dieser Offenbarung beschriebenen Ausführungsformen sein.
  • Die Halteeinrichtung kann insbesondere ein Laufwagen oder ein Teil davon sein. Der Laufwagen wiederum kann Teil eines Koordinatenmessgeräts sein. Insbesondere kann der Laufwagen durch mindestens eine Luftlagereinrichtung auf/an einem Trägerkörper gelagert sein. Der Trägerkörper kann ebenfalls ein Teil des Koordinatenmessgeräts sein, insbesondere eine sogenannte Traverse.
  • Die Halteeinrichtung oder zumindest ein Teil davon ist käfigförmig ausgebildet. Es ist insbesondere möglich, dass nur Abschnitte, nicht aber die gesamte Halteeinrichtung, käfigförmig ausgebildet sind.
  • So kann der käfigförmige Teil der Halteeinrichtung bzw. die käfigförmige Halteeinrichtung Knotenelemente und Verbindungselemente aufweisen, wobei ein Verbindungselement ein Element zur mechanischen Verbindung von zwei Knotenelementen bezeichnet. Die mechanische Verbindung zwischen einem Knotenelement und einem Verbindungselement kann eine lösbare oder unlösbare Verbindung sein, wobei die unlösbare Verbindung eine bevorzugte Verbindung ist. Weiter kann die mechanische Verbindung eine formschlüssige, eine kraftschlüssige und/oder eine stoffschlüssige Verbindung sein.
  • Ein Käfig kann hierbei einen Körper bezeichnen, dessen Oberfläche durchbrochen ist. Ein Käfig kann auch ein allseitig geschlossenes Gestell bezeichnen, dessen Seitenflächen und/oder dessen Innenfläche und/oder dessen Deckenfläche durchbrochen ist. Weiter ist es möglich, dass in einem käfigartig ausgebildeten Grundkörper jedes Knotenelement mit zumindest zwei voneinander verschiedenen Verbindungselementen mechanisch verbunden ist. Weiter kann jedes Verbindungselement mit zwei voneinander verschiedenen Knotenelementen mechanisch verbunden sein.
  • Es ist auch möglich, dass der Grundkörper oder zumindest ein Abschnitt davon käfigförmig ausgebildet ist.
  • Weiter weist die Halteeinrichtung mindestens einen Aufnahme- und/oder Befestigungsabschnitt zur Halterung der mindestens einen Luftlagereinrichtung auf. Beispielsweise kann die Halteeinrichtung eine Aussparung, insbesondere eine Durchgangsöffnung, aufweisen, wobei die Luftlagereinrichtung in der Aussparung angeordnet werden kann. Die Aussparung kann hierbei ein Zwischenraum zwischen Knoten- und Verbindungselementen sein. Auch kann der Befestigungsabschnitt mindestens eine Gewindebohrung aufweisen.
  • Weiter kann die Luftlagereinrichtung, insbesondere der Grundkörper der Luftlagereinrichtung, mechanisch mit der Halteeinrichtung verbunden werden. Bevorzugt kann die Luftlagereinrichtung mit der Halteeinrichtung verklebt werden. Selbstverständlich sind auch andere formschlüssige, stoffschlüssige und/oder kraftschlüssige Verbindungsarten vorstellbar.
  • Es ist möglich, dass die Luftlagereinrichtung mechanisch starr, also festgelagert, mit der Halteeinrichtung verbunden wird. Mit anderen Worten ist keine Relativbewegung zwischen Luftlagereinrichtung und Halteeinrichtung möglich.
  • Es ist jedoch auch möglich, dass die Luftlagereinrichtung mechanisch beweglich, also losgelagert, mit der Halteeinrichtung verbunden wird. In diesem Fall kann eine Relativbewegung zwischen Luftlagereinrichtung und Halteeinrichtung möglich sein. Die Relativbewegung kann hierbei eine Rotationsbewegung mit einem, zwei oder drei voneinander unabhängigen Rotationsfreiheitsgrad(en) sein. Alternativ oder kumulativ kann die Relativbewegung eine Translationsbewegung mit einem, zwei oder drei voneinander unabhängigen Translationsfreiheitsgrad(en) sein. Bevorzugt ist die Relativbewegung eine Rotationsbewegung, aber keine Translationsbewegung. In diesem Fall ist ein Verkippen, aber kein Verschieben, der Luftlagereinrichtung relativ zur Halteeinrichtung möglich. Dies kann in vorteilhafter Weise genutzt werden, um Fertigungstoleranzen im Lagerungspartnerkörper und somit Luftspaltänderungen auszugleichen.
  • Z.B. kann die Halteeinrichtung über einen Gewindestift mit der Luftlagereinrichtung mechanisch verbunden werden. Der Gewindestift kann in die Gewindebohrung des Befestigungsabschnitts eingeschraubt werden. Weiter kann der Gewindestift ein teilkugelförmiges Ende aufweisen, wobei das teilkugelförmige Ende in einem Aufnahmeabschnitt der Luftlagereinrichtung angeordnet ist/wird.
  • Auch kann die Halteeinrichtung über eine Kugel mit der Luftlagereinrichtung mechanisch verbunden werden. Die Kugel kann in einen Aufnahmeabschnitt des Befestigungsabschnitts eingelegt werden. Der Aufnahmeabschnitt des Befestigungsabschnitts kann entsprechend dem Aufnahmeabschnitt der Luftlagereinrichtung ausgebildet sein. Weiter kann die Kugel in einem Aufnahmeabschnitt der Luftlagereinrichtung angeordnet werden.
  • Der Aufnahmeabschnitt wurde vorhergehend bereits erläutert. Bei einer derartigen Verbindung wird in vorteilhafter Weise das vorhergehend erläuterte Verkippen der Luftlagereinrichtung relativ zur Halteeinrichtung ermöglicht. In diesem Fall kann der Grundkörper in einer Ausnehmung oder Aussparung der Halteeinrichtung angeordnet sein, insbesondere derart, dass das erläuterte Verkippen möglich ist.
  • Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine besonders einfache Halterung von Luftlagereinrichtungen bei besonders geringem Gewicht. Auch kann durch die käfigförmige Ausbildung eine hohe Steifigkeit der Halteeinrichtung erreicht werden. Insgesamt ergibt sich in vorteilhafter Weise eine möglichst gute Lagerung von beweglichen Teilen, die beispielsweise mit der Halteeinrichtung verbunden werden können und über die Luftlagereinrichtung an/auf dem erläuterten Trägerkörper gelagert werden können. Die gute Lagerung wiederum resultiert in einer hohen Genauigkeit und Reproduzierbarkeit einer Positionierung bei einer Bewegung der Halteeinrichtung entlang des Trägerkörpers.
  • In einer weiteren Ausführungsform weist zumindest ein Teil der Halteeinrichtung eine Wabenstruktur auf oder bildet diese aus. Entsprechend der Ausbildung der Wabenstruktur des Grundkörpers kann die Wabenstruktur Waben mit verschiedenen Querschnitten, insbesondere dreieckförmigen, rechteckförmigen, quadratischen oder kreisförmigen Querschnitten, umfassen. Die Waben können hierbei von Zwischenräumen zwischen Knoten- und Verbindungselementen des käfigförmigen Abschnitts ausgebildet werden.
  • Weiter ist es möglich, dass die Halteeinrichtung verschiedene Abschnitte aufweist, wobei voneinander verschiedene Abschnitte voneinander verschiedene Wabenstrukturen aufweisen oder ausbilden. Insbesondere können voneinander verschiedene Abschnitte jeweils eine Wabe oder mehrere Waben umfassen, wobei Waben eines Abschnitts gleiche Querschnitte aufweisen, die Querschnitte der Waben verschiedener Abschnitte jedoch voneinander verschieden sind. Es ist möglich, dass die verschiedenen Abschnitte angrenzend zueinander in der Halteeinrichtung angeordnet sind. Es ist aber auch möglich, dass ein Abschnitt der verschiedenen Abschnitte vollflächig ausgebildet ist.
  • Es ist z.B. vorstellbar, dass die Halteeinrichtung einen ersten und einen weiteren Seitenwandabschnitt aufweist oder ausbildet. Weiter kann die Halteeinrichtung einen Deckenwandabschnitt aufweisen oder ausbilden. Weiter kann die Halteeinrichtung einen Bodenwandabschnitt aufweisen oder ausbilden. Die Wandabschnitte können hierbei mechanisch miteinander verbunden sein. In diesem Fall kann z.B. einer der Seitenwandabschnitte oder ein Teilabschnitt eines solchen Wandabschnitts eine Wabenstruktur aufweisen oder ausbilden. Weiter kann der Decken- und/oder der Bodenwandabschnitt oder ein Teilabschnitt eines solchen Wandabschnitts eine Wabenstruktur aufweisen oder ausbilden. Vorzugsweise weist nur einer der Seitenwandabschnitte und nur der Boden- oder nur der Deckenwandabschnitt eine Wabenstruktur auf oder bildet diese aus, wobei die verbleibenden Abschnitte keine Wabenstruktur aufweisen oder ausbilden.
  • Es ist auch vorstellbar, dass die Halteeinrichtung hohlzylinderförmig ausgebildet ist, wobei zumindest ein Teil der Mantelfläche käfigförmig ausgebildet ist und mindestens einen Aufnahme- und/oder Befestigungsabschnitt zur Halterung der Luftlagereinrichtung aufweist. Insbesondere kann zumindest ein Teil der Mantelfläche eine Wabenstruktur aufweisen oder ausbilden. Der Hohlzylinder kann hierbei eine kreisförmige oder polygonale Grundfläche aufweisen. In diesem Fall kann die Halteeinrichtung ein Stator oder ein Teil davon sein.
  • Nachfolgend kann auf folgendes Referenzkoordinatensystem Bezug genommen werden. Eine Längsrichtung kann einer Längsachse der Halteeinrichtung entsprechen, insbesondere einer zentralen Mittelachse. Ist die Halteeinrichtung ein Laufwagen oder ein Teil davon, so kann die Längsrichtung parallel zu einer Bewegungsrichtung einer Linearbewegung des Laufwagens orientiert sein. Ist die Halteeinrichtung ein Stator oder ein Teil davon, so kann die Längsrichtung auch parallel zur einer Rotationsachse eines Rotors sein, der drehbar im Stator luftgelagert ist.
  • Eine Vertikalrichtung kann parallel und entgegengesetzt zu einer Gewichtskraft orientiert sein. Eine Querrichtung kann hierbei senkrecht zur Längs- und Vertikalrichtung orientiert sein. Die Raumrichtungen können ein kartesisches Koordinatensystem bilden. In diesem Fall können Seitenwandabschnitte entlang der Querrichtung beabstandet voneinander angeordnet sein. Insbesondere kann zwischen den Seitenwandabschnitten ein Aufnahmevolumen für einen Trägerkörper ausgebildet sein, auf/an dem die Halteeinrichtung durch eine daran angeordnete Luftlagereinrichtung gelagert wird.
  • Weiter können Oberflächen der Seitenwandabschnitte orthogonal zur Querrichtung orientiert sein. Hierbei kann insbesondere an einem der Seitenwandabschnitte mindestens eine Luftlagereinrichtung starr an der Halteeinrichtung gelagert sein, d.h. ortsfest relativ zur Halteeinrichtung. Weiter kann an einem verbleibenden Seitenwandabschnitt mindestens eine Luftlagereinrichtung beweglich an der Halteeinrichtung gelagert sein, d.h. relativ zur Halteeinrichtung beweglich. Eine beweglich gelagerte Luftlagereinrichtung kann insbesondere über ein Federelement an der Halteeinrichtung gelagert sein, z.B. über ein plattenförmiges Federelement. Eine beweglich gelagerte Luftlagereinrichtung kann somit zum Vorspannen des Luftlagers, welches auch mehrere starr und/oder beweglich gelagerte Luftlagereinrichtungen umfassen kann, dienen. Das Federelement kann als geschlitzte Platte ausgebildet sein. Insbesondere kann das Federelement einen Grundkörper aufweisen, insbesondere einen plattenförmigen Grundkörper, wobei der plattenförmige Grundkörper mindestens einen Schlitz oder Nut aufweist oder ausbildet. Dieser Schlitz oder diese Nut kann hierbei einen spiralförmigen Verlauf aufweisen, insbesondere um eine zentrale Mittelachse des Federelements. Insbesondere kann das Federelement als konisches Federelement ausgebildet sein bzw. ein solches Federelement ausbilden. Hierbei können jedoch insbesondere Windungen, weiter insbesondere alle Windungen, des konischen Federelements in einer gemeinsamen Ebene angeordnet, wobei die Ebene senkrecht zur zentralen Mittelachse des Federelements orientiert sein kann.
  • Weiter können der Decken- und der Bodenwandabschnitt entlang der Vertikalrichtung beabstandet voneinander angeordnet sein. Das Aufnahmevolumen für den Trägerkörper kann hierbei beispielsweise zwischen dem Boden- und Deckenwandabschnitt, bevorzugt also zwischen dem Boden- und Deckenwand- sowie den Seitenwandabschnitten ausgebildet sein.
  • Weiter kann eine beweglich gelagerte Luftlagereinrichtung an dem Decken- oder Bodenwandabschnitt angeordnet sein. Weiter kann eine starr gelagerte Luftlagereinrichtung an dem gegenüberliegenden Wandabschnitt, also dem Boden- oder Deckenwandabschnitt, angeordnet sein.
  • Insbesondere kann die Halteeinrichtung im Querschnitt rechteck- oder quadratförmig ausgebildet sein, wobei eine Querschnittsebene senkrecht zur Längsrichtung orientiert sein kann.
  • Es ist möglich, dass ein Seitenwandabschnitt, ein Bodenwandabschnitt oder ein Deckenwandabschnitt der Halteeinrichtung oder ein Abschnitt davon jeweils eine Wabenstruktur aufweist oder ausbildet. Alternativ oder kumulativ zur Wabenstruktur kann der entsprechende Abschnitt eine weitere bionische Struktur, beispielsweise eine Sternstruktur, eine Baumstruktur oder eine Knochenstruktur aufweisen oder ausbilden. Es ist möglich, dass sich in dem Abschnitt verschiedene bionische Strukturen überlappen. Dies wurde vorhergehend bereits erläutert. Es ist jedoch auch möglich, dass sich in dem jeweiligen Abschnitt verschiedene bionische Strukturen nicht überlappen.
  • Weiter ist es möglich, dass eine zentrale Mittelachse einer Wabenstruktur der Halteeinrichtung einer zentralen Mittelachse einer Sternstruktur der Halteeinrichtung, insbesondere eines Abschnitts der Halteeinrichtung, entspricht. Weiter ist es möglich, dass in zumindest einer Wabe der Halteeinrichtung, insbesondere eines Abschnitts der Halteeinrichtung, ein Diagonalsteg angeordnet ist. Weiter ist es möglich, dass ein Diagonalsteg dieser zumindest einen Wabe einen Abschnitt einer Sternstruktur bildet. Der Diagonalsteg kann hierbei eine Wabe einer Wabenstruktur mit rechteckförmigen Querschnitten unterteilen, insbesondere in zwei Waben mit dreieckförmigem Querschnitt.
  • Weiter beschrieben wird eine Anordnung aus Halteeinrichtung und mindestens eine Luftlagereinrichtung, wobei die mindestens eine Luftlagereinrichtung in oder an einem Aufnahme- und/oder Befestigungsabschnitt der Halteeinrichtung angeordnet ist. Die Luftlagereinrichtung kann hierbei form- und/oder kraft- und/oder stoffschlüssig mit der Halteeinrichtung verbunden sein.
  • Hierbei kann die Luftlagereinrichtung mechanisch starr mit der Halteeinrichtung verbunden sein. Es ist jedoch auch vorstellbar, dass die mindestens eine Luftlagereinrichtung relativ beweglich zur Halteeinrichtung mechanisch mit dieser verbunden ist. Insbesondere kann die mindestens eine Luftlagereinrichtung über mindestens ein Federelement mit der Halteeinrichtung mechanisch verbunden sein.
  • Weiter beschrieben wird eine Anordnung aus einer Halteeinrichtung, mindestens eine Luftlagereinrichtung und mindestens einem Trägerkörper. Der Trägerkörper kann in einem Aufnahmevolumen für den Trägerkörper, welches von der Halteeinrichtung ausgebildet wird, angeordnet sein. Die Luftlagereinrichtung kann hierbei, wie vorhergehend erläutert, an der Halteeinrichtung angeordnet sein. Hierbei kann die Luftlagereinrichtung derart an der Halteeinrichtung angeordnet sein, dass durch die Luftlagereinrichtung ein Luftspalt zwischen dem Trägerkörper und der Halteeinrichtung erzeugbar ist. Insbesondere kann die Luftlagereinrichtung in einer vorbestimmten Position und/oder mit einer vorbestimmten Orientierung, insbesondere relativ zu dem erläuterten Referenzkoordinatensystem, an der Halteeinrichtung angeordnet sein.
  • Weiter vorgeschlagen wird ein Koordinatenmessgerät. Das Koordinatenmessgerät umfasst mindestens eine Halteeinrichtung gemäß einer der in dieser Offenbarung beschriebenen Ausführungsformen. Weiter umfasst das Koordinatenmessgerät mindestens eine Luftlagereinrichtung gemäß einer der in dieser Offenbarung beschriebenen Ausführungsformen. Weiter umfasst das Koordinatenmessgerät mindestens einen Trägerkörper, wobei der Trägerkörper in einem Aufnahmeabschnitt oder -volumen der Halteeinrichtung angeordnet ist. Der Trägerkörper kann insbesondere eine sogenannte Traverse des Koordinatenmessgeräts sein.
  • Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise ein Koordinatenmessgerät, welches eine hochgenaue, luftgelagerte Bewegung eines beweglichen Teils ermöglicht, wobei für welches Herstellungskosten und Gewicht reduziert werden. Die Verwendung eines urformenden Verfahrens ermöglicht hierbei in vorteilhafter Weise insbesondere eine kostengünstige Fertigung mit hohen Stückzahlen. Die Verwendung von additiven Fertigungsverfahren ermöglicht in vorteilhafter Weise insbesondere die Herstellung von optimalen Kanalgeometrien, beispielsweise von Verbindungskanälen und Luftauslasskanälen.
  • Weiter beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung einer Luftlagereinrichtung gemäß einer der in dieser Offenbarung beschriebenen Ausführungsformen. Hierbei wird die Luftlagereinrichtung, insbesondere der Grundkörper, mit einem urformenden Herstellungsverfahren hergestellt. Ein urformendes Herstellungsverfahren kann insbesondere ein Sandgussverfahren, ein Spritzgussverfahren, ein Feingussverfahren oder ein Druckgussverfahren sein. Hierzu kann es notwendig sein, dass in Abhängigkeit einer gewünschten geometrischen Ausbildung der Luftlagereinrichtung ein Werkzeug hergestellt wird, wobei dann die Luftlagereinrichtung mittels des Werkzeugs hergestellt wird. Das Werkzeug kann hierbei insbesondere ein Gusskörpernegativ sein.
  • Alternativ wird die Luftlagereinrichtung, insbesondere der Grundkörper, mit einem generativen Herstellungsverfahren hergestellt. Das generative Herstellungsverfahren kann auch als additives Herstellungsverfahrens bezeichnet werden. Insbesondere kann ein generatives Herstellungsverfahren ein selektives Laserschmelzverfahren oder ein selektives Lasersinterverfahren sein. Auch kann ein additives Verfahren ein Verfahren zum 3D-Druck sein.
  • Es ist z.B. möglich, dass die geometrische Ausbildung der Luftlagereinrichtung, also die geometrische Ausbildung der bionischen Struktur, insbesondere der Wabenstruktur, in Abhängigkeit von Anforderungen/Eigenschaften an die Luftlagereinrichtung bestimmt wird. Dies wurde vorhergehend bereits erläutert.
  • Beide Herstellungsverfahren ermöglichen in vorteilhafter Weise die Herstellung von großen Stückzahlen mit geringen Herstellungskosten oder kurzer Herstellungszeit. Auch wird die Herstellung der erläuterten Strukturen durch die beschriebenen Herstellungsverfahren vereinfacht.
  • Weiter kann nach dem urformenden Herstellungsschritt oder dem generativen Herstellungsschritt ein Nachbearbeitungsschritt durchgeführt werden, insbesondere ein Herstellungsschritt eines spanenden Bearbeitungsverfahrens.
  • Weiter kann das Verfahren derart durchgeführt werden, dass zumindest ein Teil einer Oberfläche der Luftlagereinrichtung eine vorbestimmte Mikrostruktur aufweist. Eine vorbestimmte Mikrostruktur kann beispielsweise eine sogenannte Haifischhaut-Struktur, die auch als Riblet-Struktur bezeichnet werden kann, sein. Alternativ kann eine vorbestimmte Mikrostruktur eine Lotusblattstruktur sein. Weiter alternativ kann eine Mikrostruktur eine Geckofußstruktur sein.
  • Weiter kann das Material der Luftlagereinrichtung und der Halteeinrichtung Aluminium, Stahl, Messing, Keramik oder Kunststoff, insbesondere faserverstärkter Kunststoff, sein.
  • Weiter beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung einer Halteeinrichtung gemäß einer der in dieser Offenbarung beschriebenen Ausführungsformen. Hierbei wird die Halteeinrichtung mit einem urformenden Herstellungsverfahren oder mit einem generativen Herstellungsverfahren oder mit einem generativen Herstellungsverfahren hergestellt. Zur Herstellung der Halteeinrichtung wird hierbei auf die entsprechenden Erläuterungen der Herstellung der Luftlagereinrichtung verwiesen.
  • Somit ist auch eine Luftlagereinrichtung beschrieben, die gemäß einem Verfahren zur Herstellung einer Luftlagereinrichtung, welches in dieser Offenbarung offenbart ist, hergestellt ist. Auch beschrieben ist eine Halteeinrichtung, die durch ein Verfahren zur Herstellung einer Halteeinrichtung gemäß einer der in dieser Offenbarung offenbarten Ausführungsform hergestellt ist.
  • Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Die Figuren zeigen:
    • 1 eine schematische Draufsicht auf eine Unterseite einer erfindungsgemäßen Luftlagereinrichtung,
    • 2 eine perspektivische Ansicht einer Unterseite einer erfindungsgemäßen Luftlagereinrichtung,
    • 3 eine perspektivische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Luftlagereinrichtung,
    • 4 eine schematische Seitenansicht einer Halteeinrichtung,
    • 5 eine schematische perspektivische Darstellung einer Halteeinrichtung und eines Trägerkörpers,
    • 6 einen schematischen, perspektivischen Querschnitt durch eine Halteeinrichtung und einen Trägerkörper und
    • 7 eine schematische perspektivische Darstellung eines Koordinatenmessgeräts.
  • Nachfolgend bezeichnen gleiche Bezugszeichen Elemente mit gleichen oder ähnlichen technischen Merkmalen.
  • 1 zeigt eine Unteransicht einer erfindungsgemäßen Luftlagereinrichtung 1. Die Luftlagereinrichtung 1 weist einen Grundkörper 2 auf. Der Grundkörper 2 oder zumindest ein Teil des Grundkörpers 2 weist eine bionische Struktur auf. Insbesondere weist zumindest ein Teils des Grundkörpers 2 eine Wabenstruktur auf oder bildet diese aus. Hierbei bildet die wabenförmige Struktur des Grundkörpers 2 eine Unterseite des Grundkörpers 2 aus. Der Grundkörper 2 weist eine rechteckförmige, insbesondere quadratische Grundfläche, auf.
  • Die Wabenstruktur umfasst hierbei Waben 3 mit einem rechteckförmigen oder quadratischen Querschnitt, wobei die Querschnittsebene orthogonal zu einer zentralen Mittelachse 4 der Luftlagereinrichtung 1 orientiert ist. Der Übersichtlichkeit halber sind nicht alle derartige Waben 3 mit einem rechteckigen Querschnitt mit einem Bezugszeichen versehen. Dargestellt ist ein grundkörperspezifisches Referenzkoordinatensystem mit einer Längsachse xG und einer Querachse yG, die senkrecht zueinander orientiert sind. Die zentrale Mittelachse 4 ist hierbei senkrecht zur Längsachse xG und Querachse yG orientiert. Weiter dargestellt sind Längsstege 5 des Grundkörpers und Querstege 6 des Grundkörpers 2.
  • Hierbei erstrecken sich Längsstege 5 entlang bzw. parallel zur Längsrichtung xG und Querstege 6 entlang oder parallel zur Querrichtung yG. Die Längs- und Querstege 5, 6 begrenzen hierbei jeweils Waben 3. Zwei der Längsstege 5 bilden hierbei jeweils eine Seitenwand des Grundkörpers aus. Zwei der Querstege 5 bilden hierbei jeweils eine Seitenwand 13 (siehe 3) des Grundkörpers 2 aus. Die Längs- und Querrichtung xG, yG spannen eine Ebene auf, die parallel zur Ebene der Unterseite oder Grundfläche orientiert sein kann.
  • Weiter umfasst die Wabenstruktur auch Waben 7 mit dreieckförmigem Querschnitt, wobei der Übersichtlichkeit halber nur eine derartige Wabe mit einem Bezugszeichen versehen ist. Weiter dargestellt ist eine Aufnahmeabschnitt 8 für ein Verbindungselement zur mechanischen Verbindung des Grundkörpers 2 mit einer Halteeinrichtung 16. Dieser Aufnahmeabschnitt 8 weist eine kreisförmige Grundfläche auf. Weiter kann der Aufnahmeabschnitt 8 als Wabe ausgebildet sein. Auch kann der Aufnahmeabschnitt als Vertiefung ausgebildet sein, insbesondere als sich verjüngende Vertiefung, beispielsweise als kegelstumpfförmige Vertiefung. Der Aufnahmeabschnitt 8 ist hierbei im Bereich der Wabenstruktur angeordnet und unterbricht die Wabenstruktur.
  • Durch den Aufnahmeabschnitt 8 wird ein Verlauf eines zentralen Längsstegs 5 und eines zentralen Querstegs 6 unterbrochen. Weiter dargestellt sind Diagonalstege 9, die sich entlang einer Diagonalrichtung bezogen auf das grundkörperspezifische Koordinatensystem von dem Aufnahmeabschnitt 8 weg erstrecken. Eine Diagonalrichtung ist im dargestellten Ausführungsbeispiel mit einem Winkel von 45° zur Längsrichtung xG und einem Winkel von 45° zur Querrichtung yG orientiert. Die Diagonalstege 9 bilden jeweils einen Strahlabschnitt einer Sternstruktur. Somit weist zumindest ein Teil des Grundkörpers 2 auch eine Sternstruktur auf oder bildet diese aus. Insbesondere wird die Sternstruktur von den Diagonalstegen 9 und der zentralen Wabe 8 ausgebildet. Weiter dargestellt sind Waben 3 mit rechteckförmigem Querschnitt, wobei in einer solchen Wabe 3 ein Diagonalstegabschnitt 10 angeordnet ist. Dieser Diagonalstegabschnitt 10 unterteilt eine Wabe 3 mit rechteckförmigem Querschnitt in zwei Waben 7 mit dreieckförmigem Querschnitt. Eine Wandstärke der Stege 5, 6, 9 kann beispielsweise 2 mm betragen. In Kreuzungsabschnitten 12, in denen sich die Wabenstruktur und die Sternstruktur kreuzen, können die Stege 5, 6, 9 verdickt ausgebildet sein. Exemplarisch und der Übersichtlichkeit halber sind hierbei nicht alle verdickten Bereiche 12 mit einem Bezugszeichen versehen. Abschnitte 12, in denen sich Waben- und Sternstruktur kreuzen, können insbesondere Abschnitte sein, in denen sich ein Längssteg 5, ein Quersteg 6 und ein Diagonalsteg 9 schneiden.
  • Weiter ist dargestellt, dass vier Waben 11, die benachbart zu dem Aufnahmeabschnitt 8 angeordnet sind, jeweils einen dreieckförmigen Querschnitt aufweisen, wobei der dreieckförmige Querschnitt an einer der zentralen Mittelachse 4 zugewandten, inneren Ecke einen konkaven Wandabschnitt aufweist, der von der Wand des Aufnahmeabschnitts 8 ausgebildet wird. Der Übersichtlichkeit halber sind nicht alle derartige Waben 11 mit einem Bezugszeichen versehen.
  • Es ist erkennbar, dass eine Mittelachse der Wabenstruktur der zentralen Mittelachse 4 der Luftlagereinrichtung 1 entspricht. Weiter ist erkennbar, dass eine zentrale Mittelachse der Sternstruktur ebenfalls dieser zentralen Mittelachse 4 der Luftlagereinrichtung 1 entspricht.
  • 2 zeigt eine schematisch perspektivische Darstellung der in 1 dargestellten Luftlagereinrichtung 1. Weiter dargestellt sind Seitenwände 13 des Grundkörpers 2. Im Unterschied zu der in 1 dargestellten Ausführungsform ist dargestellt, dass an einer Seitenwand 13 eine Anschlusseinrichtung 14 für Mittel zur Druckluftversorgung, insbesondere eine Druckluftleitung, angeordnet ist. Weiter dargestellt sind weitere Anschlusseinrichtungen 15 für Mittel zur Druckluftversorgung, die an einer Unter- bzw. Rückseite des Grundkörpers 2 angeordnet sind.
  • Der Grundkörper kann hierbei eine rechteckförmige Querschnittsfläche aufweisen, wobei die Querschnittsfläche orthogonal zur zentralen Mittelachse 4 des Grundkörpers 4 orientiert ist. Selbstverständlich können Ecken des rechteckförmigen Querschnitts auch abgerundet ausgebildet sein. Die Querschnittsfläche des Grundkörpers 2 wird hierbei von Seitenwänden 13 des Grundkörpers begrenzt. Hierbei kann eine Seitenwand einen Längs- oder Quersteg ausbilden.
  • 3 zeigt eine perspektivische Draufsicht auf einen Grundkörper 2 einer Luftlagereinrichtung 1. Dargestellt sind die Seitenwände 13 des Grundkörpers 2 und ein Ausströmabschnitt 17 des Grundkörpers 2. Der Ausströmabschnitt 17 weist einen äußeren Luftauslasskanal 18 und einen inneren Luftauslasskanal 19 auf. Diese Luftauslasskanäle 18, 19 sind als Nuten im Bereich einer Vorder- bzw. Oberseite des Grundkörpers 2 ausgebildet. Zentrale Mittelachsen der Luftauslasskanäle 18, 19 sind hierbei in einer Ebene angeordnet, die senkrecht zur zentralen Mittelachse 4 des Grundkörpers 2 (siehe 1) orientiert ist. Die Luftauslasskanäle 18, 19 sind hierbei geschlossene Kanäle bzw. Kanäle mit einem geschlossenen Umlauf. Mit anderen Worten können die Luftauslasskanäle als umlaufende Kanäle bezeichnet werden, die um die zentrale Mittelachse 4 umlaufen. Hierbei ist ein Verlauf der zentralen Mittelachse der Luftauslasskanäle 18, 19 jeweils rechteckförmig. Dargestellt sind Einlassöffnungen 20 im Bodenbereich der Luftauslasskanäle 18, 19, wobei durch diese Einlassöffnungen 20 Druckluft, welche durch Anschlussöffnungen 21 in den Grundkörper 2 eingeleitet wird, in Luftauslasskanäle 18, 19 eintritt und von daraus aus dem Grundkörper 1 austritt. Hierbei ist die in 3 dargestellte Anzahl von Einlassöffnungen 20 exemplarisch. Insbesondere kann der Grundkörper 2 auch mehr oder weniger als die in 3 dargestellten Einlassöffnungen 20 pro Luftauslasskanal 18, 19 aufweisen oder ausbilden.
  • Nicht dargestellt ist ein Ausströmkörper, der über den Luftauslasskanälen angeordnet werden kann. Dieser kann insbesondere als poröse Platte oder als Platte mit Drosselbohrungen ausgebildet sein. Somit kann Druckluft, welche durch Anschlussöffnungen 21 in den Grundkörper 2 eingeleitet wird, in Luftauslasskanäle 18, 19 eintreten und von daraus aus dem Grundkörper 1 und durch den Ausströmkörper ausströmen, um den Luftspalt zu bilden.
  • Dargestellt ist, dass Anschlussöffnungen 21 in Seitenwänden 13 des Grundkörpers 2 angeordnet sind. Hierbei können verschiedene Anschlussöffnungen 13, insbesondere an verschiedenen Seitenwänden 13 angeordnete Anschlussöffnungen 21, verschiedene Luftauslasskanäle 18, 19 mit Druckluft versorgen.
  • Verbindungskanäle, die die Anschlussöffnungen 21 mit den Einlassöffnungen 20 der Luftauslasskanäle 18, 19 verbinden, sind in 3 nicht dargestellt. Diese Verbindungskanäle werden neben der Wabenstruktur und der Sternstruktur von dem Grundkörper 2 ausgebildet. Vorzugsweise weist zumindest ein Abschnitt eines solchen Verbindungskanals einen gekrümmten, aber keinen abgeknickten, Verlauf auf.
  • 4 zeigt eine schematische Seitenansicht einer Halteeinrichtung 16 für mindestens eine Luftlagereinrichtung 1. Dargestellt sind Luftlagereinrichtungen 1, die an der Halteeinrichtung 1 gehaltert sind. Die Halteeinrichtung 16 weist Aufnahme- und/oder Befestigungsabschnitte zur Halterung, insbesondere zum Ankleben, der mindestens einen Luftlagereinrichtung 1 auf. Weiter ist die Halteeinrichtung 16 käfigförmig ausgebildet. Hierbei umfasst die Halteeinrichtung 16 Verbindungselemente, insbesondere Verbindungsstege 22, und Knotenelemente, insbesondere Knotenabschnitte 23. Über einen Knotenabschnitt 23 können zumindest zwei Verbindungselemente 22 miteinander verbunden sein. Der Übersichtlichkeit halber sind nicht alle Verbindungselemente und Knotenelemente mit einem Bezugszeichen versehen.
  • Weiter dargestellt ist, dass mindestens ein Teil der Halteeinrichtung 16 eine Wabenstruktur aufweist oder ausbildet. Hierbei können Waben 24 dieser Wabenstruktur der Halteeinrichtung 16 einen rechteckförmigen Querschnitt aufweisen. Weiter können weitere Waben 25 der Halteeinrichtung 16 einen dreieckförmigen Querschnitt aufweisen. Weiter kann eine weitere Wabe 26 einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen. Der Übersichtlichkeit halber sind nicht alle Waben 24, 25, 26 mit einem Bezugszeichen versehen.
  • Die Aufnahme- und/oder Befestigungsabschnitte zur Anordnung einer Luftlagereinrichtung 1 können hierbei als Aussparungen in der Wabenstruktur ausgebildet sein. Auch ist es möglich, dass ein solcher Aufnahme- und/oder Befestigungsabschnitt als Wabe ausgebildet ist.
  • Eine Halteeinrichtung 16 kann hierbei Seitenwandabschnitte 27 umfassen, wobei in 4 ein Seitenwandabschnitt 27 dargestellt ist. Weiter kann eine Halteeinrichtung 16 einen Deckenwandabschnitt 28 (siehe 6) und einen Bodenwandabschnitt 29 (siehe ebenfalls 6) aufweisen. Die Seitenwandabschnitte 27, der Deckenwandabschnitt und der Bodenwandabschnitt 29 der Halteeinrichtung 16 können mechanisch miteinander verbunden sein und ein Aufnahmevolumen 30 (siehe 6) umfassen, wobei in dem Aufnahmevolumen ein Trägerkörper 31 angeordnet sein kann.
  • Weiter kann die Halteeinrichtung 16 in einem Abschnitt der Halteeinrichtung 16, insbesondere in einem Seitenwandabschnitt 27, einem Deckenwandabschnitt 28 oder einem Bodenwandabschnitt 29 wiederum Teilabschnitte mit voneinander verschiedenen bionischen Strukturen aufweisen, insbesondere Abschnitte mit Waben verschiedener Querschnittsformen. So ist in 4 ersichtlich, dass Randabschnitte eines Seitenwandabschnitts 27 der Halteeinrichtung 16 eine Wabenstruktur mit Waben mit rechteckiger Grundfläche aufweisen oder ausbilden, wobei ein von diesen Randabschnitten begrenzter zentraler Abschnitt Waben mit dreieckiger Querschnittsfläche sowie eine Zentralwabe 26 mit kreisförmiger Querschnittsfläche aufweist oder ausbildet. Hierbei ist dargestellt, dass die Abschnitte mit Waben verschiedener Querschnitte sich nicht überlappen.
  • Die Halteeinrichtung 16 kann hierbei einen Laufwagen oder einen Teil davon ausbilden, wobei der Laufwagen mit einer Linearbewegung entlang eines Trägerkörpers 31 bewegt werden kann.
  • 5 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer Halteeinrichtung 16, wobei Seitenwandabschnitte 27, ein Bodenwandabschnitt 29 und ein Deckenwandabschnitt 30 dargestellt sind. Weiter dargestellt ist ein Trägerkörper 31, der in einem Aufnahmevolumen 30 der Halteeinrichtung 16 angeordnet ist. Weiter dargestellt sind Luftlagereinrichtungen 1, die an dem Seitenwandabschnitt 27 der Halteeinrichtung 16 angeordnet sind.
  • Weiter dargestellt ist eine Längsrichtung x, die auch als x-Richtung bezeichnet werden kann, eine Querrichtung y, die auch als y-Richtung bezeichnet werden kann, und eine Vertikalrichtung z, die auch als z-Richtung bezeichnet werden kann, eines halteeinrichtungsspezifischen Koordinatensystems. Die Richtungen x, y, z sind hierbei jeweils senkrecht zueinander orientiert. Die Vertikalrichtung z kann hierbei parallel zur Richtung einer Gewichtskraft und entgegengesetzt zu dieser Gewichtskraft orientiert sein. Die Längsrichtung x kann hierbei in oder entgegen einer Bewegungsrichtung der Halteeinrichtung 16 entlang des Trägerkörpers 31 orientiert sein.
  • Weiter dargestellt sind Druckluftschläuche 35 zur Druckluftversorgung der Luftlagereinrichtungen 1.
  • Die Luftlagereinrichtungen 1 können hierbei an die Halteeinrichtung 16 befestigt sein, insbesondere an diese eingeklebt sein. Selbstverständlich sind jedoch auch andere Befestigungsarten, beispielsweise mechanische Befestigungsarten, möglich. Insbesondere ist es auch möglich, dass eine Luftlagereinrichtung 1, wie vorhergehend erläutert, über einen Gewindestift mit teilkugelförmigen Ende oder über eine Kugel, mit der Halteeinrichtung 16 mechanisch verbunden wird.
  • In 6 zeigt eine schematische, perspektivische Ansicht eines Querschnitts durch eine als Laufwagen einer Linearlagereinrichtung ausgebildete Halteeinrichtung 16 und einen Trägerkörper 31, der insbesondere als Traverse 39 eines Koordinatenmessgeräts 36 ausgebildet sein kann.
  • Der Laufwagen umfasst einen Wagenkörper 34. Der Wagenkörper 34 umfasst einen ersten Seitenwandabschnitt 27a, einen zweiten Seitenwandabschnitt 27b, einen Deckenwandabschnitt 28 und einen Bodenwandabschnitt 29.
  • Dargestellt ist weiter eine Längsrichtung x, die auch als x-Richtung bezeichnet werden kann, sowie eine Querrichtung y, die auch als y-Richtung bezeichnet werden kann, und eine Vertikalrichtung z, die auch als z-Richtung bezeichnet werden kann. Die Richtungen x, y, z sind hierbei jeweils senkrecht zueinander orientiert. Die Vertikalrichtung z kann hierbei parallel zur Richtung einer Gewichtskraft und entgegengesetzt zu dieser Gewichtskraft orientiert sein. Die Längsrichtung x kann hierbei in oder entgegen einer Bewegungsrichtung des Laufwagens entlang des Trägerkörpers 31 orientiert sein.
  • Die Seitenwandabschnitte 27a, 27b bezeichnen hierbei entlang der Querrichtung y voneinander beabstandete Wandabschnitte des Wagenkörpers 34. Der Deckenwandabschnitt 28 ist hierbei entlang der Vertikalrichtung z von dem Bodenwandabschnitt 29 beabstandet. Zwischen den Seitenwandabschnitten 27a, 27b, dem Deckenwandabschnitt 28 und dem Bodenwandabschnitt 29 ist ein Aufnahmevolumen 30 des Laufwagens für den Trägerkörper 31 ausgebildet.
  • Weiter dargestellt sind mechanisch starr an dem ersten Seitenwandabschnitt 27a und an dem Deckenwandabschnitt 28 des Wagenkörper 34 der Halteeinrichtung 16 angeordnete Luftlagereinrichtungen 1b. Diese Luftlagereinrichtungen 1 können insbesondere an die Halteeinrichtung 16 angeklebt sein. Die Halteeinrichtung 16 kann den Wagenkörper 34 ausbilden. Auch ist ersichtlich, dass der Seitenwandabschnitt 27a des Wagenkörpers 34 und somit ein Abschnitt der Halteeinrichtung käfigförmig ausgebildet ist. Auch der Deckenwandabschnitt 28 kann käfigförmig ausgebildet sein.
  • Weiter dargestellt sind beweglich an dem Wagenkörper 34 gelagerte Luftlagereinrichtungen 1a. Diese beweglich gelagerten Luftlagereinrichtungen 1a können beispielsweise an dem zweiten Seitenwandabschnitt 27b und dem Bodenwandabschnitt 29 angeordnet sein. Durch die Luftlagereinrichtungen 1a, 1b ist ein Luftspalt zwischen den entsprechenden Wandabschnitten 27a, 27b, 28, 29 und dem Trägerkörper 31 erzeugbar.
  • Hierbei ist dargestellt, dass die beweglich gelagerten Luftlagereinrichtungen 1a mechanisch über jeweils ein Federelement 32 mit dem Wagenkörper 34 verbunden sind. Hierzu ist ein Federelement 32 über Verbindungsabschnitte mit dem Wagenkörper 34 verbunden, insbesondere mechanisch starr an diesem befestigt, weiter insbesondere verschraubt. Dargestellt sind Schrauben 41 zum Verschrauben des Federelements 32 mit dem Wagenkörper 34, wobei der Übersichtlichkeit halber nicht alle Schrauben 41 mit einem Bezugszeichen versehen sind.
  • Die beweglich gelagerten Luftlagereinrichtungen 1a weisen ein quaderförmig ausgebildetes Gehäuse auf, welches beweglich in quaderförmigen Aussparungen oder Durchgangsöffnungen in dem zweiten Seitenwandabschnitt 27b und in dem Bodenwandabschnitt 29 angeordnet ist.
  • Weiter sind die beweglich gelagerten Luftlagereinrichtungen 1a über ein kugelförmiges Verbindungselement 42 mechanisch mit dem Federelement 32 verbunden, wobei das kugelförmige Verbindungselement 42 in einer Durchgangsöffnung 43 des Federelements 32 und in einem Aufnahmeabschnitt der entsprechenden Luftlagereinrichtung 1a angeordnet ist. Ein Aufnahmeabschnitt einer Luftlagereinrichtung 1a kann insbesondere als teilkugelförmige oder kegelförmige oder kegelstumpfförmige Vertiefung im Gehäuse der Luftlagereinrichtung 1a ausgebildet sein. Alternativ zur Verwendung des kugelförmig ausgebildeten Verbindungselements 42 ist es auch möglich, einen Gewindestift mit teilkugelförmigen Ende als Verbindungselement zu nutzen, wobei das teilkugelförmige Ende in den Aufnahmeabschnitt der Luftlagereinrichtung 1a eingelegt wird und ein Gewindeabschnitt des Gewindestifts in eine nicht dargestellte Gewindebohrung des Federelements 32 eingeschraubt wird.
  • Vorzugsweise ist an dem ersten Seitenwandabschnitt 27a eine erste Anzahl von starr gelagerten Luftlagereinrichtungen 1b angeordnet, wobei an dem weiteren Seitenwandabschnitt 27bb eine gleiche Anzahl von beweglich gelagerten Luftlagereinrichtungen 1a angeordnet ist. Diese Luftlagereinrichtungen 1a, 1b können spiegelsymmetrisch zueinander angeordnet sein, wobei ein Mittelpunkt einer parallel zur Querachse y orientierten Verbindungslinie zwischen zwei spiegelsymmetrisch angeordneten Luftlagereinrichtungen 1a, 1b in einer Spiegelsymmetrieebene angeordnet ist, wobei die Spiegelsymmetrieebene senkrecht zur Querachse y orientiert ist. Auch kann an dem Deckenwandabschnitt 28 eine erste Anzahl von starr gelagerten Luftlagereinrichtungen 1b angeordnet sein, wobei an dem Bodenwandabschnitt 29 eine gleiche Anzahl von beweglich gelagerten Luftlagereinrichtungen 1a angeordnet ist. Diese Luftlagereinrichtungen 1a, 1b können ebenfalls spiegelsymmetrisch zueinander angeordnet sein, wobei ein Mittelpunkt einer parallel zur Vertikalachse z orientierten Verbindungslinie zwischen zwei spiegelsymmetrisch angeordneten Luftlagereinrichtungen 1a, 1b in einer Spiegelsymmetrieebene angeordnet ist, wobei die Spiegelsymmetrieebene senkrecht zur Vertikalachse z orientiert ist. Dies ist jedoch nicht zwingend. Auch können an einem Wandabschnitt 27a, 27b, 28, 29 weniger oder mehr Luftlagereinrichtungen 1a, 1b als an dem jeweils gegenüberliegenden Wandabschnitt 27b, 27a, 29, 28 angeordnet sein.
  • Dargestellt ist, dass der Trägerkörper 31 in einem Aufnahmevolumen 30, welches von dem Laufwagen ausgebildet wird, aufgenommen ist. Weiter zu erkennen sind Luftspalte, die zwischen Luftlagereinrichtungen 2 und dem entsprechend gegenüberliegend angeordneten Abschnitt des Trägerkörpers 31 ausgebildet werden. Somit ist der Laufwagen auf/an dem Trägerkörper 31 luftgelagert. Die Luftlagerung ermöglicht hierbei eine Bewegung des Laufwagens in oder entgegen der x-Richtung über eine nicht dargestellte Antriebseinrichtung.
  • Die über Federelemente 32 beweglich an dem Wagenkörper 34 gelagerten Luftlagereinrichtungen 1a sind hierbei an dem weiteren Seitenwandabschnitt 27b und dem Bodenwandabschnitt 29 gelagert.
  • Exemplarisch wird nunmehr das Verhalten einer an dem zweiten Seitenwandabschnitt 27b beweglich gelagerten Luftlagereinrichtung 1a beschrieben. Insbesondere kann der Trägerkörper 31 und/oder der Laufwagen derart ausgebildet und/oder relativ zueinander angeordnet sein, dass ein Federelement 32, über welches eine Luftlagereinrichtung 1a beweglich an dem weiteren Seitenwandabschnitt 27b gelagert ist, vorgespannt ist, wenn eine Luftspaltbreite des Luftspalts, der von der mit dem entsprechenden Federelement 32 verbundenen Luftlagereinrichtung 1a erzeugt wird, größer als 0 mm ist.
  • Im Normalbetrieb kann durch die Luftlagereinrichtungen 1a, 1b eine Luftspaltbreite kleiner als oder gleich 10 µm, beispielsweise von 0.006 mm, eingestellt werden.
  • Verbreitert sich der Luftspalt, z.B. weil sich eine Breite des Trägerkörpers 31 in Querrichtung verringert, so kann die Luftlagereinrichtung 1a aufgrund dieser Vorspannung von dem Federelement 31 in Querrichtung y bewegt werden.
  • Alternativ kann die beweglich gelagerte Luftlagereinrichtung 1a entgegen der Querrichtung y verschoben werden, insbesondere wenn sich ein Druck im Luftspalt erhöht. Die Druckerhöhung kann beispielsweise erfolgen, wenn sich die Luftspaltbreite verringert, z.B. wenn sich eine Breite des Trägerkörpers 31 in Querrichtung y vergrößert.
  • Dann kann, aufgrund einer mechanischen Verbindung der Luftlagereinrichtung 1a mit dem Federelement 31 über ein kugelförmiges Verbindungselement 33, auch das Federelement 32 verformt werden, insbesondere ein Mittelpunkt des Federelements 32 entgegen der Querrichtung y verschoben wird. Aufgrund dieser Verformung verändert sich die von dem Federelement 32 erzeugte Kraft, die in Querrichtung y über ein Verbindungselement 42 auf die beweglich gelagerte Luftlagereinrichtung 1a wirkt. Aufgrund dieser Kraftänderung kann wieder eine gewünschte Luftspaltbreite, beispielsweise die des Normalbetriebs, eingestellt werden. Aufgrund der geringen Federrate ergibt sich jedoch nur eine vergleichsweise geringe Kraftänderung der Federkraft, wodurch zwar eine Einstellung der gewünschten Luftspaltbreite ermöglicht wird, zusätzlich jedoch unerwünschte Schwingungen beim Betrieb vermieden werden.
  • Entsprechende Ausführungen gelten für die am Bodenwandabschnitt 29 beweglich gelagerte Luftlagereinrichtung 1a.
  • Durch die Lagerung der Luftlagereinrichtung 1a über ein kugelförmige Verbindungselement 42 an dem Federelement 32 können Kräfte in und entgegen der Querrichtung y übertragen werden, wobei jedoch Rotationen um die drei dargestellten Richtungen x, y, z zugelassen sind. Hierdurch ergibt sich eine verbesserte räumliche Positionierung der Luftlagereinrichtung 1a relativ zu einer der Luftlagereinrichtung 1a gegenüberliegenden Gleitfläche des Trägerkörpers 31, insbesondere wenn diese Gleitfläche z.B. einen gekrümmten oder schräg gestellten Abschnitt aufweist.
  • 7 zeigt eine schematische, perspektivische Darstellung eines Koordinatenmessgeräts 36. Das Koordinatenmessgerät 36 umfasst einen Messtisch 37, wobei auf dem Messtisch 37 Messobjekte (nicht dargestellt) in einem dreidimensionalen Messbereich des Koordinatenmessgeräts 36 angeordnet werden können. Das Koordinatenmessgerät 26 umfasst zwei Stützen 38, die über einen Querträger 39, der auch als Traverse bezeichnet werden kann, verbunden sein können. Insbesondere kann der Querträger 39 an seinen gegenüberliegenden Enden an den Stützen 38 angeordnet sein. Die Stützen 38 sind hierbei in und entgegen einer Querrichtung y entlang des Messtischs 37 des Koordinatenmessgeräts 36 verfahrbar, beispielsweise über geeignete Linearlager.
  • Insbesondere kann eine Stütze 38 luftgelagert an dem Messtisch 37 linear beweglich gelagert sein, beispielsweise ebenfalls mit einem erfindungsgemäß ausgestalteten Laufwagen.
  • Weiter dargestellt ist ein Laufwagen, der entgegen einer x-Richtung entlang des Querträgers 39 verfahrbar ist. Der Querträger 39 kann hierbei den in 6 dargestellten Trägerkörper 31 ausbilden. Weiter dargestellt ist eine Pinole 40, die an dem Laufwagen befestigt ist. An der Pinole 40 kann in bekannter Weise ein Messkopfsystem (nicht dargestellt) befestigt werden, um z.B. ein Messobjekt zu vermessen.
  • Das Messkopfsystem kann hierbei in und entgegen einer Vertikalrichtung z beweglich an der Pinole 40 befestigt sein. Insbesondere kann auch das Messkopfsystem luftgelagert an der Pinole 40 linear beweglich gelagert sein, beispielsweise ebenfalls mit einem erfindungsgemäß ausgestalteten Laufwagen, wobei die Pinole 40 einen Trägerkörper zur Aufnahme durch den Laufwagen aufweist oder ausbilden kann.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Luftlagereinrichtung
    2
    Grundkörper
    3
    Wabe mit rechteckförmigem Querschnitt
    4
    zentrale Mittelachse
    5
    Längssteg
    6
    Quersteg
    7
    Wabe mit dreieckförmigem Querschnitt
    8
    Aufnahmeabschnitt
    9
    Diagonalsteg
    10
    Diagonalstegabschnitt
    11
    Wabe
    12
    verdickter Abschnitt
    13
    Seitenwandabschnitt des Grundkörpers
    14
    Anschlusseinrichtung
    15
    Anschlusseinrichtung
    16
    Halteeinrichtung
    17
    Ausströmabschnitt
    18
    Luftauslasskanal
    19
    Luftauslasskanal
    20
    Einlassöffnung
    21
    Anschlussöffnung
    22
    Verbindungselement
    23
    Knotenabschnitt
    24
    Wabe mit rechteckförmigem Querschnitt
    25
    Wabe mit dreieckförmigem Querschnitt
    26
    Wabe mit kreisförmigem Querschnitt
    27
    Seitenwandabschnitt der Halteeinrichtung
    28
    Deckenwandabschnitt der Halteeinrichtung
    29
    Bodenwandabschnitt der Halteeinrichtung
    30
    Aufnahmevolumen
    31
    Trägerkörper
    32
    Federelement
    34
    Wagenkörper
    35
    Druckluftschläuche
    36
    Koordinatenmessgerät
    37
    Messtisch
    38
    Stützen
    39
    Querträger
    40
    Pinole
    41
    Schraube
    42
    Verbindungselement
    43
    Durchgangsöffnung
    x
    Längsrichtung
    y
    Querrichtung
    z
    Vertikalrichtung
    xG
    Längsrichtung
    yG
    Querrichtung
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 10240700 A1 [0005]
    • EP 2924721 A1 [0006]
    • DE 19533690 A1 [0007]

Claims (15)

  1. Luftlagereinrichtung, insbesondere zur Lagerung eines beweglichen Teils eines Koordinatenmessgeräts (36), dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Grundkörper (2) der Luftlagereinrichtung (1) eine bionische Struktur aufweist.
  2. Luftlagereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Grundkörpers (2) eine Wabenstruktur aufweist oder ausbildet.
  3. Luftlagereinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Querschnitt einer Wabe (3, 7, 8) dreieckförmig, rechteckförmig, kreisförmig oder hexagonal ausgebildet ist.
  4. Luftlagereinrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Grundkörpers (2) eine Sternstruktur aufweist oder ausbildet.
  5. Luftlagereinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine zentrale Mittelachse der Wabenstruktur der zentralen Mittelachse der Sternstruktur entspricht.
  6. Luftlagereinrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich Waben- und Sternstruktur überlappen.
  7. Luftlagereinrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass in zumindest einer Wabe (3) ein Diagonalsteg (9) angeordnet ist.
  8. Luftlagereinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Diagonalsteg (9) der zumindest einen Wabe einen Abschnitt der Sternstruktur bildet.
  9. Luftlagereinrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Grundkörpers (2) eine Baumstruktur, eine Wölbungsstruktur oder eine Knochenstruktur aufweist oder ausbildet.
  10. Luftlagereinrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (2) einen Ausströmabschnitt (17) aufweist oder ausbildet.
  11. Luftlagereinrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Luftlagereinrichtung (1) einen Ausströmkörper umfasst, wobei der Ausströmkörper an dem Grundkörper (2) befestigt ist.
  12. Luftlagereinrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Luftkanal im Grundkörper (2) angeordnet oder ausgebildet ist, wobei zumindest ein Abschnitt des Luftkanals einen gekrümmten Verlauf aufweist.
  13. Halteeinrichtung für mindestens eine Luftlagereinrichtung (1), wobei die Halteeinrichtung (16) oder zumindest ein Teil davon käfigförmig ausgebildet ist, wobei die Halteeinrichtung (16) mindestens einen Aufnahme- und/oder Befestigungsabschnitt zur Halterung der mindestens einen Luftlagereinrichtung (1) aufweist.
  14. Halteeinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil der Halteeinrichtung (16) eine Wabenstruktur aufweist oder ausbildet.
  15. Koordinatenmessgerät, wobei das Koordinatenmessgerät (36) mindestens eine Halteeinrichtung (16) gemäß Anspruch 13 oder 14, mindestens eine Luftlagereinrichtung (1) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12 und mindestens einen Trägerkörper (31) umfasst, wobei der Trägerkörper (31) in einem Aufnahmeabschnitt der Halteeinrichtung (16) angeordnet ist.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19533690A1 (de) 1995-09-12 1997-03-13 Werner Schwarz Luftlager
DE10240700A1 (de) 2002-09-04 2004-03-25 Leitz Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zur Rundheitsmessung an einem Werkstück mit diesem Koordinatenmessgerät
EP2924721A1 (de) 2014-03-25 2015-09-30 Etel S. A.. Positioniereinrichtung in Portalbauweise

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3941480A1 (de) 1989-12-15 1991-06-20 Witzig & Frank Turmatic Gmbh Mehrstationen-werkzeugmaschine
DE4012991A1 (de) 1990-04-24 1991-10-31 Schenk Gmbh Vorrichtung zur maschinenaufstellung
US5401128A (en) 1991-08-26 1995-03-28 Ingersoll Milling Machine Company Octahedral machine with a hexapodal triangular servostrut section
DE19609722B4 (de) 1996-03-13 2007-01-18 Trumpf Systemtechnik Gmbh Verfahren zum Verbinden zweier metallischer Profile, insbesondere zweier stranggepreßter Aluminiumprofilteile
DE102007016270B4 (de) 2007-04-04 2009-08-13 Witzig & Frank Gmbh Werkzeugmaschine
DE202015004988U1 (de) 2015-07-11 2015-10-07 Klaus Mundil Zangenrahmen (Karosseriestruktur)

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19533690A1 (de) 1995-09-12 1997-03-13 Werner Schwarz Luftlager
DE10240700A1 (de) 2002-09-04 2004-03-25 Leitz Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zur Rundheitsmessung an einem Werkstück mit diesem Koordinatenmessgerät
EP2924721A1 (de) 2014-03-25 2015-09-30 Etel S. A.. Positioniereinrichtung in Portalbauweise

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