DE202016001967U1 - Computerprogrammgesteuerte Belichtungseinheit mit mehreren Belichtungsköpfen - Google Patents

Computerprogrammgesteuerte Belichtungseinheit mit mehreren Belichtungsköpfen Download PDF

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Abstract

Anordnung zur computerprogrammgesteuerten Aufzeichnung einer computergespeicherten Darstellung auf einem ebenen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger (2) mittels einer Belichtungseinheit (1) mit mindestens zwei auf einer gemeinsamen Führungs-Achse (3) verschiebbaren Belichtungsköpfen (A, B), wobei Belichtungseinheit und Aufzeichnungsträger gegeneinander in y-Richtung und die Belichtungsköpfe auf der Führungs-Achse in x-Richtung verschiebbar sind, und die Verschiebungen in x- oder y-Richtung durch computerprogrammgesteuerte Antriebe für Translationsbewegungen bewirkbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Belichtungskopf (A, B) für sich computerprogrammgesteuert in eine adressierbare Position auf der Führungs-Achse (3) verschiebbar ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine computerprogrammgesteuerte Belichtungseinheit mit mindestens zwei Belichtungsköpfen zur Belichtung eines lichtempfindlichen Aufzeichnungsträgers.
  • Aus dem Stand der Technik ist eine Anordnung zur computerprogrammgesteuerten Aufzeichnung einer computergespeicherten Darstellung auf einem ebenen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger bekannt, welche seit 2014 von der Firma MIVA Technologies GmbH, Benzstr. 17, D-71101 Schönaich vertrieben wird unter der Bezeichnung „Direct Imager” der Serien 20xx und 26xx. Diese bekannte Anordnung wird insbesondere zur Herstellung fotographischer Vorlagen für gedruckte Leiterplatten eingesetzt.
  • 1 zeigt eine schematische vereinfachte auszugsweise Darstellung dieser bekannten Anordnung mit einer über den Aufzeichnungsträger computerprogrammgesteuert verschiebbaren Belichtungs-Einheit 1' mit zwei Belichtungsköpfen A' und B'.
  • Die beiden Belichtungsköpfe A' und B' sind fest auf einer gemeinsamen Montage-Platte 5' montiert, welche auf einer Führungs-Achse 3' in x-Richtung verschiebbar und positionierbar ist. Der Schlitten 4', der zugleich die Halterung für die Führungs-Achse 3' bildet, ist in y-Richtung verschiebbar. Der Aufzeichnungsträger ist in gedachte Spalten S1, S2, ..., S8 aufgeteilt; die Belichtung erfolgt spaltenweise. Die Belichtungsköpfe A', B' werden durch Verschiebung der Montageplatte 5' auf der Führungs-Achse 3' auf entsprechende Spaltenpaare des Aufzeichnungsträgers 2 ausgerichtet. Die translatorische Verschiebung der Belichtungs-Einheit 1' in y-Richtung und die translatorische Verschiebung der Montageplatte mit den Belichtungsköpfen auf der Führungs-Achse in x-Richtung erfolgt mittels computerprogrammgesteuerter translatorischer (nicht dargestellter) Antriebe, z. B. mittels Schritt- oder Linearmotoren. Die erreichbare Positionierungsgenauigkeit solcher Antriebe liegt z. Zt. im Bereich 1 bis 0,01 Mikrometer. Für eine Veränderung des gegenseitigen Abstandes der auf der Montageplatte fest montierten Belichtungsköpfe mussen diese Köpfe zunächst manuell gelöst und entsprechend dem neu einzustellenden Abstand erneut fest montiert werden.
  • Vor der Aufzeichnung muß die Lage des Aufzeichnungsträgers, erfasst werden. Abweichungen von einer Sollposition sind bei der computerprogrammgesteuerten Aufzeichnung zu berücksichtigen. Zur Erfassung der Lage des Aufzeichnungsträgers wird eine bekannte Industrie-Spezial-Kamera verwendet, die nach dem Stand der Technik entweder auf einer eigenen separaten Kamera-Führungsachse oder auf der bereits erwähnten Montageplatte oder auf dem Belichtungskopf auf der Montageplatte angeordnet ist. Diese Kamera wird computerprogrammgesteuert gezielt über den Aufzeichnungsträger bewegt, um den Messpunkt im Erfassungsbereich der Kamera abzubilden.
  • Jeder Belichtungskopf (A', A, B', B) weist ein dem Aufzeichnungsträger (2', 2) zugewandtes rechteckförmigähnliches Lichtstrahlen-Sende-Feld (LA', LA, LB', LB) auf, von dem an matrixartig angeordneten Stellen gesteuerte Lichtstrahlen zur Erzeugung von Bildpunkten auf dem Aufzeichnungsträger ausgehen. Der Aufzeichnungsträger 2 ist in gedachte Spalten (S1, S2, ... S8) der Breite b aufgeteilt. Bei der Belichtung werden die Lichtstrahlen-Sende-Felder (LA', LA, LB', LB) der Belichtungsköpfe (A', LA, LB', LB) entsprechenden Spalten des Aufzeichnungsträgers (2', 2) zugeordnet und auf die Spalten ausgerichtet. Die Breite b eines Lichtstrahlen-Sende-Feldes entspricht der Spaltenbreite b. Der lichte Abstand der Lichtstrahlen-Sende-Felder der Belichtungsköpfe auf der Führungs-Achse 3' (1) bzw. 3 (2) entspricht einem ganzzahligen Vielfachen von b. Es gibt Gründe für geringfügige Abweichungen, z. B. eine gegebenenfalls erforderliche Überlappungssteuerung in den Spalten-Randbereichen des Aufzeichnungsträgers oder ein erforderlicher Ausgleich für optische Verzerrungen.
  • Der Darstellung in 1 in Verbindung mit 4 ist zu entnehmen, dass die Belichtungsköpfe A' und B' jeweils einem bestimmten Spaltenpaar zugeordnet werden. Sie werden zeitgleich entlang dieser Spalten verschoben, wobei die Belichtung erfolgt.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung,
    • a) die Belichtungszeit einer solchen bekannten Anordnung, z. B. dem „Direct Imager” der Firma MIVA Technologies GmbH, zu verkürzen und
    • b) die Zeit zur Positionserfassung der Messpunkte auf dem Aufzeichnungsträger durch die bekannten Industrie-Spezial-Kameras ebenfalls zu verringern.
  • Die erstgenannte Aufgabe der Erfindung wird durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 genannten Merkmale gelöst; die zweitgenannte Aufgabe durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 genannten Merkmale in Verbindung mit den Merkmalen des Anspruchs 4.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
  • 2 eine schematische vereinfachte auszugsweise Darstellung einer erfindungsgemäßen Belichtungseinheit mit zwei Belichtungsköpfen A und B, welche einzeln – jeder für sich – computerprogrammgesteuert in x-Richtung verschiebbar und positionierbar sind;
  • 3A, 3B schematische vereinfachte Darstellungen von zwei Belichtungsköpfen A und B, deren Lichtstrahlen-Sende-felder erfindungsgemäß einen unterschiedlichen gegenseitigen Abstand auf der Führungs-Achse einnehmen;
  • 4 eine schematische Darstellung eines insgesamt 5 Spaltenhübe umfassenden Belichtungsverlaufes für einen in 8 gedachte Spalten aufgeteilten Aufzeichnungsträgers 2, wobei die Belichtung durch eine in 1 dargestellte Belichtungseinheit (als Stand der Technik) erfolgt;
  • 5 eine schematische Darstellung eines insgesamt 4 Spaltenhübe umfassenden Belichtungsverlaufes für einen in 8 gedachte Spalten aufgeteilten Aufzeichnungsträgers 2, wobei die Belichtung durch eine in 2 dargestellte erfindungsgemäße Belichtungseinheit erfolgt;
  • 6 eine schematische Darstellung zur Positionserfassung eines Messpunktes auf dem Aufzeichnungsträger durch eine bekannte Industrie-Spezial-Kamera.
  • 2 zeigt eine schematische vereinfachte auszugsweise Darstellung einer erfindungsgemäßen Belichtungseinheit 1 mit zwei Belichtungsköpfen A und B, welche einzeln jeder für sich computerprogrammgesteuert in x-Richtung auf der Führungs-Achse 3 verschiebbar und positionierbar sind. Die Belichtungseinheit 1 umfaßt eine in y-Richtung verschiebbare Schlittenanordnung 4, welche zugleich auch als Halter für die quer zu ihr angeordnete Führungs-Achse 3 dient, auf der zwei in x-Richtung verschiebbare Belichtungsköpfe A und B angeordnet sind. Die Verschiebung der Schlittenanordnung und der Belichtungsköpfe erfolgt computerprogrammgesteuert mittels an sich bekannter translatorisch wirkender Antriebe (nicht dargestellt). Der Aufzeichnungsträger 2 ist in gedachte 8 Spalten S1, S2, ... S8 aufgeteilt. Die Belichtung erfolgt spaltenweise, wobei 2 entsprechende Spalten immer gleichzeitig von den ihnen zugeordneten Belichtungsköpfen überstrichen und dabei belichtet werden. Die Spaltenbreite b entspricht der Breite eines Lichtstrahlen-Sende-Feldes LA bzw. LB. Während der Belichtung des gesamten Aufzeichnungsträger haben die Lichtstrahlen-Sende-Felder der beiden Druckköpfe A und B einen gegenseitigen lichten Abstand von d = 3b auf der Führungs-Achse 3. Eine detaillierte Beschreibung der Belichtung des gesamten Aufzeichnungsträgers erfolgt in Zusammenhang mit 5.
  • 3A und 3B zeigen schematisch vereinfachte Darstellungen, in denen die Belichtungsköpfen A und B auf der Führungs-Achse 3 einen unterschiedlichen gegenseitigen Abstand einnehmen. Erfindungsgemäß ist jeder Belichtungskopf A, B für sich allein gesehen computerprogrammgesteuert in eine vorgebbare adressierbare Position verschiebbar. Dadurch ist der gegenseitige Abstand der auf der Führungsachse 3 angeordneten Belichtungsköpfe A, B auch computerprogrammgesteuert veränderbar. In 3A ist das Lichtstrahlen-Sende-Feld LA des Belichtungskopf A in einer der Spalte S1 entsprechenden Position auf der Führungs-Achse 3 angeordnet, das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB des Belichtungskopf B in einer der Spalte S6 entsprechenden Position. Der lichte Abstand der Lichtstrahlen-Sende-Felder LA und LB der Belichtungsköpfe A und B beträgt d = 4b, wobei b der Breite des Lichtstrahlen-Sende-Feldes bzw. der Spaltenbreite entspricht.
  • Für diese die Größe b betreffende Bedingung ergibt sich eine relativ einfache Berechnung des Belichtungsverlaufes für eine unterschiedliche Zahl von Spaltenhüben. Der Begriff Spaltenhub ist im Zusammenhang mit den 4 und 5 erläutert.
  • In 3B ist das Lichtstrahlen-Sende-Feld LA des Belichtungskopfs A in einer der Spalte S5 entsprechenden Position auf der Führungs-Achse 3 angeordnet, das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB des Belichtungskopfs B in einer der Spalte S7 entsprechenden Position. Der lichte Abstand der Lichtstrahlen-Sende-Felder LA und LB der Belichtungsköpfe A und B beträgt d = b.
  • Bei der Belichtung eines Aufzeichnungsträgers oder bei der Belichtung aufeinanderfolgender Aufzeichnungsträger kann der Abstand der Belichtungsköpfe computerprogrammgesteuert verändert werden.
  • Die 4 und 5 zeigen in einer vereinfachten schematischen Darstellung gleichgroße Aufzeichnungsträger 2, die jeweils in 8 gedachte Spalten S1, S2, S3, S4, S5, S6, S7 und S8 aufgeteilt sind. Die Belichtung dieser Aufzeichnungsträger erfolgt mittels zweier Belichtungsköpfe A' und B' (4) bzw. A und B (5), deren Lichtstrahlen-Sende-Felder mit LA' und LB' bzw. mit LA und LB bezeichnet sind. Für die Darstellung in 4 sind die beiden Belichtungsköpfe A' und B' fest auf einer Montage-Platte 5 (1) montiert (Stand der Technik). Der lichte Abstand zwischen den Lichtstrahlen-Sende-Feldern LA' und LB' beträgt d = 2b. Für die Darstellung gemäß 5 sind die beiden Belichtungsköpfe A und B gemäß 2 erfindungsgemäß derart auf der Führungs-Achse positioniert, dass zwischen ihren Lichtstrahlen-Sende-Feldern LA und LB ein lichter Abstand von d = 3b auftritt.
  • 4 zeigt in einer schematischen Darstellung die spaltenweise Belichtung des Aufzeichnungsträgers mit einer Belichtungseinheit gemäß 1. Anfangs ist das Lichtstrahlen-Sende-Feld LA des Belichtungskopfs A auf Spalte S1, das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB' des Belichtungskopfs B' auf Spalte S4 ausgerichtet. Während des sogenannten 1. Spaltenhubs bewegt sich die Belichtungseinheit 1' entlang der Pfeilrichtung 1* (ausgezogener Pfeil) von o nach u. Dabei erfolgt gleichzeitig die Belichtung der Spalte S1 durch den Belichtungskopf A' und der Spalte S4 durch den Belichtungskopf B'. Im Anschluß an diesen 1. Spaltenhub wird die Montage-Platte 5' mit den Belichtungsköpfen A' und B' auf der Führungs-Achse 3' computerprogrammgesteuert so verschoben, dass das Lichtstrahlen-Sende-Feld LA' des Belichtungskopfs A' der Spalte S2 und das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB' des Belichtungskopf B' der Spalte S5 zugeordnet ist. Während des daran anschließenden 2. Spaltenhubs bewegt sich die Belichtungseinheit entlang der Pfeilrichtung 2* (gestrichelter Pfeil) von u nach o. Dabei erfolgt gleichzeitig die Belichtung der Spalte S2 durch das Lichtstrahlen-Sende-Feld LA' des Belichtungskopfs A' und die Belichtung der Spalte S5 durch das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB' des Belichtungskopfs B'. Im Anschluß an diesen 2. Spaltenhub wird die Montageplatte 5 mit den Belichtungsköpfen A' und B' auf der Führungs-Achse 3' so verschoben, dass das Lichtstrahlen-Sende-Feld LA' des Belichtungskopfs A' der Spalte S3 und das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB' der Belichtungskopf B' der Spalte S6 zugeordnet ist. Während des daran anschließenden 3. Spaltenhubs bewegt sich die Belichtungseinheit 1' in –y-Richtung, wobei die Belichtungsköpfe A' und B' der Pfeilrichtung 3* (ausgezogener Pfeil) von o nach u folgen. Dabei erfolgt gleichzeitig eine Belichtung der Spalte S3 durch Lichtstrahlen-Sende-Feld LA' des Belichtungskopfs A' und der Spalte S6 durch das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB' des Belichtungskopfs B'. Im Anschluß an diesen 3. Spaltenhub wird die Montage-Platte 5' mit den Belichtungsköpfen A' und B' auf der Führungs-Achse 3' computerprogrammgesteuert so verschoben, dass das der Belichtungskopf A der Spalte S4 und der Belichtungskopf B der Spalte S7 zugeordnet ist (es gibt auch andere Möglichkeiten der Zuordnung). Während des daran anschließenden 4. Spaltenhubs bewegt sich die Belichtungseinheit 1' in –y-Richtung, wobei die Belichtungsköpfe der Pfeilrichtung 4* (punktiert – gestrichelter Pfeil) von u nach o folgen. Dabei erfolgt keine Belichtung der Spalte S4 durch Belichtungskopf A', weil diese Spalte S4 bereits während des 1. Spaltenhubs durch den Belichtungskopf B' belichtet wurde. Es erfolgt nur eine Belichtung der Spalte S7 durch den Belichtungskopf A'.
  • Im Anschluß an diesen 4. Spaltenhub wird die Montageplatte 5' mit den Belichtungsköpfe A' und B' auf der Führungs-Achse 3' so verschoben, dass der Belichtungskopf A' der Spalte S5 und der Belichtungskopf B' der Spalte S8 zugeordnet ist (es gibt auch andere Möglichkeiten der Zuordnung). Während des daran anschließenden 5. Spaltenhubs bewegt sich die Belichtungseinheit 1' in –y-Richtung, wobei die Belichtungsköpfe der Pfeilrichtung 5* (in Spalte S5 strich-strich-punktiert; in Spalte S8 durchgezogen) von o nach u folgen. Dabei erfolgt keine Belichtung der Spalte S5 durch Belichtungskopf A', weil diese Spalte S5 bereits während des 2. Spaltenhubs durch den Belichtungskopf A' belichtet wurde. Es erfolgt nur eine Belichtung der Spalte S8 durch den Belichtungskopf B'.
  • Damit ist die Belichtung des gesamten Aufzeichnungsträgers 2 abgeschlossen. Die Belichtung erforderte 5 Spaltenhübe. Während der gesamten Belichtung hat sich der Abstand d' = 2b zwischen den Beiden Lichtstrahlen-Sende-Feldern LA' und LB' der fest auf der Platte 5 montierten Belichtungsköpfe A' und B' nicht geändert. Die Belichtungsköpfe wurden immer gemeinsam mit der Platte 5 auf der Führungsschiene 3' verschoben, um auf neue Spaltenpaare ausgerichtet zu werden.
  • Aus der Darstellung in 5 folgt, dass bei verändertem Abstand d = 3b der Lichtstrahlen-Sendefelder LA und LB beider Belichtungsköpfe A und B die Belichtung des gesamten Aufzeichnungsträgers insgesamt nur 4 Spaltenhübe der Belichtungseinheit erfordert, wodurch sich im Vergleich zu der Darstellung nach 4 eine wesentliche Einsparung an Gesamt-Belichtungszeit ergibt.
  • Erfindungsgemäß wird der optimale Abstand d = 3b für die geringste Anzahl erforderlicher Spaltenhübe vor Beginn der Belichtung errechnet, gefolgt von einer computerprogrammgesteuerten Einstellung dieses Abstandes zwischen den Lichtstrahlen-Sende-Feldern von beiden Belichtungsköpfen auf der Führungs-Achse 3.
  • In 5 wird die spaltenweise Belichtung des Aufzeichnungsträgers 2 durch die in 2 gezeigte erfindungsgemäße Belichtungseinheit 1 beschrieben. Anfangs ist das Lichtstrahlen-Sende-Feld LA des Belichtungskopfs A der Spalte S1, das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB des Belichtungskopfs B der Spalte S5 zugeordnet. Während des sogenannten 1. Spaltenhubs bewegt sich die Belichtungseinheit 1 in –y-Richtung, wobei die Belichtungsköpfe A und B der Pfeilrichtung 1* (ausgezogener Pfeil) von oben o nach u folgen. Dabei erfolgt gleichzeitig eine Belichtung der Spalte S1 durch Belichtungskopf A und der Spalte S5 durch den Belichtungskopf B. Im Anschluß an diesen 1. Spaltenhub werden die Belichtungsköpfe auf der Führungs-Achse 3v computerprogrammgesteuert so verschoben, dass das Licht-Strahlen-Sende-Feld LA des Belichtungskopfs A der Spalte S2 und das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB des Belichtungskopfs B der Spalte S6 zugeordnet ist. Während des daran anschließenden 2. Spaltenhubs bewegt sich die Belichtungseinheit 1 in +y-Richtung, wobei die Belichtungsköpfe entlang der Pfeilrichtung 2* (gestrichelter Pfeil) von u nach o folgen. Dabei erfolgt gleichzeitig eine Belichtung der Spalte S2 durch Belichtungskopf A und der Spalte S5 durch den Belichtungskopf B. Im Anschluß an diesen 2. Spaltenhub werden die Belichtungsköpfe auf der Führungs-Achse so verschoben, dass das Lichtstrahlen-Sende-Feld LA des Belichtungskopfs A der Spalte S3 und das Lichtstrahlen-Sende-Feld LB des Belichtungskopfs B der Spalte S7 zugeordnet ist. Während des daran anschließenden 3. Spaltenhubs bewegt sich die Belichtungseinheit 1 in –y-Richtung, wobei die Belichtungsköpfe der Pfeilrichtung 3* (durchgezogener Pfeil) von o nach u folgen. Dabei erfolgt gleichzeitig eine Belichtung der Spalte S3 durch Belichtungskopf A und der Spalte S7 durch den Belichtungskopf B. Im Anschluß an diesen 3. Spaltenhub werden die Belichtungsköpfe auf der Führungs-Achse computerprogrammgesteuert so verschoben, dass der Belichtungskopf A der Spalte S4 und der Belichtungskopf B der Spalte S8 zugeordnet ist. Während des daran anschließenden 4. Spaltenhubs bewegt sich die Belichtungseinheit 1 in y-Richtung, wobei die Belichtungsköpfe der Pfeilrichtung 4* (gestrichelter Pfeil) von u nach o folgen. Dabei erfolgt eine Belichtung der Spalte S4 durch Belichtungskopf A und eine Belichtung der Spalte S7 durch den Belichtungskopf B. Damit ist die Belichtung des gesamten Aufzeichnungsträgers abgeschlossen. Während aller 4 Spaltenhübe wurde in diesem Beispiel (5) der Abstand der Belichtungsköpfe A und B auf der ihnen gemeinsamen Führungs-Achse 3 nicht verändert. Es sei jedoch darauf hingewiesen, dass dieser Abstand erfindungsgemäß auch während des Belichtungsvorganges eines Aufzeichnungsträgers verändert werden kann.
  • 6 zeigt eine schematische Darstellung zur Positionserfassung eines Messpunktes auf dem Aufzeichnungsträger 2, 2v durch eine bekannte Industrie-Spezial-Kamera. Bei der Belichtung des Aufzeichnungsträgers liegt dieser unverschieblich auf einer ebenen Unterlage auf. Er wird in dieser unverschieblichen Position z. B. durch eine Vacuum-Saugkraft gehalten. Das Computer-Steuerprogramm für die Belichtung des Aufzeichnungsträger setzt zunächst voraus, dass sich der Aufzeichnungsträger 2 in einer Soll-Lage befindet.
  • Abweichungen v von dieser Soll-Lage erfordern eine entsprechende Korrektur dieses Steuerprogrammes. Die Erfassung der Abweichung erfolgt mittels der Industrie-Spezial-Kamera. Die Abweichungswerte werden automatisch zur programmgesteuerten Korrektur des Steuerprogrammes benutzt.
  • Eine derartige Industrie-Spezial-Kamera kann z. B. unter der Bezeichnung „GifE Industriekamera von IDS” von der Firma IDS Imaging Development System GmbH, Dimbacher Str. 6–8, D-74182 Obersulm bezogen werden. Sie ermöglicht die Erfassung der Abweichung v eines Messpunktes auf dem Aufzeichnungsträger von einer Soll-Position.
  • Auf dem Aufzeichnungsträger sind mindestens 2 Messpunkte angebracht, um mögliche Verschiebungen und Verdrehungen des Aufzeichnungsträgers zu erfassen. Die Kamera wird derart über den Aufzeichnungsträger bewegt, dass sie auf den Bereich des Messpunktes in vermuteter Soll-Position ausgerichtet ist. Liegt der Messpunkt M im Zentrum des Erfassungsbereiches der Kamera, so ist dies ein Hinweis, dass er seine Sollposition einnimmt; Abweichungen v von der Sollposition werden automatisch von der Kamera erfasst und automatisch an ein Computer-Korrektur-Programm geliefert, welches die computerprogrammgesteuerte Belichtung des Aufzeichnungsträgers an dessen Ist-Position auf der Unterlage anpasst. Nimmt der Auszeichnungsträger 2v auf der Unterlage jedoch eine unerwünschte verschobene Position ein (gestrichelte Darstellung), so ergibt sich auch für den Messpunkt Mv im Erfassungsbereich der Kamera z. B. eine um den Vektor v verschobene Position mit den Koordinaten –xv und yv. Diese Koordination kennzeichnen die Messpunkt-Abweichung und werden bei der Korrektur des Steuerprogramms entsprechend berücksichtigt. Als Stand der Technik wurde bereits der „Direct Imager” der Firma MIVA Technologies GmbH erwähnt. Bei dieser Anordnung ist zur Lageerfassung des Aufzeichnungsträgers eine Industrie-Spezial-Kamera auf einem der beiden Belichtungsköpfe auf der Montage-Platte angeordnet. Eine exakte Lageerfassung des Aufzeichnungsträgers erfordert mindestens zwei Messpunkte. D. h., die Montage-Platte mit der Kamera muß zunächst in den Bereich des ersten Messpunktes verschoben werden (zur Erfassung seiner Ist-Position, die gegebenenfalls von der bekannten vorgegebenen Soll-Position abweicht), um danach in den Bereich des zweiten Messpunktes verschoben zu werden. Beide Einstellungen folgen nacheinander und erfordern einen entsprechenden Zeitaufwand. Dieser Zeitaufwand lässt sich erfindungsgemäß dadurch verringern, indem jeder der zwei unabhängig voneinander auf der Führungs-Achse verschiebbaren Belichtungsköpfe mit einer solchen Kamera ausgestattet wird. So kann in der Zeit, in welcher die erste Kamera zum 1. Messpunkt unterwegs ist, die zweite Kamera zumindest schon einen Teil des Weges zum zweiten Messpunkt zurücklegen. Die Erfindung ist nicht auf die im Ausführungsbeispiel gezeigte Anzahl von zwei Belichtungsköpfen beschränkt, sie schließt auch eine höhere Anzahl von Belichtungsköpfen ein, die computerprogrammgesteuert, jeder für sich, auf der gemeinsamen Führungs-Achse in vorgebbare Positionen verschiebbar sind. Dabei kann ihr gegenseitiger Abstand computerprogrammgesteuert verändert werden. Eine Abstandsveränderung ist sowohl während der Belichtung eines Aufzeichnungsträgers möglich als auch zwischen der Belichtung von Aufzeichnungsträgern mit unterschiedlichen Abmessungen.
  • Erfindungsgemäß ist der Abstand d der Lichtstrahlen-Sende-Felder der Belichtungsköpfe computerprogrammgesteuert einstellbar. Die Größe des einstellbaren Abstandes wird zuvor in Abhängigkeit von der Größe des Aufzeichnungsträgers und der Breite des Lichtstrahl-Sende-Feldes errechnet und zwar unter dem Aspekt, welcher Abstand der Belichtungsköpfe die geringste Anzahl von sogenannten Spaltenhüben bei der spaltenweise Belichtung des gesamten Aufzeichnungsträgers erfordert. Ein anderer Aspekt, der sich mit der errechneten geringsten Anzahl der Spaltenhübe decken kann, bezieht sich auf eine angestrebte möglichst gleichmäßige Belastung der Belichtungsköpfe, d. h., alle Belichtungsköpfe sollen möglicht gleichmäßig zur Belichtung des Aufzeichnungsträgers eingesetzt werden. Mit anderen Worten, es soll vermieden werden – wie im Zusammenhang mit 4 erörtert –, dass z. B. Belichtungskopf B an der Belichtung von 5 Spalten (S4–S8) beteiligt ist, der der Belichtungskopf A hingegen nur an der Belichtung von 3 Spalten (S1–S3). Die Berechnung der Anzahl der Spaltenhübe zur Belichtung des ganzen Aufzeichnungsträgers in Abhängigkeit vom gegenseitigen Abstand d der Lichtstrahlen-Sende-Felder der Belichtungsköpfe A und B erfolgt mittels eines entsprechenden Computerprogramms. Erfindungsgemäß wird der errechnete Abstand der Belichtungsköpfe benutzt, für den sich die geringste Anzahl der für die Belichtung erforderlichen Spaltenhübe ergibt. Dieser Abstand wird automatisch computerprogrammgesteuert eingestellt. Zusammengefaßt bezieht sich die Erfindung insbesondere auf eine Anordnung zur computerprogrammgesteuerten Aufzeichnung einer computergespeicherten Darstellung auf einem ebenen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger (2) mittels einer Belichtungseinheit (1) mit mindestens zwei auf einer gemeinsamen Führungs-Achse (3) verschiebbaren Belichtungsköpfen (A, B), wobei Belichtungseinheit und Aufzeichnungsträger gegeneinander in y-Richtung und die Belichtungsköpfe auf der Führungs-Achse in x-Richtung verschiebbar sind, und die Verschiebungen in x- oder y-Richtung durch computerprogrammgesteuerte Antriebe für Translationsbewegungen bewirkbar sind, bei der jeder Belichtungskopf (A, B) für sich computerprogrammgesteuert in eine adressierbare Position auf der Führungs-Achse 3 verschiebbar ist.
  • Hierbei ist der gegenseitige Abstand der auf der Führungs-Achse (3) angeordneten Belichtungsköpfe (A, B) computerprogrammgesteuert veränderbar.
  • Für die Bedingung, daß der Aufzeichnungsträger (2) in gedachte Spalten (S1, S2, ..., S8) der Breite b aufgeteilt ist, dass der Belichtungskopf (A, B) ein Lichtstrahlen-Sende-Feld (La, LB) der Breite b aufweist und dass der Abstand (d) der Lichtstrahlensendefelder (LA, LB) positionierter einander benachbarter Belichtungsköpfe (A, B) einem ganzzahligen Vielfachen der Breite b eines Lichtstrahlensendefeldes entspricht, ergibt sich eine relativ einfache Berechnung zur Ermittlung eines optimalen Abstands.
  • Erfindungsgemäß sind an mindestens zwei Belichtungsköpfen (A, B) der Belichtungseinheit (1) jeweils eine an sich bekannte Industrie-Spezial-Kamera angeordnet zur automatischen Erfassung der Lage von Messpunkten (M, Mv auf dem Aufzeichnungsträger 2, 2v. Die Belichtungsköpfe sind separat auf einer ihnen gemeinsamen Führungs-Achse computerprogrammgesteuert verschieb- und positionierbar.
  • Die Verschiebung der erfindungsgemäßen Belichtungseinheit gegenüber dem Aufzeichnungsträger in y-Richtung ist äquivalent gegenüber der Verschiebung des Aufzeichnungsträgers in y-Richtung gegenüber der Belichtungseinheit.

Claims (4)

  1. Anordnung zur computerprogrammgesteuerten Aufzeichnung einer computergespeicherten Darstellung auf einem ebenen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger (2) mittels einer Belichtungseinheit (1) mit mindestens zwei auf einer gemeinsamen Führungs-Achse (3) verschiebbaren Belichtungsköpfen (A, B), wobei Belichtungseinheit und Aufzeichnungsträger gegeneinander in y-Richtung und die Belichtungsköpfe auf der Führungs-Achse in x-Richtung verschiebbar sind, und die Verschiebungen in x- oder y-Richtung durch computerprogrammgesteuerte Antriebe für Translationsbewegungen bewirkbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Belichtungskopf (A, B) für sich computerprogrammgesteuert in eine adressierbare Position auf der Führungs-Achse (3) verschiebbar ist.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der gegenseitige Abstand der auf der Führungs-Achse (3) angeordneten Belichtungsköpfe (A, B) computerprogrammgesteuert veränderbar ist.
  3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Aufzeichnungsträger (2) in gedachte Spalten (S1, S2, ..., S8) der Breite b aufgeteilt ist, dass der Belichtungskopf (A, B) ein Lichtstrahlen-Sende-Feld (LA, LB) der Breite b aufweist und dass der Abstand (d) der Lichtstrahlensendefelder (LA, LB) positionierter einander benachbarter Belichtungsköpfe (A, B) einem ganzzahligen Vielfachen der Breite b eines Lichtstrahlen-Sende-Feldes entspricht.
  4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass an mindestens zwei Belichtungsköpfen (A, B) der Belichtungseinheit (1) eine an sich bekannte Industrie-Spezial-Kamera angeordnet ist zur automatischen Erfassung der Lage von Messpunkten (M) auf dem Aufzeichnungsträger (2).
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102017123686A1 (de) 2017-10-11 2019-04-11 Miva Technologies Gmbh Verfahren und Belichtungseinrichtung zur Belichtung von zumindest einer gespeicherten Darstellung auf einem lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger
WO2021037475A1 (de) 2019-08-26 2021-03-04 Miva Technologies Gmbh Verfahren und belichtungseinrichtung zur belichtung eines lichtempfindlichen aufzeichnungsträgers

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017123686A1 (de) 2017-10-11 2019-04-11 Miva Technologies Gmbh Verfahren und Belichtungseinrichtung zur Belichtung von zumindest einer gespeicherten Darstellung auf einem lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger
WO2019072727A1 (de) 2017-10-11 2019-04-18 Miva Technologies Gmbh Verfahren und belichtungseinrichtung zur belichtung von zumindest einer gespeicherten darstellung auf einem lichtempfindlichen aufzeichnungsträger
CN111512240A (zh) * 2017-10-11 2020-08-07 密华科技有限公司 光敏记录介质上至少一幅存储图像的曝光方法和曝光设备
WO2021037475A1 (de) 2019-08-26 2021-03-04 Miva Technologies Gmbh Verfahren und belichtungseinrichtung zur belichtung eines lichtempfindlichen aufzeichnungsträgers

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