DE10139596C2 - Verfahren und Vorrichtung zum Postitionieren eines Objekts an einem Ziel - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Postitionieren eines Objekts an einem ZielInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Durchführen einer
Präzisionspositionierung eines an einem Ziel zu
montierenden oder zu positionierenden Objekts, insbesondere
zur Montage von elektronischen Bauteilen, wobei unter
Einsatz einer Bilderfassungseinrichtung und einer
Bildverarbeitungseinrichtung Positionen des Objekts und des
Ziels ermittelt und verarbeitet werden und mittels einer
Handhabungseinrichtung das Objekt am Ziel positioniert
wird.
Bei der Präzisionspositionierung oder (Mikro-)
Präzisionsmontage sind verschiedene Verfahren bekannt:
So ist es beispielsweise möglich, unter Verwendung einer Matrixkamera, oder einer sonstigen Bilderfassungseinrichtung eine Aufnahme des Ziels, d. h. der Position und des Bildes des Ziels, anzufertigen. Hierbei werden in bekannter Weise am Ziel vorgesehene Marken erfaßt, aus denen mittels einer Bildverarbeitungseinrichtung die Position des Ziels ermittelt werden kann. Daraufhin wird ein zu positionierendes Objekt durch einen Greifer aufgenommen, wobei die Position des Objekts im Greifer entweder bekannt ist oder in verschiedener Weise ermittelt wird. Es wird dann rechnerisch anhand der Daten über die Position des Ziels und des Greifers bzw. der Position des Bauteils im Greifer ein Verschiebevektor ermittelt und dann unter Ansteuerung des Greifers mittels eines Roboters die Positionierung entsprechend dem zuvor ermittelten Verschiebevektor durchgeführt. Die Bahn des Roboters verläuft dabei dreidimensional in X-, Y- und Z-Richtung. Die Genauigkeit des Verfahrens ist durch die mechanische Ungenauigkeit des Roboters bestimmt, die annähernd proportional zur Länge der Bahn bzw. des Verschiebevektors ist. Bei einer Bahnlänge von 100 mm liegt die erreichbare Positioniergenauigkeit im Bereich von wenigen Mikrometern.
So ist es beispielsweise möglich, unter Verwendung einer Matrixkamera, oder einer sonstigen Bilderfassungseinrichtung eine Aufnahme des Ziels, d. h. der Position und des Bildes des Ziels, anzufertigen. Hierbei werden in bekannter Weise am Ziel vorgesehene Marken erfaßt, aus denen mittels einer Bildverarbeitungseinrichtung die Position des Ziels ermittelt werden kann. Daraufhin wird ein zu positionierendes Objekt durch einen Greifer aufgenommen, wobei die Position des Objekts im Greifer entweder bekannt ist oder in verschiedener Weise ermittelt wird. Es wird dann rechnerisch anhand der Daten über die Position des Ziels und des Greifers bzw. der Position des Bauteils im Greifer ein Verschiebevektor ermittelt und dann unter Ansteuerung des Greifers mittels eines Roboters die Positionierung entsprechend dem zuvor ermittelten Verschiebevektor durchgeführt. Die Bahn des Roboters verläuft dabei dreidimensional in X-, Y- und Z-Richtung. Die Genauigkeit des Verfahrens ist durch die mechanische Ungenauigkeit des Roboters bestimmt, die annähernd proportional zur Länge der Bahn bzw. des Verschiebevektors ist. Bei einer Bahnlänge von 100 mm liegt die erreichbare Positioniergenauigkeit im Bereich von wenigen Mikrometern.
Nach einem weiteren Verfahren wird das zu montierende
Objekt in einer Position oberhalb des Ziels angeordnet oder
vorpositioniert. Anschließend wird eine Kamera mit Split-
Field-Optik zwischen Bauteil und Ziel gebracht, welche die
Position des Bauteils und die Position des Ziels in X-, Y-
Richtung erfasst. Es wird also das Ziel von oben und das
Bauteil von unten erfaßt. Unter Auswertung dieser Daten
über die Positionen von Ziel und Bauteil wird mittels einer
Handhabungseinrichtung die Positionierung des Objekts zum
Ziel in X-, Y-Richtung korrigiert. Anschließend wird die
Kamera ausgeschwenkt und die Positionierung in Z-Richtung
durchgeführt. Da nach dieser Korrektur Objekt und Ziel nur
noch in Z-Richtung, also über eine wesentlich kürzere
Distanz als bei dem vorstehend beschriebenen Verfahren,
verlagert werden, wird hiermit eine höhere
Positioniergenauigkeit erreicht. Ein Mindestverfahrweg in
Z-Richtung ergibt sich jedoch aus der Notwendigkeit, eine
optische Einrichtung der Bilderfassungseinrichtung nach der
Vorpositionierung zwischen Objekt und Ziel einbringen zu
können. Ferner ist dieses Verfahren mit dem Nachteil
verbunden, dass das Ein- und Ausschwenken der Kamera
zwischen Objekt und Ziel mit einem gewissen Zeitaufwand
verbunden ist, wodurch die Taktzeit wesentlich erhöht wird.
DE 44 19 521 A1 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum Ausrichten einer Photomaske für einen Belichtungsprozess.
Dabei wird die elastische und dehnbare Photomaske aus einem
durchsichtigen Werkstoff in Kontakt mit einer durchsichtigen
Platte, z. B. einer Glasscheibe, gebracht, so dass ihre
Oberfläche durch Anlage an die Glasscheibe eine Ebene bildet.
Über eine Anzahl von Greifelementen wird die Photomaske in der
Ebene gedehnt, so dass auf der Photomaske vorgesehene
Positionsmarken mit Positionsmarken am Rand des zu
belichtenden Substrats übereinstimmen. Dieser Vorgang wird
mittels stationärer Bilderfassungseinrichtungen durch
Ausführung eines Soll/Ist-Vergleichs der Positionen der
jeweiligen Positioniermarken auf der Photomaske und auf dem
Substrat gesteuert. Dabei wird die Photomaske zu Beginn des
Ausrichtvorgangs in einem Abstand vom zu belichtenden Substrat
in z-Richtung positioniert und dann in Ebenenrichtung gedehnt.
Eine Positionierung der Photomaske in Richtung auf das zu
belichtende Substrat wird nicht ausgeführt. Die DE 44 19 521 A1
offenbart jedoch die Merkmale des Oberbegriffs des
Anspruchs 5, wobei - wie ausgeführt - die Photomaske als
Objekt nicht am Ziel positioniert, sondern in einem Abstand
zum Ziel durch Einleitung von Dehnungskräften ausgerichtet
wird.
DE 41 41 226 A1 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur Montage und Justierung von Bauelementen und Baugruppen,
wobei tragende Bauteile, Montagehilfen und/oder
Befestigungsmittel für die zu montierenden Bauelemente optisch
durchsichtig ausgebildet sein sollen, so dass der
Montagevorgang durch diese Elemente hindurch beobachtet und
kontrolliert werden kann. Auch die Verwendung von optisch
erfassbaren Marken ist erwähnt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
Verfahren zum Durchführen einer Präzisionspositionierung eines
Objekts an einem Ziel der eingangs beschriebenen Art
dahingehend zu verbessern, dass die Positionierung rasch
ausführbar ist und unabhängig vom Verfahrweg der Komponenten
sowie unabhängig von mechanischen Ungenauigkeiten des Roboters
zu einer gegenüber bekannten Verfahren höheren
Positioniergenauigkeit führt. Ferner soll eine Vorrichtung zur
Durchführung des Verfahrens geschaffen werden.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des
Anspruchs 1 und eine Vorrichtung mit den Merkmalen des
Anspruchs 5 gelöst.
Nach der Erfindung wird während des Positioniervorgangs eine
Positionserfassung sowohl des Bauteils als auch des Ziels
gleichzeitig durchgeführt. Es wird also die Position des
Objekts zusammen mit der bildlichen Erfassung des Ziels, also
direkt gegenüber der Zielposition, erfaßt, und es wird dann
während des Positionierens durch den Soll/Ist-Vergleich von
Objekt- und Zielpositionsdaten ein Regelvorgang durchgeführt.
Es kann also erfindungsgemäß der Einfluß der
Positionierungenauigkeit des Roboters durch den geregelten
Zielführungsvorgang eliminiert werden. Es erweist sich als
vorteilhaft, wenn das Bild bzw. die Position von Bauteil und
Ziel durch dieselbe Optik der Bilderfassungseinrichtung
ermittelt werden, da dann Abweichungen oder Fehler
verschiedener optischer Systeme sich nicht verfälschend
auswirken bzw. ein Fehler im einzigen verwandten optischen
System für die Erfassung des Ziels wie des Objekts
gleichermaßen gilt und keine negative Auswirkung auf die
Positioniergenauigkeit hat.
Die Anordnung der Optik der Bilderfassungseinrichtung ist auf
der vom Ziel abgewandten Seite des Objekts angeordnet. Wenn
vorstehend von einem durchsichtigen Bereich der
Handhabungseinrichtung, bei der es sich üblicherweise um eine
Greifvorrichtung für das Objekt handelt, gesprochen wird, so
ist dies im weitesten Sinne zu verstehen. Es wäre also
beispielsweise möglich, dass ein das Objekt greifender
Bereich, also beispielsweise die Greiferfinger einer
Greifvorrichtung optisch durchlässig, insbesondere
durchsichtig ausgebildet sind, also beispielsweise aus Glas
oder einem für optische Wellen, insbesondere Licht
durchlässigen Material, beispielsweise Plexiglas oder
sonstigen Kunststoffen, ausgebildet sind.
Es wäre aber auch denkbar, dass das Objekt von Komponenten der
Handhabungseinrichtung gehalten oder gegriffen wird, die das
Sichtfeld der Bilderfassungseinrichtung nur unwesentlich
einschränken, weil beispielsweise die von zwei Seiten
wirkenden Greiferfinger der Greifvorrichtung gegenüber den
Abmessungen des Objekts klein sind, so dass es möglich ist,
das Ziel gleichwohl durch dieselbe Optik hindurch zusammen mit
dem Objekt zu erfassen, so dass Objekt und Ziel gleichzeitig
sichtbar sind. Auch in diesem Fall ist ein Bereich der
Handhabungseinrichtung durchsichtig.
Bei der Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens erweist es
sich als zweckmäßig, dass das Objekt zu Beginn des
Positioniervorgangs in einem separaten vorhergehenden
Verfahrensschritt in einem Abstand vom Ziel (Z-Richtung)
positioniert wird und dass während des Annäherns des Objekts
an das Ziel (nur Z-Richtung) die Position des Objekts in X-
und Y-Richtung relativ zum Ziel durch Ansteuerung der
Handhabungseinrichtung entsprechend dem Soll/Ist-Vergleich
gesteuert wird.
Des weiteren wird vorgeschlagen, dass im Zuge der Durchführung
des erfindungsgemäßen Verfahrens die Lage des
Tiefenschärfebereichs der Optik der Bilderfassungseinrichtung
derart gewählt wird, dass schon zu Beginn des
Positioniervorgangs das Objekt scharf abgebildet wird und
während einer letzten Phase der Annäherung von Objekt und Ziel
Objekt und Ziel beide scharf abgebildet werden. Wenn also das
Ziel zu Beginn des Positioniervorgangs noch weit entfernt ist,
erscheint es unscharf, da es außerhalb des
Tiefenschärfebereichs der optischen Einrichtung der
Bilderfassungseinrichtung liegt. Die Verarbeitung der
gewonnenen Bild- bzw. Positionsdaten kann aber auch bei
unscharfer Abbildung des Ziels (aber auch des Bauteils)
bestimmt werden, da sie in vorteilhafter Weise über die
Position eines bildlichen Schwerpunkts bestimmt wird. Deshalb
erfolgt in weiterer Ausbildung der Erfindung die Erfassung des
Ziels und/oder des Objekts über am Ziel oder Objekt
vorgesehene Marken, beispielsweise in Form von einfachen
geometrischen Strukturen, wie Kreisen, Kreuzen, Strichen oder
dergleichen. Werden derartige Marken auch unscharf erfaßt, so
ist es gleichwohl möglich, den Schwerpunkt dieser Marken und
damit die Position des Ziels oder des Objekts korrekt zu
bestimmen.
Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die
Bilderfassungseinrichtung eine CMOS-Kamera oder eine CCD-
Hochgeschwindigkeitskamera umfaßt, vorteilhafterweise wird mit
einer Aufnahmezeit von 30 bis 100, insbesondere 30 bis 60
Millisekunden gearbeitet. Im Ergebnis kann die
Positioniergenauigkeit bei der Durchführung des
erfindungsgemäßen Positionier- bzw. Montageverfahrens auf
wesentlich unter 1 µm verbessert werden. Es wurden
Meßungenauigkeiten von nur 0,2 µm (6 S-Bereich) erreicht.
Diese Positionierungenauigkeit geht zurück auf die
Meßungenauigkeit der Bilderfassung, die im Bereich von etwa
0,2 µm liegen kann.
Nach der Erfindung sind die Handhabungseinrichtung, also
beispielsweise eine lageveränderbare Greifvorrichtung, für das
Objekt und die Bilderfassungseinrichtung oder zumindest eine
optische Einrichtung (Erfassungsoptik) der
Bilderfassungseinrichtung derart miteinander montageverbunden,
dass sie im Zuge der Positionierung gemeinsam lageverändert
werden. Die Bilderfassungseinrichtung und die
Handhabungseinrichtung für das Objekt können beispielsweise an
einem gemeinsamen Roboterflansch vorgesehen sein.
Weitere Einzelheite, Merkmale und Vorteile der Erfindung
ergeben sich aus den beigefügten Patentansprüchen und aus der
zeichnerischen Darstellung und nachfolgenden Beschreibung
einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. In der
Zeichnung zeigt:
Fig. 1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen
Vorrichtung und
Fig. 2 ein im Zuge der Positionierung aufgenommenes Bild
von Objekt und Ziel.
Fig. 1 zeigt schematisch den Aufbau einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung zum Durchführen einer
(Mikro-) Präzisionsmontage eines Objekts, insbesondere eines
elektronischen Bauteils, an einem Ziel, etwa an einer
Leiterplatte. Die Vorrichtung ist insgesamt mit dem
Bezugszeichen 2 bezeichnet, das Objekt bzw. Bauteil trägt das
Bezugszeichen 4 und das Ziel das Bezugszeichen 6. Im
dargestellten Fall ist das Ziel 6, beispielsweise eine
Leiterplatte, auf eine flächenhaften Unterlage 8 aufgelegt.
Die Vorrichtung 2 umfaßt eine schematisch dargestellte
Bilderfassungseinrichtung 10, die auf der vom Ziel 6
abgewandten Seite des Objekts 4 angeordnet ist. Ferner umfaßt
die Vorrichtung 2 eine ebenfalls schematisch angedeutete
Handhabungseinrichtung 12 mit einer Greifvorrichtung 14. Bei
der Greifvorrichtung 14 handelt es sich um einen Glasgreifer,
d. h. eine Greifvorrichtung mit einem durchsichtigen Bereich
16 sowie mit nicht dargestellten, das Objekt 4 greifenden
gläsernen Greiferfingern.
Die Bilderfassungseinrichtung 10 ist dabei an der
Handhabungseinrichtung 12 so montiert, dass sie gleichzeitig
sowohl das Objekt 4 als auch das Ziel 6 durch den
durchsichtigen Bereich 16 der Handhabungseinrichtung 12
hindurch erfassen kann. Sie wird auch zusammen mit der
Handhabungseinrichtung 12 verlagert.
Mit dem gepunkteten Rahmen 18 ist ein Tiefenschärfebereich der
Bilderfassungseinrichtung 10 angedeutet.
Zu Beginn des Positioniervorgangs wird das Bauteil 4 mittels
der Handhabungsvorrichtung 12 und deren Glasgreifer 14
gegriffen und über einen nicht dargestellten Roboter oberhalb
des Ziels 6 vorpositioniert.
Es wird nun mittels der Bilderfassungseinrichtung sowohl ein
Bild des Objekts 4 als auch ein Bild des Ziels 6 erfaßt. Man
erkennt in Fig. 2 ein derartiges Bild, wobei das Objekt 4
innerhalb des Tiefenschärfebereichs 18 aufgenomnen ist und
dabei scharf erscheint, während das Bild des außerhalb des
Tiefenschärfebereichs aufgenommenen Ziels 6 unscharf
abgebildet wird. Man erkennt eine kreisringförmige
Positionsmarke 20 auf dem Objekt 4 und dahinter drei
linienförmige Positionsmarken 22 auf dem Ziel 6. Obschon die
linienförmigen Positionsmarken 22 auf dem Ziel unscharf
abgebildet werden, ist es aufgrund der Kenntnis der Geometrie
der Positionsmarken 22 möglich, deren Zentrum und damit deren
exakte Position, den Schwerpunkt der Marken, zu erfassen. Dies
ist in Fig. 2 durch ein Kreuz 24 angedeutet.
Entsprechend der gewonnenen Bilder wird nun mittels einer
Bildverarbeitungseinrichtung die aktuelle Position des Objekts
4 in X- und Y-Richtung sowie des Ziels 6 ebenfalls in X- und
Y-Richtung ermittelt. Es wird dann rechnergesteuert ein
Soll/Ist-Vergleich der Objekt- und Zieldaten durchgeführt und
es wird dementsprechend robotergesteuert die Position der
Handhabungseinrichtung 12 mitsamt der
Bilderfassungseinrichtung 10 in X-Y-Richtung korrigiert.
Währenddessen wird die Handhabungseinrichtung 12 in Z-Richtung
auf das Ziel 6 zu bewegt. Es werden vorzugsweise quasi
kontinuierlich oder in vorbestimmten oder vorbestimmbaren
Zeitintervallen die Bild- bzw. Positionsdaten von Objekt 4 und
Ziel 6 erfasst und ausgewertet und dem erwähnten Soll/Ist-
Vergleich unterworfen, so dass ein geregelter
Zielführungsvorgang ausgeführt wird. In einer letzten Phase
des Positioniervorgangs gelangt das Ziel 6 in den angedeuteten
Tiefenschärfebereich 18 der Bilderfassungseinrichtung 10. Dies
kann über die Bildverarbeitungseinrichtung als Signal dafür
verwendet werden, dass das Objekt 4 sich in einer bestimmten
Nähe (Z-Richtung) zum Ziel 6 befindet. Während der
Positionierung kann die Z-Position des Greifers aber auch
durch optische Verfahren wie Triangulation, Autofokus,
Fotogrammetrie oder Interferometrie bestimmt werden.
Bei der Bildaufnahme kann in vorteilhafter Weise eine CMOS-
Kamera oder eine CCD-Hochgeschwindigkeitskamera eingesetzt
werden, was sich in stark verringerten Bildaufnahmezeiten
positiv auswirkt. Hierdurch wird die Meßzeit und in ihrer
Folge die Taktzeit und die Zeit zur Ausführung der
Positionierung weiter verringert.
Um ein Verschmieren des Kamerabilds durch die Bewegung der
Handhabungseinrichtung 12 zu verhindern, kann eine gepulste
Lichtquelle, wie z. B. eine Blitzlichtlampe, eingesetzt
werden.
Des weiteren kann in vorteilhafter Weise nach der Ausführung
der Positionierung das Bauteil unter Verwendung der
Bilderfassungseinrichtung auf Beschädigungen hin untersucht
werden.
Es wird des weiteren ausdrücklich darauf hingewiesen, dass
sich die Erfindung auch einsetzen läßt bei der Aufnahme des zu
positionierenden Objekts durch die Handhabungseinrichtung.
Wenn das Objekt durch die Handhabungseinrichtung aufgenommen,
insbesondere gegriffen wird, so treten hierbei ebenfalls
Ungenauigkeiten auf, die jedoch bei der Durchführung des
erfindungsgemäßen Verfahrens im Zuge der gemeinsamen Erfassung
von Objekt und Ziel durch die Bilderfassungseinrichtung sich
nicht fehlerhaft auf die Positionierung auswirken, da ja die
tatsächlichen Positionen von Objekt und Ziel direkt erfaßt
werden. Gleichwohl kann die Erfindung aber auch beim Aufnehmen
eines Objekts eingesetzt werden. Solchenfalls würde der
durchsichtige Bereich der Handhabungsvorrichtung eine
Markierung tragen, die dann im Wege des Soll/Ist-Vergleichs
mit einer Markierung des aufzunehmenden Objekts, welches
beispielsweise in einem Magazin vorgehalten werden kann,
verglichen werden kann, um eine optimale Greifposition zu
erreichen.
Claims (7)
1. Verfahren zum Durchführen einer Präzisionspositionierung
eines an einem Ziel (6) zu montierenden oder zu
positionierenden Objekts (4), insbesondere zur Montage von
elektronischen Bauteilen, wobei unter Einsatz einer
Bilderfassungseinrichtung (10) und einer
Bildverarbeitungseinrichtung Positionen des Objekts (4) und
des Ziels (6) ermittelt und verarbeitet werden und das Objekt
(4) mittels einer Handhabungseinrichtung (12) am Ziel (6)
positioniert wird, wobei das Objekt (4) zu Beginn des
Positioniervorgangs in einem Abstand vom Ziel (z-Richtung)
positioniert wird und während des Annäherns des Objekts (4) an
das Ziel (z-Richtung) sowohl das Objekt (4) als auch das Ziel
(6) mittels der Bilderfassungseinrichtung (12) durch einen
durchsichtigen Bereich (16) der Handhabungseinrichtung (12)
hindurch gleichzeitig erfasst werden und unter Ausführung
eines Soll/Ist-Vergleichs der Positionen in x- und y-Richtung
von Objekt (4) und Ziel (6) das Objekt (4) mittels der
Handhabungseinrichtung (12) robotergesteuert zum Ziel (6) geführt wird und
dabei die Handhabungseinrichtung (12) und die
Bilderfassungseinrichtung (10) oder zumindest eine optische
Einrichtung der Bilderfassungseinrichtung (10) gemeinsam
lageverändert werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das
Objekt (4) und das Ziel (6) durch dieselbe Optik der
Bilderfassungseinrichtung (10) erfasst werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
dass die Erfassung des Ziels (6) und/oder des Objekts (4) über
am Ziel (6) oder Objekt (4) vorgesehene Marken (22, 20)
erfolgt.
4. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass die Lage des Tiefenschärfebereichs (18)
der Bilderfassungseinrichtung (10) derart gewählt wird, dass
zu Beginn des Positioniervorgangs das Objekt (4) scharf
abgebildet wird und während einer letzten Phase der Annäherung
von Objekt (4) und Ziel (6) Objekt (4) und Ziel (6) beide
scharf abgebildet werden.
5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder
mehreren der vorstehenden Ansprüche, mit einer
Handhabungseinrichtung (12) zum Positionieren des Objekts (4)
am Ziel (6), mit einer Bilderfassungsvorrichtung (10) und
einer Bildverarbeitungsvorrichtung zum Erfassen und
Verarbeiten von Positionsdaten von Objekt (4) und Ziel (6),
mit einer Steuereinrichtung für die Handhabungseinrichtung
(12), wobei die Handhabungseinrichtung (12) im
Bildaufnahmebereich der Bilderfassungseinrichtung (10)
durchsichtig ausgebildet ist, so dass die momentanen
Positionen von Objekt (4) und Ziel (6) durch diesen
durchsichtigen Bereich (16) hindurch gleichzeitig erfasst
werden können, dadurch gekennzeichnet, dass die
Handhabungseinrichtung (12) und die Bilderfassungseinrichtung
(10) oder zumindest eine optische Einrichtung der
Bilderfassungseinrichtung (10) derart miteinander
montageverbunden sind, dass sie im Zuge der Positionierung
gemeinsam lageveränderbar sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass
die Handhabungseinrichtung (12) eine lageveränderbare
Greifvorrichtung (14) für das Objekt (4) umfasst.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet,
dass die geometrischen Abmessungen des Ziels (6) größer sind
als diejenigen des Objekts (4) und dass die
Bilderfassungseinrichtung (10) auf der vom Ziel (6)
abgewandten Seite des Objekts (4) vorgesehen ist.
Priority Applications (2)
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DE10139596A DE10139596C2 (de) | 2001-08-11 | 2001-08-11 | Verfahren und Vorrichtung zum Postitionieren eines Objekts an einem Ziel |
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Family
ID=7695213
Family Applications (1)
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