DE202013102044U1 - Oberflächenmikrostrukturmessgerät mit Bilderfassung - Google Patents

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CN104019773B (zh) * 2014-06-06 2017-10-13 东莞市瀛通电线有限公司 一种线材表面粗糙度测量方法及实施该方法的设备
EP3228974B1 (de) * 2016-04-06 2022-06-01 Klingelnberg AG Rauheitsmesstaster, vorrichtung mit rauheitsmesstaster und entsprechende verwendung
CN108828267B (zh) * 2018-03-19 2021-05-25 长江存储科技有限责任公司 晶圆翘曲程度测量方法及装置
DE102020108182A1 (de) * 2019-05-07 2020-11-12 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Oberflächenmessgerät
CN110645881A (zh) * 2019-09-30 2020-01-03 卓爱忠 一种长管粗糙度测量用管内壁行走装置及其工作方法
CN113552845B (zh) * 2021-07-29 2022-06-21 重庆博张机电设备有限公司 一种测量控制方法及结片机

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Effective date: 20130711

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