DE202004018733U1 - pump - Google Patents

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Abstract

Pumpe mit einem bestrichenen Pumpenvolumen, einer das bestrichene Pumpenvolumen umgebenden abgedichteten Kammer, einer Leitung zum Zuführen eines Mediums in die Kammer, einem in der Leitung angeordneten Strömungswiderstand zum Begrenzen des Strömungsdurchsatzes des Mediums in die Kammer, und Mitteln zum Bestimmen der Druckdifferenz über dem Strömungswiderstand.pump with a swept pump volume, the swept pump volume surrounding sealed chamber, a conduit for supplying a Medium in the chamber, a flow resistance arranged in the line for limiting the flow rate the medium into the chamber, and means for determining the pressure difference across the Flow resistance.

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Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft eine Pumpe.The The invention relates to a pump.

Es sind Vakuumpumpen bekannt, die in ihren Vakuumkammern ölfrei sind und die daher in sauberen Umgebungen brauchbar sind, wie man sie in der Halbleiterfertigungsindustrie findet. In einer solchen Umgebung könnten, wenn Schmiermittel in der Vakuumkammer vorhanden wären, diese möglicherweise zurück in die Halbleiterprozesskammer wandern und dabei eine Kontaminierung des in der Fertigung befindlichen Produkts verursachen. Solche "trockenen" Vakuumpumpen sind üblicherweise mehrstufige Verdrängerpumpen mit ineinandergreifenden Rotoren in der Vakuumkammer jede Stufe der Pumpe. Die Rotoren können in jeder Kammer den gleichen Profiltyp haben, oder das Profil kann von Kammer zu Kammer wechseln.It Vacuum pumps are known which are oil-free in their vacuum chambers and therefore useful in clean environments, as they are in the semiconductor manufacturing industry. In such an environment could if there were lubricants in the vacuum chamber, these possibly back in the Semiconductor process chamber and thereby a contamination of the cause in the production of product. Such "dry" vacuum pumps are common multi-stage positive displacement pumps with interlocking rotors in the vacuum chamber each stage the pump. The rotors can in each chamber have the same profile type, or the profile can change from chamber to chamber.

Bei Pumpen der Roots-, Schrauben- oder Northey- bzw. Klauenbauart ist jede Kammer typischerweise durch zwei getrennt gefertigte Statorkomponenten der Pumpe gebildet, wobei Rotorkomponenten der Pumpe in dem zwischen den Statorkomponenten gebildeten Hohlraum angeordnet sind. Es ist notwendig, eine Dichtung zwischen den Statorkomponenten vorzusehen, um eine Leckage von gepumpten Prozessgas aus dem Hohlraum zu vermeiden sowie auch den Eintritt von Umgebungsluft in den Hohlraum zu vermeiden. Typischerweise ist eine O-Ringdichtung vorgesehen, um diese Dichtfunktion wahrzunehmen. Solche Dichtungen bestehen typischerweise aus Fluorelastomeren wie beispielsweise Viton.at Roots, screw or Northey or claw type pumps each chamber typically by two separately manufactured stator components formed of the pump, wherein rotor components of the pump in the between The cavity formed stator are arranged. It is necessary to provide a seal between the stator components, to prevent leakage of pumped process gas from the cavity as well as to avoid the entry of ambient air into the cavity. Typically, an O-ring seal is provided to perform this sealing function. Such seals typically consist of fluoroelastomers such as for example, Viton.

Trockene Vakuumpumpen werden häufig in Anwendungen eingesetzt, wo sie beträchtliche Mengen korrosiver Medien, insbesondere Halogengase und Lösungsmittel, pumpen müssen. Solche Materialien greifen O-Ringdichtungen an, mit dem Ergebnis, daß diese Dichtungen übermäßig weich oder sehr brüchig werden, was die Integrität der Dichtung zwischen den Statorkomponenten übel beeinträchtigen kann.dry Vacuum pumps become common used in applications where they produce significant amounts of corrosive Media, in particular halogen gases and solvents must pump. Such Materials attack O-ring seals, with the result that these Seals overly soft or very brittle be what integrity The seal between the stator components can affect bad.

Die Intensität des Angriffs auf die Dichtung hängt von einer Reihe von Variablen ab, einschließlich beispielsweise der Art des gepumpten Mediums, dem Material, aus welchem die O-Ringdichtung gebildet ist, und die Temperatur der Pumpe. Im Hinblick darauf ist es sehr schwierig, das richtige Intervall zum Ersatz der Dichtungen und daher zur Aufrechterhaltung der Pumpenintegrität vorauszusagen. Eine externe Inspektion der Dichtungen ist selten praktikabel.The intensity the attack on the seal hangs from a number of variables, including, for example, the species of the pumped medium, the material from which the o-ring seal is formed, and the temperature of the pump. In view of this is It is very difficult to find the right interval to replace the seals and therefore predict the maintenance of pump integrity. External inspection of the seals is rarely practicable.

Diese Probleme sind besonders akut, wenn reaktive Gase wie beispielsweise Fluor aus Halbleiterprozessanlagen gepumpt werden, wo die Gaszusammensetzungen sich durch Reaktionen in der Anlage ändern. Hier erlaubt selbst eine präzise Kenntnis hinsichtlich der zur Prozesskammer zugeführten Gasströme nur eine sehr schwache Voraussage der Menge oder Art des reaktiven Gases, das in die Pumpe eintritt, und daher der voraussichtlichen Standzeit der Dichtung. Die empfohlene Wartung umfasst oftmals häufige Leckprüfungen der Dichtung, jedoch ist dies teuer, unzweckmäßig auszuführen und wird deshalb manchmal einfach weggelassen.These Problems are particularly acute when reactive gases such as Fluorine is pumped out of semiconductor process equipment where the gas compositions to change by reactions in the plant. Here allowed itself a precise one Knowledge of the supplied to the process chamber gas flows only one very weak prediction of the amount or type of reactive gas, entering the pump, and therefore the expected service life of Poetry. The recommended maintenance often includes frequent leak tests of the Seal, however, this is expensive, impractical to perform and therefore sometimes just omitted.

Im Prinzip könnten andere Fühlerarten eingesetzt werden, um die Messung des integrierten Aussetzungsgrads der Dichtungen und folglich des Zustands der Dichtungen zu versuchen. Beispielsweise könnte eine spektroskopische oder chemische Technik angewendet werden, um die Gaszusammensetzung zu messen. Jedoch würden solche Techniken komplexe Eichverfahren erfordern und wären daher kostspielig in der Umsetzung.in the Principle could other types of sensors used to measure the integrated exposure level to try the seals and thus the condition of the seals. For example, could a spectroscopic or chemical technique can be applied to measure the gas composition. However, such techniques would be complex Require and would require calibration procedures therefore costly in the implementation.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese und weitere Probleme zu lösen.Of the present invention is based on the object, these and others To solve problems.

Die vorliegende Erfindung umfasst eine Pumpe mit einem gestrichenen Pumpenvolumen, einer abgedichteten Kammer, die das bestrittene Volumen umschließt, einer Leitung zum Zuführen von Medium in die Kammer, die einen Strömungswiderstand zur Begrenzung des Strömungsdurchsatzes des Mediums in die Kammer enthält, und Mittel zur Bestimmung einer Druckdifferenz über dem Strömungswiderstand.The The present invention includes a pump with a painted one Pump volume, a sealed chamber containing the denested volume encloses a conduit for feeding from medium into the chamber, which limits flow resistance the flow rate contains the medium in the chamber, and means for determining a pressure difference across the flow resistance.

Bevorzugte Merkmale der Erfindung werden nun lediglich beispielshalber unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen zeigt:preferred Features of the invention will now be given by way of example only With reference to the accompanying drawings, in which:

1 eine Frontansicht einer Statorkomponente mit einer Dichtungsanordnung, 1 a front view of a stator with a seal assembly,

2 eine Seitenansicht der Dichtungsanordnung in 1, 2 a side view of the seal assembly in 1 .

3 eine Einrichtung zur Überwachung der Integrität der Dichtungsanordnung, und 3 a device for monitoring the integrity of the sealing arrangement, and

4 eine die Veränderung des Drucks eines Gases innerhalb der Dichtungsanordnung mit der Zeit anzeigende Grafik. 4 a graph indicating the change in the pressure of a gas within the seal assembly over time.

1 zeigt die Oberfläche 3 einer Statorkomponente 1 einer Auslassstufe einer trockenen Pumpe. Eine Gegenfläche einer zweiten Statorkomponente (nicht dargestellt) wird mit der entsprechenden Oberfläche 3 der Statorkomponente 1 in Berührung gebracht, und zwischen den benachbarten Statorkomponenten wird ein Hohlraum 2 gebildet. Dieser Hohlraum 2 dient zur Aufnahme der Rotorkomponente (nicht dargestellt) der Pumpe, wenn die Pumpe zusammengebaut wird, und wird im allgemeinen als das bestrichene Pumpenvolumen bezeichnet. Eine trockene Pumpe umfasst typischerweise mehrere solcher Hohlräume, wobei jeder Hohlraum 2 mit einem benachbarten Hohlraum durch einen Durchlaß 4 in Verbindung steht. 1 shows the surface 3 a stator component 1 an outlet stage of a dry pump. A mating surface of a second stator component (not shown) becomes the corresponding surface 3 the stator component 1 brought into contact, and between the adjacent stator components is a cavity 2 educated. This cavity 2 serves to accommodate the rotor components (not shown) of the pump when the pump is assembled, and is generally referred to as the swept pump volume. A dry pump typically includes a plurality of such cavities, each cavity 2 with an adjacent cavity through a passage 4 communicates.

Eine erste O-Ringdichtung 5 ist um die Peripherie des Hohlraums 2 herum angeordnet. Diese O-Ringdichtung 5 ist vorzugsweise aus einem fluorelastomerischen Material hergestellt, beispielsweise aus Viton, und bildet eine strömungsmitteldichte Dichtung zwischen den benachbarten Statorkomponenten, so daß im Betrieb der Pumpe durch den Hohlraum 2 gepumpte Prozeß- oder Reinigungsgase an einem Auslecken aus dem Hohlraum 2 gehin dert werden und Umgebungsluft an einem Eintritt in den Hohlraum 2 gehindert wird. Jedoch können solche Gase, wie vorstehend schon erörtert, insbesondere aggressiv sein und leicht eine Beschädigung vieler Teile der Pumpe verursachen. Typischerweise ist die O-Ringdichtung 5 die erste Komponente, die unter solchen Umständen schadhaft wird. Im Hinblick darauf ist eine zweite O-Ringdichtung 6, die ähnlich der ersten O-Ringdichtung 5 ist, zwischen der ersten O-Ringdichtung 5 und der Peripherie des Hohlraums 2 vorgesehen. Die O-Ringdichtungen 5, 6 sind durch einen flachen Kanal bzw. eine Nut 7 voneinander getrennt, die zwischen Nuten 8, 8a gebildet ist, die zum Positionieren der O-Ringdichtungen 5, 6 zwischen den benachbarten Statorkomponenten vorgesehen sind, wobei diese Nuten in 2 dargestellt sind. Der Kanal 7 ermöglicht das Einschließen einer kleinen Menge eines Mediums, beispielsweise eines Gases wie Stickstoff, zwischen den beiden benachbarten Statorkomponenten und den O-Ringdichtungen 5, 6, die zusammen eine abgedichtete Kammer für das Gas bilden. Das Gas tritt in den Kanal 7 durch eine Öffnung 7a aus einem Gasbehälter, der in 3 mit 16 bezeichnet ist, durch eine Leitung 9 ein.A first O-ring seal 5 is around the periphery of the cavity 2 arranged around. This O-ring seal 5 is preferably made of a fluoroelastomeric material, such as Viton, and forms a fluid-tight seal between the adjacent stator components such that during operation of the pump through the cavity 2 pumped process or cleaning gases at a leaching from the cavity 2 be walked and ambient air at an entrance into the cavity 2 is prevented. However, as discussed above, such gases may be particularly aggressive and easily cause damage to many parts of the pump. Typically, the O-ring seal 5 the first component that gets damaged under such circumstances. In view of this is a second O-ring seal 6 similar to the first O-ring seal 5 is between the first o-ring seal 5 and the periphery of the cavity 2 intended. The O-ring seals 5 . 6 are through a shallow channel or a groove 7 separated from each other, between grooves 8th . 8a is formed, which is used to position the O-ring seals 5 . 6 are provided between the adjacent stator components, these grooves in 2 are shown. The channel 7 allows the inclusion of a small amount of a medium, for example a gas such as nitrogen, between the two adjacent stator components and the O-ring seals 5 . 6 , which together form a sealed chamber for the gas. The gas enters the channel 7 through an opening 7a from a gas container, in 3 With 16 is designated by a line 9 one.

Wie in 3 gezeigt ist, enthält die Leitung 9 einen Strömungswiderstand (10) und ein Einwegeventil 11. Zwei Druckwandler 12, 13 sind in Strömungsverbindung mit den jeweiligen Enden des Strömungswiderstands 10 vorgesehen.As in 3 shown contains the line 9 a flow resistance ( 10 ) and a one-way valve 11 , Two pressure transducers 12 . 13 are in fluid communication with the respective ends of the flow resistance 10 intended.

Der Strömungswiderstand 10 kann aus schwach porösem gesintertem Material gebildet sein, der eine Gasströmung so hemmt, daß, wenn der Strömungswiderstand 10 in der Leitung 9 angeordnet ist, eher als eine Sperre wirkt, die nur eine Spur von Gas hindurchtreten läßt. Der Sttrömungswiderstand 10 könnte alternativ durch ein feines Dosierventil oder durch Herstellen einer feinen Kapillaröffnung durch massives Material gebildet sein.The flow resistance 10 may be formed of weakly porous sintered material which inhibits gas flow so that when the flow resistance 10 in the pipe 9 is arranged, rather acts as a barrier that allows only a trace of gas pass. The flow resistance 10 Alternatively, it could be formed by a fine metering valve or by making a fine capillary opening through solid material.

Das Einwegventil 11 verhindert eine Kontaminierung des Versorgungsbehälters in dem Fall, daß der Druck in der Pumpe über denjenigen der Gaszufuhr ansteigt. Das Ventil 11 dient auch zum Minimieren von Schwankungen des Drucks in der Leitung 9 stromab des Ventils 11 in dem Fall, daß die Gaszufuhr zeitweilig unterbrochen oder sonst beeinträchtigt wird.The one-way valve 11 prevents contamination of the supply container in the event that the pressure in the pump increases above that of the gas supply. The valve 11 also serves to minimize fluctuations in the pressure in the line 9 downstream of the valve 11 in the case that the gas supply is temporarily interrupted or otherwise impaired.

Die Druckwandler 12, 13 messen den Druck P2 bzw. P1 in der Leitung 9 auf beiden Seiten des Strömungswiderstands 10 und führen den gemessenen Druck darstellende Signale einem Regler 14 zu.The pressure transducers 12 . 13 measure the pressure P2 or P1 in the line 9 on both sides of the flow resistance 10 and pass the measured pressure signals to a controller 14 to.

Die Gaszufuhr zur Leitung 9 wird durch einen Gasmodul 15 geregelt. In dieser Anordnung ist der Gasmodul 15 ein aktiver Verteiler, der die Zufuhr von Gas aus dem Behälter in die Leitung 9 reguliert. Der Gasmodul 15 ist so konfiguriert, daß er ein Signal zum Regler 14 sendet, das eine oder mehrere Parameter wie beispielsweise Strömungsdurchsatz und Druck des in die Leitung 9 zugeführten Gases anzeigt. Ein solcher Gasmodul kann zum Verteilen von Gas an verschiedene Stellen innerhalb der Pumpe dienen, beispielsweise wo das Gas als Spülgas zum Herausspülen von Verunreinigungen aus der Pumpe verwendet werden soll.The gas supply to the line 9 is through a gas module 15 regulated. In this arrangement, the gas module 15 an active manifold that controls the supply of gas from the container into the pipe 9 regulated. The gas module 15 is configured to send a signal to the controller 14 sends one or more parameters such as flow rate and pressure of the pipe into the pipe 9 indicates supplied gas. Such a gas module may serve to distribute gas to various locations within the pump, for example, where the gas is to be used as purge gas for purging impurities from the pump.

Im Betrieb wird druckbeaufschlagtes Gas (typischerweise mit etwa 6 Psi) entlang der Leitung 9 durch den Strömungswiderstand 10 und in den Kanal 7 geleitet, bis ein Druckgleichgewicht zwischen dem Gas stromab des Strömungswiderstands 10 und dem Gas stromauf des Strömungswiderstands 10 hergestellt ist. Aufgrund der Anwesenheit von Druckbeaufschlagtem Gas in dem Kanal 7 stromab des Strömungswiderstands 10 während des Betriebs der Pumpe wird eine beträchtliche Druckdifferenz über der zweiten O-Ringdichtung 6 erzeugt, da das gepumpte Gas im Hohlraum 2 (dem bestrichenen Pumpenvolumen) sich auf unteratmosphärischem Druck (typischerweise 800 mbar) befindet, wenn die Pumpe sich unter normalen Betriebsbedingungen im stationären Zustand befindet. In diesem Zustand sind, wenn die zweite O-Ringdichtung 6 neu ist und keine Deffekte hat, die Signalausgänge aus den Druckwandlern 12, 13 etwa gleich und schwanken nicht. In dem Fall jedoch, daß die zweite O-Ringdichtung 6 durch das gepumpte Gas soweit beschädigt worden ist, daß die Integrität der zweiten O-Ringdichtung 6 beeinträchtigt ist, kann aufgrund der Existenz eines relativ höheren Drucks des Gases im Kanal 7 und eines relativ niedrigeren Drucks des Gases im Hohlraum 2 druckbeaufschlagtes Gas aus dem Kanal 7 in den Hohlraum 2 auszulecken. Wegen des Vorhandenseins des Strömungswiderstands 10 in der Leitung 9 beginnt der Druck P2, der vom Druckwandler 12 gemessen wird, nun abzufallen, wie in 4 gezeigt ist, während der vom Druckwandler 13 gemessene Druck P1 auf dem Zufuhrdruck verbleibt. Die Differenz der Drücke P1 und P2 deutet daher auf ein Auslecken von Gas in den Hohlraum 2 hin, und dies widerum deutet auf eine Schadhaftigkeit der zweiten O-Ringdichtung 6 hin. Dies setzt den Regler 14, der die Signalausgänge von den Druckwandlern 12, 13 empfängt, in die Lage, einen Alarm abzugeben, beispielsweise über eine Anzeige, der die Schadhaftigkeit der zweiten O-Ringdichtung 6 anzeigt, wenn die Druckdifferenz einen vorgegebenen Wert übersteigt.In operation, pressurized gas (typically at about 6 psi) is passed along the line 9 through the flow resistance 10 and in the channel 7 passed until a pressure equilibrium between the gas downstream of the flow resistance 10 and the gas upstream of the flow resistance 10 is made. Due to the presence of pressurized gas in the channel 7 downstream of the flow resistance 10 During operation of the pump will be a considerable pressure difference across the second O-ring seal 6 generated because the pumped gas in the cavity 2 (the swept pump volume) is at subatmospheric pressure (typically 800 mbar) when the pump is stationary under normal operating conditions. In this condition are when the second O-ring seal 6 is new and has no defects, the signal outputs from the pressure transducers 12 . 13 about the same and do not waver. In the case, however, that the second O-ring seal 6 has been damaged by the pumped gas so far that the integrity of the second O-ring seal 6 may be impaired due to the existence of a relatively higher pressure of the gas in the channel 7 and a relatively lower pressure of the gas in the cavity 2 pressurized gas from the duct 7 in the cavity 2 lick. Because of the presence of flow resistance 10 in the pipe 9 begins the pressure P2, that of the pressure transducer 12 is measured, now drop off, as in 4 is shown while that of the pressure transducer 13 measured pressure P1 remains on the supply pressure. The difference of the pressures P1 and P2 therefore indicates a leakage of gas into the cavity 2 out, and this This in turn indicates a defectiveness of the second O-ring seal 6 out. This sets the controller 14 that removes the signal outputs from the pressure transducers 12 . 13 receives an alarm, for example via a display indicating the defectiveness of the second O-ring seal 6 indicates when the pressure difference exceeds a predetermined value.

Die oben beschriebene Einrichtung kann daher eine zuverlässige Anzeige eines kritischen Zustands innerhalb einer Pumpe liefern. Eine solche Anzeige kann die Verlängerung von Wartungsintervallen und die Reduzierung von Betriebskosten ohne innere Untersuchung der Pumpe ermöglichen. Da die Vorhersagbarkeit einer Verschlechterung dieser kritischen Komponenten, nämlich der Dichtungen, dadurch stark verbessert werden kann, ist die Wahrscheinlichkeit möglicherweise gefährlicher Lecks verringert.The The device described above can therefore provide a reliable indication of a critical condition within a pump. Such an ad can the extension of maintenance intervals and the reduction of operating costs without internal Allow examination of the pump. Because the predictability of a deterioration of this critical Components, namely The gaskets, which can be greatly improved, is the probability possibly dangerous Leakage reduced.

Die Erfindung kann also dahingehend zusammengefasst werden, daß eine Leitung eine Gasströmung in eine abgeschlossene Kammer zuführt, die das gestrichene Volumen einer Pumpe umschließt. Die Leitung enthält einen Strömungswiderstand zur Begrenzung des Strömungsdurchsatzes des Gases in die abgeschlossene Kammer. Ausgangssignale von Druckwandlern auf beiden Seiten des Strömungswiderstands dienen zum Nachweis einer Leckage von Gas aus der abgedichteten Kammer in das bestrichene Pumpenvolumen, was den Zustand der das bestrichene Pumpenvolumen umgebenden Dichtung anzeigt.The Thus, the invention can be summarized to the effect that a line a gas flow in a closed chamber that supplies the painted volume encloses a pump. The line contains a flow resistance for limiting the flow rate of the Gas in the closed chamber. Output signals from pressure transducers on both sides of the flow resistance serve to detect leakage of gas from the sealed Chamber in the swept pump volume, reflecting the state of the indicates coated pump volume surrounding gasket.

Claims (12)

Pumpe mit einem bestrichenen Pumpenvolumen, einer das bestrichene Pumpenvolumen umgebenden abgedichteten Kammer, einer Leitung zum Zuführen eines Mediums in die Kammer, einem in der Leitung angeordneten Strömungswiderstand zum Begrenzen des Strömungsdurchsatzes des Mediums in die Kammer, und Mitteln zum Bestimmen der Druckdifferenz über dem Strömungswiderstand.Pump with a swept pump volume, one the sealed chamber surrounding sealed chamber, a Wire for feeding a medium in the chamber, a flow resistance arranged in the conduit for limiting the flow rate the medium into the chamber, and means for determining the pressure difference across the Flow resistance. Pumpe nach Anspruch 1, wobei der Strömungswiderstand durch eine Drossel innerhalb der Leitung gebildet ist.Pump according to claim 1, wherein the flow resistance is formed by a throttle within the conduit. Pumpe nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Strömungsdurchsatz des Mediums über dem Strömungswiderstand derart ist, daß Druckschwankungen des Mediums auf einer Seite des Strömungswiderstands nicht schnell auf das Medium auf der anderen Seite des Strömungswiderstands übertragen werden kann.Pump according to claim 1 or 2, wherein the flow rate of the medium over the flow resistance such is that pressure fluctuations the medium on one side of the flow resistance is not fast be transferred to the medium on the other side of the flow resistance can. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Strömungswiderstand durch ein poröses gesintertes Material oder eine in einer nicht porösen Sperre gebildeten Kapillare oder ein Ventil gebildet ist.Pump according to one of claims 1 to 3, wherein the flow resistance through a porous sintered material or one in a non-porous barrier formed capillary or a valve is formed. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Mittel zum Bestimmen der Druckdifferenz mindestens einen Druckwandler umfassen.Pump according to one of claims 1 to 4, wherein the means for determining the pressure difference comprise at least one pressure transducer. Pumpe nach Anspruch 5, wobei die Mittel zum Bestimmen der Druckdifferenz einen ersten Druckwandler, der ein den Druck des Mediums in der Leitung stromauf des Strömungswiderstands anzeigendes Ausgangssignal erzeugt, und einen zweiten Druckwandler aufweist, der ein den Druck des Mediums in der Leitung stromab des Strömungswiderstands anzeigendes Ausgangssignal erzeugt.A pump according to claim 5, wherein the means for determining the pressure difference a first pressure transducer, the one the pressure of the medium in the line indicating upstream of the flow resistance Generated output signal, and having a second pressure transducer, the one the pressure of the medium in the line downstream of the flow resistance indicating output signal. Pumpe nach Anspruch 6, mit einem Regler zum Empfangen der Signale des ersten Druckwandlers und des zweiten Druckwandlers und zum Erzeugen eines Alarmsignals in Abhängigkeit von der von den Signalen angezeigten Differenz der Drücke des Mediums.A pump according to claim 6, including a regulator for receiving the signals of the first pressure transducer and the second pressure transducer and generating an alarm signal in response to the signal displayed difference of pressures of the medium. Pumpe nach Anspruch 7, wobei das Alarmsignal erzeugt wird, wenn die Druckdifferenz über dem Strömungswiderstand einen vorgegebenen Grenzwert übersteigt.A pump according to claim 7, wherein the alarm signal is generated is when the pressure difference over the flow resistance exceeds a predetermined limit. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Leitung mit einem Behälter zur Zufuhr von Medium in die Leitung verbunden ist.Pump according to one of claims 1 to 8, wherein the conduit with a container connected to the supply of medium in the line. Pumpe nach Anspruch 9, wobei der Behälter so konfiguriert ist, daß er außerdem ein Spülgas zu mindestens einer Stelle der Pumpe zuführt.A pump according to claim 9, wherein the container is so is configured that he Furthermore a purge gas feeds to at least one point of the pump. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei die abgedichtete Kammer teilweise durch zwei O-Ringdichtungen begrenzt ist.Pump according to one of claims 1 to 10, wherein the sealed Chamber is partially bounded by two O-ring seals. Pumpe nach Anspruch 11, wobei die O-Ringdichtungen aus einem elastomerischen Material gebildet sind.A pump according to claim 11, wherein the O-ring seals are formed of an elastomeric material.
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