DE202004007140U1 - Temperaturmessvorrichtung - Google Patents

Temperaturmessvorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE202004007140U1
DE202004007140U1 DE202004007140U DE202004007140U DE202004007140U1 DE 202004007140 U1 DE202004007140 U1 DE 202004007140U1 DE 202004007140 U DE202004007140 U DE 202004007140U DE 202004007140 U DE202004007140 U DE 202004007140U DE 202004007140 U1 DE202004007140 U1 DE 202004007140U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring device
temperature measuring
optical
detector
heat radiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE202004007140U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Raytek GmbH
Original Assignee
Raytek GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Raytek GmbH filed Critical Raytek GmbH
Priority to DE202004007140U priority Critical patent/DE202004007140U1/de
Publication of DE202004007140U1 publication Critical patent/DE202004007140U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0801Means for wavelength selection or discrimination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0801Means for wavelength selection or discrimination
    • G01J5/0802Optical filters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0803Arrangements for time-dependent attenuation of radiation signals
    • G01J5/0804Shutters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0803Arrangements for time-dependent attenuation of radiation signals
    • G01J5/0805Means for chopping radiation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0806Focusing or collimating elements, e.g. lenses or concave mirrors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0856Slit arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/60Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature
    • G01J5/602Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature using selective, monochromatic or bandpass filtering
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/04Slit arrangements slit adjustment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

Temperaturmessvorrichtung (1) zur berührungslosen Messung der Temperatur eines Objektes, mit:
einer Optik (3) zur Abbildung von Wärmestrahlung (W) des Objektes auf eine erste Brennebene;
einem im Bereich der ersten Brennebene angeordneten Halter (5) zur Halterung einer Vorrichtung zur Beeinflussung der optischen und/oder spektralen Auflösung der Temperaturmessvorrichtung (1);
einer im weiteren Verlauf des Strahlenganges der Wärmestrahlung (W) angeordneten optischen Abbildungsvorrichtung zum Abbilden der Wärmestrahlung (W) auf eine zweite Brennebene; und
einem im Bereich der zweiten Brennebene angeordneten Detektor (11) zur Detektion der Wärmestrahlung (W).

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Temperaturmessvorrichtung zur berührungslosen Messung der Temperatur eines Objektes.
  • Bei der berührungslosen Messung der Temperatur eines Objektes wird die von dem Objekt abgestrahlte Wärmestrahlung durch einen Detektor erfasst und in ein elektrisches Signal umgewandelt.
  • Bekannte Messvorrichtungen umfassen eine Optik, mittels derer die in die Vorrichtung einfallende Wärmestrahlung auf einen Brennpunkt abgebildet wird. In bzw. möglichst nahe zu dem Brennpunkt sind eine Blende, ein Filter und der Detektor angeordnet. Die Nähe zum Brennpunkt insbesondere des Detektors ist nötig, um möglichst kleine Bauteile verwenden und die Abmessungen der Messvorrichtung reduzieren zu können. Aus diesem Grund sind Blende, Filter und Detektor in herkömmlichen Vorrichtungen zumeist miteinander verklebt und bilden eine bauliche Einheit.
  • Nachteilig an solchen herkömmlichen Messvorrichtungen ist, dass für jede gewünschte spektrale oder optische Auflösung der Vorrichtung die gesamte bauliche Einheit samt Detektor ausgetauscht werden muss. Mit anderen Worten erfordert die Verwendung einer anderen Blende (zur Anpassung der optischen Auflösung) oder eines anderen Filters (zur Anpassung der spektralen Auflösung) immer auch einen Austausch des Detektors.
  • Die vorliegende Erfindung hat zur Aufgabe, sich dieser Problematik anzunehmen. Insbesondere soll eine Temperaturmessvorrichtung zur berührungslosen Messung der Temperatur eines Objektes geschaffen werden, die eine Anpassung der spektralen oder optischen Auflösung ermöglicht, ohne gleichzeitig den Austausch des Detektors zu erfordern.
  • Diese Aufgabe wird durch die in den unabhängigen Ansprüchen angegebene Erfindung gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
  • Erfindungsgemäß ist eine Temperaturmessvorrichtung zur berührungslosen Messung der Temperatur eines Objektes geschaffen, mit: einer Optik zur Abbildung von Wärmestrahlung des Objektes auf eine erste Brennebene; einem im Bereich der ersten Brennebene angeordneten Halter zur Halterung einer Vorrichtung zur Beeinflussung der optischen und/oder spektralen Auflösung der Temperaturmessvorrichtung; einer im weiteren Verlauf des Strahlenganges der Wärmestrahlung angeordneten optischen Abbildungsvorrichtung zum Abbilden der Wärmestrahlung auf eine zweite Brennebene; und einem im Bereich der zweiten Brennebene angeordneten Detektor zur Detektion der Wärmestrahlung.
  • Durch die Schaffung von zwei Brennebenen sind die Anordnung der Vorrichtung zur Beeinflussung der optischen und/oder spektralen Auflösung einerseits und des Detektors andererseits räumlich voneinander entkoppelt. Dadurch können diese in der Temperaturmessvorrichtung separat (und nicht als bauliche Einheit) und dennoch in der (ersten bzw. zweiten) Brennebene liegend angeordnet werden. Dadurch können die Dimensionen der einzelnen Bauteile reduziert werden. Außerdem kann ein separater Austausch einzelner Bauteile vorgenommen werden, beispielsweise um die spektrale oder optische Auflösung der Messvorrichtung anzupassen.
  • Die in der ersten Brennebene angeordnete Halterung für die Vorrichtung zur Beeinflussung der optischen und/oder spektralen Auflösung ermöglicht dabei eine besonders einfach vorzunehmende Anpassung der optischen und/oder spektralen Auflösung. In einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Halterung mit einer Handhabe zum Lösen und Befestigen der entsprechenden Bauteile ausgestattet.
  • Die Vorrichtung zur Beeinflussung der optischen und/oder spektralen Auflösung der Messvorrichtung ist insbesondere durch eine Blende bzw. einen Filter gebildet.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltung kann die Halterung mehrere Blenden bzw. Filter aufnehmen, wobei ein Verstellmechanismus vorgesehen ist, durch den eine beliebige Blende bzw. ein beliebiger Filter in den Strahlengang der Wärmestrahlung eingeführt werden kann. Dabei wird sich der Umstand zu Nutze gemacht, dass wegen der beiden Brennebenen (im Gegensatz zu nur einer Brennebene) mehr Raum für Bauelemente vorhanden ist, die möglichst nahe oder in der Brennebene angeordnet sein sollten. Mit anderen Worten ermöglichen die beiden Brennebenen die Anordnung eines Blenden- oder Filterwechslers, was bei nur einer Brennebene aus Platzgründen bzw. des Erfordernisses einer Anordnung des Detektors möglichst in der Brennebene nicht oder nur schwierig möglich wäre.
  • In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist im Bereich der ersten Brennebene eine durch einen Antrieb rotierbare Schlitzscheibe zur Modulation der Intensität der Wärmestrahlung angeordnet. Eine solche sich rotierende Schlitzscheibe wird eingesetzt, um den Strahlengang der Wärmestrahlung periodisch zu unterbrechen, z.B. wenn ein Detektor verwendet wird, der Änderungen der Intensität der Wärmestrahlung detektiert (Wechsellichtdetektor). Da der Detektor und die Schlitzscheibe unterschiedlichen Brennebenen zugeordnet sind, kann deren Anordnung unabhängig voneinander in oder nahe der jeweiligen Brennebene erfolgen. Mit anderen Worten erfordert die zusätzliche Anordnung der Schlitzscheibe keine Anpassung der Anordnung des Detektors. Sowohl die Schlitzscheibe als auch der Detektor können damit in oder nahe der jeweiligen Brennebenen angeordnet werden, so dass deren Abmessungen gering gehalten werden können.
  • Vorzugsweise ist die optische Abbildungsvorrichtung durch einen konkaven Hohlspiegel gebildet.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltung schließen die optische Achse der Optik und die optische Achse der optischen Abbildungsvorrichtung einen Winkel ein, der kleiner ist als 45°. Dies bedeutet, dass der Strahlengang der Wärmestrahlung innerhalb der Messvorrichtung durch die Abbildungsvorrichtung quasi in die umgekehrte Richtung umgelenkt wird. Dadurch können die Dimensionen der Messvorrichtung gering gehalten werden.
  • Die Messvorrichtung weist weiterhin vorzugsweise ein zylindrisches Gehäuse auf, in welchem die einzelnen Elemente der Messvorrichtung angeordnet sind.
  • Erfindungsgemäß ist außerdem eine Temperaturmessvorrichtung zur berührungslosen Messung der Temperatur eines Objektes geschaffen, mit: einer Optik zur Abbildung von durch das Objekt abgestrahlter Wärmestrahlung auf einen ersten Brennpunkt; einer Blende und/oder einem Filter, die im oder nahe des ersten Brennpunktes angeordnet sind; einer bezüglich des ersten Brennpunktes im weiteren Verlauf des Strahlenganges der Wärmestrahlung angeordneten optischen Abbildungsvorrichtung zum Abbilden der Wärmestrahlung auf einen zweiten Brennpunkt; und einem Detektor zur Umwandlung empfangener Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal, wobei der Detektor im oder nahe des zweiten Brennpunktes angeordnet ist.
  • Eine beispielhafte Ausführung der Erfindung wird nun anhand der schematischen Zeichnung erläutert. 1 zeigt einen Querschnitt durch eine kontaktlose Temperaturmessvorrichtung 1 nach einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die Temperaturmessvorrichtung umfasst ein Gehäuse 2, an deren einen Ende eine Optik 3 angeordnet ist, durch welche einfallende Wärmestrahlung W in einen ersten Brennpunkt 4 fokussiert wird. Entlang des Strahlenganges der Wärmstrahlung W ist auf Höhe des Brennpunktes 4 eine Halterung 5 angeordnet. Die Halterung 5 dient zur Aufnahme einer Blende 6 und eines Filters 7. Die Blende 6 und der Filter 7 legen die optische bzw. spektrale Auflösung der Temperaturmessvorrichtung entsprechend der Messanforderungen fest.
  • Des weiteren umfasst die Temperaturmessvorrichtung gemäß der illustrierten Ausgestaltung eine Schlitzscheibe 8, die durch einen Motor 9 angetrieben und gedreht wird. Die rotierende Schlitzscheibe 8 unterbricht den Strahlengang der Wärmestrahlung W periodisch und ermöglicht so den Einsatz eines Detektors, der Änderungen der Intensität der Wärmestrahlung W detektiert.
  • In der illustrierten Ausgestaltung ist die Blende 6 bezüglich des Strahlenganges der Wärmestrahlung W auf Höhe des ersten Brennpunktes 4 angeordnet, während der Filter 7 und die Schlitzscheibe 8 dahinter, aber immer noch in der Nähe des Brennpunktes 4 liegen. Selbstverständlich sind alternative Anordnungen möglich, z.B. eine Anordnung des Filters 7 im ersten Brennpunkt 4, und der Blende 6 und der Schlitzscheibe 8 kurz davor bzw. dahinter.
  • Aus 1 ist erkennbar, dass eine Anordnung eines Detektors in der Nähe des ersten Brennpunktes 4 aus Platzgründen nur dann möglich wäre, wenn die Blende 6, der Filter 7 und die Schlitzscheibe 8 in Richtung des Strahlenganges der Wärmestrahlung W dicht beieinander angeordnet würden, wobei selbst dann der Detektor immer noch relativ weit vom Brennpunkt entfernt wäre. Gemäß der illustrierten Ausgestaltung der Erfindung entfällt diese Restriktion, da der Detektor einem anderen, zweiten Brennpunkt zugeordnet ist, wie nachfolgend beschrieben.
  • Im bezüglich des ersten Brennpunktes 4 weiteren Verlauf des Strahlenganges ist ein konkaver Hohlspiegel 10 angeordnet, durch welchen die Wärmestrahlung W in Richtung zu einem Detektor 11 umgelenkt und in einen zweiten Brennpunkt 12 fokussiert wird, in dessen Bereich der Detektor 11 angeordnet ist. Der Hohlspiegel 10 leitet die eintreffende Wärmestrahlung W somit quasi in die entgegengesetzte Richtung um, so dass der Detektor 11 nahe der Längsachse des Gehäuses 2 angeordnet werden kann und dessen Abmessungen begrenzt sind.
  • Der Detektor 11 wandelt die empfangene Wärmestrahlung W in eine elektrische Spannung um, die durch eine nachfolgende an den Detektor 11 angeschlossene Verarbeitungseinrichtung 13 für eine anschließende Signalausgabe weiterverarbeitet wird.
  • Anzumerken ist dass das beschriebene Ausführungsbeispiel lediglich beispielhafter Natur ist und die Erfindung Abwandlungen innerhalb des durch die Ansprüche definierten Schutzbereiches umfasst.

Claims (10)

  1. Temperaturmessvorrichtung (1) zur berührungslosen Messung der Temperatur eines Objektes, mit: einer Optik (3) zur Abbildung von Wärmestrahlung (W) des Objektes auf eine erste Brennebene; einem im Bereich der ersten Brennebene angeordneten Halter (5) zur Halterung einer Vorrichtung zur Beeinflussung der optischen und/oder spektralen Auflösung der Temperaturmessvorrichtung (1); einer im weiteren Verlauf des Strahlenganges der Wärmestrahlung (W) angeordneten optischen Abbildungsvorrichtung zum Abbilden der Wärmestrahlung (W) auf eine zweite Brennebene; und einem im Bereich der zweiten Brennebene angeordneten Detektor (11) zur Detektion der Wärmestrahlung (W).
  2. Temperaturmessvorrichtung (1) nach Anspruch 1, mit einer durch den Halter (5) gehaltenen Blende (6) zur Beeinflussung der optischen Auflösung der Temperaturmessvorrichtung (1).
  3. Temperaturmessvorrichtung (1) nach Anspruch 2, mit einer Mehrzahl von durch den Halter (5) gehaltenen Blenden, und einem Verstellmechanismus, durch den eine beliebige der Mehrzahl von Blenden in den Strahlengang der Wärmestrahlung (W) bringbar ist.
  4. Temperaturmessvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einem durch den Halter (5) gehaltenen Filter (7) zur Beeinflussung der spektralen Auflösung der Temperaturmessvorrichtung (1).
  5. Temperaturmessvorrichtung (1) nach Anspruch 4, mit einer Mehrzahl von durch den Halter (5) gehaltenen Filtern, und einem Verstellmechanismus, durch den ein beliebiger der Mehrzahl von Filtern in den Strahlengang der Wärmestrahlung (W) bringbar ist.
  6. Temperaturmessvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einer im Bereich der ersten Brennebene angeordneten und durch einen Antrieb (9) rotierbaren Schlitzscheibe (8) zur Modulation der Intensität der Wärmestrahlung.
  7. Temperaturmessvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die optische Abbildungsvorrichtung durch einen konkaven Hohlspiegel (10) gebildet ist.
  8. Temperaturmessvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die optische Achse der Optik und die optische Achse der optischen Abbildungsvorrichtung einen Winkel kleiner 45° einschließen.
  9. Temperaturmessvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Halter (5) einen Mechanismus zum Lösen und Befestigen der Vorrichtung zur Beeinflussung der optischen und/oder spektralen Auflösung aufweist.
  10. Vorrichtung (1) zur berührungslosen Messung der Temperatur eines Objektes, mit: einer Optik (3) zur Abbildung von durch das Objekt abgestrahlter Wärmestrahlung (W) auf einen ersten Brennpunkt (4); einer Blende (6) und/oder einem Filter (7), die im oder nahe des ersten Brennpunktes (4) angeordnet sind; einer bezüglich des ersten Brennpunktes (4) im weiteren Verlauf des Strahlenganges der Wärmestrahlung (W) angeordneten optischen Abbildungsvorrichtung zum Abbilden der Wärmestrahlung (W) auf einen zweiten Brennpunkt (12); und einem Detektor (11) zur Umwandlung empfangener Wärmestrahlung (W) in ein elektrisches Signal, wobei der Detektor im oder nahe des zweiten Brennpunktes (12) angeordnet ist.
DE202004007140U 2004-05-05 2004-05-05 Temperaturmessvorrichtung Expired - Lifetime DE202004007140U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE202004007140U DE202004007140U1 (de) 2004-05-05 2004-05-05 Temperaturmessvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE202004007140U DE202004007140U1 (de) 2004-05-05 2004-05-05 Temperaturmessvorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE202004007140U1 true DE202004007140U1 (de) 2004-07-22

Family

ID=32748613

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE202004007140U Expired - Lifetime DE202004007140U1 (de) 2004-05-05 2004-05-05 Temperaturmessvorrichtung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE202004007140U1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2362198A3 (de) * 2010-01-27 2011-09-07 CI Systems Ltd. Raumtemperaturfilterung für passive Infrarotbildgebung
US9291506B2 (en) 2010-01-27 2016-03-22 Ci Systems Ltd. Room-temperature filtering for passive infrared imaging

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2362198A3 (de) * 2010-01-27 2011-09-07 CI Systems Ltd. Raumtemperaturfilterung für passive Infrarotbildgebung
US9121760B2 (en) 2010-01-27 2015-09-01 Ci Systems Ltd. Room-temperature filtering for passive infrared imaging
US9291506B2 (en) 2010-01-27 2016-03-22 Ci Systems Ltd. Room-temperature filtering for passive infrared imaging

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3303140A1 (de) Infrarot-spektrometer
WO2012076128A1 (de) Endoskop und verfahren zur aufnahme wenigstens eines stereoskopischen bildes mit einem endoskop
DE2354141C2 (de) Optisches Meßverfahren zum Untersuchen von Oberflächen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE4444079C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens zum Messen der Lage einer Kante von einer Bahn oder einem Bogen
DE19828547C2 (de) Anordnung zum Nachweis biomolekularer Reaktionen und Wechselwirkungen
DE102017130772A1 (de) Spektrometeranordnung, Verfahren zur Erzeugung eines zweidimensionalen Spektrums mittels einer solchen
DE202004007140U1 (de) Temperaturmessvorrichtung
DE2242644B2 (de) Optische Abtastvorrichtung
WO2018189087A1 (de) Spektrometer
EP3001675B1 (de) Kameraeinheit zum überwachen eines raumbereichs
DE10102033C5 (de) Vorrichtung und Scanmikroskop zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls
DE102018113798A1 (de) Vorrichtung zum Aufbau eines Hartmann-Shack-Sensors
EP0579846A1 (de) Optische Vorrichtung
DE737161C (de) Autokollimationsspektralapparat mit Spiegeloptik
DE102015106481B4 (de) Optische Einrichtung
DE10317827B4 (de) Vorrichtung zum Empfang von mit Strahlung übertragenen Signalen
DE1963450A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur automatischen messung der richtung der optischen achse des menschlichen auges
DE102018133042B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung von Spektrometern
DE102009056659A1 (de) Objektiv für eine Halbleiterkamera und Verfahren zum Fokussieren einer Halbleiterkamera
DE2731823C2 (de) Prüfanordnung zum optischen Prüfen von Bauteilen
DE3243680A1 (de) Verfahren und anordnung zur erfassung raeumlicher abweichungen von einer glatten ebene
DE3127509A1 (de) Fokussierungsvorrichtung fuer mikroskope
DE2409197C2 (de) Vorrichtung zum Abtasten thermischer Bilder
EP4165394A1 (de) Messvorrichtung und verfahren zum messen einer reflektivität von beschichteten optischen elementen
DE202004007142U1 (de) Temperaturmessvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
R207 Utility model specification

Effective date: 20040826

R150 Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years

Effective date: 20070713

R151 Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years

Effective date: 20100615

R152 Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years
R152 Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years

Effective date: 20120615

R071 Expiry of right
R071 Expiry of right