DE2016380B2 - Ionenentladungsröhre zum Erzeugen elektromagnetischer Strahlung - Google Patents
Ionenentladungsröhre zum Erzeugen elektromagnetischer StrahlungInfo
- Publication number
- DE2016380B2 DE2016380B2 DE2016380A DE2016380A DE2016380B2 DE 2016380 B2 DE2016380 B2 DE 2016380B2 DE 2016380 A DE2016380 A DE 2016380A DE 2016380 A DE2016380 A DE 2016380A DE 2016380 B2 DE2016380 B2 DE 2016380B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrode
- source
- tube
- steam
- steam source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/031—Metal vapour lasers, e.g. metal vapour generation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
- H01J9/395—Filling vessels
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Lasers (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
b5
Die Erfindung bezieht sich auf eine Ionenentladungsröhre nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Entladungsröhren werden zum Erzeugen elektromagnetischer
Strahlung im infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Spektralbereich verwendet. Die Wellenlänge
oder Wellenlängen der emittierten Strahlung hängt dabei sowohl von der Zusammensetzung der
Gasfüllung der Röhre als auch von der Betriebsart der Röhre ab. Bestimmte Gase, z. B. die Edelgase, reagieren
weder chemisch noch physikalisch mit irgendeinem anderen Element der Entladungsröhre und haben daher
von Natur aus keinen schädlichen Einfluß auf den Betrieb der Entladungsröhre, !n manchen Fällen besteht
jedoch die Gefahr, daß das zur Erzeugung einer Strahlung gewünschter Wellenlänge erforderliche Gas
in der Gasentladungsröhre in unerwünschter Weise physikalisch oder chemisch mit einem oder mehreren
Elementen der Entladungsröhre reagieren und diese nachteilig beeinflussen kann. Chlor vermag z. B.
chemisch mit dem Material zu reagieren, aus dem die Kathode der Röhre besteht.
Bestimmte lonenentladungsröhren, die sich für Laser eignen, enthalten als Füllung eine Mischung aus Edelgas,
wie Helium, und dem ionisierbaren Dampf eines bei Raumtemperatur festen oder flüssigen Materials, wie
Cadmium oder Quecksilber. Solche Dampfentladungsröhren für Laser werden mit einem geeigneten
optischen Resonanzhohlraum, der sich ganz innerhalb der Röhre oder teilweise auch außerhalb der Röhre
befinden kann, betrieben. Im Falle eines äußeren Resonans.hohlraumes sind die Enden der Röhre durch
Fenster abgeschlossen, die normalerweise im Brewster-Winkel angeordnet sind, und der optische Resonanzhohlraum
wird durch zwei äußere, den Fenstern zugeordnete Spiegel begrenzt. Mindestens einer der
Spiegel ist teilweise durchlässig, so daß die Strahlung ausgekoppelt werden kann. Im Falle eines inneren
optischen Resonanzhohlraumes sind die Enden der Gasentladungsröhre des Lasers durch Bauelemente
abgeschlossen, die reflektierende Innenflächen aufweisen. Auch hier ist mindestens eines dieser den
Resonanzhohlraum begrenzenden Bauteile teilweise durchlässig, so daß es als Fenster für die aus dem Laser
austretende Strahlung wirkt. Hierbei besteht das Problem, daß der Dampf auf den Fenstern kondensiert
und dort eine Schicht bildet, die für die in der Entladungsröhre erzeugte Strahlung verhältnismäßig
undurchlässig ist. Außerdem hat die Schicht aus dem kondensierten Material in vielen Fällen, z. B. bei
Verwendung von Cadmium, eine verfärbende und korrodierende Wirkung auf die optische Oberfläche des
Fensters. Derartige Röhren hatten daher früher nur eine sehr kurze Lebensdauer.
Aus der DE-AS 12 80 443 ist ein Gaslaser mit einer lonenentladungsröhre nach dem Oberbegriff des
Anspruchs 1 bekannt, in dessen Kolben sich neben einer Anzahl von Anodenelektroden eine zentrale Kathodenhülse
befindet, deren Oberfläche zur Erzeugung von Ionen zerstäubt werden kann. Um die kathodischen
Ionen durch Kataphorese zurücktreiben und dadurch ein Niederschlagen des zerstäubten Kathodenmaterials
an den Fenstern des Kolbens zu verhindern, ist eine Hilfsanode vorgesehen. Es besteht auch die Möglichkeit,
die Ionen von beiden Seiten in Richtung der innenliegenden Kathode zu treiben. Dagegen kann nicht
verhindert werden, daß sich der Dampf auf der Kathode selbst niederschlägt, wodurch deren Betrieb beeinträchtigt
oder ihre Lebensdauer herabgesetzt werden kann.
Aus der DE-PS 12 19 604 ist ferner ein Gaslaser mit einer lonenentladungsröhre bekannt, die als Gasfüllung
ein Edelgas sowie Quecksilberdampf enthalten kann. Zur Ionisierung der Gasfüllung sind zwei Elektroden
außerhalb des eigentlichen Entladungsrohres in Gefäßteilen angeordnet, die durch ein zusätzliches Hilfsrohr
zum Druckausgleich miteinander verbinden sind. Bei -,
dieser bekannten Röhre besteht die Gefahr, daß der Quecksilberdampf die an gegenüberliegenden Enden
des Entladungsrohres in üblicher Weise mit äußeren Spiegeln zusammenwirkenden lichtdurchlässigen Brewster-Fenster
mehr oder weniger undurchsichtig macht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Entladungsröhre gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs
1 anzugeben, in der ein Niederschlag von kondensiertem Dampf auch auf Teile der Röhre wie
insbesondere die Kathode verhindert wird, bei denen r,
dies allein durch kataphoretischen lonentransport nichi
ohne weiteres gewährleistet wird.
Die Erfindung hat den Vorteil, daß der von der Dampfquelle erzeugte Dampf von dem Kondensatorteil
abgefangen wird, ohne nennenswert in Berührung >o
beispielsweise mit der Kathode kommen zu können. Infolgedessen besteht die Möglichkeit, mit einer
einfachen, aus Gründen der Lebensdauer, des Aufwandes und des Leistungsverbrauchs zu bevorzugenden
Kaltkathode zu arbeiten. Im übrigen wird ein optimaler Schutz der Röhrenfenster vor einem Dampfniederschlag
gewährleistet.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden in Verbindung mit der Zeichnung näher
erläutert; es zeigt in
F i g. 1 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung,
F i g. 2 eine schematische Darstellung einer Abwandlung des Ausführungsbeispiels gemäß F i g. 1,
Fig.3 eine schematische Darstellung einer zweiten »
Abwandlung des Ausführungsbeispiels gemäß F i g. 1,
Fig.4 eine schematische Darstellung eines zweiten
Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig.5 eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels der Erfindung. -m
F i g. 1 zeigt eine für die Verwendung in einem Laser geeignete langgestreckte Dampf-Ionenentladungsröhre
10. Die Enden der Entladungsröhre sind durch Brewster-Fenster 12 und 14 verschlossen. An einer
bestimmten Stelle der Röhre 10 befindet sich in einem γ,
gewissen Abstand vom linken Fenster 12 eine Dampfquelle 16. Die Dampfquelle 16 enthält eine
anfängliche Füllung eines verdampfbaren und ionisierbaren Materials, wie Cadmium oder Quecksilber, im
nichtgasförmigen Zustand in der Röhre 10. Die w Dampfquelle 16 kann außerdem eine Heizvorrichtung,
z. B. eine die Röhre 10 in der Nähe des Materials 18 umgebende Heizwendel oder ein Heißluftgebläse, das
einen heißen Luftstrom auf den das Material 18 enthaltenden Teil der Röhre richtet, enthalten, um das v>
Material 18 zu verdampfen. In manchen Fällen, in denen die durch Entladung in der Röhre erzeugte Wärme zum
Verdampfen des Materials 18 ausreicht, kann auf eine äußere Heizvorrichtung in der Dampfquelle 16 verzichtet
werden. Die Röhre 10 kann außer dem Material 18 «> auch ein ionisierbares, im Normalzustand gasförmiges
Material, wie Helium, enthalten, um die Erzeugung einer Entladung im Dampf zu erleichtern, wie es bei
Dampfentladungsröhren üblich ist.
An einer zweiten Stelle längs der Röhre 10, bei dem t>5
dargestellten Ausführungsbeispiel rechts von der Dampfquelle 16 und in einem gewissen Abstand vom
Fenster 14, ist ein Kondensatorteil 22 angeordnet. Die innere Oberfläche der Röhre 10 wird im Bereich des.
Kondensatorteiles 22 auf einer Temperatur gehalten, die nicht höher ist, als es für eine Kondensation des
Dampfes aus dem Material 18 erforderlich ist. Der Kondensatorteil 22 kann eine äußere Luft- oder
Wasserkühlung enthalten. Bei entsprechender Form und Größe der Wände der Röhre 10 in der
Nachbarschaft des Kondcnsatorteiles 22 kann jedoch unter Umständen die Betriebstemperatur der Innenfläche
der Röhre 10 auch ohne äußere Kühlung im Kondensationsbereich unter der Kondensationstemperatur
liegen, so daß dann eine zusätzliche Außenkühlung entfallen kann.
Wie dargestellt, sind in der Röhre 10 vier Elektroden angeordnet, nämlich eine Elektrode 24 zwischen dem
linken Fenster 12 und der ersterwähnten Stelle, an der sich die Dampfquelle 16 befindet, eine zweite Elektrode
28 an der als zweites erwähnten Stelle, an der sich der Kondensatorteil 22 befindet, eine dritte Elektrode 26 an
der ersterwähnten Stelle der Dampfquelle 16 und eine vierte Elektrode 30 zwischen der Stelle des Kondensatorteils
22 und dem rechten Fenster 14. Die Elektroden 24, 26, 28 und 30 sind jeweils mit einer eigenen
Ausgangsklemme einer Gleichspannungsquelle 32 verbunden. Die vier Ausgangsklemmen der Gleichspannungsquelle
32 liefern jeweils eine verschiedene Spannung. Genauer gesagt, ist die Spannung V+ an der
dritten Elektrode 26 genügend positiv bezüglich des Potentials V- an der zweiten Elektrode 28, um ein
ionisiertes Dampfentladungsplasma im Bereich zwischen der ersterwähnten und der als zweites erwähnten
Stelle der Röhre 10, an denen sich die Dampfquelle 16 bzw. der Kondensatorteil 22 befinden, aufrechtzuerhalten.
Die Spannung K+ + an der ersten Elektrode 24 ist
um einen bestimmten Betrag, auf den noch eingegangen wird, positiver bezüglich der Spannung V+ an der
dritten Elektrode 26.
In entsprechender Weise ist die Spannung V+ - an der
vierten Elektrode 30 um einen bestimmten Betrag, auf den ebenfalls unten noch eingegangen wird, positiver
bezüglich der Spannung V- an der zweiten Elektrode 28.
Im Betrieb der in Fig. 1 dargestellten Apparatur verdampft die Dampfquelle 16 mindestens einen Teil
des Materials 18, und der entstehende Dampf mischt sich mit dem Gas oder den Gasen, die die Füllung der
Röhre gegebenenfalls außerdem enthält. Durch die Potentialdifferenz zwischen den Elektroden 26 und 28
entsteht ein ionisiertes Plasma in der Röhre 10. Durch die Potentialdifferenz zwischen den Elektroden 26 und
28 entsteht außerdem ein Potentialgradient zwischen den erwähnten Stellen der Röhre 10, der durch den Pfeil
34 angedeutet ist und die Richtung von der ersterwähnten zu der als zweites erwähnten Stelle hat. Da die
Dampfionen im Plasma positiv geladen sind, werden sie durch die elektrostatische Kraft entsprechend diesem
Potentialgradienten in Richtung von der Dampfquelle 16 zum Kondensatorteil 22 beschleunigt. Diese Neigung
der Dampfionen, unter dem Einfluß der elektrostatischen Kraft von der Dampfquelle 16 zum Kondensatorteil
22 zu wandern, ist als Kataphorese bekannt.
Trotz des kataphoretischen Transports der Dampfionen von der Dampfquelle 16 zum Kondensatorteil 22
diiTundieren viele Ionen und Moleküle in den links von
der Dampfquelle 16 gelegenen Bereich der Röhre 10. Normalerweise wurden diese abdiffundierten Dampfmoleküle
und Ionen auf dem Fenster 12 kondensieren und dort eine strahlungsundurchlässige und häufig auch
korrosive Schicht des Materials 18 bilden. Da die erste Elektrode 24 jedoch auf einem Potential gehalten wird,
das positiv bezüglich des Potentials der dritten Elektrode 26 ist, existiert eine durch den Pfeil 36
dargestellte kataphoretische Kraft, die die Dampfionen und -moleküle, die in den links von der Dampfquelle 16
gelegenen Bereich der Röhre 10 abdiffundiert sind, zurück in den Bereich zwischen der Darripfquelle 16 und
dem Kondensatorteil 22 transportiert. Hierdurch werden die Dichte der Dampfmoleküle und -ionen und
der Dampfdruck in dem an das Fenster 12 angrenzenden Bereich der Röhre 10 auf einem Wert gehalten, der
um einen von der Potentialdifferenz zwischen den Elektroden 24 und 26 abhängigen Betrag kleiner als der
Wert dieser Größen im Bereich zwischen der Dampfquelle 16 und dem Kondensatoren 22 ist. Wenn
die Potentialdifferenz zwischen den Elektroden 24 und 26 mindestens gleich einem vorgegebenen Wert
gemacht wird, können die Dichte der Dampfmoleküle und -ionen und der Dampfdruck in dem an das Fenster
12 angrenzenden Bereich der Röhre auf Werte gehalten werden, die unter dem Grenzwert liegen, bei dem eine
nennenswerte Kondensation von Dampfmolekülen auf dem Fenster 12 stattfindet.
Um eine quantitative Abschätzung zu geben, sei eine Entladungssäule betrachtet, die von einer Röhre der
Länge L eingeschlossen ist, längs welcher ein Spannungsabfall V herrscht. Das Plasma sei mit einem
Metalldampf niedriger Ionisierungsspannung geimpft, und der lonisationsgrad α sei konstant. Wegen des
Gleichgewichtes zwischen der kataphoretischen Drift und der Rückdiffusion ist
yV + „+ ~ = Dgrad N
wobei bedeuten:
N+ = lonendampfdichte
μ + = Ionenbeweglichkeit
D = Diffusionskonstante
N = Neutraldampfdichte.
Mit N+ ist = OiNerhält man
= exp(- IT") = cxp ( -
wobei bedeuten:
T+ = Ionentemperatur
No und Ni. = die Dampfdichten an den beiden Enden
der Säule.
Für typische Werte wie λ = 1/10, T+ = lOOOK und
V= 10 Volt erhält man No/Ni. s 10-", also ein sehr
großes Dampfdichteverhältnis.
In entsprechender Weise ergibt das bezüglich der zweiten Elektrode 28 positive Potential der vierten
Elektrode 30 eine kataphoretische Kraft, die durch den Pfeil 38 dargestellt ist und ausreicht, um eine
nennenswerte Ansammlung kondensierter Dampfmoleküle auf dem Fenster zu verhindern. Die Fenster 12 und
14 bleiben daher für die vom Dampf plasma in der Röhre
10 emittierte Strahlung durchlässig, und die Lebensdauer der Röhre 10 wird nicht wie bisher durch die
Kondensation von Dampf auf den Fenstern 12 und 14 verkürzt.
F i g. 2 zeigt eine erste, etwas vereinfachte Abwandlung der in Fig. 1 dargestellten Apparatur. Die
Apparatur gemäß F i g. 2 stimmt mit der gemäß F i g. 1 überein mit der Ausnahme, daß die Elektroden 26 und 30
fehlen, und daß die Gleichspannungsquelle 32a nur zwei Klemmen hat, von denen die eine ein positives Potential
für die erste Elektrode 24 und die andere ein negatives
-, Potential für die zweite Elektrode 28 liefert. Bei dieser
Anordnung wird ein kataphoretischer Potentialgradient auftreten, wie er durch den von der ersten Elektrode 24
zur zweiten Elektrode 28 im Kondensatorteil 22 reichenden Pfeil 40 angedeutet ist. Obgleich die Stelle
ι ο an der sich die Dampfquelle 16 befindet, bei F i g. 2 nichi
direkt mit der Gleichspannungsquelle 32a verbunden ist wird er ein bestimmtes Potential annehmen, das negativ
bezüglich des Potentials an der ersten Elektrode 24 und positiv bezüglich des Potentials an der zweiten
1) Elektrode 28 ist. Wenn man die Potentialdifferenz
zwischen den Elektroden 24 und 28 genügend groC macht, wird der kataphoretische Effekt bei dei
Apparatur gemäß F i g. 2 genügend ausgeprägt sein, um jede nennenswerte Ansammlung von kondensiertem
Dampf auf dem Fenster 12 zu verhindern. Bei dei Apparatur gemäß F i g. 2 muß man sich jedoch
hinsichtlich der Verringerung der Dichte der Dampfionen und -moleküle und des Dampfdruckes in dem rechts
von dem Konderisatorteil 22 in F i g. 2 gelegenen Tei
2) der Röhre und dementsprechend der Vermeidung einei
nenenswerten Ansammlung von kondensiertem Dampl auf dem Fenster 14 ausschließlich auf die Kondensatior
des verdampften Materials im Kondensatorteil 27 verlassen.
in F i g. 3 zeigt eine zweite vereinfachte Abwandlung der Apparatur gemäß Fig. 1. Die Apparatur gemäO
Fig.3 stimmt mit der gemäß Fig. 1 überein, mit dei
Ausnahme, daß die Elektroden 26 und 30 fehlen, daß die Gleichspannungsquelle 326 nur zwei Ausgangsklemmer
hat, von denen die eine eine positive Spannung für die erste Elektrode 24 und die andere eine negative
Spannung für die zweite Elektrode 28 (die hier die Lage der vierten Elektrode 30 hat) liefert, um einer
kataphoretischen Potentialgradienten zu erzeugen, dei durch den Pfeil 42 dargestellt ist, und daß die zweite
Elektrode 28 nicht an der Stelle liegt, an der sich dei Kondensatorteil 22 befindet, sondern zwischen Kondensatorteil
22 und Brewster-Fenster 14 angeordnet ist Dabei wird sie dann an der ersterwähnten Stelle, an dei
4j sich die Dampfquelle 16 befindet, ein vorgegebene;
erstes Potential einstellen und an der als zweite; erwähnten Stelle, an der sich der Kondensatorteil T.
befindet, wird sich ein bestimmtes zweites Potentia einstellen. Das erste Potential wird verhältnismäßig
ίο stark negativ bezüglich des Potentials der Elektrode 2<- und
positiv bezüglich des Potentialwerts beim Konden satorteil 22 und des Potentials an der zweiten Elektrod«
28 sein. Das zweite Potential wird negativ bezüglich de; Potentials der ersten Elektrode 24 sowie des erster
wähnten Potentials im Bereich der Dampfquelle 16 um positiv bezüglich des Potentials bezüglich der zweiter
Elektrode 28 sein. Der Potentialgradient gemäß Pfeil 4; hat einen ausreichenden Wert, um die Dichte dei
Dampfionen und -moleküle und den Dampfdruck se
M) niedrig zu halten, daß sich auf dem Fenster 12 keim
nennenswerte Menge kondensierten Dampfes ansam mein kann. Wie bei F i g. 2 wird die Ansammlung voi
kondensiertem Material auf dem Fenster 14 in wesentlichen durch die Kondensation des Dampfes in
t>5 Kondensatorteil 22 verhindert.
Die Lebensdauer der Röhre 10 in der Ausführungs form gemäß F i g. 1 und deren vereinfachten Abwand
lungcn gemäß Fig.2 und 3 ist dadurch begrenzt, dal
schließlich, wenn auch erst nach einer sehr erheblichen Zeitspanne, praktisch alles Material 18 von der
Dampfquelle 16 verdampft, kataphoretisch zum Kondensatorteil 22 transportiert und in diesem kondensiert
worden ist. Wenn z. B. 10 Gramm verdampfbares Material eingefüllt wird, und die Verdampfungsgeschwindigkeit
10 Milligramm pro Stunde beträgt, hat die Röhre eine Lebensdauer von 1000 Stunden. Diese durch
den einmaligen Materialtransport gesetzte Begrenzung der Lebensdauer der Apparatur gemäß Fig. 1,2 und 3
wird bei den Ausführungsbeispielen gemäß F i g. 4 und 5 vermieden.
Bei Fig.4 kann die dem Material 18 an der ersterwähnten Stelle zugeordnete Dampfquelle 16a
wahlweise auch als Kondensator betrieben werden. In entsprechender Weise kann der Kondensatorteil 22a,
der der zweiten Stelle der Röhre zugeordnet ist, wahlweise auch als Dampfquelle betrieben werden. Mit
anderen Worten gesagt, vermögen die Elemente 16a und 22a jeweils die Aufgaben beider Elemente 16 und 22
in jeder der Fig. 1 bis 3 zu erfüllen. Die Röhre 10 in
Fig.4 soll ferner bezüglich ihrer Mitte rechts-linkssymmetrisch
sein. Die Apparatur gemäß Fig.4 enthält
außerdem einen Kommutatorschalter 44, der an die erste Elektrode 24 eine positive Spannung und an die
zweite Elektrode 28 eine negative Spannung legt, wenn er sich in seiner oberen Stellung befindet, und eine
negative Spannung an die erste Elektrode 24 sowie eine positive Spannung an die zweite Elektrode 28, wenn er
sich in seiner unteren Stellung befindet.
Bei der Apparatur gemäß F i g. 4 arbeitet anfänglich das Element 16a als Dampfquelle und das Element 22a
als Kondensator, und der Schalter 44 befindet sich in seiner oberen Stellung. In diesem Falle entspricht die
Arbeitsweise der Apparatur gemäß Fig.4 praktisch genau der der F i g. 3, die oben erläutert wurde. Wenn
jedoch das ganze Material 18 verdampft, dann kataphoretisch von der ersten zur zweiten Stelle der
Röhre transportiert und im Bereich der zweiten Stelle durch das Element 22a kondensiert worden ist, wie das
Bezugszeichen für das Material 48 zeigt, wird das Element 16a nun als Kondensator betrieben, das
Element 22a arbeitet als Dampfquelle und der Schalter 44 wird in die untere Stellung umgelegt. Zwischen den
Elektroden 28 und 24 herrscht nun ein kataphoretischer Potentialgradient in Richtung des Pfeiles 46. Das
kondensierte Material 48 wird nun wieder verdampft, der Dampf wird kataphoretisch vom Element 22a
zurück zum Element 16a transportiert und das Material wird erneut im Bereich der ersten Stelle, wo sich das
Element 16a befindet, kondensiert. Nachdem das ganze Material wieder an der ersten Stelle kondensiert
worden ist, kann das Element 16a wieder als Dampfquelle und das Element 22a wieder als Kondensator
betrieben werden, wobei der Schalter 44 dann wieder in die obere Stellung umgelegt wird und der
ganze Vorgang erneut abläuft.
In F i g. 4 ist der Einfachheit halber eine Apparatur
ίο mit nur zwei Elektroden entsprechend Fig.3 dargestellt
worden; selbstverständlich kann auch die Apparatur mit vier Elektroden gemäß Fig. 1 mit einer vier
Ausgangsklemmen aufweisenden Gleichspannungsquelle so betrieben werden, wie es an Hand von Fi g. 4
erläutert wurde. In diesem Falle wird natürlich ein komplizierterer Umpolungsschalter zur Umpolung der
vier Spannungen benötigt.
Die Apparatur gemäß F i g. 5 entspricht der gemäß F i g. 3 mit der Ausnahme, daß durch eine Hilfsröhre 50
eine Rückleitung zwischen dem Kondensatorteil 22 und der Dampfquelle 18 gebildet wird. Die Hilfsröhre 50 hat
bezüglich des Bereichs der Röhre 10, der die direkte Verbindung zwischen der ersterwähnten und der als
zweites erwähnten Stelle bildet, eine solche Konfiguration, daß das Dampfplasma auf den Hauptteil der Röhre
10 begrenzt wird. In F i g. 5 hat der kataphoretische Transport des Dampfes von der Dampfquelle 16 zum
Kondensatorteil 22 an der als zweites erwähnten Stelle, an der sich der Kondensatorteil 22 befindet, einen
wesentlich höheren Dampfdruck zur Folge als am ersterwähnten Punkt, an dem sich die Dampfquelle 16
befindet. Diese kataphoretisch erzeugte Dampfdruckdifferenz reicht aus, um den größten Teil des
verdampften Materials, das kataphoretisch von der Dampfquelle 16 zum Kondensatorteil 22 transportiert
worden ist, durch die durch die Hilfsröhre 50 gebildete Rückleitung zur Dampfquelle 16 zurückzupumpen.
Wenn das Material 18, wie im Falle von Quecksilber, normalerweise flüssig ist, wird die kondensierte
Flüssigkeit durch diese Dampfdruckdifferenz auch vom Kondensatorteil 22 durch die Hilfsröhre 50 zur
Dampfquelle 16 zurückgetrieben.
Die Röhre 10 in F i g. 5 ist der Einfachheit halber mit nur zwei Elektroden dargestellt; selbstverständlich kann
die an Hand von Fig. 5 beschriebene Anordnung auch bei einer Röhre mit vier Elektroden, die von einer
Gleichspannungsquelle mit vier Klemmen gespeist sind, angewendet werden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (5)
1. lonenentladungsröhre zum Erzeugen elektromagnetischer
Strahlung, die mindestens ein Gas > enthält, mit dem an den entgegengesetzten Enden
der Röhre befindliche optische Elemente in Berührung stehen, mit einer Dampfquelle mit normalerweise
nichtgasförmigem Material, und mit einer an eine Spannungsquelle angeschlossenen, zur Entladung
in der Röhre dienenden Anordnung aus mindestens zwei auf unterschiedlichem Potential
liegenden Elektroden, wobei eine erste Elektrode, die sich zwischen dem einen optischen Element und
der Dampfquelle befindet und auf bezüglich der i>
Dampfquelle positivem Potential liegt, kataphoretisch die Anzahl der das eine optische Element
berührenden Dampfmoleküle zur Verhinderung einer Kondensation des verdampften Materials auf
dem Element herabsetzt, während eine zweite Elektrode, die sich zwischen der Dampfquelle und
dem anderen optischen Element befindet, auf bezüglich der Dampfquelle negativem Potential
liegt, dadurch gekennzeichnet, daß die Röhre (10) zwischen der Dampfquelle (16, 16a) und
dem anderen optischen Element (14) einen Kondensatorteil (22, 22a) enthält, und daß der Abstand der
zweiten Elektrode (28) von dem anderen optischen Element (14) höchstens so groß ist wie der des
Kondensatorteils (22,22a).
2. lonenentladungsröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an der Stelle der
Dampfquelle (16) eine dritte Elektrode (26) angeordnet ist, die von der Spannungsquelle (32) auf einem
bezüglich der zweiten Elektrode (28) positiven und tr>
bezüglich der ersten Elektrode (24) negativen Potential gehalten wird.
3. lonenentladungsröhre nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine wahlweise betätigbare
Vorrichtung (44) zum Umpolen der Potentialdifferenz zwischen der ersten Elektrode (24) und
der zweiten Elektrode (28) vorgesehen ist und die Dampfquelle (16a) wahlweise auch als zweiter
Kondensator und der Kondensatorteil (22a) wahlweise auch als zweite Dampfquelle verwendbar sind. «
4. lonenentladungsröhre nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Stelle
des Kondensatorteils (22) und dem anderen optischen Element (14) eine vierte Elektrode (30)
angeordnet ist, und daß die Spannungsquelle (32) die to vierte Elektrode (30) auf einem positiven Potential
bezüglich der zweiten Elektrode (28) hält.
5. lonenentladungsröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine den
Kondensatorteil (22) mit der Dampfquelle (16) verbindende Hüfsröhre (50), in der keine Entladung
stattfindet, und durch die das Material unter der Wirkung der kataphoretisch erzeugten Dampfdruckdifferenz
zwischen der Stelle des Kondensatorteils (22) und der Stelle der Dampfquelle (!6) vom bo
Kondensatorteil (22) zurück zur Dampfquelle (16) transportiert wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US81348569A | 1969-04-04 | 1969-04-04 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2016380A1 DE2016380A1 (de) | 1970-10-15 |
DE2016380B2 true DE2016380B2 (de) | 1978-10-12 |
DE2016380C3 DE2016380C3 (de) | 1979-06-21 |
Family
ID=25212517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2016380A Expired DE2016380C3 (de) | 1969-04-04 | 1970-04-06 | Ionenentladungsröhre zum Erzeugen elektromagnetischer Strahlung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3639804A (de) |
JP (1) | JPS51391B1 (de) |
DE (1) | DE2016380C3 (de) |
GB (1) | GB1294032A (de) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3798486A (en) * | 1972-11-06 | 1974-03-19 | Rca Corp | Metal vapor laser discharge device |
US3883818A (en) * | 1973-04-27 | 1975-05-13 | Coherent Radiation | Metal-vapor laser with improved vapor condensing means |
CH570040A5 (de) * | 1974-03-04 | 1975-11-28 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
US3846716A (en) * | 1973-07-03 | 1974-11-05 | M Dyatlov | Method of regulating light emitting power of laser and apparatus for effecting same |
IN142576B (de) * | 1974-03-04 | 1977-07-30 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
US4052680A (en) * | 1976-07-01 | 1977-10-04 | Xerox Corporation | Metal vapor laser having cataphoresis means |
JPS5373095A (en) * | 1976-12-13 | 1978-06-29 | Matsushita Electronics Corp | Metallic vapor laser tube |
US4180784A (en) * | 1977-09-19 | 1979-12-25 | The Boeing Company | Frequency modulated electrical discharge laser |
US4295103A (en) * | 1978-03-23 | 1981-10-13 | Ariold Ljudmirsky | Metal vapor laser |
DE3036112C2 (de) * | 1980-09-25 | 1984-02-09 | W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau | Metalldampflaser mit kataphoretischem Dampftransport |
GB8418169D0 (en) * | 1984-07-17 | 1984-08-22 | Oxford Laser Ltd | Lasers |
EP0581376A1 (de) * | 1992-07-28 | 1994-02-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Gastentladungslampe und Verfahren zur Herstellung derselben mittels Mikro-Bearbeitungstechnologie |
US5955838A (en) * | 1992-07-28 | 1999-09-21 | Philips Electronics North America Corp. | Gas discharge lamps and lasers fabricated by micromachining methodology |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3464025A (en) * | 1964-05-25 | 1969-08-26 | Spectra Physics | Gas lasers |
-
1969
- 1969-04-04 US US813485A patent/US3639804A/en not_active Expired - Lifetime
-
1970
- 1970-03-26 GB GB04829/70A patent/GB1294032A/en not_active Expired
- 1970-04-04 JP JP45028974A patent/JPS51391B1/ja active Pending
- 1970-04-06 DE DE2016380A patent/DE2016380C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1294032A (en) | 1972-10-25 |
DE2016380C3 (de) | 1979-06-21 |
US3639804A (en) | 1972-02-01 |
JPS51391B1 (de) | 1976-01-07 |
DE2016380A1 (de) | 1970-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2016380C3 (de) | Ionenentladungsröhre zum Erzeugen elektromagnetischer Strahlung | |
DE69809943T2 (de) | Glimmentladungs-plasmavorrichung | |
DE2700979C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle von Aufdampfprozessen | |
DE69402641T2 (de) | Cadmiumentladungslampe | |
DE2348459A1 (de) | Elektronenstrahlsystem fuer katodenstrahlroehren und damit ausgestattete katodenstrahlroehren | |
DE2224008C3 (de) | Gas-Laser | |
DE2355238A1 (de) | Metalldampflaser-entladungseinrichtung | |
DE4036122A1 (de) | Koronaentladungs-lichtquellenzelle | |
DE2048862C3 (de) | Vorrichtung zur spektralphotometrischen Analyse | |
DE3712049A1 (de) | Roentgenbelichtungsgeraet | |
DD153019A5 (de) | Elektronenstrahl-erzeugungssystem fuer kathodenstrahlroehren | |
DE1589416B2 (de) | Spektrale strahlungsquelle | |
DE2628474C3 (de) | Aufnahmeeinrichtrung mit Bildwandlertarget für eine Aufnahmeröhre | |
DE2109893A1 (de) | Metallaser | |
DE2152094A1 (de) | Heizsystem fuer einen Elektronenstrahlofen | |
EP0515352A1 (de) | Ionenquelle | |
DE2305359C3 (de) | Vorrichtung zur reaktiven Aufdampfung dünner Schichten auf Unterlagen | |
DE3851515T2 (de) | Metalldampf-Laser-Apparat. | |
DE2100612A1 (de) | Verfahren zum Atzen eines Musters von Offnungen in einer gewünschten Grosse an einer Elektrode | |
DE2448793A1 (de) | Elektronische bildverstaerker- oder bildwandlerroehre und verfahren zu ihrer herstellung | |
DE658883C (de) | Anordnung zur Steuerung elektrischer Entladungsgefaesse mit Steuergitter, insbesondere mit Gas- oder Dampffuellung, durch lichtelektrische Zellen o. dgl. | |
DE2142868C3 (de) | Gasionen-Laser | |
DE4125638A1 (de) | Photozelle, insbesondere zur feststellung von uv-strahlung | |
DE1589124A1 (de) | Atomspektrallampen | |
DE534561C (de) | Gasgefuellte Photozelle |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |