DE2006866A1

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Publication number: DE2006866A1
Application number: DE19702006866
Authority: DE
Priority date: 1969-02-24
Filing date: 1970-02-14
Publication date: 1970-09-03
Also published as: CH520784A; BE728876A; LU60206A1; FR2031254A5; JPS4817695B1; GB1277375A; DE2006866B2; US3693582A; NL7002193A

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen von Überzügen auf MetalleMethod and device for applying coatings on metals

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Aufbringen eines metallischen Überzuges auf ein langgestrecktes Metallteil, wobei der Überzug aus Metallatomen besteht, die man durch Verdampfen eines Metalles, das auf eine Temperatur oberhalb seines Verdampfungspunktes gebracht wird, im Vakuum erhält.The invention relates to a method and a Device for applying a metallic coating to an elongated metal part, the coating consists of metal atoms, which are obtained by evaporating a metal that is raised to a temperature above its evaporation point is brought, obtained in vacuo.

Es ist bekannt, die Oberflächen von Metallen gegen Korrosion durch Stoffe, denen sie ausgesetzt sind, zu schützen, um ihre Lebensdauer zu verlängern. Insbesondere werden Teile aus Stahl oder Stahlprodukten zum Schutz gegen Korrosion mit verschiedenartigen Überzügen versehen, die auf unterschiedliche Weise aufgebracht werden.It is known to protect the surfaces of metals against corrosion by substances to which they are exposed, to extend their lifespan. In particular, parts made of steel or steel products are used to protect against Corrosion is provided with different types of coatings that are applied in different ways.

Die hierzu verwendeten Verfahren müssen einfach, sicher und wirtschaftlich sein; ferner ist es erforderlich, daß die aufgebrachten Schichten gleichmäßig sind, eine ausreichende Stärke haben, gut haften und widerstandsfähig gegen Korrosion sind.The methods used for this must be simple, safe and economical; it is also necessary that the applied layers are uniform, have sufficient strength, adhere well and are resistant are against corrosion.

Es ist ein Verfahren zum Aufbringen eines metallischen Überzuges bekannt, das darin besteht, das zu beschichtende Teil in einen Raum zu bringen, in dem ein Vakuum von etwa 10"^ Torr herrscht und Metalldämpfe in diesen Raum einzuleiten, die aus den Metallatomen, die die Beschichtung bilden, bestehen. Die Atome werden durch VerdampfenA method is known for applying a metallic coating, which consists in the to be coated Bring part into a room with a vacuum of about 10 "^ Torr and metal fumes into that room to initiate, which consist of the metal atoms that make up the coating. The atoms are evaporated

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des Metalls erzeugt, das auf eine Temperatur oberhalb seines Verdampfungspunktes gebracht wird und die so gebildeten Dampfe schlagen sich auf dem zu überziehenden Teil nieder. of the metal generated, which is brought to a temperature above its evaporation point and the so formed Vapors condense on the part to be coated.

Dieses Verfahren hat Vorteile, weil die erhaltene Beschichtung homogen und gut haftend ist und aus einer Legierung bestehen kann. Andererseits wird durch das Verfahren die Bildung von brüchigen Schichten an der Trennfläche der Be-Schichtung und des Metallteils vermieden. Man hat es schon zur Beschichtung verschiedenartiger Produkte, insbesondere von Bändern und Drähten aus Stahl benutzt.This method has advantages because the coating obtained is homogeneous and adheres well and is made of an alloy can exist. On the other hand, the method prevents the formation of brittle layers at the interface of the coating and the metal part avoided. It has already been used to coat various types of products, in particular used by steel strips and wires.

Das bekannte Verfahren hat jedoch auch einige Nachteile, die darin bestehen, daß die Atome sich im Vakuum strahlenförmig und im wesentlichen geradlinig ausbreiten. Die aus der Erzeugungsstelle austretenden Atome breiten sich wie Lichtstrahlen aus und nur die Atome, die direkt auf den Teil der zu beschichtenden Oberfläche, der von der Erzeugungsstelle aus sichtbar ist, treffen, werden benutzt, um die Beschichtung zu bilden, während alle anderen verloren sind und sich in dem Raum niederschlagen, in dem sie kondensieren. Die nicht sichtbare Fläche erhält nur wenige Atome, so daß die Beschichtung hier völlig unzureichend ist. Es ist unbedingt notwendig, diese Fläche anschließend auf die Austrittsstelle der Atome zu richten.However, the known method also has some disadvantages, which consist in the fact that the atoms radiate out in a vacuum and spread out essentially in a straight line. The atoms emerging from the point of generation spread like Rays of light and only those atoms that hit that part of the surface to be coated by the point of creation Visible from hitting, are used to form the coating while all others are lost are and are reflected in the space in which they condense. The invisible area is only given a few Atoms, so that the coating is completely inadequate here. It is imperative to use this area afterwards to point at the exit point of the atoms.

Daraus ergibt sich ein erheblicher Verlust an verdampftem Metall, eine geringe Ausbeute und die Notwendigkeit, die beiden Flächen des zu beschichtenden Teils nacheinander gegen die Austrittsstelle der Atome zu richten; insbesondere für Blechbänder sind daher Einrichtungen großer Länge und zusätzliche Installationen erforderlich.This results in a significant loss of vaporized metal, a low yield and the need for to direct both surfaces of the part to be coated one after the other towards the exit point of the atoms; in particular therefore, for sheet metal strips, equipment of great length and additional installations are required.

Bei der Behandlung beispielsweise von Drähten, die eineWhen treating wires, for example, the one

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sehr kleine Oberfläche zur Austrittsstelle der Atome hin haben, ist die Ausbeute besonders gering.have a very small surface towards the exit point of the atoms, the yield is particularly low.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese Nachteile zu vermeiden; sie bezieht sich auf ein Verfahren zum Aufbringen eines Überzuges auf ein Hetallteil, insbesondere ein Stahlerzeugnis, wobei der Überzug durch Kondensation von Metallatomen erzeugt wird, die durch Vakuumverdampfung eines Metalles erhalten werden, das auf eine Temperatur oberhalb seines Verdampfungspunktes gebracht wird. Die Erfindung besteht darin, daß man das zu beschichtende Teil senkrecht anordnet, daß man um dieses Teil eine Quelle zur Erzeugung von Metallatomen anbringt, und daß man gegen dieses Teil die Atome reflektiert, die darauf nicht direkt kondensiert werden.The invention is based on the object of avoiding these disadvantages; it relates to a method of application a coating on a metal part, in particular a steel product, the coating being produced by condensation is generated by metal atoms obtained by vacuum evaporation of a metal raised to a temperature is brought above its evaporation point. The invention consists in that the part to be coated perpendicularly that one attaches a source for the generation of metal atoms around this part, and that one against this part reflects the atoms that are not directly condensed on it.

Gegenstand der Erfindung ist ferner eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Diese besteht erfindungsgemäß aus einem senkrecht angeordneten Behälter, der an seinen Enden mit Verschlußschleusen versehen ist und in demThe invention also relates to a device for Implementation of the procedure. According to the invention, this consists of a vertically arranged container that is attached to his Ends with lock sluices is provided and in which

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ein Vakuum von etwa 10 bis 10 ^ Torr aufrechterhalten wird, Einrichtungen zum kontinuierlichen Vorwärtsbewegen des zu beschichtenden Teils in dem Behälter in einer senkrechten Bahn, einer Einrichtung zur Erzeugung von Metallatomen, die um das zu beschichtende Teil herum in einer zur Richtung der Bahn normalen Ebene angeordnet ist, um die Metallatome direkt auf das Metallteil zu richten und einem reflektierenden Schirm, der die Metallatome auf das zu beschichtende Teil zurückwirft, die auf diesem nicht direkt kondensiert werden.-1 — p
a vacuum of about 10 to 10 -4 torr is maintained, means for continuously advancing the part to be coated in the container in a vertical path, means for generating metal atoms around the part to be coated in a plane normal to the direction of the path is arranged to direct the metal atoms directly onto the metal part and a reflective screen that reflects the metal atoms back onto the part to be coated, which are not directly condensed on this.

Durch das Verfahren und die Vorrichtung gemäß vorliegender Erfindung ist es möglich, die Atome zurückzugewinnen, die in dem Raum der Kondensation auf dem zu beschichtenden Gegenstand entzogen werden und sie durch Reflexion durch den Schirm auf dioden aufzubringen. Dor Wirkungsgrad des Vor-By the method and device according to the present invention Invention it is possible to recover the atoms that are in the space of condensation on the object to be coated are withdrawn and applied to diodes by reflection through the screen. Dor efficiency of the pre

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fahrens ist daher erheblich, größer, insbesondere in den Fällen, in denen Bänder, Stangen oder Drähte behandelt werden, d. h. langgestreckte Teile, die in der einen Richtung sehr viel größere Abmessungen haben als in den anderen. driving is therefore considerable, larger, especially in the Cases where tapes, rods or wires are dealt with, d. H. elongated parts that go in one direction have much larger dimensions than in the others.

Einzelheiten der Erfindung sind auf der Zeichnung dargestellt. Es zeigen:Details of the invention are shown in the drawing. Show it:

Fig. 1 eine Vorrichtung zum Beschichten von Bändern in schematischer Darstellung,1 shows a device for coating strips in a schematic representation,

Fig. 2 die auf Fig. 1 dargestellte Vorrichtung in perspektivischer Darstellung undFIG. 2 shows the device shown in FIG. 1 in a perspective illustration and FIG

Fig. 3 ebenfalls perspektivisch, einen Teil einer Einrichtung zur Behandlung eines Drahtes. 3 also in perspective, a part of a device for treating a wire.

Die auf den Figuren 1 und 2 dargestellte Vorrichtung dient zum Beschichten eines Blechbandes und besteht im wesentlichen aus einem Behälter 1, der senkrecht angeordnet ist, d. h. dessen Längsachse senkrecht verläuft und dessen Enden durch Verschlußschleusen 2 und 3 verschlossen sind. Durch nicht dargestellte Vakuumpumpen, die an den Behälter 1 angeschlossen sind, wird in diesem ein Vakuum im allgemei-The device shown in Figures 1 and 2 is used for coating a sheet metal strip and consists essentially from a container 1 which is arranged vertically, d. H. whose longitudinal axis is perpendicular and whose ends are closed by lock sluices 2 and 3. By vacuum pumps, not shown, which are attached to the container 1 are connected, a vacuum is generally created in this

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nen von 10 bis 10 ^y Torr erzeugt. In den Behälter wird ein Metallband 4, beispielsweise aus Stahl, über Antriebswalzen 5 und 6 eingeführt; das Band durchläuft die Vorrichtung senkrecht von unten nach oben. Zwei Wannen 7 und 8 aus feuerfestem Material befinden sich auf beiden Seiten des Bandes A-, wobei die freie Seite der Behälter in einer senkrecht zu dem Band verlaufenden Ebene liegt. Die Wannen enthalten ein Metall, das auf eine Temperatur oberhalb seines Verdampfungspunktes gebracht wird. Dies geschieht durch zwei Elektronenstrahlkanonen 9 und 10. Die Wannen werden-1 -5
Generates from 10 to 10 ^y Torr. A metal belt 4, for example made of steel, is introduced into the container via drive rollers 5 and 6; the belt runs through the device vertically from bottom to top. Two trays 7 and 8 of refractory material are located on either side of the belt A-, the free side of the container lying in a plane perpendicular to the belt. The trays contain a metal that is brought to a temperature above its evaporation point. This is done by two electron beam cannons 9 and 10. The tubs are

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durch eine nicht dargestellte bekannte Vorrichtung fortlaufend mit Metall gefüllt. Die Vorrichtungen 9 und 10 zur Erzeugung von Elektronenstrahlen sind mit einem Umlenkungssystem versehen, das die Elektronen um 90° umlenkt, und einer hin- und hergehenden Ablenkvorrichtung, um die Elektronen zu zwingen, wechselweise auf die Enden der Wannen zu treffen, 'die somit ebenfalls erhitzt werden. Auf diese Weise bilden die Wannen eine Quelle zur Erzeugung von Metallatomen. Die Atome treten annähernd geradlinig aus, wobei bestimmte Atome direkt auf die beiden Flächen des Bandes 4 treffen, auf dem sie kondensieren und die Beschichtung bilden. Diejenigen Atome, die nicht direkt auf das Band treffen und seitlich an diesem vorbeigehen, treffen auf die Innenfläche 11 a des Reflektors 11, der die Form einer Haube hat. Die Haube wird auf eine Temperatur, nämlich die sogenannte Reflexionstemperatur, mittels einer Heizeinrichtung erhitzt, die aus einem Heizwiderstand 12 besteht, der die Haube umgibt und an eine Stromquelle 13 angeschlossen ist. Die Reflexionstemperatur wird so gewählt, daß die Metallatome, die die Haube treffen, nicht kondensieren können und sofort auf das Band 4 zurückgeworfen werden. Versuche haben ergeben, daß diese Temperatur im allgemeinen zwischen 7/10 und 12/10 des Temperaturwertes liegt, bei dem das Metall schmilzt. Die für die praktische Durchführung des Verfahrens besten Ergebnisse ergeben sich durch Versuche, bei denen die Haube nacheinander verschiedenen Temperaturen unterworfen wird, die von einem Wert von etwa 3/4· eier Verdampfungstemperatur des Metalls ansteigt und die Temperatur ermittelt wird, bei der die beste Ausbeute erreicht wird.continuously by a known device not shown filled with metal. The devices 9 and 10 for generating electron beams are provided with a deflection system which deflects the electrons by 90 °, and a reciprocating deflector, to force the electrons to hit the ends of the tubs alternately, which are thus also heated. In this way, the wells provide a source for generating metal atoms. The atoms appear almost in a straight line off, certain atoms directly hitting the two surfaces of the belt 4 on which they condense and form the coating. Those atoms that do not hit the tape directly and pass it sideways, meet the inner surface 11 a of the reflector 11, which has the shape of a hood. The hood will open a temperature, namely the so-called reflection temperature, heated by means of a heating device, which consists of a There is a heating resistor 12 which surrounds the hood and is connected to a power source 13. The reflection temperature is chosen so that the metal atoms that the Hit the hood, cannot condense and are immediately thrown back onto the belt 4. Tests have shown that this temperature is generally between 7/10 and 12/10 of the temperature value at which the metal melts. The best results for the practical implementation of the method result from experiments at to which the hood is successively subjected to different temperatures, which of a value of about 3/4 of the evaporation temperature of the metal increases and the temperature is determined at which the best yield is achieved will.

Der Schirm 11 kann auch auf andere Weise erhitzt werden; beispielsweise kann man ihn direkt mit Strom beaufschlagen, so daß sein Eigenwiderstand die Erwärmung hervorruft.The screen 11 can also be heated in other ways; for example, it can be charged directly with electricity, so that its own resistance causes the heating.

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Man kann auch Elektronenstrahlkanonen benutzen, z. B. die Kanonen, die zur Erwärmung der Wannen dienen. Die gebündelten Elektronen, die die Kanone verlassen, werden dabei so abgelenkt, daß sie nacheinander die Wannen und die innere Oberfläche des Schirms treffen. Im übrigen kann die Erwärmung des Schirms durch eine besondere Einrichtung manchmal ganz fortfallen, weil während des Betriebs die erwärmten Wannen eine Wärmestrahlung emittieren, die zur Erwärmung der reflektierenden Schirme ausreicht. Jedoch zum Anfahren ^ der Vorrichtung müssen die Schirme durch die eine oder an-" dere obenerwähnte Einrichtung erwärmt werden. One can also use electron beam guns, e.g. B. the cannons that serve to heat the tubs. The bundled electrons leaving the cannon are deflected in such a way that they hit the tubs and the inner surface of the screen one after the other. In addition, the heating of the screen by a special device can sometimes be omitted entirely because the heated tubs emit heat radiation during operation that is sufficient to heat the reflective screens. However, in order to start up the device, the screens must be heated by one or the other of the above-mentioned means.

Um die Haube, deren Eintritt 11 b oberhalb der Wannen liegt, auf eine erhöhte Temperatur bringen zu können, besteht diese aus einem feuerfesten Metall, z. B. Tantal oder Wolfram. Die konische Form der reflektierenden Oberfläche hat Vorteile wegen der Bildung eines Unterdruckes an ihrer Spitze; es hat sich herausgestellt, daß dadurch die Ausbeute vergrößert wird. Insbesondere kann die reflektierende Oberfläche parabolisch oder eine parabolisch abgebogene Zylinderfläche sein.In order to be able to bring the hood, the inlet 11b of which is above the tubs, to an elevated temperature, this exists made of a refractory metal, e.g. B. tantalum or tungsten. The conical shape of the reflective surface has advantages because of the formation of a negative pressure at its tip; it has been found that this increases the yield will. In particular, the reflective surface can be parabolic or a parabolic curved cylinder surface be.

) Ferner ist die Haube 11 über eine Leitung 14 a an den positiven Pol einer Stromquelle 14 angeschlossen; die austretenden Metallatome werden beim Verlassen der Wannen der Einwirkung einer Ionisierungseinrichtung 15 bekannter Bauart unterworfen, und zwar kurz oberhalb der Wannen. Auf diese Weise werden die Atome in positive Metallionen umgewandelt, die durch diese Anordnung durch die ebenfalls positiv aufgeladene Haube abgestoßen und auf das Band 4 geworfen werden, auf dem sie kondensieren, wodurch die Ausbeute vergrößert wird. Diese kann noch mehr erhöht werden, wenn man das Band an einen negativen Pol einer nicht dargestellten Stromquelle anschließt. Der Wert der Potentialdifferenz zwischen dem Band und der Haube hängt insbesondere von der Art des niedergeschlagenen Metalls und den) Furthermore , the hood 11 is connected via a line 14 a to the positive pole of a power source 14; the exiting metal atoms are subjected to the action of an ionization device 15 of known design when they leave the tubs, specifically just above the tubs. In this way, the atoms are converted into positive metal ions, which are repelled by this arrangement through the hood, which is also positively charged, and thrown onto the belt 4, on which they condense, whereby the yield is increased. This can be increased even more if you connect the tape to a negative pole of a power source, not shown. The value of the potential difference between the tape and the hood depends in particular on the type of deposited metal and the

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Arbeitsbedingungen ab. Zum Aufbringen einer Schicht aus Nickel wurde ermittelt, daß das Band ungefähr ein Potential von-500 V, die Haube ein Potential von +100 V und das verdampfte Nickel auf dem Erdpotential gehalten werden soll.Working conditions. For the application of a layer of nickel, it was determined that the tape had approximately one potential of -500 V, the hood has a potential of +100 V and the evaporated nickel is kept at ground potential target.

Obschon dies nicht immer notwendig ist, kann man in bestimmten Fällen, um eine besonders gute Haftung der Beschichtung zu erzielen, das Metallteil auf eine Temperatur bringen, die im allgemeinen zwischen 1/5 und I/3 der Temperatur liegt, bei der das niederzuschlagende Metall schmilzt. Bei der auf Figur 1 dargestellten Vorrichtung wird die Erwärmung des Bandes 4- durch eine Stromquelle bewirkt, die durch Leitungen 17 mit Walzen 5 und 6, über die das Band 4 zugeführt wird, verbunden ist, das auf diese Weise durch den Joule-Effekt erwärmt wird. Die Erwärmung des Bandes kann auch über eine Elektronenstrahlkanone 22, die auf Figur 2 dargestellt ist, vorgenommen werden. Although this is not always necessary, in certain cases it is possible to ensure particularly good adhesion of the coating to achieve, bring the metal part to a temperature generally between 1/5 and I / 3 of the The temperature at which the metal to be deposited melts. In the device shown in FIG The heating of the belt 4- is effected by a power source, which is passed through lines 17 with rollers 5 and 6, via which the tape 4 is fed, is connected, which is heated in this way by the Joule effect. The warming of the tape can also be made via an electron beam gun 22, which is shown in FIG.

Zum Aufbringen einer Metallbeschichtung auf einen Metalldraht, beispielsweise ein Stahldraht, benutzt man die auf Figur 3 dargestellte Vorrichtung. In diesem Fall hat die Haube 18, die den reflektierenden Schirm bildet, die Form eines konisch zulaufenden Zylinders, dessen öffnung 18 a nach unten gerichtet ist. In Achsrichtung wird der zu beschichtende Draht 19 eingeführt, der aus der Spitze 18 b austritt und durch eine den Walzen 5 und 6 entsprechende Vorrichtung bewegt wird. Zwei halbkreisförmige Wannen 20 umgeben den Draht 19; beide Wannen werden nacheinander mit Elektronen beaufschlagt, die durch zwei Kanonen 21 erzeugt und durch nicht dargestellte Einrichtungen umgelenkt werden.To apply a metal coating to a metal wire, for example a steel wire, one uses the Figure 3 shown device. In this case, the hood 18, which forms the reflective screen, has the shape a conically tapering cylinder, the opening 18 a of which is directed downwards. The one to be coated is in the axial direction Wire 19 introduced, which emerges from the tip 18 b and through a roller 5 and 6 corresponding Device is moved. Two semicircular troughs 20 surround the wire 19; both tubs are using one after the other Electrons are applied, which are generated by two guns 21 and deflected by means not shown.

Die Einrichtung enthält auch eine Einfassung für die Haube, eine Heizeinrichtung und eine Polarisationseinrichtung fürThe device also includes a bezel for the hood, a heating device and a polarization device for

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die Haube, sowie eine Heizeinrichtung für den Draht und eine Vorrichtung zur Ionisierung der Metallatome, wie sie in Zusammenhang mit der Vorrichtung gemäß den Figuren 1 und 2 beschrieben wurde.the hood, as well as a heater for the wire and a device for ionizing the metal atoms, as used in connection with the device according to FIGS and 2 has been described.

Die Erfindung hat eine Reihe von Vorteilen, weil sie gleichzeitig eine gleichmäßige Beschichtung auf beiden Seiten eines langgestreckten Metallteils, z. B. eines Bandes, eines Drahtes oder eines profilierten Metallstückes ermöglicht. Darüber hinaus wird die Ausbeute vergrößert und die Einrichtung verschmutzt sehr viel weniger. Dadurch verringert sich die Zahl der Reinigungen und der damit verbundenen Stillstände, so daß die Produktion verbessert wird.The invention has a number of advantages because they are simultaneous a uniform coating on both sides of an elongated metal part, e.g. B. a tape, a wire or a profiled piece of metal. In addition, the yield is increased and the facility is much less polluted. This reduces the number of cleanings and the associated ones Standstills so that production is improved.

Patent claims

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Claims

rl.J method for applying a coating to an elongated Metal part, in particular a band or a wire made of steel, in which the coating is formed by condensation is generated by metal atoms obtained by evaporation of a metal in a vacuum, the is brought to a temperature above its evaporation point, characterized in that that the metal part to be coated vertically through a space in which a vacuum of

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about 10 to 10 ' Torr is maintained, that one generates metal atoms in a device surrounding the metal part and that the metal atoms are reflected against the metal part which have passed the metal part laterally from the generation source and are not directly condensed on it.

2. Device for the continuous implementation of the process according to claim 1, characterized in that it consists of a vertically arranged container (1), the provided with lock sluices (2, 3) at its ends

-1 -5, and in which there is a vacuum of about 10 to 10 ^y Torr, means (5, 6) for continuously advancing the part to be coated (4) in the container in a vertical path, a means for generating metal atoms which is arranged around the part to be coated in a plane normal to the direction of the path in order to direct the metal atoms directly onto the metal part and consists of a reflective screen (11) which reflects the metal atoms back onto the part to be coated, which the metal part happen and not be condensed directly on this.

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3. Device according to claim 2, characterized in that that the reflective screen is independent of the direction of movement of the part to be coated above the Device for generating the metal atoms is arranged.

4 ·. Device according to Claims 2 and 3, characterized in that that the reflective screen is connected to a pole of a direct current source, namely with the positive pole, whereas the part to be coated with the other, namely the negative pole connected to the power source.

5. Device according to claims 2 to 4, characterized in that that the reflective screen is connected to a heating device, for example with a electric heater.

6. Apparatus according to claim 5> characterized in that that the reflective screen is brought to a temperature that is at least 1/7 of the temperature, in which the metal from which the metal atoms are created evaporates.

7. Device according to claims 2 to 6, characterized in that the reflective screen has an inner surface which consists of a geometric body with edges or a body of revolution.

8. Device according to claims 2 to 7, characterized in that that the reflective screen has the shape of a tapered cylinder (18).

9. Device according to claims 2 to 8, characterized in that that the reflective screen needs to

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layering product surrounds at least part of its length.

10. The device according to claim 2, characterized in that the source for generating the metal atoms consists of at least one trough which contains the metal to be evaporated and is under the action of at least one electron beam gun.

11. The device according to claim 10, characterized in that the electron beam leaving the cannon is subjected to a reciprocating motion.

12. The device according to claim 9, characterized in that the trough (20) which contains the metal to be evaporated has the shape of a ring.

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