DE2006866B2

DE2006866B2 - DEVICE FOR CONTINUOUS STEAMING OF A LONG EXTENDED METAL PART

Info

Publication number: DE2006866B2
Application number: DE19702006866
Authority: DE
Inventors: Dominique Thomas Francois Cointe-Sclessin; Delcour Leon Joseph Eugene Lüttich Streel
Original assignee: Cockerill Ougree Providence SA
Current assignee: Cockerill Ougree Providence SA
Priority date: 1969-02-24
Filing date: 1970-02-14
Publication date: 1976-03-25
Also published as: GB1277375A; LU60206A1; NL7002193A; JPS4817695B1; FR2031254A5; CH520784A; DE2006866A1; US3693582A; BE728876A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum kontinuierlichen Bedampfen eines langgestreckten Metallteils unter Vakuum mit Metall, insbesondere eines Bandes oder eines Drahtes aus Stahl, bei der das Metallteil durch einen erhitzten Reflektor geführt ist, der das Metallteil umgibt. Eine derartige Vorrichtung ist in der DT-OS 1521151 beschrieben.The invention relates to a device for the continuous vapor deposition of an elongated Metal part under vacuum with metal, in particular a band or a wire made of steel which the metal part is passed through a heated reflector that surrounds the metal part. Such a one Device is described in DT-OS 1521151.

Es ist bekannt, die Oberflächen von Metallen gegen Korrosion durch Stoffe, denen sie ausgesetzt sind, zu schützen, um ihre Lebensdauer zu verlängern. Insbesondere werden Teile aus Stahl oder Stahlprodukten zum Schutz gegen Korrosion mit verschiedenartigen Überzügen versehen, die auf unterschiedlicheIt is known to protect the surfaces of metals against corrosion by substances to which they are exposed to protect to extend their life. In particular, parts are made of steel or steel products to protect against corrosion provided with different types of coatings, which on different

gesehen, wobei der Reflektor positiv und das Metallteil negagtiv geladen sind. Auf diese Weise werden die Atome in positive Metallionen umgewandelt, dieseen, the reflector being positively charged and the metal part negatively charged. Be that way the atoms are converted into positive metal ions, the

durch die ebenfalls positiv aufgeladene Haube abgestoßen und auf das Band geworfen werden, auf dem sie kondensieren. Dadurch wird die Ausbeute vergrößert. Die Erfindung sieht vor, zum Verdampfen des Metalls Elektronenstrahlkanonen zu benutzen, durch die eine sehr gleichmäßige und schnelle Erwärmung des in den Wannen angeordneten Metalls erfolgt.be repelled by the hood, which is also positively charged, and thrown onto the tape on which they condense. This increases the yield. The invention provides for evaporation to use electron beam guns of the metal, through which a very uniform and rapid heating of the metal arranged in the trays.

Zur Beurteilung der Erfindung wird noch nachfolgender Stand der Technik angeführt:In order to assess the invention, the following prior art is cited:

Aus dem schweizerischen Patent 2 88 438 ist eine Vorrichtung zum Aufbringen einer metallischen Beschichtung auf eia langgestrecktes Produkt bekannt, die in einem luftleeren Raum angeordnet ist und einen Behälter enthält, der aus zwei zylindrischenFrom the Swiss patent 2 88 438 there is a device for applying a metallic coating known on eia elongated product, which is arranged in a vacuum and Contains a container made up of two cylindrical

Weise aufgebracht werden. Es ist beispielsweise ein 45 Teilen besteht, die durch zwei Flansche miteinander Verfahren zum Aufbringen eines metallischen Über- verbunden sind und der einen Eintritt und einen zuges bekannt, das darin besteht, das zu beschich- gegenüberliegenden Austritt hat. Das zu beschichtende Teil in einen Raum zu bringen, in dem ein tende Produkt durchquert den Hohlraum der VorVakuum von etwa 10~⁴ Torr herrscht und Metall- richtung diametral, wobei sich das zu verdampfende dämpfe in diesen Raum einzuleiten, die aus den Me- 50 Metall am Boden des Hohlraums des Behälters betallatomen, die die Beschichtung bilden, bestehen. findet, der aus Graphit besteht und durch elektrischen Die Atome werden durch Verdampfen des Metalls
erzeugt, das auf eine Temperatur oberhalb seinesWay to be applied. For example, there is a 45-part that is connected to one another by two flanges for applying a metallic overlay and has an inlet and a draft, which consists of the outlet opposite to be coated. Bring the part to be coated into a room in which a tend product crosses the cavity, the pre-vacuum of about 10 ~ ⁴ Torr prevails and metal direction diametrically, whereby the vapors to be evaporated are introduced into this room, coming from the measuring 50 Metal at the bottom of the cavity of the container, there are betallatomen that form the coating. finds, which consists of graphite and by electrical the atoms are made by evaporation of the metal
generated that to a temperature above his

Verdampfungspunktes gebracht wird, und die so geIs brought to the evaporation point, and the so ge

Strom erhitzt wird. Auch bei dieser Vorrichtung durchläuft das zu beschichtende Produkt den Behälter waagerecht; ein Reflektor, der für eine gleichbildeten Dämpfe schlagen sich auf dem zu überzie- 55 mäßige Beschichtung sorgt, ist nicht vorgesehen,
henden Teil nieder. Dieses Verfahren wurde bei- Eine Ausführungsform der in dem US-PS 30 19 129Electricity is heated. With this device, too, the product to be coated runs horizontally through the container; a reflector, which ensures uniformly formed vapors strike the coating to be coated, is not provided,
hanging part down. This method was used in an embodiment of that disclosed in U.S. Patent No. 3,019,129

spielsweise zur Beschichtung von Bändern und Dräh- beschriebenen Vorrichtung zur Beschichtung von tem aus Stahl benutzt.for example for the coating of strips and wires described device for the coating of made of steel.

Die Nachteile des bekannten Verfahrens bestehen
darin, daß sich die Atome im Vakuum strahlenförmig und im wesentlichen geradlinig ausbreiten,
so daß nur die Atome, die direkt auf den Teil der
zu beschichtenden Oberfläche, der von der Erzeugungsstelle aus sichtbar ist, treffen, zur Bildung der
Beschichtung benutzt werden, während alle anderen 65 eine Vorrichtung zum Aufbringen einer nicht korroverlorengehen und sich in dem Raum niederschlagen, dierenden metallischen Beschichtung auf ein Metall-The disadvantages of the known method exist
in the fact that the atoms spread out radially and essentially in a straight line in a vacuum,
so that only the atoms that are directly on the part of the
to be coated surface, which is visible from the point of generation, meet to form the
Coating can be used, while all the other 65 have a device for applying a non-corrosive coating and depositing in the room, the metallic coating on a metal

Metallen sieht vor, den Behälter, in dem die Beschichtung erfolgt, senkrecht anzuordnen. Bei dieser Ausführungsform soll aber kein langgestreckte Metallteil beschichtet werden, sondern beispielsweise ein Pulver oder Kleinteile, die im freien Fall von oben nach unten die Kammer durchqueren.Metals provides for the container in which the coating takes place to be arranged vertically. At this Embodiment, however, should not be coated an elongated metal part, but for example a Powder or small parts that fall through the chamber in free fall from top to bottom.

Das US-PS 17 10 747 betrifft ein Verfahren undThe US-PS 17 10 747 relates to a method and

in dem sie kondensieren. Die nicht sichtbare Fläche erhält nur wenige Atome, so daß die Beschichtungin which they condense. The invisible area contains only a few atoms, so that the coating

teil, insbesondere zum Beschichten eines Eisendrahtes mit Blei. Dabei erfolgt die Erwärmung durch einepart, especially for coating an iron wire with lead. The heating is done by a

elektrische Wicklung. Die Vorrichtung enthält auch keine Einrichtungen, mit denen die Metallteilchen, die nicht auf den Draht auftreffen, reflektiert werden. Bei der in dem US-PS 31 17 887 beschriebenen Vorrichtung zum Niederschlagen eines Metalls auf einem Blech wird eine Verdampfungseinrichtnng benutzt, die aus beheizten Oberflächen besteht, wobei die Beheizung der Oberflächen nach und nach durch einen mit elektrischem Strom beaufschlagten Widerstand erfolgt. Mit den heißen Oberflächen stehen Drähte in Berührung, die abschmelzen, so daß sich auf den Oberflächen Schichten des zu verdampfenden Metalls ausbreiten. Diese Beheizungseinrichtung ist zweifellos sehr viel aufwendiger .als die Beheizung cjit Elektronenstrahlen, da sowohl der Hohlraum als auch das Metall erwärmt werden mi'ssen, während durch die Elek'tronenstrahlen ausschließlich das Metall erhitzt wird. Eine derartige Verdampfungseinrichtung ist auch nicht brauchbar für die Behandlung eines Drahtes. Das gleichförmige Aufbringen eines Überzuges auf ein Blech ist nicht möglich, da das Aufschmelzen am Berührungspunkt der Drähte mit den Oberflächen erfolgt.electrical winding. The device does not contain any devices with which the metal particles, which do not hit the wire are reflected. In the case of the US Pat. No. 3,117,887 described Apparatus for depositing a metal on a sheet metal uses an evaporation device, which consists of heated surfaces, whereby the heating of the surfaces gradually through an electrical current is applied to the resistor. Stand with the hot surfaces Wires in contact, which melt away, so that layers of the material to be evaporated form on the surfaces Spread out metal. This heating device is undoubtedly much more complex than the heating cjit electron beams, since both the cavity and The metal must also be heated, while the electron beams are used exclusively to heat the metal is heated. Such an evaporation device cannot be used for the treatment either of a wire. The uniform application of a coating to a sheet metal is not possible, since that Melting takes place at the point of contact of the wires with the surfaces.

In der Zeichnung sind Ausführungsformen der Erfindung dargestellt. Es zeigtEmbodiments of the invention are shown in the drawing. It shows

Fig. 1 eine Vorrichtung zum Beschichten von Bändern in schematischer Darstellung,1 shows a device for coating strips in a schematic representation,

F i g. 2 die in F i g. 1 dargestellte Vorrichtung in perspektivischer Darstellung undF i g. 2 the in F i g. 1 device shown in perspective representation and

Fig. 3 ebenfalls perspektivisch, einen Teil einer Einrichtung zur Behandlung eines Drahtes.3 also in perspective, a part of a device for treating a wire.

Die in den F i g. 1 und 2 dargestellte Vorrichtung dient zum Beschichten eines Blechbandes und besteht im wesentlichen aus einem Behälter 1, der senkrecht angeordnet ist, d. h. dessen Längsachse senkrecht verläuft und dessen Enden durch Verschlußschleusen) 2 und 3 verschlossen sind. Durch nicht dargestellte Vakuumpumpen, die an den Behälter 1 angeschlossen sind, wird in diesem ein Vakuum im allgemeinen von 10"¹ bis 10~⁵ Torr erzeugt. In den Behälter wird ein Metallband 4, beispielsweise aus Stahl, über Antriebswalzen 5 und 6 eingeführt; das Band durchläuft die. Vorrichtung senkrecht von unten nach oben. Zwei Wannen 7 und 8 aus feuerfestem Material befinden sich auf beiden Seiten des Bandes 4, wobei die freie Seite der Behälter in einer senkrecht zu dem Band verlaufenden Ebene liegt. Die Wannen enthalten ein Metall, das auf eine Temperatur oberhalb seines Schmelzpunktes gebracht wird. Dies geschieht durch zwei Elektronenstrahlkanonen 9 und 10. Die Wannen werden durch eine nicht dargestellte bekannte Vorrichtung fortlaufend mit Metall gefüllt. Die Vorrichtungen 9 und 10 zur Erzeugung von Elektronenstrahlen sind mit einem Umlenkungssystem versehen, das die Elektronen um 180° umlenkt, und einer hin- und hergehenden Ablenkvorrichtung, um die Elektronen zu zwingen, wechselweise auf die Enden der Wannen zu treffen, die somit ebenfalls erhitzt werden. Auf diese Weise bilden die Wannen eine Quelle zur Erzeugung von Metallatomen. Die Atome treten annähernd geradlinig aus, wobei bestimmte Atome direkt auf die beiden Flächen des Bandes 4 treffen, auf dem sie kondensieren und die Beschichtung bilden. Diejenigen Atome, die nicht direkt auf das Band treffen und seitlich an diesem vorbeigehen, treffen auf die Innenfläche 11a des Reflektors 11, der die Form einer Haube hat. Die Haube wird auf eine Temperatur, nämlich die sogenannte Reflexionstemperatur, mittels einer Heizeinrichtung erhitzt, die aus einem Heizwiderstand 12 besteht, der die Haube umgibt und an eine Stromquelle 13 angeschlossen ist. Die Reflexionstemperatur wird so gewählt, daß die Metallatome, die die Haube treffen, nicht kondensieren können und sofort auf das Band 4 zurückgeworfen werden. Versuche haben ergeben, daß diese Temperatur im allgemeinen zwischen ⁷Ao und ¹²Ao des Temperaturwertes liegt, ίο bei dem das Metall schmilzt. Die für die praktische Durchführung des Verfahrens besten Ergebnisse ergeben sich durch Versuche, bei denen die Haube nacheinander verschiedenen Temperaturen unterworfen wird, die von einem Wert von etwa "Λ der Verdampfungstemperatur des Metalls ansteigt und die Temperatur ermittelt wird, bei der die beste Ausbeute erreicht wird.The in the F i g. The device shown in 1 and 2 is used to coat a sheet metal strip and consists essentially of a container 1 which is arranged vertically, ie whose longitudinal axis is perpendicular and the ends of which are closed by lock sluices 2 and 3. By means not shown vacuum pumps which are connected to the container 1, in this vacuum is generally from 10 ^"1 is generated to 10 ^-5 Torr in the container is a metal strip 4, for example made of steel, introduced via drive rollers 5 and 6. the belt runs vertically through the device from bottom to top. Two trays 7 and 8 of refractory material are located on either side of the belt 4, the free side of the containers lying in a plane perpendicular to the belt. The trays contain a metal , which is brought to a temperature above its melting point. This is done by two electron beam guns 9 and 10. The tanks are continuously filled with metal by a known device not shown. The devices 9 and 10 for generating electron beams are provided with a deflection system that deflects the electrons 180 °, and a reciprocating deflector to force the electrons, we to meet the ends of the tubs, which are thus also heated. In this way, the wells provide a source for generating metal atoms. The atoms emerge approximately in a straight line, with certain atoms hitting the two surfaces of the belt 4 directly, on which they condense and form the coating. Those atoms that do not hit the tape directly and pass it laterally hit the inner surface 11a of the reflector 11, which has the shape of a hood. The hood is heated to a temperature, namely the so-called reflection temperature, by means of a heating device which consists of a heating resistor 12 which surrounds the hood and is connected to a power source 13. The reflection temperature is chosen so that the metal atoms that hit the hood cannot condense and are immediately thrown back onto the belt 4. Tests have shown that this temperature is generally between ⁷ Ao and ¹² Ao of the temperature value at which the metal melts. The best results for the practical implementation of the method are obtained by tests in which the hood is successively subjected to different temperatures which rise from a value of about "Λ of the evaporation temperature of the metal and the temperature is determined at which the best yield is achieved .

Der Schirm 11 kann auch auf andere Weise erhitzt werden; beispielsweise kann man ihn direkt mit Strom ao beaufschlagen, so daß sein Eigenwiderstand die Erwärmung hervorruft.The screen 11 can also be heated in other ways; for example, you can use it directly with electricity ao act so that its inherent resistance causes the heating.

Man kann auch Elektronenstrahlkanonen benutzen, z. B. die Kanonen, die zur Erwärmung der Wannen dienen. Die gebündelten Elektronen, die die »5 Kanone verlassen, werden dabei so abgelenkt, daß sie nacheinander die Wannen und die innere Oberfläche des Schirms treffen. Im übrigen kann die Erwärmung des Schirms durch eine besondere Einrichtung manchmal ganz fortfallen, weil während des Betriebs die erwärmten Wannen eine Wärmestrahlung emittieren, die zur Erwärmung der reflektierenden Schirme ausreicht. Jedoch zum Anfahren Her Verrichtung müssen die Schirme durch die eine oder andere obenerwähnte Einrichtung erwärmt weruun. Um die Haube, deren Eintritt lift oberhalb der Wannen liegt, auf eine erhöhte Temperatur bringen zu können, besteht diese aus einem feuerfesten Metall, z. B. Tantal oder Wolfram. Die konische Form der reflektierenden Oberfläche hat Vorteile wegen der Bildung eines Unterdruckes an ihrer Spitze; es hat sich herausgestellt, daß dadurch die Ausbeute vergrößert wird. Insbesondere kann die reflektierende Oberfläche parabolisch oder eine parabolisch abgebogene Zylinderfläche sein. __ Ferner ist die Haube 11 über eine Leitung 14 α an den positiven Pol einer Stromquelle 14 angeschlossen; die austretenden Metallatome werden beim Verlassen der Wannen der Einwirkung einer Ionisierungseinrichtung 15 bekannter Bauart unterworfen, und zwar kurz oberhalb der Wannen. Auf diese Weise werden die Atome in positive Metallionen umgewandelt, die durch diese Anordnung durch die ebenfalls positiv aufgeladene Haube abgestoßen und auf das Band 4 geworfen werden, auf dem sie kondensieren, wodurch die Ausbeute vergrößert wird. Diese kann noch mehr erhöht werden, wenn man das Band an einen negativen Pol einer nicht dargestellten Stromquelle anschließt. Der Wert der Potentialdifferenz zwischen dem Band und der Haube hängt insbesondere von der Art des niedergeschlagenen Metalls und den Arbeitsbedingungen ab. Zum Aufbringen einer Schicht aus Nickel wurde ermittelt, daß das Band ungefähr ein Potential von — 500 V, die Haube ein Potential von +100 V und das verdampfte Nickel auf dem Erdpotential gehalten werden soll.One can also use electron beam guns, e.g. B. the cannons that are used to heat the tubs to serve. The bundled electrons leaving the cannon are deflected in such a way that they successively hit the tubs and the inner surface of the screen. Otherwise, the warming of the screen by a special device sometimes completely omitted, because during operation the heated tubs emit thermal radiation that heats the reflective Umbrellas are sufficient. However, to start up the performance the screens must be heated by one or the other of the above-mentioned devices. To bring the hood, whose entry lift is above the tubs, to an elevated temperature to be able to, this consists of a refractory metal, for. B. tantalum or tungsten. The conical shape the reflective surface has advantages because of the formation of a negative pressure at its tip; it it has been found that this increases the yield. In particular, the reflective The surface can be parabolic or a parabolic curved cylinder surface. __ Furthermore, the hood 11 is connected via a line 14 α to the positive pole of a power source 14; the exiting metal atoms are exposed to an ionization device when they leave the tubs 15 subject to known design, namely just above the tubs. In this way the atoms turn into positive metal ions converted, which repelled by this arrangement by the likewise positively charged hood and be thrown onto the belt 4, on which they condense, whereby the yield is increased. This can be increased even more if you connect the tape to a negative pole of a not shown Power source connects. The value of the potential difference between the tape and the hood depends in particular on the type of metal deposited and the working conditions. To the Applying a layer of nickel it was found that the tape has a potential of approximately - 500 V, the hood has a potential of +100 V and the evaporated nickel is kept at the earth potential target.

Obschon dies nicht immer notwendig ist, kann man in bestimmten Fällen, um eine besonders guteAlthough this is not always necessary, in certain cases you can get a particularly good one

Haftung der Beschichtung zu erzielen, das Metallteil auf eine Temperatur bringen, die im allgemeinen zwischen Vs und ¹Z₃ der Temperatur liegt, bei der das niederzuschlagende Metall schmilzt. Bei der in F i g. 1 dargestellten Vorrichtung wird die Erwärmung des Bandes 4 durch eine Stromquelle 16 bewirkt, die durch Leitungen 17 mit Walzen 5 und 6, über die das Band 4 zugeführt wird, verbunden ist, das auf diese Weise durch den Joule-Effekt erwärmt wird. Die Erwärmung des Bandes kann auch über eine Elektronenstrahlkanone 22, die in F i g. 2 dargestellt ist, vorgenommen werden.To achieve adhesion of the coating, bring the metal part to a temperature which is generally between Vs and ¹ Z _{3 of} the temperature at which the metal to be deposited melts. In the case of the in FIG. 1, the heating of the strip 4 is effected by a current source 16 which is connected by lines 17 to rollers 5 and 6 via which the strip 4 is fed, which is heated in this way by the Joule effect. The belt can also be heated by an electron beam gun 22, which is shown in FIG. 2 is shown.

Zum Aufbringen einer Metallbeschichtung auf einen Metalidraht, beispielsweise ein Strahldraht, benutzt man die in. F i g. 3 dargestellte Vorrichtung. In diesem Fall hat die Haube 18, die den reflektierenden Schirm bildet, die Form eines konisch zulaufenden Zylinders, dessen öffnung 18 a nach unten gerichtet ist. In· Achsrichtung wird der zu beschichtende Draht 19 eingeführt, der aus der Spitze 18 b austritt und durch eine den Walzen 5 und 6 entsprechende Vorrichtung bewegt wird. Zwei halbkreisförmige Wannen 20 umgeben den Draht 19; beide Wannen werden nacheinander mit Elektronen beaufschlagt, die durch zwei Kanonen 21 erzeugt und durch nicht dargestellte Einrichtungen umgelenki werden.To apply a metal coating to a metal wire, for example a beam wire, the methods shown in FIG. 3 device shown. In this case, the hood 18, which forms the reflective screen, has the shape of a conically tapering cylinder, the opening 18 a of which is directed downwards. In · axial direction is inserted to be coated wire 19 b comes out of the tip 18 and is moved by the rollers 5 and 6, corresponding apparatus. Two semicircular troughs 20 surround the wire 19; electrons are applied to both wells one after the other, which electrons are generated by two guns 21 and are swiveled by means not shown.

Die Einrichtung enthält auch eine Einfassung füi die Haube, eine Heizeinrichtung und eine Polarisationseinrichtung für die Haube, sowie eine Heizeinrichtung für den Draht und eine Vorrichtung zuiThe device also includes a bezel for the hood, a heater and a polarizer for the hood, as well as a heating device for the wire and a device zui

ίο Ionisierung der Metallatome, wie sie in Zusammenhang mit der Vorrichtung gemäß den Fig. 1 und 1 beschrieben wurde.ίο ionization of the metal atoms, as described in connection with the device according to FIGS. 1 and 1 .

Die Erfindung hat eine Reihe von Vorteilen, weil sie gleichzeitig eine gleichmäßige Beschichtung au!The invention has a number of advantages because it also provides a uniform coating!

beiden Seiten eines langgestreckten Metallteils, ζ. Β eines Bandes, eines Drahtes oder eines profilierter Metallstückes ermöglicht. Darüber hinaus wird die Ausbeute vergrößert, und die Einrichtung verschmutzt sehr viel weniger. Dadurch verringert siel·both sides of an elongated metal part, ζ. Β of a tape, a wire or a profiled one Metal piece allows. In addition, the yield is increased and the facility is dirty much more less. This reduces it

ao die Zahl der Reinigungen und der damit verbundenen Stillstände, so daß die Produktion verbesser wird.ao the number of cleanings and the associated Standstills so that production is improved.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims

Patent claims: this is completely inadequate. This disadvantage has led to the development of the device described at the outset, from which the invention is based and in which a reflector is used which surrounds the metal part and reflects the incident atoms onto the surface of the metal part to be coated facing away from the production point. With this device, the product to be coated runs through the container in a horizontal direction so that it is not possible

1. Device for the continuous vapor deposition of an elongated metal part under vacuum with metal, in particular a band or a wire made of steel, in which the metal part is passed through a heated reflector that

surrounds the metal part, thereby identifying

shows that the metal part (4; 19) is borrowed the advance, the device for generating the metal direction runs through from bottom to top, arranging the atoms in such a way that they are the objects to be coated Tape (4) on both sides of two evaporator troughs completely surrounds the product, so as to ensure uniformity 7, 8) or the wire (19) from an annular coating of the entire surface. Evaporator pan (20) are surrounded and the task of the invented reflector specified in claim 1 (11; 18) above the evaporator there is therefore a solution to this problem.

troughs and is conical in the running direction of the metal part.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that one ionizing the metal vapor

This ensures that the steel tape or wire has a uniform coating over it preserve the entire surface. The vertical arrangement of the parts to be treated is

rende device (15) is provided and the * o part, as guide devices for the hot Reflector positive and the metal part negative. Wire, which are required when this is loaded in horizontally are. right position through the container, and

3. Apparatus according to claim 1 or 2, that the construction of such a device is characterized in that considerably complicating the evaporation of the are not required.
Metal electron beam guns (9, 10; 21) in front of a further feature of the invention

a device that ionizes the metal vapor

are seen.