DE19961736A1

DE19961736A1 - Piezoelektrisch betätigbares Ventil

Info

Publication number: DE19961736A1
Application number: DE19961736A
Authority: DE
Inventors: Itzhak M Itzhaky
Original assignee: Drei-S-Werk Praezisionswerkzeuge & Co Fertigungs-Kg GmbH; DREI S WERK PRAEZ SWERKZEUGE G
Current assignee: Caterpillar Inc
Priority date: 1999-12-09
Filing date: 1999-12-21
Publication date: 2001-06-21
Anticipated expiration: 2019-12-22
Also published as: DE19961736B4

Abstract

Bei einem piezoelektrisch betätigbaren Ventil (1) mit mindestens einem Ventilkanal (4, 5), der mittels eines an einem piezoelektrischen Biegewandler (7, 8) gehaltenen Dichtelements (14, 16) verschließbar ist, ist zur Erhöhung der Dichtwirkung des geschlossenen oder zu schließenden Ventilkanals (4, 5) der Biegewandler (7, 8) beidendseitig im Ventilgehäuse (2) gehalten. Dazu ist ein mit einer elektrischen Spannungsquelle (U¶1,¶ ¶2¶) verbindbares Anschlussende (7a, 8a) zur Ventilbetätigung im Ventilgehäuse (2) fixiert, während das Freiende (7b, 8b) des Biegewandlers (7, 8) in einer Gehäusenut (11) geführt ist.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein piezoelektrisch betätigbares Ventil mit minde stens einem Ventilkanal, der mittels eines an einem piezoelektrischen Biegewand ler gehaltenen Dichtelementes verschließbar ist, wobei der Biegewandler mit ei nem mit einer elektrischen Spannungsquelle verbindbaren Anschlussende zur Ventilbetätigung im Ventilgehäuse fixiert ist.

Aus der DE 36 08 550 A1 ist ein piezoelektrisch betätigbares Ventil bekannt, in dessen Ventilgehäuse mindestens drei Ventilkanäle zur Bildung eines Drei-Wege- Ventils einmünden. Das als Pneumatik- oder Hydraulikventil verwendbare Ventil weist innerhalb dessen Ventilgehäuses mindestens einen piezoelektrischen Bie gewandler auf, dessen Anschlussende zum Anschließen einer elektrischen Span nungsquelle in einer Gehäuseschmalseite fixiert ist. Das in den Gehäuseinnen raum hineinragende Freiende des Biegewandlers trägt auf dessen dem jeweiligen Ventilkanal zugewandten Seite ein Dichtelement zum Verschließen dieses Ventil kanals.

Um in einem Ausgangs- oder Ruhezustand bei einem geöffneten Ablaufkanal ei nen diesem gegenüberliegenden Zulaufkanal zu verschließen, ist der entspre chende Biegewandler mechanisch vorgespannt und/oder mittels Federkraft gegen den Ventilsitz des Zulaufkanals gedrückt. Der gegenüberliegende Ablaufkanal ist in diesem Zustand dadurch geöffnet, dass ein von demselben oder von einem weiteren anschlussseitig im Gehäuse fixierten Biegewandler gehaltenes Dichtele ment dem Ventilsitz des Ablaufkanals beabstandet gegenübersteht.

Im Betriebszustand ist das Anschlussende des oder jedes Biegewandlers an eine Spannungsquelle angeschlossen, wobei je nach Polung das Freiende des Biege wandlers in Richtung auf den jeweiligen Ventilkanal oder in entgegengesetzter Richtung ausgelenkt wird. Dadurch verschließt das mit dem Freiende des Biege wandlers mitbewegte Dichtelement den Ablaufkanal bei gleichzeitigem Öffnen des Zulaufkanals. Dadurch wird ein über den Zulaufkanal in das Ventilgehäuse ein strömendes Medium über einen Arbeitskanal abgeführt, während im Ruhezustand bei geschlossenem Zulaufkanal ein über den Arbeitskanal einströmendes Medium über den Ablaufkanal aus dem Ventilgehäuse herausströmt.

Bei diesem bekannten piezoelektrisch betätigten Ventil besteht insbesondere un ter extremen Betriebsbedingungen das Problem einer nicht ausreichenden Dich tigkeit des je nach Betriebszustand geschlossenen Ventilkanals. So können bei einem mit hohem Druck und/oder hoher Strömungsgeschwindigkeit über das Ventil geführten Medium unerwünscht hohe Leckraten infolge einer unzureichen den Abdichtung insbesondere des im Ruhezustand geöffneten und mittels des erregten Biegewandlers zu schließenden Ventilkanals auftreten.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein piezoelektrisches Ventil, ins besondere ein Pneumatikventil, anzugeben, bei dem zur Verbesserung der Be triebssicherheit der zu sperrende Ventilkanal zuverlässig verschlossen wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des An spruchs 1. Dazu ist einerseits das Freiende des Biegewandlers in der dem An schlussende gegenüberliegende Gehäuseseite, vorzugsweise beweglich, gehal ten. Andererseits ist das Dichtelement im mittleren Bereich des Biegewandlers, vorzugsweise mit zumindest annähernd gleichem Abstand sowohl zum Freiende als auch zum Anschlussende, gehalten.

Die Erfindung geht dabei von der Überlegung aus, dass ein zuverlässiges Ver schließen des zu sperrenden und somit jeweils deaktivierten Ventilkanals auch unter extremen Betriebsbedingungen, insbesondere bei einem hohen Druck und einer hohen Strömungsgeschwindigkeit eines zu steuernden Mediumflusses, durch Erhöhung der Kraft erreicht werden kann, mit der das Dichtelement mittels des jeweiligen Biegewandlers gegen den Ventilsitz des entsprechenden Ventilka nals gepresst oder gedrückt wird. Diese erhöhte Andruck- oder Anpresskraft kann durch den Biegewandler selbst erzeugt werden, wenn dieser innerhalb des Ventil gehäuses beidendseitig gehalten ist.

Die Erfindung geht dabei von der Erkenntnis aus, dass bei gegebener Anschluss- oder Betriebsspannung und demzufolge bei konstantem Biegemoment des pie zoelektrischen Wandlers die von diesem erzeugte Kraft mit abnehmendem He belarm gemäß der Beziehung M = F.x zunimmt, wenn M konstant ist. Wird somit der Biegewandler einerseits beidendseitig gehalten und andererseits das Dichte lement im mittleren Bereich des Biegewandlers angeordnet, so ist die infolge einer Ausbiegung des Biegewandlers vom Dichtelement auf den Ventilsitz des entspre chenden Ventilkanals ausgeübte Anpresskraft im Vergleich zu einem einseitig eingespannten und somit freiendseitig freibeweglichen Biegewandler mindestens verdoppelt.

Um bereits im Ausgangs- oder Ruhezustand ein zuverlässiges Verschließen eines Ventilkanals in besonders einfacher und wirkungsvoller Art und Weise zu erzielen, ist der Biegewandler in vorteilhafter Ausgestaltung im spannungslosen Zustand in Richtung auf diesen Ventilkanal konkav gebogen. Der Biegungsverlauf des Bie gewandlers im spannungslosen oder erregungsfreien Ruhezustand wird zweck mäßigerweise dadurch erreicht, dass der Biegewandler selbst blattfederartig vor gespannt ist. Eine derartige Vorspannung wiederum wird zweckmäßigerweise durch ein geeignetes Herstellungsverfahren erreicht. Dabei wird von einem lamel lierten Biegewandler mit einem zumindest eine elektrisch leitfähige Trägerschicht und eine Piezokeramikschicht aufweisenden Schichtaufbau ausgegangen, der durch Erhitzen und anschließendes Abkühlen infolge materialbedingt unterschied licher Kontraktionseigenschaften zu verschieden stark vorgespannten Schichten oder Lagen (prestressed layers) führt. Die unterschiedliche Vorspannung der Schichten wiederum führt zu einer Ausbiegung des flachen Biegewandlers um eine quer zu dessen Längsseiten verlaufende und parallel zu dessen Schmalsei ten liegende Biegeachse.

Um eine Beweglichkeit des Biegewandlers im erregten Zustand in einfacher Art und Weise zu erreichen, ist das dem fixierten Anschlussende gegenüberliegende Freiende in einer im Ventilgehäuse vorgesehenen Längsnut geführt. Diese Füh rung ermöglicht eine Längsbewegung des Biegewandlers, während eine seitliche Bewegung des Freiendes dadurch verhindert ist, dass bei einer Anregung des Biegewandlers die Nutseitenwände beidseitige Anschläge für das Freiende bilden.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind innerhalb des Ventilgehäu ses zwei Biegewandler zueinander im Wesentlichen parallel verlaufend angeord net. Deren jeweiliges Anschlussende ist gehäusefest gehalten, während das je weilige Freiende in Längsrichtung wiederum beweglich gehalten ist. Bezogen auf eine Gehäusemittelachse sind die beiden Biegewandler in Richtung auf den die sen jeweils zugeordneten Ventilkanal konvex gewölbt. Dabei ist im spannungslo sen Zustand ein erster Ventilkanal mittels eines von einem ersten Biegewandler getragenen Dichtelements verschlossen, während ein gegenüberliegender zweiter Ventilkanal geöffnet ist. Diesem zweiten Ventilkanal liegt dann ein vom zweiten Biegewandler getragenes Dichtelement beabstandet gegenüber. Durch Anlegen der Betriebsspannung mit entsprechender Polung werden beide Biegewandler erregt, so dass der erste Ventilkanal geöffnet und der zweite Ventilkanal ge schlossen wird. Ein über einen zusätzlichen Einströmkanal in das Ventilgehäuse einströmendes Medium wird somit im Ruhezustand über den zweiten Kanal und im Betriebszustand über den ersten Kanal aus dem Ventilgehäuse herausgeführt. Je nach Betriebsweise kann auch ein über den geöffneten zweiten Ventilkanal einströmendes Medium über den Einströmkanal aus dem Ventilgehäuse abströ men.

Bei Einsatz eines einzelnen Biegewandlers ist dieser im spannungslosen Zustand in Richtung auf einen ersten Ventilkanal konkav gebogen, wobei sich ein diesem gegenüberliegender zweiter Ventilkanal innerhalb des Ventilgehäuses bis in die wirksame Nähe der konkaven Seite des Biegewandlers erstreckt. Insbesondere bei dieser Ausführungsform mit nur einem einzelnen Biegewandler trägt dieser ein beidseitig dessen mittleren Bereiches wirksames Dichtelement.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand einer Zeichnung näher erläutert. Darin zeigen:

Fig. 1 in einer Schnittdarstellung eine erste Ausführungsvariante eines piezo elektrisch betätigbaren Ventils mit zwei beidendseitig gehaltenen Bie gewandlern,

Fig. 2 eine zweite Ausführungsvariante des Ventils gemäß Fig. 1,

Fig. 3 in einer Darstellung gemäß den Fig. 1 und 2 ein piezoelektrisch betätigbares Ventil mit einem einzelnen beidendseitig gehaltenen Bie gewandler, und

Fig. 4 in Darstellungen A und B Versuchsaufbauten eines einseitig bzw. beid seitig gehaltenen piezoelektrischen Biegewandler im erregten und erre gungsfreien Zustand.

Dabei sind gleiche Teile in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen verse hen.

Das piezoelektrisch betätigbare Ventil 1 gemäß den Fig. 1 und 2 weist ein vor zugsweise aus Kunststoff bestehendes und quaderförmiges Ventilgehäuse 2 mit einem ebenfalls quaderförmigen oder auch kreiszylindrischen Innenraum 3 auf. In den Innenraum 3 münden zwei sich diametral gegenüberliegende Ventilkanäle 4 und 5 ein. Ein weiterer in den Innenraum 3 des Ventilgehäuses 2 einmündender Ventil- oder Eintrittskanal 6 verläuft quer zu den beiden Ventilkanälen 4 und 5.

Im Innenraum 3 des Ventilgehäuses 2 sind zwei plättchenförmige Biegewandler 7 und 8 angeordnet. Jeder Biegewandler 7, 8 weist ein Anschlussende 7a, 8a und ein Freiende 7b, 8b auf. Das jeweilige Anschlussende 7a, 8a des Biegewandlers 7 bzw. 8 ist im Bereich einer anschlussseitigen Schmalseite 2a des Ventilgehäu ses 2 gehalten und dort fixiert. An das jeweilige Anschlussende 7a, 8a des Biege wandlers 7 bzw. 8 sind Anschlusskontakte 9 geführt, die mit jeweils einer Span nungsquelle U₁ bzw. U₂ über Anschlussleitungen 10 verbunden sind. Die An schlussquellen U₁, U₂ liefern eine Gleichspannung von z. B. 200 V.

Auf der gegenüberliegenden Gehäuseschmalseite 2b des Ventils 1 liegen die Freienden 7b, 8b des jeweiligen Biegewandlers 7 bzw. 8 in Gehäusenuten 11 ein. Innerhalb dieser Gehäusenuten 11 sind die Freienden 7b, 8b der Biegewandler 7 bzw. 8 in Wandlerlängsrichtung 12, die auch der Gehäuselängsrichtung ent spricht, beweglich gehalten. Die Gehäusenuten 11 bilden dabei seitliche Anschlä ge für das jeweilige Freiende 7b, 8b in bzw. entgegen der durch den Pfeil 13 ver anschaulichten Gehäusequerrichtung.

Bei dem im Ausführungsbeispiel dargestellten Ruhe- oder Ausgangszustand sind die Biegewandler 7, 8 spannungslos und somit erregungsfrei. In diesem Ruhezu stand ist der im Ausführungsbeispiel gemäß den Fig. 1 und 2 rechte Ventilka nal 4 verschlossen. Dazu trägt der Biegewandler 7 im mittleren Bereich der die sem Ventilkanal 4 zugewandten Außenseite ein vorzugsweise aus Kunststoff oder Gummi bestehendes Dichtelement 14. Dieses liegt am Ventilsitz 15 des Ventilka nals 4 an und dichtet diesen gehäuseinnenseitig ab. Die dazu erforderliche An presskraft F₁ wird vom Biegewandler 7 selbst dadurch aufgebracht, dass dieser im Ruhezustand in Richtung auf den Ventilsitz 15 konkav gewölbt und dabei durch eine entsprechende Einbaulage blattfederartig vorgespannt ist.

Der dargestellte Biegungs- oder Krümmungsverlauf des jeweiligen Biegewand lers 7, 8 wird durch ein spezielles Herstellungsverfahren erreicht, bei dem in nicht näher dargestellter Art und Weise ein Schichtaufbau mit einer elektrisch leitfähi gen Trägerschicht, vorzugsweise in Form eines flachen Blechstreifens, und mit einer darauf anhäsiv gehaltenen Piezokeramikschicht durch Erhitzen und an schließendes Abkühlen entlang der Wandlerlängsrichtung 12 vorgespannt wer den.

Der dem (linken) Ventilkanal 5 zugeordnete Biegewandler 8, der bezüglich dessen Form und Aufbau dem Biegewandler 7 entspricht, trägt ebenfalls in dessen mittle ren Bereich ein Dichtelement 16. Dieses ist im dargestellten geöffneten Zustand des Ventilkanals 5 gegenüber dessen Ventilsitz 17 mit einem Abstand a angeord net. Auch dieser Biegewandler 8 ist im spannungslosen Ruhezustand in Richtung auf diesen Ventilsitz 17 und damit auf den Ventilkanal 5 konvex gewölbt.

Zum Betrieb des Ventils 1 werden die beiden Biegewandler 7 und 8 bei entspre chender Polung der Spannungsquellen U₁ bzw. U₂ erregt. Dabei bewegen sich beide Biegewandler 7, 8 in Richtung oder Biegerichtung des Pfeils 13, so dass das vom Biegewandler 7 getragene Dichtelement 14 vom Ventilsitz 15 abhebt und somit den Ventilkanal 4 öffnet, während das vom Biegewandler 8 getragene Dicht element 16 gegen den Ventilsitz 17 gepresst wird und somit den Ventilkanal 5 verschließt. Die Freienden 7b und 8b beider Biegewandler 7 bzw. 8 können sich dabei aufgrund deren Halterung innerhalb der Gehäusenuten 11 in Längsrich tung 12 verschieben. Die Freienden 7b und 8b sind dabei derart tief in die Gehäu senuten 11 eingeführt, dass diese bei einer Ausbiegung der Biegewandler 7, 8 im erregten Zustand nicht aus den Gehäusenuten 11 heraustreten können.

Während im Ruhezustand aufgrund der Vorspannung des gebogenen Biegewand lers 7 das von diesem getragene Dichtelement 14 bereits mit einer ausreichend hohen Anpresskraft F₁ gegen den Ventilsitz 15 gedrückt wird, wird die zum Ver schließen des im Ruhezustand offenen Ventilkanals 5 erforderliche Anpress kraft F₂ durch die beidendseitige Halterung des Biegewandlers 8 in Kombination mit der mittenlagigen Anordnung des Dichtelements 16 erreicht. Grund hierfür ist eine Krafterhöhung infolge einer besonders günstigen Hebelarmwirkung bei kon stantem Biegemoment gemäß der Beziehung M = F.x. Dabei ist M das von der elektrischen Spannung U abhängige Biegemoment, F die auf das jeweilige Dicht element 14,16 wirkende Auslenkkraft und x der Abstand zwischen dem Anschlus sende 7a, 8a des Biegewandlers 7 und dem von diesem jeweils getragenen Dich telement 14 bzw. 16.

Beim Betrieb des im Ausführungsbeispiel als Drei-Wege-Ventil ausgeführten Pneumatikventils 1 wird über den Eintritts- oder Einlasskanal 6 in das Ventilge häuse 2 mit einem vorgegebenen Druck p und mit einer vorgegebenen Strö mungsgeschwindigkeit v einströmende Luft L über den in diesem spannungslosen Ruhezustand geöffneten Ventilkanal 5 aus dem Ventilgehäuse 2 abgeführt. Der Einströmkanal 6 kann dabei gemäß Fig. 1 durch eine Längsseite des Ventilge häuses 2 auf zumindest annähernd gleicher Höhe der beiden diametral gegen überliegenden Ventilkanäle 4 und 5 in den Innenraum 3 geführt werden. Alternativ kann gemäß Fig. 2 der Einlasskanal 6 durch die mit den Gehäusenuten 11 verse hene Schmalseite 2b des Ventilgehäuses 2 in den Innenraum 3 geführt sein. Bei dieser Ausführungsform verläuft der Einlasskanal 6 zweckmäßigerweise zwischen den beiden Gehäusenuten 11 und mündet somit zwischen den beiden Biege wandlern 7 und 8 in den Innenraum 3 ein.

Zum Umschalten des Ventils 1 werden die beiden Biegewandler 7 und 8 durch Anlegen einer Betriebsspannung U bei entsprechender Polung der Spannungs quellen U₁ und U₂ erregt und in gleicher Richtung (Biegungsrichtung) 13 ausge lenkt. Dabei wird der im Ruhezustand geschlossene Ventilkanal 4 geöffnet, wäh rend der im Ruhezustand geöffnete Ventilkanal 5 geschlossen wird. Die über den Einlasskanal 6 in das Ventilgehäuse 2 einströmende Luft L wird somit über den Ventilkanal 4 abgeführt. Durch entsprechende Polung der Spannungsquellen U₁ und U₂ können auch beide Ventilkanäle 4 und 5 geöffnet oder geschlossen wer den.

Bei der in Fig. 3 ohne Spannungsanschlüsse 9, 10 dargestellten Variante mit ei nem einzelnen, wiederum beidendseitig im Ventilgehäuse 2 gehaltenen Biege wandler 7 ist dessen mittlerer Bereich im Ausführungsbeispiel im Ruhezustand in Richtung auf den Ventilkanal 4 gewölbt oder gebogen. Der dem Ventilkanal 4 ge genüberliegende Ventilkanal 5 ist im Innenraum 3 in Richtung zum Dichtelement 14' hin verlängert und erstreckt sich somit bis in die wirksame Nähe des Biege wandlers 7. Das auf den Biegewandler 7 aufgesetzte oder aufgebrachte und so wohl auf dessen konvexer als auch auf dessen konkaver Seite wirksame Dichte lement 14' ist zweckmäßigerweise beidseitig gewölbt ausgeführt. Einander entge gengerichtete Dichtwölbungen 14'a, 14'b sind dabei zweckmäßigerweise halbku gelförmig ausgebildet. Dadurch wird insbesondere auch bei einer vergleichsweise kleinen lichten Weite oder einem vergleichsweise kleinen Innendurchmesser der Ventilkanäle 4, 5 eine besonders zuverlässige Dichtwirkung erzielt.

Beim Betrieb des Pneumatikventils 1 gemäß Fig. 3 wird im spannungslosen Zu stand - oder auch bei entsprechender Polung der (nicht dargestellten) Spannung U - mittels des vorgespannten, gebogenen Biegewandlers 7 das Dichtelement 14' gegen den Ventilsitz 15 gepresst und somit der Ventilkanal 4 verschlossen, wäh rend der Ventilkanal 5 geöffnet ist. Durch Umpolen der Spannung U werden infol ge einer Ausbiegung des Biegewandlers 7 entgegen der dargestellten Biegerich tung 13 der Ventilkanal 5 geschlossen und gleichzeitig der Ventilkanal 4 geöffnet.

Fig. 4 veranschaulicht Versuchsaufbauten A und B mit einem einzelnen an schlussseitig eingespannten Biegewandler 7, wobei die nachfolgenden Ausfüh rungen für den Biegewandler 8 gemäß den Fig. 1 und 2 analog gelten. Wäh rend das Freiende 7b des Biegewandlers 7 gemäß dem Versuchen A nach Art eines Auslegers frei beweglich ist, ist dieses Freiende 7b gemäß dem Versuch B lediglich längsverschiebbar gehalten. Bei beiden Versuchen A und B wurde der gleiche Biegewandler 7 eingesetzt, dessen Piezokeramikschicht die Abmessun gen 38,00 × 12,70 × 0,20 und dessen Trägerschicht die Abmessungen 63,4 × 13,7 × 0,15 (Länge, Breite und Dicke in mm) aufwies. Messparameter war die erforder liche Rückstellkraft F, um den mit einer Spannung U = 200 V (DC) erregten Biege wandler 7 am jeweiligen Punkt P_A, P_B aus der ausgelenkten Position A_a, B_a in die erregungsfrei Ruhe- oder Neutralposition A_b, bzw. B_b zurückzuführen.

Beim Versuch A wurde die Rückstellkraft F am Freiende 7b des Biegewandlers 7 im Messpunkt P_A erfasst, während diese beim Versuch B im mittleren Bereich des Biegewandlers 7 im Messpunkt P_B ermittelt wurde. Die der Anpress- oder An druckkraft F_1,2 entsprechende Rückstellkraft F wurde beim Versuch A mit 0,2 N (entspricht 20 g) und beim Versuch B mit 1,25 N (entspricht 125 g) gemessen.

Dies bedeutet, dass durch die erfindungsgemäße Anordnung eines beidendseitig gehaltenen Biegewandlers 7, 8 mit in dessen mittleren Bereich angeordnetem Dichtelement 14, 16 innerhalb eines piezoelektrisch betätigten Ventil 1 eine Erhö hung der Kraft F_1,2 zum Verschließen eines Ventilkanals 4 bzw. 5 gegenüber ei nem einseitig eingespannten Piezoelement um ein Vielfaches erreicht wird.

Bezugszeichenliste

1

Ventil

2

Ventilgehäuse

2

a, b Schmalseite

3

Innenraum

4

,

5

Ventilkanal

6

Eintritts-Ventilkanal

7

,

8

Biegewandler

7

a,

8

a Anschlussende

7

b,

8

b Freiende

9

Anschlusskontakt

10

Anschlussleitung

11

Gehäusenut

12

Wandler-/Gehäuselängsrichtung

13

Biege-/Gehäusequerrichtung

14

Dichtelement

14

a, b Dichtwölbung

15

Ventilsitz

16

Dichtelement

17

Ventilsitz
a Abstand
L Luft
F_1,2

Anpresskraft

Claims

1. Piezoelektrisch betätigbares Ventil (1) mit mindestens einem Ventilkanal (4, 5), der mittels eines an einem piezoelektrischen Biegewandler (7, 8) gehaltenen Dichtelementes (14, 16) verschließbar ist, wobei der Biegewandler (7, 8) mit ei nem mit einer elektrischen Spannungsquelle (U_1,2) verbindbaren Anschlus sende (7a, 8a) zur Ventilbetätigung im Ventilgehäuse (2) fixiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Freiende (7b, 8b) des Biegewandlers (7, 8) in der dem Anschluss ende (7a, 8a) gegenüberliegenden Gehäuseseite (2b) gehalten ist, und dass das Dichtelement (14, 16) im mittleren Bereich des Biegewandlers (7, 8) an geordnet ist.

2. Piezoelektrisch betätigbares Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Biegewandler (7, 8) im spannungslosen Zustand in Richtung auf den Ventilkanal (4, 5) konkav gebogen ist.

3. Piezoelektrisch betätigbares Ventil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Freiende (7b, 8b) des Biegewandlers (7, 8) in einer Gehäusenut (11) in Wandlerlängsrichtung (12) beweglich geführt ist.

4. Piezoelektrisch betätigbares Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass im spannungslosen Zustand ein erster Ventilkanal (4) mittels eines er sten Dichtelements (14) verschlossen ist, das an einem in Richtung auf diesen Ventilkanal (4) konkav gebogen ersten Biegewandler (7) gehalten ist, während ein dem ersten Ventilkanal (4) gegenüberliegender zweiter Ventilkanal (5) geöffnet ist, dem ein zweites Dichtelement (16) beabstandet gegenüberliegt, das an einem in Richtung (13) auf diesen Ventilkanal (5) konkav gebogenen zweiten Biegewandler (8) gehalten ist.

5. Piezoelektrisch betätigbares Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch einen quer zu jedem Ventilkanal (4, 5) in das Ventilgehäuse (2) einmündenden Einlasskanal (6).

6. Piezoelektrisch betätigbares Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei Einsatz eines einzelnen Biegewandlers (7) dieser im spannungslosen Zustand in Richtung auf einen ersten Ventilkanal (4) konkav und bezogen auf einen diesem gegenüberliegenden zweiten Ventilkanal (5) konvex gebogen ist, wobei sich der zweite Ventilkanal (5) innerhalb des Ventilgehäuses (2) bis in die wirksame Nähe des Biegewandlers (7) erstreckt.

7. Piezoelektrisch betätigbares Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch ein beidseitig des mittleren Bereichs des Biegewandlers (7) wirksames Dichte lement (14').

8. Piezoelektrisch betätigbares Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Dichtelement (14') eine auf den jeweiligen Ventilkanal (4, 5) gerichte te Dichtwölbung (14a, 14b) aufweist.