DE19949714A1 - Magnetisch sensitives Bauteil, insbesondere Sensorelement, mit magnetoresistiven Schichtsystemen in Brückenschaltung - Google Patents

Magnetisch sensitives Bauteil, insbesondere Sensorelement, mit magnetoresistiven Schichtsystemen in Brückenschaltung

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GB0025192A GB2356059B (en) 1999-10-15 2000-10-13 Multilayer magneto resistive sensor/bridge circuit arrangement
GB0212192A GB2373061B (en) 1999-10-15 2000-10-13 Process for manufacturing a magnetically sensitive component
FR0013137A FR2800915A1 (fr) 1999-10-15 2000-10-13 Composant magnetosensible notamment element de capteur muni de systemes a couches magnetoresistantes selon un montage en pont

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GB (1) GB2356059B (fr)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10202287C1 (de) * 2002-01-22 2003-08-07 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer monolithischen Brückenschaltung bestehend aus mehreren, als magneto-resistive Elemente ausgebildeten Brückengliedern und eine hiernach hergestellte monolithische Brückenschaltung
DE10214946A1 (de) * 2002-04-04 2003-10-30 Caesar Stiftung TMR-Sensor
DE10251566A1 (de) * 2002-11-06 2004-05-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung einer magnetoresistiven Schichtanordnung oder eines Sensorelementes oder Speicherelementes damit, sowie GMR-Sensorbauelement oder GMR-Speicherbauelement
DE10255327A1 (de) * 2002-11-27 2004-06-24 Robert Bosch Gmbh Magnetoresistives Sensorelement und Verfahren zur Reduktion des Winkelfehlers eines magnetoresistiven Sensorelements
WO2004074764A2 (fr) * 2003-02-24 2004-09-02 Hl-Planar Technik Gmbh Capteur magnetoresistif servant a determiner un angle ou une position
US7064649B2 (en) 2001-06-09 2006-06-20 Robert Bosch Gmbh Magneto-resistive layer arrangement and gradiometer with said layer arrangement
DE102005010338A1 (de) * 2005-03-07 2006-09-14 Infineon Technologies Ag Kraftsensoranordnung mit magnetostriktiven Magnetowiderstandssensoren und Verfahren zur Ermittlung einer auf den Träger einer Kraftsensoranordnung wirkenden Kraft
DE102005009390B3 (de) * 2005-03-01 2006-10-26 Infineon Technologies Ag Kraftsensor, Verfahren zur Ermittlung einer auf einen Kraftsensor wirkenden Kraft mittels eines Mehrschichtsystems aus magnetischen Schichten
DE10113131B4 (de) * 2001-03-17 2006-11-16 Sensitec Gmbh Anordnung zur Messung der magnetischen Feldstärke oder von örtlichen Differenzen magnetischer Feldstärken, sowie Schaltungsanordnung für die Auswerteeinheit und Verwendungen der Anordnung und der Schaltungsanordnung
US7490522B2 (en) 2004-07-05 2009-02-17 Infineon Technologies Ag Magnetostrictive multilayer sensor and method for producing a sensor
DE10222395B4 (de) * 2002-05-21 2010-08-05 Siemens Ag Schaltungseinrichtung mit mehreren TMR-Sensorelementen

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4668818B2 (ja) 2006-03-13 2011-04-13 アルプス電気株式会社 磁気センサ
FR2937706B1 (fr) 2008-10-29 2013-02-22 Saipem Sa Ensemble de conduites coaxiales comprenant un manchon d'isolation thermique
FR2939178B1 (fr) 2008-12-03 2013-05-03 Saipem Sa Conduite sous-marine de jonction comprenant une isolation thermique.

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995028649A1 (fr) * 1994-04-15 1995-10-26 Philips Electronics N.V. Capteur de champ magnetique, instrument comprenant ce capteur et procede de fabrication de ce capteur
DE4427495A1 (de) * 1994-08-03 1996-02-08 Siemens Ag Sensoreinrichtung mit einem GMR-Sensorelement
DE19507303A1 (de) * 1995-03-02 1996-09-05 Siemens Ag Sensoreinrichtung mit einer Brückenschaltung von magnetoresistiven Sensorelementen
EP0814519A2 (fr) * 1996-06-17 1997-12-29 Sharp Kabushiki Kaisha Elément à effet magnétorésistif, son procédé de fabrication et tête magnétique de cela
DE19649265A1 (de) * 1996-11-28 1998-06-04 Inst Physikalische Hochtech Ev GMR-Sensor mit neuartiger Wheatstonebrücke
EP0871231A2 (fr) * 1997-04-10 1998-10-14 Alps Electric Co., Ltd. Elément magnéto-résistif
DE19933209A1 (de) * 1998-07-17 2000-02-03 Alps Electric Co Ltd Magnetfeldsensor mit Riesenmagnetoresistenzeffekt-Elementen sowie Verfahren und Vorrichtung zu seiner Herstellung

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2648942B1 (fr) * 1989-06-27 1995-08-11 Thomson Csf Capteur a effet magnetoresistif
FR2693021B1 (fr) * 1992-06-26 1994-08-26 Thomson Csf Détecteur de champ magnétique.
US5561368A (en) * 1994-11-04 1996-10-01 International Business Machines Corporation Bridge circuit magnetic field sensor having spin valve magnetoresistive elements formed on common substrate
DE19520206C2 (de) * 1995-06-01 1997-03-27 Siemens Ag Magnetfeldsensor mit einer Brückenschaltung von magnetoresistiven Brückenelementen
DE19701509C2 (de) * 1996-01-19 2003-08-21 Fujitsu Ltd Magnetsensoren
IT1303631B1 (it) * 1997-03-05 2001-01-23 Ciesse Sistemi Srl Contenitore per pannello luminoso a led
JP3886589B2 (ja) * 1997-03-07 2007-02-28 アルプス電気株式会社 巨大磁気抵抗効果素子センサ
DE19924756A1 (de) * 1999-05-29 2000-11-30 Bosch Gmbh Robert Magnetoresistives Element

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995028649A1 (fr) * 1994-04-15 1995-10-26 Philips Electronics N.V. Capteur de champ magnetique, instrument comprenant ce capteur et procede de fabrication de ce capteur
DE4427495A1 (de) * 1994-08-03 1996-02-08 Siemens Ag Sensoreinrichtung mit einem GMR-Sensorelement
DE4434912A1 (de) * 1994-08-03 1996-04-18 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer Sensoreinrichtung mit GMR-Sensorelementen
DE19507303A1 (de) * 1995-03-02 1996-09-05 Siemens Ag Sensoreinrichtung mit einer Brückenschaltung von magnetoresistiven Sensorelementen
EP0814519A2 (fr) * 1996-06-17 1997-12-29 Sharp Kabushiki Kaisha Elément à effet magnétorésistif, son procédé de fabrication et tête magnétique de cela
DE19649265A1 (de) * 1996-11-28 1998-06-04 Inst Physikalische Hochtech Ev GMR-Sensor mit neuartiger Wheatstonebrücke
EP0871231A2 (fr) * 1997-04-10 1998-10-14 Alps Electric Co., Ltd. Elément magnéto-résistif
DE19933209A1 (de) * 1998-07-17 2000-02-03 Alps Electric Co Ltd Magnetfeldsensor mit Riesenmagnetoresistenzeffekt-Elementen sowie Verfahren und Vorrichtung zu seiner Herstellung

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 09129946 A (Abstract) *
JP 09252151 A (Abstract) *

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10113131B4 (de) * 2001-03-17 2006-11-16 Sensitec Gmbh Anordnung zur Messung der magnetischen Feldstärke oder von örtlichen Differenzen magnetischer Feldstärken, sowie Schaltungsanordnung für die Auswerteeinheit und Verwendungen der Anordnung und der Schaltungsanordnung
US7064649B2 (en) 2001-06-09 2006-06-20 Robert Bosch Gmbh Magneto-resistive layer arrangement and gradiometer with said layer arrangement
DE10202287C1 (de) * 2002-01-22 2003-08-07 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer monolithischen Brückenschaltung bestehend aus mehreren, als magneto-resistive Elemente ausgebildeten Brückengliedern und eine hiernach hergestellte monolithische Brückenschaltung
DE10214946A1 (de) * 2002-04-04 2003-10-30 Caesar Stiftung TMR-Sensor
DE10214946B4 (de) * 2002-04-04 2006-01-19 "Stiftung Caesar" (Center Of Advanced European Studies And Research) TMR-Sensor
US7234360B2 (en) 2002-04-04 2007-06-26 Stifting Caesar TMR sensor
DE10222395B4 (de) * 2002-05-21 2010-08-05 Siemens Ag Schaltungseinrichtung mit mehreren TMR-Sensorelementen
DE10251566A1 (de) * 2002-11-06 2004-05-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung einer magnetoresistiven Schichtanordnung oder eines Sensorelementes oder Speicherelementes damit, sowie GMR-Sensorbauelement oder GMR-Speicherbauelement
DE10255327A1 (de) * 2002-11-27 2004-06-24 Robert Bosch Gmbh Magnetoresistives Sensorelement und Verfahren zur Reduktion des Winkelfehlers eines magnetoresistiven Sensorelements
US7095596B2 (en) 2002-11-27 2006-08-22 Robert Bosch Gmbh Magnetoresistive sensor element and method for reducing the angular error of a magnetoresistive sensor element
CN100472174C (zh) * 2003-02-24 2009-03-25 Hl-平面技术有限公司 用于确定角度或位置的磁阻传感器
WO2004074764A3 (fr) * 2003-02-24 2005-01-13 Hl Planar Technik Gmbh Capteur magnetoresistif servant a determiner un angle ou une position
WO2004074764A2 (fr) * 2003-02-24 2004-09-02 Hl-Planar Technik Gmbh Capteur magnetoresistif servant a determiner un angle ou une position
US7847542B2 (en) 2003-02-24 2010-12-07 Meas Deutschland Gmbh Magnetoresistive sensor for determining an angle or a position
US8164332B2 (en) 2003-02-24 2012-04-24 Meas Deutschland Gmbh Magnetoresistive sensor for determining an angle or a position
US7490522B2 (en) 2004-07-05 2009-02-17 Infineon Technologies Ag Magnetostrictive multilayer sensor and method for producing a sensor
DE102005009390B3 (de) * 2005-03-01 2006-10-26 Infineon Technologies Ag Kraftsensor, Verfahren zur Ermittlung einer auf einen Kraftsensor wirkenden Kraft mittels eines Mehrschichtsystems aus magnetischen Schichten
DE102005010338B4 (de) * 2005-03-07 2007-01-25 Infineon Technologies Ag Kraftsensoranordnung mit magnetostriktiven Magnetowiderstandssensoren und Verfahren zur Ermittlung einer auf den Träger einer Kraftsensoranordnung wirkenden Kraft
DE102005010338A1 (de) * 2005-03-07 2006-09-14 Infineon Technologies Ag Kraftsensoranordnung mit magnetostriktiven Magnetowiderstandssensoren und Verfahren zur Ermittlung einer auf den Träger einer Kraftsensoranordnung wirkenden Kraft
US7535217B2 (en) 2005-03-07 2009-05-19 Infineon Technologies Ag Force sensor array having magnetostrictive magnetoresistive sensors and method for determining a force

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Publication number Publication date
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GB0025192D0 (en) 2000-11-29
FR2800915A1 (fr) 2001-05-11

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