DE19906029A1

DE19906029A1 - Röntgeneinrichtung sowie Festkörper-Strahlungsdetektor

Info

Publication number: DE19906029A1
Application number: DE19906029A
Authority: DE
Inventors: Thomas Schirl; Rainer F Schulz
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1999-02-12
Filing date: 1999-02-12
Publication date: 2000-08-24
Anticipated expiration: 2019-02-13
Also published as: DE19906029B4

Abstract

Röntgeneinrichtung, umfassend ein Bildaufnahmesystem mit einem Festkörper-Strahlungsdetektor mit einer Pixelmatrix, an dessen Rückseite eine Beleuchtungseinrichtung in Form eines Diodenarrays vorgesehen ist, mittels welchem eine auf die Pixelmatrix einwirkende Strahlung erzeugbar ist, wobei Mittel vorgesehen sind, mittels welchen die auf die Pixelmatrix einwirkende, von dem Diodenarray emittierte oder emittierbare Strahlung homogenisierbar und eine im wesentlichen gleichmäßige Strahlungsverteilung über die Pixelmatrix erzielbar ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Röntgeneinrichtung, umfassend ein Bildaufnahmesystem mit einem Festkörper-Strahlungsdetektor mit einer Pixelmatrix.

Derartige Röntgeneinrichtungen sind bekannt und dienen dazu, Strahlungsbilder eines Untersuchungsobjekts, in der Regel ei nes Patienten, im Rahmen einer medizinischen Untersuchung oder Therapie aufzunehmen. Mittels des Bildaufnahmesystems werden von der das Untersuchungsobjekt durchdringenden Rönt genstrahlung Bilder erzeugt, die beispielsweise an einem Mo nitor ausgegeben werden. Hierzu umfaßt das Bildaufnahmesystem einen Festkörper-Strahlungsdetektor mit einer Halbleiter detektorschicht, welcher eine Szintillatorschicht vorgeschal ten ist, die die einfallende Röntgenstrahlung in sichtbare Strahlung umwandelt. Diese trifft dann auf die Halbleiter schicht und generiert dort Ladungen, die von einer nachge schalteten Ausleseelektronik ausgelesen werden. Das Bildauf nahmesystem ist im Laufe seines Betriebes des öfteren zu ka librieren, um über einen längeren Zeitraum Bilder konstanter Qualität aufnehmen zu können, die insbesondere im Bedarfsfall auch miteinander vergleichbar sind. Normalerweise wird das System mehrmals im Jahr kalibriert. Im Rahmen der Kalibrie rung werden unterschiedliche Betriebsmodi seitens der Steue rungseinrichtung abgearbeitet, wobei zu jedem unterschied lichen Betriebsmodus eine Aufnahme unter Belichtung des De tektors mit Röntgenstrahlung, jedoch ohne Objekt, vorgenommen wird. Der Kalibrierzyklus dauert relativ lange, im Extremfall bis zu einer halben Stunde oder länger. Weiterhin muß das Röntgenpersonal aus dem Anlagenraum, da zur Kalibrierung wie beschrieben Bedingungen gegeben sind wie bei einer normalen Röntgenaufnahme.

Der Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, eine Rönt geneinrichtung anzugeben, die eine Kalibrierung des Bildauf nahmesystems auf vereinfachte Weise zuläßt.

Zur Lösung dieses Problems ist eine Röntgeneinrichtung umfas send ein Bildaufnahmesystem mit einem Festkörper-Strahlungs detektor mit einer Pixelmatrix vorgesehen, an dessen Rück seite eine Beleuchtungseinrichtung in Form eines Diodenarrays vorgesehen ist, mittels welchem eine auf die Pixelmatrix ein wirkende Strahlung erzeugbar ist, wobei Mittel vorgesehen sind, mittels welchen die auf die Pixelmatrix einwirkende, von dem Diodenarray emittierte oder emittierbare Strahlung homogenisierbar und eine im wesentlichen gleichmäßige Strah lungsverteilung über die Pixelmatrix erzielbar ist.

Bei der erfindungsgemäßen Röntgeneinrichtung wird mit beson derem Vorteil zur Kalibrierung die von einem hinter der Pi xelmatrix angeordneten Diodenarray erzeugte, auf die Pixelma trix unter Generation von Ladungsträgern einwirkende Strah lung genutzt. Normalerweise dient die mit dem Diodenarray er zeugbare Strahlung als Rücksetzlicht, welches dann einge schalten wird, wenn eine Bildaufnahme durchgeführt wurde, um die Nachklingeffekte zu beschleunigen und sämtliche Pixel in einen Ausgangszustand zurückzusetzen. Zu diesem Zweck spielt die Homogenität des von dem Diodenarray erzeugten Licht, also die Homogenität der Strahlungsverteilung bzw. der Strahlungs intensität über die Pixelmatrix keine besondere Rolle. Es hat sich jedoch herausgestellt, daß die vom Diodenarray erzeugte Strahlung beachtlich inhomogen ist, weshalb zur Ermöglichung einer Nutzung dieser Strahlung zu Kalibrierzwecken erfin dungsgemäß Homogenisierungsmittel vorgesehen sind, mittels welchen die vom Diodenarray emittierte Strahlung oder aber die von ihm emittierbare Strahlung homogenisiert und ver gleichmäßigt wird, so daß auf die Pixelmatrix von der Rück seite her eine im wesentlichen gleichmäßig verteilte Strah lung bzw. eine Strahlung mit über die Pixelmatrix im wesent lichen konstanter Intensität auftrifft. Erst der Einsatz der erfindungsgemäßen Homogenisierungsmittel ermöglicht es, das vom Diodenarray emittierte Rücksetzlicht auch zu Kalibrier zwecken zu nutzen. Für die Praxis bedeutet dies, daß zum Ka librieren keine Röntgenstrahlung erzeugt werden muß, der ge samte Kalibriervorgang wird wesentlich einfacher und kann viel schneller vonstatten gehen. Ferner sind auch keinerlei sicherheitstechnische Aspekte im Rahmen der Kalibrierung zu berücksichtigen.

Gemäß einer zweckmäßigen Weiterbildung des Erfindungsgedan kens kann vorgesehen sein, daß das Mittel eine zwischen der Pixelmatrix und dem Diodenarray angeordnete Homogenisierungs zwischenlage ist, deren lokale Transparenz für die vom Diodenarray emittierte Strahlung abhängig von der lokalen Strahlungsverteilung des Diodenarrays ist. Bei der Homogeni sierungszwischenlage kann es sich um eine Folie wie auch um eine Papierlage handeln. Mit dieser Zwischenlage wird er reicht, daß die Strahlung nach Durchgang durch die Zwischen lage überall im wesentlichen gleichmäßig bzw. die Intensität an jeder Stelle im wesentlichen die gleiche ist, was durch die unterschiedlichen Transparenzbereiche der Homogenisie rungszwischenlage erreicht wird. Das heißt, die Zwischenlage ist in Bereichen, in denen das Diodenarray stärkere Strahlung bzw. Strahlung höherer Intensität emittiert, weniger transpa rent als in solchen Bereichen, in denen das Diodenarray schwächere Strahlung emittiert. Da über die Fläche des Diodenarrays eine Vielzahl unterschiedlicher Strahlungsberei che gegeben sein können, hat es sich als zweckmäßig erwiesen, wenn die Homogenisierungszwischenlage bezüglich des Dioden arrays justiert angeordnet ist und wenn zweckmäßigerweise Mittel zum Fixieren der Homogenisierungszwischenlage, insbe sondere in Form von Klemmitteln vorgesehen sind, so daß die diodenabschnittsbezogenen Transparenzbereiche auch tatsäch lich am jeweiligen Arrayabschnitt zum Liegen kommen. Die Ju stierung kann beispielsweise durch Anbringen entsprechender Referenzpunkte oder dergleichen erfolgen.

Neben der Röntgeneinrichtung betrifft die Erfindung ferner einen Festkörper-Strahlungsdetektor mit einer Pixelmatrix und einer Beleuchtungseinrichtung in Form eines Diodenarrays, mittels welchem eine auf die Pixelmatrix von der Rückseite her einwirkende Strahlung erzeugbar ist. Dieser Festkörper- Strahlungsdetektor zeichnet sich erfindungsgemäß dadurch aus, daß Mittel vorgesehen sind, mittels welchen die von dem Diodenarray emittierte Strahlung homogenisierbar und eine im wesentlichen gleichmäßige Strahlungsverteilung über die Pi xelmatrix erzielbar ist. Weitere erfindungsgemäße vorteil hafte Ausgestaltungen sind den abhängigen Unteransprüchen zu entnehmen.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Erzeugen ei ner Homogenisierungszwischenlage für einen Festkörper-Strah lungsdetektor, welcher eine Pixelmatrix und eine Beleuch tungseinrichtung in Form eines Diodenarrays umfaßt, mittels welchem eine auf die Pixelmatrix von der Rückseite her ein wirkende Strahlung erzeugbar ist. Das erfindungsgemäße Ver fahren zeichnet sich durch folgende Schritte aus:
Aufnehmen wenigstens eines Offsetbilds des Festkörper-Strah lungsdetektors,
Aufnehmen wenigstens eines Strahlungsbilds bei Bestrahlung der Pixelmatrix mittels des Diodenarrays,
Subtraktion des Tiefpaß-gefilterten Offsetbilds vom Tiefpaß gefilterten Strahlungsbilds,
Invertierung des Subtraktionsbilds, und
Aufbringen des Subtraktionbilds auf eine Zwischenlage.

Das zunächst aufgenommene Offsetbild, also die Bildinforma tion, die der Detektor ohne Auftreffen irgendeiner Strahlung liefert, dient quasi als Referenzbild. Anschließend wird das Diodenarray kurzzeitig, in der Regel für wenige µs, einge schaltet und das von der auf die Pixelmatrix von der Rück seite her einwirkende Strahlungsbild aufgenommen. Nach Durch führung jeweils einer Tiefpaß-Filterung des Offsetbilds und des Strahlungsbild, wozu ein normaler Tiefpaßfilter oder aber ein Median-Filter verwendet werden kann und wodurch von der Pixelmatrix herrührende Inhomogenitäten wie beispielsweise Einbrüche einzelner Pixel oder kompletter Zeilen oder Spalten herausgefiltert werden, werden die beiden gefilterten Bilder voneinander subtrahiert. Dieses Subtraktionsbild wird an schließend invertiert, das heißt, dunkle Bereiche werden ent sprechend heller und hellere Bereiche entsprechend dunkler dargestellt. Das hierdurch erhaltene invertierte Subtrak tionsbild wird anschließend auf die Zwischenlage aufgebracht, wodurch diese in ihrem Transparenzgrad in Abhängigkeit der tatsächlichen Strahlungsverteilung des Diodenarrays variiert bzw. eingestellt wird. Die Größe der Zwischenlage, die in Form einer Kunststoffolie oder einer Papierlage vorliegen kann, entspricht im wesentlichen der Größe der Pixelmatrix, wobei sich die Zwischenlage neben dem aktiven Bereich der Pi xelmatrix auch in den nicht aktiven Matrixbereich erstrecken sollte. Die Zwischenlage selbst wird zum Aufbringen des Sub traktionsbilds entsprechend bedruckt. Zur Ermittlung des Offsetbilds und des Strahlungsbilds, welche anschließend wei terverarbeitet werden, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn mehrere Offsetbilder und/oder mehrere Strahlungsbilder aufgenommen werden, die zur Ermittlung eines weiterzuverar beitenden Offsetbilds bzw. Strahlungsbilds gemittelt werden.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung er geben sich aus dem im folgenden beschriebenen Ausführungsbei spiel sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:

Fig. 1 eine Prinzipskizze einer erfindungsgemäßen Rönt geneinrichtung,

Fig. 2 eine Schnittansicht durch einen erfindungsgemäßen Festkörper-Strahlungsdetektor,

Fig. 3 eine Prinzipskizze eines mit dem Strahlungsdetektor erhaltenen Bildes, erhalten durch Subtraktion des bei Bestrahlung der Pixelmatrix mit dem Licht des Diodenarrays erhaltenen Strahlungsbildes und des Offsetbilds ohne eingebrachter Homogenisierungszwi schenlage,

Fig. 4 eine Prinzipskizze eines mit dem Strahlungsdetektor erhaltenen Bilds mit eingebrachter Homogenisie rungszwischenlage,

Fig. 5 ein Bild entsprechend dem aus Fig. 3 mit einge brachter Homogenisierungszwischenlage,

Fig. 6 den Signalverlauf einer ausgewählten Pixelspalte ohne und mit eingebrachter Homogenisierungszwi schenlage, und

Fig. 7 ein Diagramm mit den Histogrammen zweier Bilder, die ohne bzw. mit eingebrachter Homogenisierungs zwischenlage aufgenommen wurden.

Fig. 1 zeigt in Form einer Prinzipskizze eine erfindungsge mäße Röntgeneinrichtung zur Aufnahme von Strahlungsbildern, welche als medizinische Diagnose- oder Therapie- und Behand lungsvorrichtung ausgebildet ist. Mittels einer Röntgenstrah lenquelle 1 wird Röntgenstrahlung erzeugt, wobei dies über die Vorrichtungssteuerung 2 gesteuert erfolgt. In der Vor richtungssteuerung 2 sind die hierfür erforderlichen Kompo nenten wie beispielsweise der Hochspannungsgenerator etc. be inhaltet oder dieser zugeordnet, was nicht näher dargestellt und an sich bekannt ist. Die erzeugte Röntgenstrahlung durch strahlt einen Patienten 3 und trifft auf einen digitalen Festkörper-Strahlungsdetektor 4, der, wie bezüglich Fig. 2 noch näher beschrieben werden wird, eine Pixelmatrix auf weist. Die einzelnen Pixelbildsignale werden von einem im ge zeigten Beispiel in der Vorrichtungssteuerung 2 integrierten Auslesemittel 5 ausgelesen und an ein Rechenmittel 6 gegeben, welches zum Erzeugen und Ausgeben des aufgenommenen Bilds ausgebildet ist. Das Rechenmittel 6 ist mit einem Ausgabe medium 7 in Form eines Monitors verbunden, auf dem das Bild dargestellt werden kann.

Fig. 2 zeigt in Form einer Schnittansicht einen Ausschnitt aus dem erfindungsgemäßen Festkörper-Strahlungsdetektor. Der erfindungsgemäße Festkörper-Strahlungsdetektor 8 umfaßt zu oberst eine Reflektorschicht 9, gefolgt von einer Szintilla torschicht 10 sowie einer Passivierungsschicht 11. Mittels der Szintillatorschicht 10 wird einfallende Röntgenstrahlung (h.ν₁) in Strahlung umgewandelt, die in der nachgeschalte ten Pixelmatrix 12 aus einem geeigneten Halbleitermaterial entsprechende Ladungsträger erzeugt. Die Pixelmatrix 12 be steht aus einer Vielzahl von Zeilen und Spalten aus einzelnen Fotodiodenpixeln. Ein Glasträger 13 trennt die Pixelmatrix 12 von einem Diodenarray 14 bestehend aus einer Vielzahl einzel ner Dioden 15, mittels welchem Strahlung (h.ν₂) erzeugt werden kann, welches von der Rückseite her auf die Pixelma trix 12 einwirkt. Über eine Bleiabschirmung 15 getrennt ist ferner noch eine Ausleseelektronik 16 vorgesehen.

Zwischen dem Glasträger 13 und das Diodenarray 14 ist eine Homogenisierungszwischenlage 16 gebracht. Bei dieser kann es sich um eine Kunststoffolie handeln, gleichermaßen kann auch eine Papierlage eingesetzt werden. Da die von dem Diodenarray 14 emittierte Strahlung nicht über die gesamte Arrayfläche konstant bzw. homogen ist, das heißt, auf die Pixelmatrix 12 wirkt lokal Strahlung unterschiedlicher Intensität ein, ist zur Ermöglichung einer Kalibrierung des Strahlungsdetektors bzw. des gesamten Bildsystems die Verwendung der Homogenisie rungszwischenlage 16 erforderlich. Diese weist Bereiche un terschiedlicher Transparenz für die Strahlung h.ν₂ auf, wo bei die jeweilige lokale Transparenz in Abhängigkeit der lo kalen Strahlung des Diodenarrays 14 eingestellt ist. Das heißt, Bereiche der Zwischenlage 16, die stärker strahlenden Diodenarraybereichen gegenüberliegen, sind für die Strahlung weniger transparent wie solche Zwischenlagenbereiche, die schwächer strahlenden Arrayabschnitten gegenüberliegen. Ins gesamt erhält man mit der eingefügten Homogenisierungszwi schenlage 16 eine resultierende, auf die Pixelmatrix 12 ein wirkende Strahlungsverteilung bzw. Intensitätsverteilung der Strahlung, die weitgehend über die Fläche der Pixelmatrix ho mogen ist. Das heißt, die Pixelmatrix 12 wird überall im we sentlichen gleichmäßig bestrahlt. Diese homogene Strahlung ermöglicht es, daß die Kalibrierung des Bildaufnahmesystems unter Verwendung der mittels des Diodenarrays emittierten Strahlung vonstatten gehen kann. Zu diesem Zweck ist die Vor richtungssteuerung 2 bzw. das Rechenmittel 6, welches im ge zeigten Ausführungsbeispiel den Kalibrierzyklus steuert, ent sprechend ausgebildet.

Die Fig. 3 und 4 zeigen zwei Prinzipdarstellungen von mittels des Bildaufnahmesystems erhaltenen Bildern, bei denen die Pi xelmatrix 12 lediglich mit dem Licht des Diodenarrays 14 be strahlt wurde. Fig. 3 zeigt ein Bild, welches ohne zwischen gesetzter Homogenisierungszwischenlage 16 erhalten wurde, Fig. 4 zeigt ein Bild mit eingebrachter Zwischenlage. In dem Bild gemäß Fig. 3 können drei Abschnitte I, II und III unter schieden werden. Durch die unterschiedlich starke Strichelung wird angegeben, daß der Bereich I der dunkelste, der Bereich III der hellste ist. Das Bild wurde dadurch erhalten, daß zu nächst ein Offsetbild ohne zugeschaltetem Diodenarray aufge nommen wurde, anschließend wurde das Diodenarray für wenige µs angeschalten und ein Strahlungsbild aufgenommen, von wel chem dann das Offsetbild abgezogen wurde. Aus Fig. 3 wird er sichtlich, daß eine inhomogene Beleuchtung der Pixelmatrix 12 stattfand, was sich in den unterschiedlich dunklen Bereichen I, II, III äußert.

Fig. 4 zeigt nun eine Prinzipskizze eines Bildes, welches mit einer eingebrachten Homogenisierungszwischenlage 16 erhalten wurde. Ersichtlich zeigt das auf die gleiche Weise erhaltene Bild eine im wesentlichen homogene Helligkeitsverteilung. Das heißt, die ursprünglich gegebenen Inhomogenitäten des Dioden arraylichts wurden durch die eingebrachte Homogenisierungs zwischenlage homogenisiert, die Pixelmatrix 12 wurde mit im wesentlichen homogenem Licht bestrahlt.

Fig. 5 zeigt ein Beispiel einer Homogenisierungszwischenlage 16, welche im Beispielfall der Fig. 3 und 4 verwendet werden kann. Diese weist ebenfalls drei Abschnitte Ia, Ia, IIIa auf, die jedoch bezüglich des ursprünglich erhaltenen Bildes gemäß Fig. 3 in ihrer Transparenz invertiert sind, das heißt, der Bereich Ia ist für die vom Diodenarray emittierte Strahlung transparenter als der Bereich IIIa, wie ebenfalls durch die unterschiedliche Strichelung dargestellt wird. Wird diese Ho mogenisierungszwischenlage 16 zwischen das Diodenarray und die Pixelmatrix gebracht, wird die in dem Lagenabschnitt IIIa gegenüberliegenden Arrayabschnitt emittierte, starke Strah lung deutlich stärker geschwächt als die schwache Strahlung, die im Arraybereich emittiert wird, welcher dem Abschnitt Ia gegenüberliegt. In der Summe ist die Strahlungsverteilung des durch die Homogenisierungszwischenlage 16 hindurchtretenden Lichts im wesentlichen homogen.

Fig. 6 zeigt ein Diagramm der Signale einer Spalte der Pixel matrix, erhalten ohne zwischengebrachter Homogenisierungszwi schenlage (Kurve A) und mit eingelegter Homogenisierungszwi schenlage (Kurve B). Ersichtlich ist der Signalverlauf der Kurve B wesentlich homogener als der der Kurve A, das heißt, die auf die Pixelmatrix auftretende Lichtverteilung, die der Kurve B zugrundelag, war wesentlich homogener als die der Kurve A.

Die vorteilhafte Wirkung der eingebrachten Homogenisierungs zwischenlage läßt sich auch den in Fig. 6 gezeigten Histo grammen zweier aufgenommener Bilder entnehmen. Die Kurve C entspricht einem Bild, welches ohne eingebrachter Homogeni sierungszwischenlage aufgenommen wurde, die Kurve D ent spricht einem Bild mit eingebrachter Zwischenlage. Ersicht lich ist die Kurve C wesentlich breiter und verschmierter als die Kurve D. Das heißt, die Signalantwort der Pixel ist we sentlich stärker verrauscht als im Fall der Kurve C, da hier ein inhomogenes Licht auf die Pixelmatrix traf. Demgegenüber ist die Kurve D wesentlich schmalbandiger, das heißt, die Pi xelsignale liegen in einem deutlich engeren Signalbereich, was wiederum auf eine wesentlich homogenere Strahlungsvertei lung der einwirkenden Lichtstrahlung zurückzuführen ist.

Claims

1. Röntgeneinrichtung, umfassend ein Bildaufnahmesystem mit einem Festkörper-Strahlungsdetektor mit einer Pixelmatrix, an dessen Rückseite eine Beleuchtungseinrichtung in Form eines Diodenarrays vorgesehen ist, mittels welchem eine auf die Pi xelmatrix einwirkende Strahlung erzeugbar ist, wobei Mittel vorgesehen sind, mittels welchen die auf die Pixelmatrix ein wirkende, von dem Diodenarray emittierte oder emittierbare Strahlung homogenisierbar und eine im wesentlichen gleich mäßige Strahlungsverteilung über die Pixelmatrix erzielbar ist.

2. Röntgeneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Mittel eine zwischen der Pixelmatrix und dem Diodenarray angeordnete Homoge nisierungszwischenlage ist, deren lokale Transparenz für die vom Diodenarray emittierte Strahlung abhängig von der lokalen Strahlungsverteilung des Diodenarrays ist.

3. Röntgeneinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Homogenisierungs zwischenlage eine Folie ist.

4. Röntgeneinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Homogenisierungs zwischenlage eine Papierlage ist.

5. Röntgeneinrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Homogenisierungszwischenlage bezüglich des Diodenarrays justiert angeordnet ist.

6. Röntgeneinrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zum Fixieren der Homogenisierungszwischenlage, insbe sondere in Form von Klemmitteln vorgesehen sind.

7. Röntgeneinrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie zur Durchführung einer Kalibrierung des Bildaufnahmesystems unter Verwendung der von dem Diodenarray erzeugten Strahlung ausgebildet ist.

8. Festkörper-Strahlungsdetektor mit einer Pixelmatrix und einer Beleuchtungseinrichtung in Form eines Diodenarrays, mittels welchem eine auf die Pixelmatrix von der Rückseite her einwirkende Strahlung erzeugbar ist, wobei Mittel vorge sehen sind, mittels welchen die von dem Diodenarray emit tierte Strahlung homogenisierbar und eine im wesentlichen gleichmäßige Strahlungsverteilung über die Pixelmatrix er zielbar ist.

9. Festkörper-Strahlungsdetektor nach Anspruch 8, da durch gekennzeichnet, daß das Mittel eine zwischen der Pixelmatrix und dem Diodenarray an geordnete Homogenisierungszwischenlage ist, deren lokale Transparenz für die vom Diodenarray emittierte Strahlung ab hängig von der lokalen Strahlungsverteilung des Diodenarrays ist.

10. Festkörper-Strahlungsdetektor nach Anspruch 9, da durch gekennzeichnet, daß die Homogenisierungszwischenlage eine Folie ist.

11. Festkörper-Strahlungsdetektor nach Anspruch 9, da durch gekennzeichnet, daß die Homogeni sierungszwischenlage eine Papierlage ist.

12. Festkörper-Strahlungsdetektor nach einem der Ansprüche 9 bisll, dadurch gekennzeichnet, daß die Homogenisierungszwischenlage bezüglich des Diodenarrays justiert angeordnet ist.

13. Festkörper-Strahlungsdetektor nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zum Fixieren der Homogenisierungszwischenlage, insbesondere in Form von Klemmitteln, vorgesehen sind.

14. Verfahren zum Erzeugen einer Homogenisierungszwischenlage für einen Festkörper-Strahlungsdetektor, welcher eine Pixel matrix und eine Beleuchtungseinrichtung in Form eines Dioden arrays umfaßt, mittels welchem eine auf die Pixelmatrix von der Rückseite her einwirkende Strahlung erzeugbar ist, gekennzeichnet durch folgende Schritte:
Aufnehmen wenigstens eines Offsetbilds des Festkörper-Strah lungsdetektors,
Aufnehmen wenigstens eines Strahlungsbilds bei Bestrahlung der Pixelmatrix mittels des Diodenarrays,
Subtraktion des Tiefpaß-gefilterten Offsetbilds vom Tiefpaß gefilterten Strahlungsbild,
Invertierung des Subtraktionsbilds, und
Aufbringen des Subtraktionsbilds auf eine Zwischenlage.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch ge kennzeichnet, daß eine Zwischenlage in Form einer Kunststoffolie oder eine Papierlage verwendet wird, die entsprechend bedruckt werden.

16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Offsetbilder und/oder mehrere Strahlungsbilder aufgenommen werden, die zur Ermittlung eines weiterzuverarbeitenden Offsetbilds bzw. Strahlungsbilds gemittelt werden.