DE19847502A1

DE19847502A1 - Bewegungseinrichtung zur Bewegung eines Endeffektors

Info

Publication number: DE19847502A1
Application number: DE19847502A
Authority: DE
Inventors: Marcus Erben; Martin Gringel
Original assignee: Gebrueder Schmid GmbH and Co
Current assignee: Gebrueder Schmid GmbH and Co
Priority date: 1998-10-15
Filing date: 1998-10-15
Publication date: 2000-04-20
Also published as: EP0993918B1; ATE278515T1; DE59910727D1; EP0993918A3; EP0993918A2

Abstract

Durch die Erfindung wird eine Bewegungseinrichtung (11) zur Bewegung eines Endeffektors (15) geschaffen, die einen Träger (29) aufweist, an dem der Endeffektor angeschlagen ist. Es sind wenigstens zwei linear arbeitende Aktuatoren (13, 25) vorgesehen, die um unterschiedliche Achsen an dem Träger schwenkbar gelagert sind und an unterschiedlichen Punkten mit dem Endeffektor gelenkig verbunden sind. Ein weiterer Antrieb ist vorgesehen zur Bewegung des Endeffektors (15) sowie Führungsmittel (20) zur zwangsläufigen Bewegung des Endeffektors in einer vorgegebenen Bewegungsfläche. Die linear arbeitenden Aktuatoren (13) können Teleskopantriebe und/oder Vorschubantriebe (25) sein. Der weitere Antrieb kann neben einem linearen Aktuator auch ein Drehantrieb sein. Die Führungsmittel sind bevorzugt als Führungsschwinge (20) ausgebildet. Eine Anwendung der Erfindung ist eine Transport- bzw. Bewegungseinrichtung für Leiterplatten (35) in Magazine o. dgl. hinein. Eine Bewegung des Endeffektors (15) setzt sich aus translatorischen sowie rotatorischen Komponenten zusammen.

Description

ANWENDUNGSGEBIET UND STAND DER TECHNIK

Die Erfindung betrifft eine Bewegungseinrichtung zur Bewegung eines Endeffektors, insbesondere für die Handhabung von Substraten in der Elektronikindustrie, die einen Träger aufweist, an dem der Endeffektor angeschlagen ist. Unter Träger kann eine gesamte Trageinrichtung verstanden werden. Ebenso sollen darunter mehrere Einzelträger verstanden werden, die zwar nicht direkt miteinander gekoppelt sind, aber durch jeweils raumfeste Zuordnung zueinander äquivalent zu einer einzigen Trageinrichtung sind. Endeffektoren sind beispielsweise Saugeinrichtungen, Spritzdüsen, Schweiß- bzw. Bearbeitungsköpfe oder Greifvorrichtungen. Sie sollen eine große Bewegungsvielfalt aufweisen.

Derartige Bewegungseinrichtungen sind beispielsweise Roboter arme, die um mehrere Gelenke drehbar sind. Durch diese Mehrgelenkigkeit sowie z. T. integrierte Antriebe sind solche Roboterarme aufwendig, teuer und schwer.

AUFGABE UND LÖSUNG

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Bewegungseinrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die einfach und mit begrenztem Aufwand zu realisieren ist, eine beliebige Bewe gungsfreiheit innerhalb vorgegebener Grenzen bei gleich zeitiger hoher Positioniergenauigkeit ermöglicht sowie zuverlässig funktioniert und universell einsetzbar ist.

Diese Aufgabe wird gelöst durch den Anspruch 1. Eine Bewe gungseinrichtung mit wenigstens zwei linear arbeitenden Aktuatoren, die um unterschiedliche Achsen schwenkbar an dem Träger gelagert sind und an unterschiedlichen Punkten mit dem Endeffektor gelenkig verbunden sind und mit einem weite ren Antrieb zur Bewegung des Endeffektors ermöglicht eine Bewegung des Endeffektors in der gewünschten Bewegungsfrei heit. Durch Führungsmittel zur zwangsläufigen Bewegung des Endeffektors in einer vorgegebenen Bewegungsfläche können die Bewegungsmöglichkeiten definiert beschränkt werden sowie eine präzise Führung bzw. Bewegung des Endeffektors ermöglichen. Je nach Ausbildung der Führungsmittel können die Aktuatoren bzw. die Antriebe einfach ausgeführt sein, da sie von der Führungsfunktion enthoben sein können.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsvariante kann der weitere Antrieb des Endeffektors ein dritter linear arbeitender Aktuator sein, der um eine Achse schwenkbar an dem Träger gelagert und mit dem Endeffektor gelenkig verbunden ist. Vorteilhaft ist dieser weitere Linear-Aktuator ebenso ausge führt wie die anderen Aktuatoren. Alternativ und/oder zusätz lich kann der weitere Antrieb ein Drehantrieb sein, der an einem Aktuator angreift. Vorzugsweise ist er in seiner Wirkungsweise zwischen einem Aktuator und dem Endeffektor angebracht, um den Endeffektor gegenüber dem Aktuator zu ver schwenken bzw. zu verdrehen. Des weiteren ist es möglich, den Drehantrieb an dem Träger anzubringen und auf einen Aktuator wirken zu lassen. Dies hat den Vorteil, daß das Gewicht des Drehantriebes von dem Träger getragen wird und nicht von den Aktuatoren bewegt werden muß. Ein Drehantrieb kann ein konventioneller Getriebemotor sein.

In einer Ausführungsmöglichkeit können die Aktuatoren Vor schubantriebe mit einem Linearantrieb und einer damit gelen kig verbundenen Schubstange o. dgl. sein. Der Linearantrieb ist vorzugsweise richtungsfest, d. h. nicht verdrehbar, wobei er insbesondere an dem Träger befestigt sein kann. Die Schubstangen können an von dem Linearantrieb bewegten Dreh lagern bewegt werden und die Kraft auf den Endeffektor übertragen. Dies hat den Vorteil, daß lediglich die Schub stangen mit einer geringen Masse bewegt und gelenkig gelagert werden müssen.

Gemäß einer alternativen Ausführung können die Aktuatoren als Teleskopantriebe ausgeführt sein, vorzugsweise hydraulischer oder pneumatischer Art. Derartige Teleskopantriebe sind weit verbreitet und von der Technik her ausgereift. Bevorzugt sind ihre Zylinder an dem Träger gelagert um die bewegten Massen gering zu halten.

Die Führungsmittel zur zwangsläufigen Bewegung des Endeffek tors in einer vorgegebenen Bewegungsfläche weisen bevorzugt eine Gelenkkette auf, die mit dem Träger und dem Endeffektor gelenkig verbunden und nur in dieser Bewegungsfläche bewegbar ist. Eine Möglichkeit sieht vor, die Gelenkkette nach Art eines Knickgelenks aus einer an dem Träger gelagerten Schwin ge und einer damit über ein Gelenk verbundenen und an dem Endeffektor gelagerten Koppel zu bilden. Die Gelenke und insbesondere auch Schwinge und Koppel sind vorteilhaft derart ausgeführt, daß sie verwindungssteif und mit exakter Führung versehen sind. Dies kann erreicht werden, indem die Gelenk kette Gelenkglieder und/oder Gelenke aufweist mit einer im Vergleich zu ihrer Länge erheblichen Breite bzw. Ausdehnung senkrecht zu der Bewegungsfläche. Darunter sind auch zwei parallel verlaufende Gelenkglieder zu verstehen, die senk recht zur Bewegungsfläche versetzt sind und durch Streben o. dgl. verwindungssteif miteinander verbunden sind. Gemäß einer Möglichkeit weisen die Gelenke jeweils zwei Gelenkzapfenhal terungen auf, die zur Verbreiterung des Gelenks voneinander beabstandet sind.

Alternativ zu einer Führung durch eine separate Gelenkkette ist es möglich, die Drehgelenke wenigstens eines, vorzugs weise mehrerer Aktuatoren derart auszuführen, daß eine zwangsweise Führung des Endeffektors erfolgt. Ebenso können zwei Linear-Aktuatoren, vorzugsweise als Teleskopantriebe, parallel verlaufen und mechanisch gekoppelt sein um quasi eine aktive Führungsschwinge zu bilden.

Zwar kann die vorgegebene Bewegungsfläche durchaus ein Verschwenken des Endeffektors auf einer nichtebenen Bewe gungsbahn, z. B. einer gekrümmten Fläche, umfassen, bevorzugt ist sie jedoch eine Bewegungsebene. Die Führungsmittel weisen vorteilhaft Gelenk- bzw. Drehachsen auf, welche senkrecht zu dieser Bewegungsebene verlaufen. Mit zueinander versetzten Gelenk- bzw. Drehachsen könnte eine zwangsläufige taumelnde Bewegung erzielt werden.

Wenigstens ein Aktuator kann derart an dem Träger gelagert sein, daß sein Gewichtsschwerpunkt in einer durchschnitt lichen und/oder häufig angefahrenen Stellung des Endeffektors in etwa in seinem Lagerpunkt an dem Träger liegt. Auf diese Weise balanciert sich der Aktuator in dieser Stellung im wesentlichen selber aus, so daß keine Haltekräfte aufgrund seiner eigenen Masse aufzubringen sind.

Zur Erweiterung der Funktionsmöglichkeiten können Bewegungs mittel zur Bewegung von an dem Endeffektor angebrachten Vorrichtungen vorgesehen sein, die eine im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsfläche verlaufende Bewegungsrichtung aufweisen. Da der Endeffektor in seiner Bewegungsbahn relativ zu dem Träger festgelegt ist, kann dies einerseits durch Bewegung des Trägers insgesamt, beispielsweise gegenüber zugeordneten Arbeitseinrichtungen o. dgl., erreicht werden. Vorzugsweise sind die Bewegungsmittel an dem Endeffektor vorgesehen und tragen Vorrichtungen wie beispielsweise eine Greifvorrichtung zur Erfassung von Gegenständen. Dies kann insbesondere eine Saugvorrichtung zum Erfassen flacher Gegenstände durch Unterdruck sein.

Bevorzugt verläuft in einer Grundstellung des Endeffektors eine Linie durch wenigstens zwei Lagerpunkte der Aktuatoren an dem Träger in einem Winkel zu einer Linie durch wenigstens zwei Lagerpunkte von Aktuatoren an dem Endeffektor. Der Winkel kann in einem Bereich zwischen 30° und 60° liegen. Von dieser Grundstellung aus kann der Endeffektor in einem weiten Winkelbereich verschwenkt werden, vorzugsweise um bis zu 90°. Größere Winkel sind möglich, werden in der Praxis jedoch nur selten benötigt.

Im wesentlichen befindet sich der Endeffektor unterhalb des Trägers und der Aktuatoren, wobei er hauptsächlich nach unten und seitwärts in Verlaufsrichtung der Bewegungsfläche arbei tet. Vorzugsweise sind an einer Seite des Trägers Führungs mittel zur Führung des Endeffektors vorgesehen, der haupt sächlich zu der anderen Seite hin bewegbar ist bzw. arbeitet.

Bevorzugt ist der Endeffektor über eine Führungsschwinge und wenigstens drei Aktuatoren an dem Träger angeschlagen. Mindestens zwei Aktuatoren können eine gemeinsame Schwenkach se an dem Träger aufweisen, ebenso wenigstens zwei Aktuatoren eine gemeinsame Achse am Endeffektor. Falls nicht eine Doppelansteuerung erwünscht ist, muß darauf geachtet werden, daß nicht zwei Aktuatoren jeweils gemeinsame Achsen haben. Insgesamt sollen bei linearen Aktuatoren sowohl am Träger als auch am Endeffektor wenigstens zwei Achsen vorhanden sein, von denen jeweils eine doppelt belegt sein kann. Dadurch vereinfacht sich die "Mathematik der Steuerung" erheblich.

Die Bewegungseinrichtung kann eine Lageerfassungseinrichtung für den Endeffektor aufweisen, wobei Erfassungsmittel bevor zugt an den Aktuatoren angebracht sind. Dies können Weg- Erfassungs-Sensoren an den Aktuatoren selber, beispielsweise zwischen Zylinder und Kolbenstange bei Teleskopantrieben, sein. Alternativ sind Drehwinkelgeber an den Lagerpunkten möglich. Linearantriebe für Vorschubantriebe haben derartige Erfassungsmittel vorteilhaft meist integriert.

Zur Handhabung der komplexen Bewegungsabläufe des Endeffek tors ist eine Steuerung vorteilhaft, die eine Verarbeitungs einheit zur Erzeugung von Steuersignalen aus Signalen der Lageerfassungseinrichtung für die Aktuatoren und/oder die weiteren Antriebe aufweist. Das bedeutet, daß die Steuerung beispielsweise im Fall von Teleskopantrieben jederzeit die Ausfahrlänge der einzelnen Antriebe kennt und daraus durch Winkeltransformation die exakte Position des Endeffektors berechnen kann. Derartige Transformationen sowie weitere Daten können von der Steuerung in einem Speicher für bewe gungseinrichtungsspezifische Daten abgespeichert sowie jederzeit aufgerufen werden. Zu beachten ist, daß durch die wenigstens drei gekoppelten Aktuatoren und/oder Antriebe ein statisch überbestimmtes System vorliegt, so daß jederzeit alle Aktuatoren bzw. Antriebe für eine Bewegung angesteuert werden. Geeignet sind z. B. mikroprozessor-basierte Steuerun gen mit hoher Rechenleistung.

Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausfüh rungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführun gen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte sowie Zwischen-Überschriften beschränkt die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

In den Zeichnungen sind verschiedene Ausführungsbeispiele, z. T. schematisch, dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Hybrid kinematik mit drei Teleskopantrieben und einer seitlichen Führungsschwinge, die einen Endeffektor tragen,

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Kinematik mit drei Vorschubantrieben sowie einer seit lichen Führungsschwinge,

Fig. 3 eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Bewegungseinrichtung mit drei Teleskopantrie ben und einer Führungsschwinge und

Fig. 4 eine Schrägansicht einer Variation von Fig. 3 mit einem geschlossenen Gestell.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE

Fig. 1 zeigt eine Ausführung einer erfindungsgemäßen Bewe gungseinrichtung 11. An zwei ortsfesten Lagerungen 12 sind ein bzw. zwei Aktuatoren 13 schwenkbar mittels Drehlager 14 gelagert, und mittels weiterer Drehlager 14 mit einem Endef fektor 15 verbunden. Die Aktuatoren 13 sind als Teleskopan triebe ausgeführt, wobei die Zylinder 17 an den ortsfesten Lagerungen 12 gelagert sind und mit Teleskopkolben 18 mit dem Endeffektor 15 verbunden sind.

An der linken ortsfesten Lagerung 12 ist an dem Drehlager 14 eine Führungsschwinge 20 gelagert, die mittels eines weiteren Drehlagers 14 mit dem Endeffektor 15 verbunden ist. Die Führungsschwinge 20 besteht aus einer an der Lagerung 12 gelagerten Schwinge 21 sowie einer über ein Gelenk 23 damit verbundenen Koppel 22. Die Führungsschwinge 20 ist, wie auch in Fig. 4 dargestellt, derart ausgeführt, daß sie möglichst verwindungssteif sowie zur Bewegung lediglich in einer Bewegungsebene ausgebildet ist, die parallel zur Zeichenebene verläuft. Dies kann durch eine breite Schwinge 21 sowie Koppel 22 mit einer erheblichen Ausdehnung senkrecht zur Bewegungsebene erzielt werden.

Zur Vereinfachung des Aufbaus können Drehlager 14 zusammenge faßt werden, so wie beispielsweise die Führungsschwinge 20 mit dem linken Aktuator 13 und die beiden Zylinder 17 der rechten Aktuatoren 13 jeweils an gemeinsamen Drehlagern 14 gelagert sind.

Die Fig. 2 zeigt eine alternative Bewegungseinrichtung 11, bei der als Aktuatoren anstelle von Teleskopantrieben gem. Fig. 1 Vorschubantriebe 25 zum Einsatz kommen. Diese Vor schubantriebe 25 bestehen aus einem Linearantrieb 26, der ortsfest gelagert ist, und einem daran verschiebbar ange brachten Drehlager 14. Es ist möglich, das Drehlager 14 an einer Längsführung zu führen und mit beliebigen Antrieben, beispielsweise Zahnstangen, Riemenantrieben o. dgl. zu bewegen. An dem Drehlager 14 ist eine Schubstange 27 ange bracht, die mit einem weiteren Drehlager 14 an dem Endeffek tor 15 verbunden ist. Der Unterschied solcher Vorschubantrie be 25 im Vergleich zu den Teleskopantrieben gem. Fig. 1 liegt vor allem darin, daß sie mechanisch robuster ausgeführt werden können und auf bewährte Komponenten der Linearan triebstechnik zurückgreifen können.

Entsprechend Fig. 1 ist eine Führungsschwinge 20 zur Führung des Endeffektors 15 bei einer Bewegung in der vorgegebenen Bewegungsfläche vorgesehen.

Die Fig. 3 zeigt eine Bewegungseinrichtung 11 ähnlich Fig. 1 mit einem Träger 29 samt Gestell 30. Vorgesehen sind drei Teleskopantriebe mit Zylindern 17 und Teleskopkolben 18 sowie eine Führungsschwinge 20, die an Drehlagern 14 an dem Träger 29 und an dem Endeffektor 15 gelagert sind. Der linke Aktua tor 13 weist dieselben Drehachsen wie die Führungsschwinge 20 auf. In etwa parallel zu diesem Aktuator verläuft der rechte Aktuator 13, während der mittlere am Träger 29 dieselbe Drehachse wie der linke Aktuator aufweist. Auf diese Weise läßt sich die Anzahl der Drehachsen und somit der mechanische Aufwand reduzieren. Hier ist zu erkennen, daß die Drehlager 14 nicht am äußeren Ende der Zylinder 17 vorgesehen sind, sondern in etwa in der Mitte bzw. weiter hin zu den Teleskop kolben 18. Damit kann zumindest ein Teil ihres eigenen Gewichts ausbalanciert bzw. neutralisiert werden, so daß hierfür keine Haltekräfte erforderlich sind.

Während die Führungsschwinge 20 nach Art einer Gabel den linken Teleskopantrieb sowie den Endeffektor 15 einschließt, sind die Teleskopantriebe zueinander in die Zeichenebene hinein versetzt. So schränken sie ihre eigene Bewegungsfähig keit nicht ein.

An der Unterseite des Endeffektors 15 ist eine Verschiebeein richtung 32 vorgesehen, die wiederum eine Greifvorrichtung 33 trägt. Mittels der Verschiebeeinrichtung 32 ist die Greifvor richtung 33 im dargestellten Beispiel in einer Richtung senkrecht zu der Zeichen- bzw. Bewegungsebene verschiebbar. Somit wird eine völlig freie Bewegbarkeit der Greifvorrich tung 33 erzielt. Im dargestellten Beispiel sind an der Greifvorrichtung 33 Sauger 34 vorgesehen, die eine dünne Leiterplatte erfassen und von einem Transportband 36 abheben können. Diese Leiterplatte 35 soll mit der Bewegungseinrich tung 11 weiter transportiert werden, evtl. in eine bestimmte Position und/oder zu einer bestimmten Stelle. Ein Anwen dungsbeispiel ist das Magazinieren von solchen Leiterplatten 30 in verschiedene Arten von Kassetten mit unterschiedlichen Winkelstellungen.

Strichpunktiert sind beispielhaft verschiedene Stellungen des Endeffektors 15 dargestellt, die erreicht werden können. Bei einer davon ist der Endeffektor 15 neben einer Bewegung seitlich nach rechts und nach oben um ca. 80° verschwenkt worden, bei der mittleren Stellung sind es in etwa 90°. In der ganz rechten Stellung ist lediglich eine Art Parallelver schiebung erfolgt. Eine Bewegung des Endeffektors setzt sich somit aus translatorischen und rotatorischen Komponenten zusammen.

Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht einer Bewegungsein richtung 11 von unten ähnlich Fig. 3, allerdings mit einem Träger 29 an einer Art geschlossenem Gestell 30. Die prinzi pielle Anordnung der Drehachsen bzw. Drehlager 14 entspricht in etwa der Fig. 3. Deutlich ist zu erkennen, daß die Schwinge 21 und die Koppel 22 der Führungsschwinge 20 eine erhebliche Breite aufweisen, um ein sicheres und genaues Führen in der vorgegebenen Bewegungsebene zu gewährleisten. Die Schwinge 21 übergreift den Zylinder 17 des linken Teles kopantriebes, während die Koppel 22 den Endeffektor 15 über greift. Der mittlere Teleskopantrieb ist weiter in die Zeichenebene hinein versetzt als der rechte Teleskopantrieb, und sein Teleskopkolben 18 ebenso im Vergleich zum Teleskop kolben 18 des linken Teleskopantriebes. Es ist vorteilhaft, die Lagerpunkte der Teleskopantriebe an dem Endeffektor 15 so zu bestimmen, daß bei gleichmäßiger Belastung des Endeffek tors 15 dieser schon durch sein Gewicht an den drei Teles kopantrieben in etwa innerhalb der vorgegebenen Bewegungs fläche geführt wird.

FUNKTION

In der folgenden Funktionsbeschreibung soll von einer Bewe gungseinrichtung ausgegangen werden, bei der eine Führungs einrichtung vorgesehen ist, die für ein genaues Einhalten der Bewegungsebene sorgt. Dies kann durch eine oder mehrere der dargestellten Führungsschwingen 20 erfolgen, ebenso durch senkrecht zur Zeichenebene versetzte Paare von linear arbei tenden Aktuatoren, oder Drehlager 14, die in Verbindung mit den Aktuatoren derart verwindungssteif und präzise gefertigt sind, daß der Endeffektor 15 lediglich in der vorgegebenen Bewegungsebene bewegbar ist. Im folgenden wird eine solche Führung vorausgesetzt und nicht weiter derart eingegangen.

Durch die drei unabhängigen Antriebe der ebenen Getriebeme chanik erhält man ein statisch überbestimmtes System. Soll eine Bewegung erfolgen, müssen alle Aktuatoren bzw. Antriebe betätigt werden, bei insgesamt drei Aktuatoren bzw. Antrieben darf keiner leerlaufen. Das Funktionsprinzip kann so be schrieben werden, daß zwei Aktuatoren bzw. Antriebe die Position des Endeffektors innerhalb der Bewegungsebene festlegen, während ein weiterer die Lage bzw. Winkelstellung bedingt. In der Darstellung der Fig. 3 wird dies dadurch veranschaulicht, daß der linke und der mittlere Aktuator 13 das linke Drehlager 14, an dem beide angreifen, im Zusammen spiel beliebig positionieren können. Über den rechten dritten Aktuator, der an dem rechten Drehlager 14 des Endeffektors 15 angreift, kann die Winkelstellung des Endeffektors durch Verschwenken eingestellt werden.

Es ist möglich, zwei linear arbeitende Aktuatoren und einen Drehantrieb einzusetzen. In dem Beispiel der Fig. 3 könnte der rechte Teleskopantrieb gegen einen Drehantrieb ausge tauscht werden. Der Drehantrieb könnte entweder in einem der drei übrigen Drehlager 14 zwischen einem der Teleskopantriebe und dem Träger 29, dem Endeffektor 15 oder der Führungs schwinge 20 wirken. Eine weitere Möglichkeit wäre im Bereich des Gelenks 23 zwischen Schwinge 21 und Koppel 22. Dieser Drehantrieb würde bei Weglassen des linken Aktuators die Aufgabe des Positionierens des linken Drehlagers 14 des Endeffektors 15 übernehmen.

Claims

1. Bewegungseinrichtung (11) zur Bewegung eines Endeffek tors (15), insbesondere für die Handhabung von Substra ten (35) in der Elektronikindustrie, die einen Träger (29) aufweist, an dem der Endeffektor angeschlagen ist, mit wenigstens zwei linear arbeitenden Aktuatoren (13, 25), die um unterschiedliche Achsen (14) an dem Träger schwenkbar gelagert sind und an unterschiedlichen Punkten (14) mit dem Endeffektor gelenkig verbunden sind, mit einem weiteren Antrieb zur Bewegung des Endeffektors und mit Führungsmitteln (20) zur zwangs läufigen Bewegung des Endeffektors in einer vorgegebenen Bewegungsfläche.

2. Bewegungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß der weitere Antrieb ein dritter linear arbeitender Aktuator (13, 25) ist, der um eine Achse (14) an dem Träger schwenkbar gelagert ist und mit dem Endeffektor (15) gelenkig verbunden ist.

3. Bewegungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß der weitere Antrieb ein Drehantrieb ist, der an einem Aktuator (13, 25) angreift, wobei er vorzugsweise zwischen dem Aktuator und dem Endeffektor (15) angebracht ist zur Verdrehung des Endeffektors gegenüber dem Aktuator.

4. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktuatoren Vorschubantriebe (25) mit einem Linearantrieb (26) und einer damit gelenkig verbundenen Schubstange (27) aufweisen, insbesondere einen richtungsfesten Linearan trieb, wobei vorzugsweise der Linearantrieb an dem Träger (29) befestigt ist.

5. Bewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktuatoren (13) Teles kopantriebe sind, vorzugsweise hydraulisch oder pneuma tisch, wobei insbesondere die Zylinder (17) an dem Träger gelagert sind.

6. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungs mittel (20) eine Gelenkkette aufweisen, die mit dem Träger (29) und dem Endeffektor (15) gelenkig verbunden und nur in der vorgegebenen Bewegungsfläche bewegbar ist, wobei die Gelenkkette vorzugsweise aus einer an dem Träger gelagerten Schwinge (21) und einer damit über ein Gelenk (23) verbundenen und an dem Endeffektor gelager ten Koppel (22) besteht.

7. Bewegungseinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die Gelenkkette (20) Gelenkglieder (21, 22) und/oder Gelenke (21, 14) aufweist mit einer im Vergleich zu ihrer Länge erheblichen Breite bzw. Ausdeh nung senkrecht zur Bewegungsfläche, wobei vorzugsweise die Gelenke jeweils zwei Gelenkzapfenhalterungen auf weisen, die voneinander beabstandet sind.

8. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die vorgegebene Bewegungsfläche eine Bewegungsebene ist, wobei vorzugs weise die Führungsmittel (20) Gelenkachsen (14, 23) aufweisen, die senkrecht zu der Bewegungsebene verlau fen.

9. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, gekennzeichnet durch Bewegungsmittel (32) zur Bewegung von an dem Endeffektor (15) angebrachten Vorrichtungen (33) mit einer im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsfläche verlaufenden Bewegungsrichtung, wobei die Bewegungsmittel vorzugsweise an dem Endeffek tor vorgesehen sind.

10. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Endeffektor (15) eine Greifvorrichtung (33) für Gegenstände trägt, insbesondere für Leiterplatten (35), die vorzugsweise in ein Magazin einbringbar sind, wobei er insbesondere eine Saugvorrichtung (35) zum Erfassen der Gegenstände durch Unterdruck aufweist.

11. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Grundstel lung des Endeffektors (15) eine Linie durch wenigstens zwei Lagerpunkte (14) der Aktuatoren (13, 25) an dem Träger (29) in einem Winkel zu einer Linie durch wenig stens zwei Lagerpunkte (14) an dem Endeffektor verläuft, insbesondere einem Winkel von etwa 30° bis 60°, wobei der Endeffektor vorzugsweise von dieser Grundstellung aus um bis zu 90° verschwenkbar ist.

12. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich der End effektor (15) im wesentlichen unterhalb des Trägers (29) und der Aktuatoren (13, 25) befindet und im wesentlichen nach unten und seitwärts arbeitet, wobei insbesondere an einer Seite des Trägers Führungsmittel (20) vorgesehen sind und der Endeffektor im wesentlichen zu der anderen Seite hin bewegbar ist.

13. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Endeffektor (15) über eine Führungsschwinge (20) und drei linear arbeitende Aktuatoren (13, 25) mit dem Träger (29) verbunden ist, wobei zwei Aktuatoren eine gemeinsame Schwenkachse (14) an dem Träger aufweisen und/oder genau einer dieser Aktuatoren eine gemeinsame Schwenkachse (14) mit dem dritten Aktuator an dem Endeffektor auf weist.

14. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, gekennzeichnet durch eine Lageerfassungsein richtung für den Endeffektor (15), vorzugsweise mit Erfassungsmitteln an den Aktuatoren (13, 25), insbeson dere Weg-Erfassungs-Sensoren an den Aktuatoren und/oder Drehwinkelgebern an den Lagerpunkten (14).

15. Bewegungseinrichtung nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch eine Steuerung, die eine Verarbeitungseinheit für Steuersignale aus Signalen der Lageerfassungseinrich tung an die Aktuatoren (15) und/oder die weiteren Antriebe aufweist sowie einen Speicher, in dem bewe gungseinrichtungsspezifische Daten abspeicherbar sind.