DE19837212A1

DE19837212A1 - Stellvorrichtung

Info

Publication number: DE19837212A1
Application number: DE1998137212
Authority: DE
Inventors: Uwe Wilkens; Jan Sonnenberg
Original assignee: ITEC GES fur PROZESAUTOMATION
Current assignee: ITEC AUTOMATION & LASER AG, 12526 BERLIN, DE
Priority date: 1998-08-17
Filing date: 1998-08-17
Publication date: 2000-02-24
Also published as: DE29815709U1

Abstract

Eine Stellvorrichtung hat einen Antrieb (331, 531), ein Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402), das den Antrieb (331, 531) umgibt, und einen in eine Bewegungsrichtung beweglichen Schlitten (501-506, 561-568), der durch den Antrieb (331, 531) bewegbar ist und der einen außerhalb des Gehäuses (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) laufenden Abschnitt (501-503) aufweist, wobei das Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) einen flexiblen Wandbereich (401, 402) aufweist, der im Bereich außerhalb des Schlittens (501-506, 561-568) ruht und das Gehäuse verschließt und der im Bereich des Schlittens entsprechend der Bewegung des Schlittens so bewegbar ist, daß er die mechanische Verbindung zwischen dem außerhalb des Gehäuses (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) laufenden Abschnitt (501-503) des Schlittens und dem Antrieb (331, 531) ermöglicht. Ein Kabelschlepp (601) für eine am innerhalb des Gehäuses (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) laufenden Abschnitt (501-503) des Schlittens befestigte elektrische Komponente (521, 531) kann innerhalb des Gehäuses liegen.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Stellvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Stellvorrichtungen können für die verschiedensten Zwecke verwendet werden, beispielsweise zum Positionieren von Werkstücken und/oder von Werkzeugen. An sie werden ver schiedene Anforderungen gestellt, beispielsweise ausrei chende Stellkraft, ausreichende Stellgeschwindigkeit und ausreichende Positionierungsgenauigkeit. Diese Anforderun gen sollen auch dann erfüllt werden, wenn sich die Stell vorrichtung in vergleichsweise "rauher" Umgebung befindet, beispielsweise in einer staubigen Fabrikhalle oder wenn sie bei der spanenden Werkstückbearbeitung verwendet wird. Es muß dann sichergestellt werden, daß die mechanischen und/oder elektrischen bzw. elektronischen Komponenten der Stellvorrichtung über lange Zeit hinweg störungsfrei arbei ten.

Um dies zu erreichen, werden Stellvorrichtungen so ausge bildet, daß die maßgeblichen mechanischen und/oder elektri schen Komponenten in einem abgeschlossenen Gehäuse liegen. Außerhalb des Gehäuses läuft ein Schlitten, der durch einen innerhalb des Gehäuses liegenden Motor bewegt wird. Es stellt sich dann das Problem, wie die mechanische Verbin dung zwischen Antrieb/Motor (innen) und Schlitten (außen) hergestellt wird. Eine Lösung dieses Problems sind Falten bälge, die flexibel "ziehharmonikaartig" ausgebildet sind und jeweils einerseits mit dem Schlitten und andererseits mit dem Gehäuse verbunden sind. Die Verbindungen mit Schlitten und Gehäuse können staubdicht gemacht werden, so daß die innenliegenden elektrischen, elektronischen und me chanischen Komponenten gegen Staub gesichert sind. Gleich wohl haben Faltenbälge verschiedene Nachteile: Sie sind me chanisch wenig widerstandsfähig, so daß sie die innenlie genden Komponenten gegen (versehentliche) mechanische Ein wirkungen von außen nur sehr bedingt schützen. Darüber hin aus können sich in den Falten des Balges Staub oder Späne sammeln. Eine Reinigung ist auch wegen der geringen mecha nischen Widerstandsfähigkeit vergleichsweise langwierig. Schließlich baut sich ein Faltenbalg dann, wenn er zusam mengeschoben wird, am jeweiligen Ende der Bewegungsrichtung des Schlittens auf, so daß eine entsprechende Stellvorrich tung um den Aufbau des Faltenbalgs zusätzlich zu dem für den Bewegungsbereich des Schlittens benötigten Bereich ver größert ist. Dies gilt für beide Enden einer eindimensiona len Bewegungsrichtung.

Darüber hinaus haben bekannte Stellvorrichtungen den Nach teil, daß sie in der Regel einen außen liegenden Kabel schlepp aufweisen. Der Kabelschlepp ist derjenige Teil der Verkabelung, der den beweglichen Schlitten mit den benötig ten Signalen bzw. elektrischen Zuführungen versorgt. Ent sprechend der Bewegung des Schlittens müssen Kabelbuchten oder Kabellängen vorgesehen sein, die die Bewegung des Schlittens erlauben. Ein außen liegender Kabelschlepp kann sich verhängen und so zu mechanischen und/oder elektrischen Problemen führen.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Stellvorrichtung anzuge ben, die genau arbeitet und kompakt aufgebaut ist.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine Stellvor richtung anzugeben, bei der sich der Kabelschlepp für einen Schlitten nicht verhängen kann.

Diese Aufgaben werden mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst. Abhängige Ansprüche sind auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung gerichtet.

Eine erfindungsgemäße Stellvorrichtung weist einen Antrieb auf, ein Gehäuse, das den Antrieb umgibt, und einen Schlit ten, der einen außerhalb des Gehäuses liegenden Teil und einen innerhalb des Gehäuses liegenden Teil hat. Am außen liegenden Teil können Gegenstände befestigt werden, bei spielsweise ein Werkstück oder ein Werkzeug. Der innenlie gende Teil wird durch den Motor angetrieben und gibt seine Bewegung an den außenliegenden Teil und damit an beispiels weise das Werkstück oder das Werkzeug weiter. Das Gehäuse weist einen flexiblen Wandbereich auf, der im Bereich au ßerhalb des Schlittens ruht und das Gehäuse verschließt und der im Bereich des Schlittens entsprechend der Bewegung des Schlittens so bewegt werden kann, daß die mechanische Ver bindung des außenliegenden Teils des Schlittens mit dem in nenliegenden Teil des Schlittens möglich ist.

Vorzugsweise läuft der außenliegende Teil des Schlittens nahe an der Außenwand des Gehäuses. In der Regel ist das Gehäuse quaderförmig aufgebaut; die Stellvorrichtung ermög licht üblicherweise eine Stellbewegung längs einer linearen Achse, die ggf. nachfolgend als Längsachse bezeichnet wird.

Der flexible Wandbereich ist vorzugsweise flächig ausgebil det. Er kann beispielsweise ein flaches Band sein. Es kann sich längs der möglichen Bewegungsrichtung des Schlittens erstrecken.

In einer speziellen Ausführungsform weist die Stellvorrich tung zwei flexible Wandbereiche auf; bei einem quaderförmi gen Gehäuse liegen diese sich vorzugsweise gegenüber und erstrecken sich längs der Bewegungsrichtung des Schlittens.

Die Probleme, die sich aus dem möglichen Verhängen des Ka belschlepps ergeben können, können dadurch umgangen werden, daß der Kabelschlepp für elektrische Komponenten des Schlittens in das Innere des Gehäuses verlegt wird. Die entsprechenden Kabel sind dann über Anschlüsse am festen Gehäuse zugänglich. Soweit im Gehäuse enge Kabelradien fle xibel untergebracht werden sollen, können vorzugsweise hochflexible Kabel zum Vermeiden von Kabelbrüchen gewählt werden.

Bezugnehmend auf die Zeichnungen werden nachfolgend einzel ne Ausführungsformen der Erfindung beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemä ßen Stellvorrichtung,

Fig. 2 einen Schnitt längs der gestrichelten Linie A in Fig. 1 (Blickrichtung auf Wand 101),

Fig. 3 einen Schnitt längs der gestrichelten Linie B in Fig. 1 (Blickrichtung auf Wand 101),

Fig. 4 einen Schnitt längs der gestrichelten Linie C in Fig. 1 (Draufsicht), und

Fig. 5 ein Detail der erfindungsgemäßen Gehäusegestaltung.

Fig. 1 zeigt eine als Linearachse ausgebildete erfindungsge mäße Stellvorrichtung. Das Gehäuse ist hier quaderförmig gestaltet und weist eine vordere Stirnwand 101 auf, eine hintere Stirnwand 102, Seitenwände 201-401 bzw. 202-402 (letzteres siehe Fig. 2), eine Decke 200 und einen Boden 300. Außen am Gehäuse läuft ein Teil des Schlittens 500. Der Schlitten weist eine oder mehrere Befestigungsvorrich tungen 551 auf, mittels derer Gegenstände befestigt werden können. Der Schlitten 500 ist zwischen den Stirnwänden ver schiebbar. Er wird durch einen Motor angetrieben, der im inneren des Gehäuses liegt. Das Gehäuse ist mit einem oder mehreren elektrischen Anschlüssen 111 versehen, über die der Stellvorrichtung elektrische Signale und/oder elektri sche Energie zugeführt werden kann.

401 ist der flexible Wandbereich. Ein entsprechender Wand bereich 402 kann auf der gegenüberliegenden Seite vorgese hen sein. Es handelt sich hier um ein längliches Band, das jeweils in den Endbereichen des Bewegungsbereichs des Schlittens befestigt ist. Beispielsweise kann es im Bereich bzw. an der vorderen und hinteren Stirnwand befestigt sein. Dazwischen ist es flexibel bzw. beweglich. Im Bereich au ßerhalb des Schlittens liegt es am übrigen Gehäuse an (hier Wandungen 201 und 301 bzw. 202 und 302), während es im Be reich des Schlittens aufgrund seiner Flexibilität so vom übrigen Gehäuse wegbewegt werden kann, daß die mechanische Verbindung zwischen Schlittenkomponenten außerhalb des Ge häuses und Schlittenkomponenten innerhalb des Gehäuses her gestellt werden kann.

Aufgrund des Aufbaus sind die Nachteile im Stand der Tech nik behoben: Die Decke 200 kann stabiles Metall sein, so daß ein guter mechanischer Schutz gegeben ist. Sie kann flach ausgestaltet sein, so daß die Reinigung einfach mög lich ist. Schließlich hat man keinen Faltenbalg, der sich an den Stirnwänden bei entsprechender Bewegung des Schlit tens aufbauen würde. Dadurch kann das Gerät kompakter auf gebaut werden.

Fig. 2 zeigt den Schnitt durch Schlitten und Gehäuse längs der gestrichelten Linie A in Fig. 1. Fig. 2 blickt in Fig. 1 von hinten nach vorne, also von innen auf die Stirnwand 101. Gleiche Bezugszeichen wie in Fig. 1 bedeuten gleiche Komponenten. Das Gehäuse wird durch eine Abdeckung 200-202 gebildet, deren obere Fläche die Decke 200 in Fig. 1 bildet, durch einen Sockelaufbau 300-312, dessen untere Fläche den Boden 300 des Gehäuses bildet, durch Schenkel 201, 202, 301, 302 der Abdeckung bzw. des Sockelaufbaus, durch den flexiblen Wandbereich 401, 402 und durch die Stirnwände 101 und 102 (letztere nicht zu sehen). Im Be reich des Schlittens 500-507 ist der flexible Wandbereich 401, 402 von der übrigen Gehäusewand wegbewegt, in der ge zeichneten Ausführungsform nach außen. Durch den sich öff nenden Spalt zwischen der Oberkante des Wandbereichs 401, 402 und der Unterkante des Schenkels 201, 202 kann ein Tragarm 541, 542 des Schlittens ragen, der einerseits mit dem außenliegenden Teil 503, und andererseits mit dem in nenliegenden Teil 504 verbunden ist. Im Inneren des Gehäu ses kann der innenliegende Teil 504 des Schlittens durch einen Antrieb 331, 531 angetrieben werden.

Das mechanische Auflager kann der Schlitten 500 im Inneren des Gehäuses finden, beispielsweise in den Rollen oder Pro filschienenwagen 511, 512, die auf entsprechenden Bahnen, Schienen oder Profilschienenführungen 311, 312 laufen.

In Fig. 2 erkennt man, daß der flexible Wandbereich 401, 402 außen um den Tragarm 541, 542 herumgeführt wird. Zu sätzlich ist dann eine Abdeckung 505, 506 vorgesehen, die den flexiblen Wandbereich so abdeckt, daß er zum Äußeren der Stellvorrichtung hin im Bereich des Schlittens nicht sichtbar wird bzw. zugänglich ist.

Die Abdeckung 200-202 kann, wie gezeigt, den Querschnitt eines flachen U haben, wobei die Schenkel 201, 202 nach un ten ragen und einen Teil der Seitenwand 201-401 bzw. 202-402 bilden. Der Sockelaufbau 300-312 kann ähnlich ge staltet sein. Er kann auch massiver gebildet sein, bei spielsweise indem er aus einer stabilen Platte, beispiels weise Aluminium, herausgefräst ist. Er dient dann als me chanischer Rahmen für den gesamten Aufbau. An ihm können beispielsweise die Stirnwände befestigt sein, an denen wie derum die Abdeckung befestigt ist.

Der flexible Wandbereich 401, 402 kann an den Stirnwänden oder an sonstigen in der Nähe liegenden Wandbereichen des Gehäuses befestigt sein.

Fig. 3 zeigt den Schnitt längs der gestrichelten Linie B in Fig. 1. Gleiche Bezugszeichen wie in den Fig. 1 und 2 bedeuten gleiche Komponenten. Im Bereich außerhalb des Schlittens liegt der flexible Wandbereich 401, 402 an son stigen und insbesondere starren Wandbereichen 201, 202, 301, 302 an und verschließt dadurch das Gehäuse. 601 be zeichnet die Verkabelung für elektrische Komponenten inner halb des Gehäuses, wobei zumindest ein Teil davon für elek trische Komponenten am Schlitten vorgesehen sein kann. In nerhalb des Gehäuses ist eine Führung 303 für die Kabel vorgesehen. Insbesondere kann die Führung 303 zur Aufnahme des Kabelschlepps für die am Schlitten befestigten elektri schen Komponenten dienen. Von innen her ist die Verkabelung 601 mit den Anschlüssen 111 des Gehäuses verbunden, die von außen her zugänglich sind.

Bezugszeichen 321 und 521 bezeichnen eine Positionserfas sung, mit der die Position des Schlittens in Bewegungsrich tung erfaßt werden kann. Bei 322 kann es sich beispielswei se um einen fest mit dem Gehäuse (hier mit dem Sockelaufbau 300-312) verbundenen Maßstab handeln, beispielsweise ei nem Glasmaßstab. 521 kann ein elektrischer Lesekopf sein, mit dem die Markierungen am Maßstab 321 erfaßt und in ge eignete elektrische Signale umgewandelt werden. Diese elek trischen Signale können über die Verkabelung am Schlitten, den Kabelschlepp 601 und die Anschlüsse 111 nach außen ge leitet werden.

Fig. 4 zeigt eine Draufsicht, wobei gleiche Bezugszeichen wie vorher gleiche Komponenten bezeichnen. Der flexible Wandbereich 401, 402 wird durch Umlenkeinrichtungen bewegt. Beispielsweise kann es sich um Rollen handeln, die am Schlitten befestigt sind und die demzufolge mit dem Schlit ten mitbewegt werden. In der gezeichneten Ausführungsform handelt es sich bei der Umlenkeinrichtung um vertikale Rol len 561-568, die vorzugsweise nadelgelagert unten und/oder oben am Schlitten befestigt sind. Durch die jeweils äußeren Rollen 561, 564, 565 und 568 wird der flexible Wandbereich 401, 402 an das Gehäuse geführt. Durch die in neren Rollen 562, 563, 566 und 567 wird der flexible Wand bereich vom Gehäuse weggeführt. Der flexible Wandbereich 401, 402 wird insbesondere um die Tragarme 541, 542 herum geführt, so daß diese aus dem Gehäuse herausragen können. Bei der Bewegung des Schlittens werden die Umlenkeinrich tungen/Rollen 561-568 mitgeführt und lenken den flexiblen Wandbereich in geeigneter Weise aus.

Fig. 5 zeigt einen Schnitt durch Abdeckung und flexiblen Wandbereich. Man erkennt, daß die Abdeckung 200-202 bzw. der vertikale Schenkel 201 eine Aussparung 211 dergestalt aufweist, daß eine freie Oberkante des flexiblen Wandbe reichs unter einem Teil der Abdeckung 200-202 zu liegen kommt. Dies hat den Vorteil, daß sich Staub oder Späne nicht auf der freien Oberkante des flexiblen Wandbereichs 401 ablagern können, so daß sie nicht in das Gehäuseinnere fallen können, wenn im Bereich des Schlittens der flexible Wandbereich 401 von der Wand abgehoben wird, weil die freie Oberkante geschützt ist und Staub und Späne an der Platten seitenwand nach unten fallen. 221 bezeichnet eine Halteein richtung, die im Bereich außerhalb des Schlittens den fle xiblen Wandbereich 401 am Gehäuse bzw. den entsprechenden Gehäuseteilen hält, hier beispielsweise den Schenkel 201 der Abdeckung 200. Bei der Halteeinrichtung kann es sich beispielsweise um in regelmäßigen Abständen angebrachte Ma gnete handeln, die ein flexibles Metallband anziehen. Da durch wird sichergestellt, daß der flexible Wandbereich 401 fest an der Gehäusewand anliegt.

Der flexible Wandbereich 401 ist vorzugsweise ein metalli sches oder Metall aufweisendes Band insbesondere mit paral lelen Kanten. Das Materials ist so gewählt, daß es den An forderungen hinsichtlich Elastizität, Verformbarkeit und Dichtheit gerecht wird.

In der gezeigten Ausführungsform sind zwei flexible Wandbe reiche an gegenüberliegenden Seiten vorgesehen. Die Seiten müssen sich jedoch nicht zwangsläufig gegenüberliegen. Dar über hinaus kann es ausreichend sein, lediglich eine flexi blen Wandbereich, beispielsweise nur auf einer Seite, vor zusehen.

Es sind auch Ausführungsformen denkbar, bei denen der fle xible Wandbereich ins Gehäuseinnere geführt wird. Die Füh rung muß dann so sein, daß letztendlich eine mechanische Verbindung zwischen außenliegenden Schlittenteilen und An trieb möglich ist.

Der Schlitten ist vorzugsweise so aufgebaut, daß er einen Abdeckbereich aufweist, der den flexiblen Wandbereich dort außen überdeckt, wo er von der übrigen Gehäusewand abgeho ben ist. Der Abdeckbereich des Schlittens kann vorzugsweise auch benachbarte Wandbereiche des Gehäuses abdecken. Vor zugsweise gleitet er nahe an der entsprechenden Gehäusewand entlang. Dann ist sichergestellt, daß keine Späne und Staub nur in geringem Maße durch den Spalt zwischen flexiblem Wandbereich und übrigem Gehäuse in das Gehäuseinnere gelan gen. Die Abdeckbereiche des Schlittens können insbesondere seitlich längs des Gehäuses laufen.

Der Antrieb für den Schlitten ist vorzugsweise ein Linear motor. Er hat den Vorteil hoher Stellkräfte und hoher Stellgeschwindigkeiten sowie großer Positionierungsgenauig keit. Der Linearmotor weist den Stator 331 auf, der am Ge häuseinneren befestigt ist, hier beispielsweise am Sockel aufbau 300-312. Der Läufer des Linearmotors ist durch Be zugsziffer 531 symbolisiert. Er ist am innenliegenden Teil 504 des Schlittens 500 befestigt. Seine elektrischen Zulei tungen erhält er über den bereits erwähnten Kabelschlepp.

Die Position des Schlittens in Bewegungsrichtung kann gere gelt werden, indem ein Regelkreis bestehend aus Antrieb/(Linear)motor, Schlitten 500, Positionserfassung 321, 521 und einer geeigneten externen oder internen Regelvorrich tung gebildet wird. Beispielsweise kann die Regelung intern vorgesehen sein. Über einen der Anschlüsse 111 kann sie ei nen Positionssollwert empfangen, auf den dann durch die in ternen Komponenten geregelt wird. Mit einer solchen Rege lung und dem ansonsten genauen mechanischen Aufbau sind Po sitionierungen bis auf wenige Mikrometer genau möglich. Fehler lassen sich auf unter 3 µm einschränken, selbst wenn die Positionserfassung 321, 521 eine gröbere Teilung hat, beispielsweise im Bereich von 20 µm als kleinste Einheit. Geeignete weitere Regelungs- bzw. Ansteueralgorithmen kön nen die genannte Positionierungsgenauigkeit, insbesondere durch Verwendung des Linearmotors, erreichen.

Das mechanische Auflager 311, 312, 511, 512 des Schlittens liegt ebenfalls im Gehäuseinneren. Dadurch ist sicherge stellt, daß der Lauf ruhig und ungestört von Spänen oder Staub ist. Beispielsweise können Rollen oder Räder vorgese hen sein, vorzugsweise in Breitenrichtung möglichst weit beabstandet, und ggf. mehrere hintereinander in Bewegungs richtung des Schlittens.

Die Fig. 2 bis 4 zeigen jeweils den Kabelschlepp 601. Im folgenden wird auf Fig. 4 Bezug genommen. Die Kabel bzw. der Kabelschlepp 601 verlaufen in der Führung 303 (siehe auch Fig. 2 und 3). Gehäuseseitig sind sie mit den ex ternen Anschlüssen und/oder mit internen Komponenten, bei spielsweise einer elektronischen Regelung, verbunden. In Fig. 4 laufen die Verbindungen hin zu den externen An schlüssen bzw. zur internen, nicht beweglichen Verschaltung über die Kabel, die in der Führung 303 in der Figur oben liegen. In der Figur unten, insbesondere unterhalb des Schlittens, laufen die Kabel bzw. der Kabelschlepp doppelt, nämlich unten in der Führung 303, dann im Bogen aufsteigend und zurück zum Schlitten 500, um die dortigen elektrischen Komponenten zu kontaktieren. Damit läuft der Kabelschlepp im Inneren des Gehäuses, so daß ein Verhängen außerhalb des Gehäuses nicht möglich ist. Daraus resultierende elektri sche bzw. mechanische Probleme werden demnach vermieden.

Claims

1. Stellvorrichtung mit
einem Antrieb (331, 531)
einem Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402), das den Antrieb (331, 531) umgibt, und
einem in eine Bewegungsrichtung beweglichen Schlitten (501-506, 561-568), der durch den Antrieb (331, 531) bewegbar ist und der einen außerhalb des Gehäuses (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) laufenden Abschnitt (501-503) aufweist,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) einen flexiblen Wandbereich (401, 402) aufweist, der im Bereich außerhalb des Schlittens (501-506, 561-568) ruht und das Gehäuse verschließt und der im Bereich des Schlittens entsprechend der Bewegung des Schlittens so bewegbar ist, daß er die mechanische Verbindung zwi schen dem außerhalb des Gehäuses (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) laufenden Abschnitt (501-503) des Schlittens und dem Antrieb (331, 531) ermöglicht.

2. Stellvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß sie eine lineare Bewegung in Längsrichtung er laubt.

3. Stellvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge kennzeichnet, daß der flexible Wandbereich (401, 402) ein Band aufweist, das am Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) befestigt ist und das sich in Be wegungsrichtung erstreckt.

4. Stellvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) im wesentlichen quader förmig ausgebildet ist.

5. Stellvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwei flexible Wandbereiche (401, 402) vorgesehen sind.

6. Stellvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der flexible Wandbereich (401, 402) durch eine am Schlitten (501-506, 561-568) befestigte Umlenkeinrichtung (561-568) bewegbar ist.

7. Stellvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich net, daß der flexible Wandbereich (401, 402) durch die Umlenkeinrichtung (561-568) von einer Gehäusewand (200-202, 300-302) zum Gehäuseäußeren hin wegbeweg bar ist.

8. Stellvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich net, daß der flexible Wandbereich (401, 402) durch die Umlenkeinrichtung (561-568) im Inneren des Schlittens geführt wird.

9. Stellvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich net, daß der flexible Wandbereich (401, 402) durch die Umlenkeinrichtung (561-568) von einer Gehäusewand (200-202, 300-302) zum Gehäuseinneren hin wegbeweg bar ist.

10. Stellvorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, da durch gekennzeichnet, daß die Umlenkeinrichtung (561-568) zumindest eine Rolle aufweist.

11. Stellvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Schlitten (501-506, 561-568) einen Abdeckabschnitt (501, 502, 505, 506) hat, der den flexiblen Wandbereich (401, 402) bereichs weise von außen überdeckt.

12. Stellvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich net, daß der Abdeckabschnitt auch Wandbereiche über deckt, die in der Nähe des flexiblen Wandbereichs (401, 402) liegen.

13. Stellvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das im wesentlichen quader förmige Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) einen untenliegenden Sockelaufbau (300-312) und eine obenliegende Abdeckung (200-202) aufweist.

14. Stellvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich net, daß der flexible Wandbereich (401, 402) ein Band vorzugsweise aus dünnem Metall ist, das sich in Bewe gungsrichtung erstreckt und im Bereich außerhalb des Schlittens (501-506, 561-568) den Bereich zwischen Sockelaufbau (300-312) und Abdeckung (200-202) ab deckt.

15. Stellvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich net, daß die Abdeckung (200-202) an zumindest einer der Seiten, die sich in Bewegungsrichtung des Schlit tens (501-506, 561-568) erstrecken, einen nach un ten gerichteten Schenkel aufweist, wobei das Band im Bereich außerhalb des Schlittens (501-506, 561-568) den Bereich zwischen Sockelaufbau (300-312) und Un terkante des Schenkels abdeckt.

16. Stellvorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch ge kennzeichnet, daß der Sockelaufbau (300-312) an zu mindest einer der Seiten, die sich in Bewegungsrichtung des Schlittens (501-506, 561-568) erstrecken, einen nach oben gerichteten Schenkel aufweist, wobei das Band im Bereich außerhalb des Schlittens (501-506, 561-568) den Bereich zwischen Abdeckung (200-202) und Oberkante des Schenkels abdeckt.

17. Stellvorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung (200-202) bzw. deren Schenkel und/oder der Sockelaufbau (300-312) bzw. dessen Schenkel eine Aussparung (211) aufwei sen, in der das Band an der Abdeckung (200-202) und/oder am Sockelaufbau (300-312) bzw. an deren Schenkeln anliegt.

18. Stellvorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) eine vordere und eine hin tere Stirnwand (101, 102) aufweist, zwischen denen sich das Band erstreckt und an denen es befestigt ist.

19. Stellvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb (331, 531) ein Linearmotor ist.

20. Stellvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er eine Positionsregelung mit einer Einrichtung zum Empfangen eines Sollwerts, eine Positionserfassung (321, 521) längs der Bewegungs richtung und einen Regler zur Erzeugung von Ansteuersi gnalen für den Antrieb (331, 531) aufweist.

21. Stellvorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeich net, daß die Positionserfassung (321, 521) einen Glas maßstab aufweist.

22. Stellvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Halteeinrichtung (221), die im Bereich außerhalb des Schlittens (501-506, 561-568) den flexiblen Wandbereich (401, 402) am Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) hält.

23. Stellvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das mechanische Auflager (311, 511) des Schlittens (501-506, 561-568) am Ge häuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) im Ge häuseinneren liegt.

24. Stellvorrichtung, insbesondere nach einem der vorheri gen Ansprüche, mit
einem Antrieb (331, 531),
einem Gehäuse (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402), das den Antrieb (331, 531) umgibt und das einen flexiblen Wandbereich (401, 402) aufweist, der entspre chend der Bewegung des Schlittens so bewegbar ist, daß er die mechanische Verbindung zwischen Schlitten und Antrieb (331, 531) ermöglicht, und
einem in eine Bewegungsrichtung beweglichen Schlitten (501-506, 561-568), der durch den Antrieb (331, 531) bewegbar ist und der einen außerhalb des Gehäuses (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) laufenden Abschnitt (501-503) und einen innerhalb des Gehäuses (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) laufenden Abschnitt (501-503) aufweist,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein Kabelschlepp (601) für eine am innerhalb des Gehäu ses (101, 102, 200-202, 300-302, 401, 402) laufen den Abschnitt (501-503) des Schlittens befestigte elektrische Komponente (521, 531) innerhalb des Gehäu ses liegt, wobei das Gehäuse einen mit dem Kabelschlepp verbundenen elektrischen Anschluß (111) aufweist.

25. Stellvorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeich net, daß im Gehäuse eine in Bewegungsrichtung verlau fende Bahn (303) für den Kabelschlepp vorgesehen ist.