DE19821558A1 - Positionsmeßeinrichtung - Google Patents

Positionsmeßeinrichtung

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Description

Die Erfindung betrifft einen Maßstab sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes.
Weiterhin betrifft die Erfindung eine Positionsmeßeinrichtung, in der ein der­ artiger Maßstab verwendet wird.
Für Meßmaschinen und Werkzeugmaschinen werden Positionsmeßeinrich­ tungen großer Länge benötigt. Um die Herstellung der Maßstäbe dieser Po­ sitionsmeßeinrichtungen zu erleichtern, werden mehrere kurze Teilstücke gefertigt und diese Teilstücke zur gesamten Meßlänge auf einem Grundkör­ per zusammengesetzt.
In der DE 28 47 719 A ist eine Positionsmeßeinrichtung und ein Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes beschrieben. Die Teilstücke des Maßsta­ bes werden mit dem Grundkörper durch Schweißen starr verbunden. Zu­ sätzlich können an den Stoßstellen der Teilstücke Punktschweißverbindun­ gen angeordnet sein. Die Teilstücke des Maßstabes sind aus Metall.
Eine ähnliche Positionsmeßeinrichtung ist in der DE 15 48 875 A beschrie­ ben. Mehrere Teilstücke eines Maßstabes sind auf einem Grundkörper auf­ geschweißt. Die Teilstücke bestehen aus einer dünnen Folie.
Weitere Positionsmeßeinrichtungen, bei denen ein Teilungsträger durch Schweißen auf einem Grundkörper befestigt ist, sind aus der EP 0 624 780 A und der JP 8-145609 A bekannt.
Eine Positionsmeßeinrichtung, von der unsere Erfindung ausgeht, ist in der DE 38 18 044 A beschrieben. Mehrere Teilstücke eines Maßstabes aus Glas sind auf einem Grundkörper in Meßrichtung aneinander angelegt und glei­ tend mit dem Grundkörper verbunden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen kostengünstigen und ge­ nauen Maßstab sowie eine Positionsmeßeinrichtung insbesondere für große Meßlängen zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Ansprüche 1, 5, 11 bzw. 12 ge­ löst.
Weiterhin liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes insbesondere für große Meß­ längen anzugeben.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruches 8 bzw. 9 gelöst.
Die besonderen Vorteile der Erfindung liegen darin, daß als Träger der Maß­ verkörperung relativ billiges Glas mit hochwertiger optischer und mechani­ scher Oberflächenqualität eingesetzt werden kann. Durch die erfindungsge­ mäße Verbindung der Maßstab-Teilstücke erhält man einen über die ge­ samte Meßlänge homogenen Maßstab.
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 eine Positionsmeßeinrichtung mit einem Maß­ stab aus mehreren Maßstab-Teilstücken,
Fig. 2 eine Verbindungsstelle zweier Maßstab-Teil­ stücke im Detail,
Fig. 3 eine weitere Verbindungsstelle zweier Maß­ stab-Teilstücke im Detail,
Fig. 4 eine weitere Verbindungsstelle zweier Maß­ stab-Teilstücke im Detail und
Fig. 5 zwei Maßstab-Teilstücke mit einer Verbin­ dungsstelle zwischen einem Teilstück und ei­ nem Grundkörper.
Die Positionsmeßeinrichtung gemäß Fig. 1 besteht aus einem Maßstab 1 und einer in Meßrichtung X relativ zum Maßstab 1 verschiebbaren Abtast­ einheit 2. Zur Positionsmessung an einer Meßmaschine oder einer Werk­ zeugmaschine ist der Maßstab 1 an einem Bett und die Abtasteinheit 2 an einem dazu bewegbaren Schlitten befestigt.
Der Maßstab 1 besteht aus einem Grundkörper 10, auf dem in Meßrichtung X hintereinander mehrere Maßstab-Teilstücke 11, 12, 13 angeordnet sind. Der Grundkörper 10 ist beispielsweise eine über die gesamte Meßlänge durchgehende Schiene aus Metall, insbesondere aus Stahl. Bei gekapselten Positionsmeßeinrichtungen kann der Grundkörper 10 gleichzeitig das Ge­ häuse - beispielsweise aus Aluminium - bilden.
Jedes der Maßstab-Teilstücke 11, 12, 13 trägt eine Maßverkörperung in Form einer inkrementalen Teilung 14. Diese Teilung 14 ist nach bekannten lithografischen Verfahren gefertigt und ist lichtelektrisch im Durchlichtverfah­ ren abtastbar. Die Länge der Teilstücke 11, 12, 13 ist auf die Länge der bei der Herstellung verwendeten Kopiereinrichtung beschränkt.
Die Teilstücke 11,12, 13 sind mit dem Grundkörper 10 über eine in Meß­ richtung X elastische Schicht 15 verbunden. Unterschiedliche Längenände­ rungen des Grundkörpers 10 und der Teilstücke 11, 12, 13 werden durch die Schicht 15 ausgeglichen.
Die Teilstücke 11, 12, 13 bestehen aus transparentem Glas, insbesondere Floatglas oder Glaskeramik (Markenname: Zerodur) und sind an den Stoß­ stellen mittels Schweißen fest miteinander verbunden. Hierzu werden die Teilstücke 11, 12, 13 zuerst auf die elastische Schicht 15 aufgelegt und die Enden aneinander gestoßen, danach erfolgt das Verschweißen der Teil­ stücke 11, 12, 13 miteinander.
Zur Erzeugung eines Fixpunktes zwischen den Teilstücken 11, 12, 13 und dem Grundkörper 10 kann ein Teilstück 12 an einer einzigen Position P durch Schweißen starr am Grundkörper 10 befestigt werden.
Die Abtasteinheit 2 besteht aus zumindest einer Lichtquelle 21 und zumin­ dest einem Photodetektor 22. Die Lichtquelle 21 ist auf einer Seite der Teil­ stücke 11, 12, 13 und der Photodetektor 22 auf der gegenüberliegenden Seite der Teilstücke 11, 12, 13 angeordnet.
Als Schweißverfahren an den Stoßstellen der Teilstücke 11, 12, 13 und an dem Fixpunkt P können alle bekannten Verfahren eingesetzt werden, wie z. B. Widerstandsschweißen, Diffusionsschweißen und Laserschweißen. Da gemäß der Erfindung die Teilstücke 11, 12, 13 bereits mit einer Teilung 14 versehen sind, muß beim Schweißvorgang besonders darauf geachtet wer­ den, daß die thermische Belastung der Teilung 14 gering bleibt. Aus diesem Grund ist das Laserschweißen besonders geeignet. Die Lasterstrahlung kann bis zum minimalen Durchmesser im Bereich der Wellenlänge fokussiert werden, wodurch minimale Bearbeitungszonen erzielt werden können. Die Intensität der Laserstrahlung kann einfach gesteuert werden, mit den hohen erzielbaren kontinuierlichen oder gepulsten Leistungen ist am Werkstück eine Intensität von 105 bis 1010 W/cm2 erreichbar. Diese gezielt steuerbaren hohen Intensitäten haben den Vorteil, daß die beim Schweißen erzeugte Wärme nur gezielt lokal und kurzzeitig aufgebracht werden muß, was eine minimale wärmebeeinflußte Zone und somit minimalen Verzug der Teil­ stücke 11, 12, 13 zur Folge hat.
Bei der erfindungsgemäßen Anwendung des Laserschweißens ist es vorteil­ haft, wenn der Laserstrahl eine Wellenlänge hat, für die das Glas der Teil­ stücke 11, 12,13 transparent wirkt. Die Wellenlänge also so an das Material der Teilstücke 11,12,13 angepaßt ist, daß im Glas selbst keine Wärmeab­ gabe erfolgt. Durch diese Maßnahme kann sichergestellt werden, daß die Wärmeabgabe ausschließlich an den zu verschweißenden Stoßstellen der Teilstücke 11, 12, 13 erfolgt. Die Oberflächenrauhigkeit der Teilstücke 11, 12, 13 an den Stoßstellen hat zur Folge, daß die Laserstrahlung ausschließ­ lich an diesen Bereichen absorbiert wird und das Glasmaterial nur lokal er­ hitzt und verschweißt wird.
In Fig. 2 ist eine Verbindungsstelle zweier Teilstücke 11, 12 im Detail dar­ gestellt. Die Oberflächen der beiden zu verschweißenden Enden sind zur besseren Absorption der Laserstrahlung durch Schleifen angerauht. Die bei­ den Enden werden aneinander gestoßen und der Laserstrahl 16 auf die Stoßstelle gerichtet. Das Laserschweißen von Glas-Maßstäben 11, 12 hat den Vorteil, daß in der Regel beim Schweißvorgang keine Lageänderung der beiden Teilstücke 11,12 erfolgt. Haben die Enden zu der Teilung 14 eine definiert vorgegebene Lage, so ist eine Justierung des Stoßes nicht erforder­ lich, ein einfaches Aneinanderstoßen der beiden Enden ist ausreichend. Die Enden sind so bearbeitet, daß im aneinandergestoßenen Zustand der Enden die beiden aufeinanderfolgenden Teilstriche 141 und 142 beider Teilstücke 11, 12 den Sollabstand T aufweisen. Bei der dargestellten inkrementalen Teilung 14 ist T die Teilungsperiode. Diese Methode ist bei Glas-Maßstäben 11, 12 besonders vorteilhaft realisierbar, da die Enden hochgenau bearbeitet werden können. Die Verschweißung kann je nach Fokussierung und Ein­ fallswinkel des Laserstrahls 16 über die gesamte Stoßstelle (Trennfläche) erfolgen, oder nur Teilbereiche bzw. Ränder der Trennfläche umfassen.
In Fig. 3 ist eine weitere Verbindungsstelle zweier Maßstab-Teilstücke 11, 12 dargestellt. Zwischen den Enden der Teilstücke 11, 12 ist eine die Laser­ strahlung 16 absorbierende Schicht 17 vorgesehen. Die Schicht 17 kann eine Dicke aufweisen, die einer Lücke zwischen zwei Teilstrichen entspricht, sie kann aber auch einer Breite eines Teilstriches entsprechen. Das Material der Schicht 17 absorbiert die Laserstrahlung 16, wodurch die Schicht 17 und das angrenzende Glas erwärmt und miteinander verschweißt wird. Die Schicht 17 kann aus Silizium, Chrom, Nickel, CrNi oder MoTi bestehen.
Die Schicht 17 kann durch Aufdampfen oder chemische Abscheidung auf ein Ende oder auf beide Enden der Teilstücke 11, 12 aufgebracht werden.
Die Schicht 17 kann fest aber auch flüssig oder pastös sein und beim Schweißvorgang der Teilstücke 11, 12 verdampfen oder zumindest teilweise in die Gläser diffundieren, wodurch eine chemische Verzahnung der Teil­ stücke 11, 12 erfolgt.
Eine besonders stabile Verbindung erhält man, wenn als Schicht 17 ein Me­ talloxid (z. B. Platinoxid) Verwendung findet, da beim Schweißvorgang Me­ talloxide an den Endbereichen der Teilstücke 11, 12 in das Glas eindiffundie­ ren.
Beim Laserschweißen besteht die Möglichkeit, die Schweißstelle auch in der Tiefe gezielt wählen zu können. So kann die Laserstrahlung 16 auf eine Ebene konzentriert werden, die außerhalb der die Teilung 14 tragenden Oberfläche liegt. Dies hat den Vorteil, daß beim Schweißvorgang keine, bei der Abtastung störende Schweißstelle an der Oberfläche entstehen kann und die Teilung 14 nicht beeinflußt wird. Ein Beispiel hierzu ist in Fig. 4 dargestellt. Der Laserstrahl 16 wird senkrecht zu der die Teilung 14 tragen­ den Oberfläche ausgerichtet und auf eine Ebene unterhalb dieser Oberflä­ che fokussiert. Die Verschweißung erfolgt außerhalb der die Teilung 14 tra­ genden Ebene. Die beiden zu verschweißenden Enden der Teilstücke 11, 12 können senkrecht (90°) zur Oberfläche verlaufen, oder von 90° abweichend, wie in Fig. 4 dargestellt.
Bei dem Beispiel in Fig. 5 werden die beiden Teilstücke 11, 12 mit dem La­ serstrahl 16 an dem Grundkörper 10 geschweißt. Der Laserstrahl 16 ist auf die Verbindungsstelle fokussiert und die Wellenlänge ist an das Glasmaterial der Teilstücke 11, 12 angepaßt, so daß es beim Durchlaufen des Laser­ strahls 16 möglichst wenig Energie absorbiert und erst an der Grenzfläche Glas - Metall die Energie abgegeben wird. An dieser Grenzfläche entsteht eine chemische Verbindung durch Diffusion von Metalloxiden. Zur besseren Verschweißung können zusätzlich an der Grenzfläche Hilfsschichten einge­ bracht werden, beispielsweise durch Aufdampfen einer Chromschicht, die aufgrund ihres oxidischen Charakters eine Bindung zum Glas eingeht und auch wegen des metallischen Charakters eine Legierungsbildung zum me­ tallenen Grundkörper 10 ermöglicht.
Die in Fig. 5 dargestellte Schweißverbindung kann allein oder zusätzlich zu den in den Fig. 2 bis 4 beschriebenen Schweißverbindungen realisiert werden. Dabei ist es besonders vorteilhaft - wie in Fig. 1 dargestellt - wenn die Verschweißung der miteinander verschweißten Glas-Teilstücke 11, 12, 13 mit dem Grundkörper 10 nur an einer einzigen Position P (Referenzpunkt) erfolgt. Die Einheit der miteinander verschweißten Teilstücke 11, 12, 13 kann auch nur an den beiden Enden mit dem Grundkörper 10 verschweißt werden und im übrigen Bereich in Meßrichtung beispielsweise über eine Klebstoff- oder Flüssigkeitsschicht elastisch gelagert sein. Die Verschweißung kann auch an mehreren Positionen oder auch kontinuierlich über die gesamte Meßlänge erfolgen.
Eine starre Verbindung zwischen mehreren oder nur einem Glas-Teilstück 11, 12, 13 und einem Grundkörper 10, hergestellt durch Verschweißen an mehreren Positionen oder auch kontinuierlich über die gesamte Meßlänge, kann auch dazu dienen, um den Glas-Teilstücken 11, 12, 13 bzw. dem nur einen Glas-Teilstück das Ausdehnungsverhalten des Grundkörpers 10 auf­ zuzwingen. Dabei besteht der Grundkörper 10 bevorzugt aus Metall.
Der Grundkörper 10 kann auch aus Metall, Keramik oder Glas bestehen. Der Grundkörper 10 ist in besonders vorteilhafter Weise ein über die gesamte Meßlänge durchgehender Körper. Er kann auch direkt ein Bauteil einer Werkzeugmaschine oder Meßmaschine sein. Der Grundkörper 10 kann auch eine Führung sein, die auf eine Werkzeugmaschine oder Meßma­ schine aufsetzbar ist und zur Führung eines Maschinenteiles dient.
Die Maßvorkörperung kann eine inkrementale Teilung oder ein einspuriger bzw. mehrspuriger Code sein.
Der verwendete Laser zur Erzeugung des Laserstrahls 16 kann ein CO2- oder ein YAG-Laser sein.

Claims (12)

1. Maßstab mit einem Grundkörper (10), auf dem mehrere Maßstab-Teil­ stücke (11, 12, 13) aus Glas aufgebracht sind und jedes Teilstück (11, 12, 13) eine Maßverkörperung (14) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilstücke (11, 12, 13) an den Stoßstellen miteinander ver­ schweißt sind.
2. Maßstab nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilstücke (11, 12, 13) mit dem Grundkörper (10) über eine in Meßrichtung (X) ela­ stische Schicht (15) verbunden sind.
3. Maßstab nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elastische Schicht (15) eine Klebstoffschicht ist.
4. Maßstab nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zwischen den Teilstücken (11, 12, 13) und dem Grund­ körper (10) an zumindest einer Position (P) eine Schweißverbindung vorgesehen ist.
5. Maßstab mit einem Grundkörper (10), auf dem zumindest ein Maßstab- Teilstück (11, 12, 13) aus Glas aufgebracht ist und dieses Teilstück (11, 12, 13) eine Maßverkörperung (14) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß das zumindest eine Teilstück (11, 12, 13) mit dem Grundkörper (10) verschweißt ist.
6. Maßstab nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Maßverkörperung eine lichtelektrische abtastbare Teilung (14) ist.
7. Maßstab nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper (10) aus Metall besteht.
8. Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes (1) mit den Verfahrens­ schritten:
  • - Aufbringen einer Maßverkörperung (14) auf mehrere Maßstab-Teil­ stücke (11, 12, 13) aus Glas,
  • - Auflegen der Teilstücke (11, 12, 13) auf einen Grundkörper (10),
  • - Verschweißen der Teilstücke (11, 12, 13) an den Stoßstellen.
9. Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes (1) mit den Verfahrens­ schritten:
  • - Aufbringen einer Maßverkörperung (14) auf zumindest ein Maß­ stab-Teilstück (11, 12, 13), das aus Glas besteht,
  • - Auflegen dieses Teilstückes (11, 12, 13) auf einen Grundkörper (10),
  • - Verschweißen des zumindest einen Teilstückes (11, 12, 13) mit dem Grundkörper (10).
10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschweißen mittels Laserschweißen erfolgt
11. Positionsmeßeinrichtung mit einem Maßstab (1), bestehend aus einem Grundkörper (10), auf dem mehrere Maßstab-Teilstücke (11, 12, 13) aus Glas aufgebracht sind und jedes Teilstück (11, 12, 13) eine Maß­ verkörperung (14) aufweist, die von einer Abtasteinheit (2) mit einer Lichtquelle (21) und zumindest einem Photodetektor (22) zur Erzeugung von positionsabhängigen Abtastsignalen abtastbar ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Teilstücke (11, 12, 13) an den Stoßstellen miteinander verschweißt sind.
12. Positionsmeßeinrichtung mit einem Maßstab (1), bestehend aus einem Grundkörper (10), auf dem zumindest ein Maßstab-Teilstück (11, 12, 13) aus Glas mit einer Maßverkörperung (14) aufgebracht ist, die von einer Abtasteinheit (2) mit einer Lichtquelle (21) und zumindest einem Photo­ detektor (22) zur Erzeugung von positionsabhängigen Abtastsignalen abtastbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß das zumindest eine Teilstück (11, 12, 13) mit dem Grundkörper verschweißt ist.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10117193A1 (de) * 2001-04-05 2002-10-10 Anton Rodi Messsystem zur Absolutwerterfassung von Winkeln oder Wegen
US6912797B2 (en) 2001-04-05 2005-07-05 Anton Rodi Measuring system for recording absolute angular or position values
US6922907B2 (en) 2001-04-05 2005-08-02 Anton Rodi Measuring system for recording absolute angular or position values

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10041692A1 (de) * 2000-08-24 2002-03-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmeßgerät
EP1320454B1 (de) * 2000-09-28 2004-10-13 Océ Printing Systems GmbH Verfahren und einrichtung zur herstellung eines endlosbandes aus kunststoff für ein zwischenträgerband
JP4509483B2 (ja) * 2002-03-30 2010-07-21 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング リニアエンコーダ及びリニアガイドユニット
DE10300918B4 (de) * 2003-01-13 2014-11-06 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen der Relativbewegung zweier relativ zueinander bewegbarer Maschinenteile
US7261397B2 (en) * 2003-08-19 2007-08-28 Canon Kabushiki Kaisha Tank unit, ink jet recording head and method of manufacturing tank unit and ink jet recording head
US7281339B2 (en) * 2004-05-06 2007-10-16 Universal Instruments Corporation Encoder system
US7121010B2 (en) * 2004-05-07 2006-10-17 Black & Decker Inc. Line generating device
US7343693B2 (en) * 2005-11-09 2008-03-18 Gsi Group Corporation Scale assembly for optical encoder having affixed optical reference markers
JP5162800B2 (ja) * 2009-03-24 2013-03-13 株式会社ミツトヨ リニアスケール
WO2010131298A1 (ja) * 2009-05-15 2010-11-18 トヨタ自動車株式会社 レーザ溶接方法及びそれを含む電池の製造方法
DE102009044917A1 (de) * 2009-09-23 2011-04-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
ATE534017T1 (de) * 2010-02-09 2011-12-15 Sick Stegmann Gmbh Messvorrichtung zur absolutwertbestimmung von längen oder winkeln mit aus einzelnen teilstücken zusammengesetzter aktiver massverkörperung
US10871384B2 (en) 2019-02-26 2020-12-22 Thomas P. Moyer Apparatus and methods utilizing emissive patterns to determine positional information

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE229332C (de) *
DE1548875A1 (de) * 1966-12-20 1970-10-08 Wenczler & Heidenhain Teilungstraeger
DE2847719A1 (de) * 1978-11-03 1980-05-14 Jenoptik Jena Gmbh Praezisionsmasstab
DE2948854A1 (de) * 1979-12-05 1981-06-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales messsystem
DE3037810C2 (de) * 1980-10-07 1982-11-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
US4424435A (en) * 1981-09-11 1984-01-03 Itek Corporation Low expansion laser welding arrangement
EP0118607B1 (de) * 1983-02-12 1989-02-01 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Gekapselte Messeinrichtung
JPS6135734U (ja) * 1984-08-02 1986-03-05 株式会社 測機舎 磁気スケール装置の取付け機構
GB2183951B (en) * 1985-11-28 1990-05-23 Duracell Int Displacement measuring apparatus
JPH043432Y2 (de) * 1987-03-18 1992-02-03
JPS6462292A (en) * 1987-09-02 1989-03-08 Nec Corp Laser welding method for fine wire
DE3818044A1 (de) * 1988-05-27 1989-11-30 Christoph Dipl Phys Kuehne Praezisions-messeinrichtung fuer grosse verschiebungen
EP0348660B1 (de) * 1988-06-29 1992-02-19 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung
AT394781B (de) * 1989-02-03 1992-06-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
US5434602A (en) * 1992-04-23 1995-07-18 Canon Kabushiki Kaisha Recording apparatus with magnetic linear encoder
JP3134590B2 (ja) * 1993-05-13 2001-02-13 ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 スケール装置
EP0662603B1 (de) * 1993-12-08 1997-03-12 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesssystem
US5461774A (en) * 1994-03-25 1995-10-31 Motorola, Inc. Apparatus and method of elastically bowing a base plate
US5489321A (en) * 1994-07-14 1996-02-06 Midwest Research Institute Welding/sealing glass-enclosed space in a vacuum
JPH08145609A (ja) * 1994-11-21 1996-06-07 Sony Magnescale Inc 位置検出装置
JPH08178694A (ja) * 1994-12-27 1996-07-12 Canon Inc 変位センサ用のスケール
DE69830950T2 (de) * 1997-05-28 2006-05-24 Sony Manufacturing Systems Corp. Träger für eine magnetische Skala
DE19724732A1 (de) * 1997-06-12 1998-12-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmeßsystem mit modular aufgebautem Maßstab
DE19806321A1 (de) * 1998-02-06 1999-08-19 Samsung Display Devices Co Ltd Verfahren und Vorrichtung zum Verbinden von Befestigungselementen am Maskenrahmen von Bildröhren

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10117193A1 (de) * 2001-04-05 2002-10-10 Anton Rodi Messsystem zur Absolutwerterfassung von Winkeln oder Wegen
US6898865B2 (en) 2001-04-05 2005-05-31 Anton Rodi Measuring system for recording absolute angular or position values
US6912797B2 (en) 2001-04-05 2005-07-05 Anton Rodi Measuring system for recording absolute angular or position values
US6922907B2 (en) 2001-04-05 2005-08-02 Anton Rodi Measuring system for recording absolute angular or position values
DE10117193B4 (de) * 2001-04-05 2013-04-04 Anton Rodi Messsystem zur Absolutwerterfassung von Winkeln oder Wegen

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