DE19820355A1 - Kühlelement für eine Laserdiode - Google Patents
Kühlelement für eine LaserdiodeInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Kühlelement für eine Laserdiode, wie es bei
spielsweise aus der deutschen Offenlegungsschrift 43 15 580 bekannt ist.
Aus der deutschen Offenlegungsschrift 43 15 580 ist eine Wärmesenke oder ein
Kühlelement für eine Laserdiode bekannt, das in Schichtbauweise aus mehreren
Lagen aufgebaut ist, die mit Kanälen zum Führen eines strömenden Kühlmittels
versehen sind. Das Kühlelement weist in seinem Inneren eine Vielzahl von eng
benachbarten Mikrokanälen auf, die vom Kühlmittel durchströmt werden. Der die
sen Mikrokanälen benachbarte Flächenbereich auf der Oberfläche des Kühlele
ments ist zur Aufnahme einer oder mehrerer Laserdioden vorgesehen, die durch
das in den Mikrokanälen fließende Kühlmittel gekühlt werden.
Das Kühlelement soll nun einerseits möglichst klein und kompakt sein, anderer
seits aber eine effiziente Kühlung ermöglichen. Eine solche effiziente Kühlung er
fordert nun eine hohe Wärmetauschleistung, die ihrerseits nur mit einem hohen
Kühlmitteldurchsatz erzielt werden kann.
Bei der konstruktiven Ausgestaltung des Kühlelementes, d. h. bei der Anordnung
und geometrischen Formgebung der im Innern des Kühlelements verlaufenden
Kanäle zum Zu- und Abführen des Kühlmittels an die Mikrokanäle bzw. von den
Mikrokanälen ist somit anzustreben, daß der Druckabfall innerhalb des Kühlele
ments für einen gegebenen und zur Kühlung der Laserdiode erforderlichen
Kühlmitteldurchsatz möglichst gering ist. Je kleiner dieser Druckabfall ist, desto
geringere Anforderungen werden an die zum Erzeugen des Kühlmitteldurchsatzes
erforderlichen Pumpen gestellt.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Kühlelement für eine Laserdi
ode anzugeben, bei der die zum Erzeugen eines vorgegebenen Kühlmitteldurch
satzes erforderliche Druckdifferenz möglichst gering ist.
Die genannte Aufgabe wird gemäß der Erfindung gelöst mit einem Kühlelement
mit den Merkmalen des Anspruches 1. Das Kühlelement umfaßt wenigstens zwei
Lagen, die mit ihren Flachseiten aufeinander angeordnet und mit wenigstens ei
nem ersten bzw. wenigstens einem zweiten Kanal zum Führen eines strömenden
Kühlmittels parallel zu diesen Flachseiten versehen sind. Der erste und der zweite
Kanal bilden zumindest einen gemeinsamen Kanalabschnitt, in dem das Kühlmit
tel mit einer Geschwindigkeitskomponente senkrecht zu diesen Flachseiten
strömt, wobei zumindest eine Seitenwand dieses Kanalabschnitts im Mittel schräg
zu den aneinander grenzenden Flachseiten der beiden Lagen orientiert ist. Da
durch wird eine abrupte senkrechte Umlenkung des Kühlmittels vermieden und
die Strömungsrichtung im gemeinsamen Kanalabschnitt verläuft unter einem spit
zen Winkel zur Strömungsrichtung des Kühlmittels vor seinem Einlauf in den Ka
nalabschnitt. Durch diese Maßnahme wird eine strömungstechnisch günstigere
Führung des Kühlmittels beim Übergang von einer Ebene in eine andere Ebene
des Kühlelements erzielt und der Druckverlust entlang dieses gemeinsamen Ka
nalabschnittes ist verringert.
Die Erfindung beruht dabei auf der Erkenntnis, daß die Druckdifferenz oder der
Druckabfall bei dem in dem Stand der Technik bekannten Kühlelement im we
sentlichen dadurch verursacht ist, daß das Kühlmittel innerhalb des Kühlelements
vom Kühlmitteleinlaß bis zum Kühlmittelauslaß in verschiedenen Ebenen fließen
muß und insbesondere der beim Übertritt des Kühlmittels von Lage zu Lage durch
die Änderung der Strömungsrichtung des Kühlmittels entstehende Druckabfall ei
nen entscheidenden Beitrag zum gesamten Druckabfall im Kühlelement leistet.
Die Erfindung beruht dabei auf der Überlegung, daß eine strömungstechnisch
günstigere Gestaltung der Kanäle in diesem Überleitungs- oder Übertrittsbereich
demzufolge zu einer deutlichen Verringerung des Druckabfalls über dem gesam
ten Kühlelement führen muß.
In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist die Seitenwand zur optima
len Verringerung des Druckverlustes durch eine Fläche gebildet. Diese Fläche
kann eben oder insbesondere gekrümmt sein, um eine möglichst stetige Überlei
tung des Kühlmittels vom ersten Kanal in den zweiten Kanal sicherzustellen.
In einer alternativen Ausführungsform ist die Seitenwand gestuft ausgebildet. In
dieser Ausführungsform ist zwar der Druckverlust gegenüber einer Ausführungs
form mit stetig geformter Seitenwand vergrößert, ein solches Kühleelement ist je
doch fertigungstechnisch einfacher herstellbar.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist der erste oder der zweite
Kanal zumindest teilweise durch zwei einander gegenüberliegende Nuten in be
nachbarten Lagen gebildet, deren Tiefe kleiner als die Dicke der jeweils zuge
hörigen Lage ist. Dadurch wird die im Kanalabschnitt vom Kühlmittel zu überwin
dende Stufe erniedrigt und der Druckverlust auch bei senkrecht zur Flachseite ori
entierten Seitenwänden verringert. Eine zusätzliche Verringerung des Druckver
lustes wird außerdem durch eine vorstehend genannte schräge Orientierung der
Seitenwände erzeugt.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den übrigen Unteran
sprüchen wiedergegeben.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Ausführungsbeispiele der
Zeichnung verwiesen. Es zeigen:
Fig. 1 ein 5-lagiges Kühlelement gemäß der Erfindung in einem schemati
schen Schnitt parallel zur Schmalseite.
Fig. 2-6 jeweils eine Lage des Kühlelementes in einer Draufsicht auf eine
Flachseite.
Fig. 7 einen vergrößerten Ausschnitt eines gemäß der Erfindung gestalteten
Überleitungsbereiches mit gestuften Seitenwänden.
Fig. 8 und 9 weitere vorteilhafte Ausführungsformen, bei denen ein Kanal durch
einander benachbarte Nuten zweier Lagen gebildet ist, deren Tiefe
kleiner ist als die Dicke der jeweiligen Lage.
Fig. 10 und 11 vorteilhafte Ausgestaltungen der Überleitungsbereiche im Bereich der
Mikrokanäle ebenfalls in einem Querschnitt.
Gemäß Fig. 1 ist das Kühlelement aus fünf aufeinander angeordneten Lagen 1-5
zusammengesetzt. Die Lagen 1-5 bestehen vorzugsweise aus Kupferblech und
sind miteinander verschweißt. Die einzelnen Lagen 1-5 sind mit Durchbrüchen
derart versehen, daß sich im zusammengebauten Zustand Kanäle zur Führung
eines fluiden Kühlmittels K, in der Regel Wasser, ergeben. Die Durchbrüche kön
nen beispielsweise durch herkömmliche mechanische Fertigungsmethoden, bei
spielsweise Stanzen oder durch Laserbearbeitungsverfahren, erzeugt werden.
Vorzugsweise sind die Durchbrüche ätztechnisch hergestellt.
Das Kühlmittel K gelangt durch einen in der Schnittdarstellung gemäß Fig. 1 nicht
sichtbaren Durchbruch in der Lage 1 zu einem Verteilerkanal oder ersten Kanal 6,
der durch einen Durchbruch in der Lage 4 gebildet ist. Dieser erste Kanal 6 mün
det in einen durch einen Durchbruch in der Lage 3 gebildeten Zuführkanal oder
zweiten Kanal 8, der das Kühlmittel K zu einer Vielzahl von Mikrokanälen 10 wei
terleitet, von denen aus Gründen der Übersichtlichkeit in der Figur nur drei darge
stellt sind. Diese Mikrokanäle 10 sind ebenfalls als Durchbrüche aus der Lage 4
herausgearbeitet. Die Mikrokanäle 10 sind in einem Bereich des Kühlelementes
angeordnet, der sich unmittelbar unterhalb des Bereichs auf der Oberfläche der
als Deckplatte dienenden Lage 5 befindet, auf dem ein aus einer Laserdiode oder
einer Vielzahl von Laserdioden aufgebauter Laserchip 12 montiert ist.
In den Mikrokanälen 10 strömt das Kühlmittel K parallel zur Flachseite des Kühl
elements, d. h. senkrecht zur Zeichenebene, und wird über einen ebenfalls in der
Lage 3 angeordneten und in der Figur nicht sichtbaren Durchbruch nach unten zur
Lage 2 in einen Rückführkanal 14 geführt, von wo aus es über einen weiteren
ebenfalls in der Figur nicht sichtbaren Durchbruch in der Lage 1 aus dem Kühle
lement abgeführt wird.
Da im Ausführungsbeispiel der Figur die in den Lagen 2, 3 und 4 gebildeten Ka
näle 6, 8, 10, 14 durch Durchbrüche gebildet werden, entspricht die Tiefe eines
jeden in einer Lage gebildeten Kanals der Dicke der jeweiligen Lage.
In der Figur ist nun zu erkennen, daß das Kühlmittel K auf seinem Weg zu den
und von den Mikrokanälen 10 mehrfach von einer Lage 1-5 in eine andere Lage
1-5 übertreten muß. Dies ist für den Übertritt von der Lage 4 in die Lage 3 und
umgekehrt durch Pfeile veranschaulicht. Das Kühlmittel K wird vom Verteilerka
nal 6 in der Lage 4 nach unten in den Zuführkanal 8 der Lage 3 umgelenkt, um
von dort erneut in die in der Lage 4 angeordneten Mikrokanäle 10 zu strömen.
Diese Umlenkung wird nun dadurch bewirkt, daß sich der Verteilerkanal 6 und der
Zuführkanal 8 in einem Überleitungsbereich teilweise überlappen. In diesem
Überleitungsbereich bilden der erste Kanal oder Verteilerkanal 6 und der zweite
Kanal oder Zuführkanal 8 einen gemeinsamen Kanalabschnitt 16, in dem das
Kühlmittel K von der Lage 4 zur Lage 3 nach unten strömt. Um die bei dieser
Umlenkung auftretenden Druckverluste weitgehend zu minimieren, sind die in die
sem Überleitungsbereich senkrecht zur Schmalseite, d. h. senkrecht zur Zeiche
nebene angeordneten ebenen Seitenwände 62 und 82 des vom Verteilerkanal 6
und vom Zuführkanal 8 gebildeten gemeinsamen Kanalabschnittes 16 schräg zu
den aneinander grenzenden Flachseiten der Lage 3 und 4 orientiert, so daß das
Kühlmittel K ebenfalls schräg zu den Flachseiten der Lagen 1-5, d. h. mit einer
Geschwindigkeitskomponente senkrecht zu diesen Flachseiten strömt. Im Überlei
tungsbereich sind somit rechtwinklige Kanten vermieden, an denen unerwünschte
Druckverluste auftreten. Durch diese strömungstechnisch günstige Strukturierung
im gemeinsamen Kanalabschnitt 16 kann somit ein geforderter Kühlmitteldurch
satz mit einer Pumpe erzeugt werden, deren Leistung gegenüber dem Stand der
Technik erforderlichen Pumpen verringert ist.
Im Ausführungsbeispiel sind die Seitenwände 62 und 82 ebene Flächen. Dies läßt
sich fertigungstechnisch einfach realisieren. Prinzipiell sind aber auch andere
Formgebungen geeignet, die fertigungstechnisch aufwendiger sind, beispiels
weise im Schnitt s-förmig gekrümmte Flächen, und mit denen ein strömungstech
nisch besonders günstiger stetiger Übergang im Überleitungsbereich geschaffen
wird.
Gemäß Fig. 2 enthält die als untere Deckplatte verwendete Lage 1 zwei Durch
brüche 18 und 20, von denen einer, im Beispiel der Durchbruch 18, als Kühlmittel
einlaß und der andere als Kühlmittelauslaß vorgesehen ist.
In der Draufsicht gemäß Fig. 3 auf die Lage 2 ist zu erkennen, daß diese ebenfalls
mit Durchbrüchen 22 und 24 versehen ist, die mit den Durchbrüchen 18 und 20
der Lage 1 fluchten. An den Durchbruch 24 sind die Rückführkanäle 14 ange
schlossen, die in gabelförmigen Fortsätzen 142 im vorderen Bereich der Lage 2
enden.
Diese gabelförmigen Fortsätze 142 überlappen sich zu ihrem Endbereich mit
Durchbrüchen 30, die gemäß Fig. 4 in die Lage 3 eingebracht sind. Zwischen die
sen Durchbrüchen 30 befinden sich im Ausführungsbeispiel drei zweite Kanäle
oder Zuführkanäle 8 mit den abgeschrägten Seitenwänden 82. In der Lage 3 be
finden sich außerdem weitere Durchbrüche 26 und 28, die mit den Durchbrü
chen 18, 22 bzw. 20, 24 der Lagen 1 bzw. 2 fluchten.
Gemäß Fig. 5 enthält die Lage 4 ebenfalls zwei Durchbrüche 32 und 34, die
ebenfalls mit den Durchbrüchen 18, 22, 26, bzw. 20, 24, 28 der darunterliegenden
Lagen fluchten. An den Durchbruch 32 sind im Ausführungsbeispiel drei erste Ka
näle oder Verteilerkanäle 6 angeschlossen, die sich an ihren vom Durchbruch 32
abgewandten Enden mit den Zufuhrkanälen 8 der Lage 3 überlappen.
Gemäß Fig. 6 ist die oberste Lage 5 als Deckplatte gestaltet. In einer alternativen
Ausführungsform, bei der mehrere mit einem Laserchip versehenen Kühlelemente
übereinander gestapelt werden, kann auch die Deckplatte mit Durchbrüchen
36, 38 versehen sein, um eine Führung des Kühlmittels in mehreren aufeinander
gestapelten Kühlelementen zu ermöglichen.
Anhand der in den Fig. 2 bis 6 dargestellten Lagen 1-5 können nun die Strö
mungsverhältnisse im Kühlelement erläutert werden. Das Kühlmittel strömt in den
Durchbruch 18 der Lage 1 ein und gelangt über den Durchbruch 22 der Lage 2
und den Durchbruch 26 der Lage 3 in den Durchbruch 32 der Lage 4, von wo es
in die Verteilerkanäle 6 eingeleitet wird. Die Verteilerkanäle 6 der Lage 4 über
lappen sich mit den Zufuhrkanälen 8 der Lage 3, so daß das Kühlmittel von der
Lage 4 nach unten in die Lage 3 umgelenkt wird. Die Zuführkanäle 8 überlappen
sich nun mit den Mikrokanälen 10, so daß das Kühlmittel von der Lage 3 erneut in
die Lage 4 zurückströmt und sich auf die quer zur Strömungsrichtung in den Ver
teilerkanälen 6 und Zuführkanälen 8 orientierten Mikrokanäle 10 verteilt. Dort
strömt es seitlich ab und wird erneut nach unten in die Durchbrüche 30 der Lage 3
geführt. Diese Durchbrüche 30 kommunizieren mit den gabelartigen Fortsätzen
142 der Lage 2, so daß das Kühlmittel über die Durchbrüche 30 der Lage 3 in die
Lage 2 geführt und dort umgelenkt wird und in der Lage 2 zurück zu dem als
Wasseraustritt dienenden Durchbruch 24 strömt.
Diese Übergänge von einer Lage zur anderen sind dann mit einem erheblichen
Druckverlust verbunden, wenn bei einem solchen Übergang zugleich ein Rich
tungswechsel des strömenden Kühlmittels erfolgen, d. h. eine parallel zur Flach
seite des Kühlelements vorliegenden Strömung in eine Strömung mit einer Ge
schwindigkeitskomponente senkrecht zu dieser Flachseite umgewandelt werden
muß. Solche kritischen Übergänge werden beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig.
1-6 gebildet im Übergangs- oder Überleitungsbereich der Durchbrüche 30 auf die
Fortsätze 142, der Verteilerkanäle 6 auf die Zuführkanäle 8, der Zuführkanäle 8
auf die Mikrokanäle 10 und der Mikrokanäle 10 auf die Durchbrüche 30. Die hier
bei auftretenden Druckverluste werden durch die in Fig. 1-6 am Beispiel des aus
dem Verteilerkanal 6 und dem Zuführkanal 8 gebildeten gemeinsamen Kanalab
schnittes 16 dargestellte Formgebung der die Umlenkung des Kühlmittels im
Überleitungsbereich bewirkenden Seitenwände der Kanäle verringert.
In einer alternativen, besonders einfach herzustellenden Ausführungsform gemäß
Fig. 7 sind die in einem solchen Überleitungsbereich angeordneten Seitenwände
64, 84 des gemeinsamen Kanalabschnittes 16 gestuft strukturiert, so daß die
Stufen jeweils eine gestrichelt in die Figur eingezeichnete Fläche approximieren,
die schräg zu den aneinandergrenzenden Flachseiten der Lagen 3 und 4 verläuft.
Mit anderen Worten: Die Seitenwände 64, 84 verlaufen im Mittel schräg zu den
Flachseiten. Dabei wird die in der Figur eingezeichnete Fläche je nach der Anzahl
der Stufen mehr oder weniger genau approximiert. Mit einer solchen gestuften
Strukturierung können prinzipiell auch andere, beispielsweise im Schnitt s-förmige
Flächenformen approximiert werden.
Gemäß Fig. 8 wird ein Zufuhrkanal 60, in dem das Kühlmittel parallel zu den
Flachseiten einer Lage 3, 4 geführt wird, nicht durch einen Durchbruch in einer
einzigen Lage, sondern durch eine in einer Lage 3 gebildete Nut 60a und einer
dieser Nut 60a in der benachbarten Lage 4 gegenüberliegenden Nut 60b gebildet,
deren Tiefen t kleiner sind als die Dicke d der jeweiligen Lage 3 bzw. 4. Für t = d/2
wird auf diese Weise die Stufenhöhe d-t bei der Umlenkung unter Aufrechterhal
tung einer der Dicke d der Lage 3, 4 entsprechenden Höhe h des Kanals 60 hal
biert.
Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 9 ist die Tiefe t der Nuten 60a, 60b größer als d/2,
so daß die Stufenhöhe d-t weiter verringert ist. Zugleich wird die Höhe h des aus
den Nuten 60a, 60b gebildeten Kanals 60 größer als die Dicke d einer Lage 3, 4, so
daß die Strömungsgeschwindigkeit in diesem Kanal 60 und damit auch der
Druckabfall zusätzlich verringert sind.
Gemäß Fig. 10 sind in einervorteilhaften Ausführungsform auch eine Seiten
wand 86 eines im Überleitungsbereich vom Zuführkanal 8 in die Mikrokanäle 10
gebildeten gemeinsamen Kanalabschnittes 162 und eine Seitenwand 302 eines
im Überleitungsbereich von den Mikrokanälen 10 in den Durchbruch 30 gebildeten
gemeinsamen Kanalabschnittes 164 zur Verringerung des Druckverlustes schräg
ausgebildet. In einer alternativen Ausgestaltung können auch die Seitenwände
102 des Mikrokanals 10 zur Vermeidung unnötiger Wirbelbildung schräg und ins
besondere parallel zu den schrägen Seitenwänden 86 bzw. 302 orientiert sein.
Gemäß Fig. 11 können auch die Mikrokanäle 100 durch einander gegenüberlie
gende halbtiefe Ausnehmungen oder Nuten 100a, 100b benachbarter Lagen 3, 4
gebildet sein. Durch die Verwendung halbtiefer Ausnehmungen 100a, 100b zur
Ausbildung der Mikrokanäle 100 in den Lagen 3 und 4 ist es außerdem möglich,
die als Deckplatte dienende Lage 5 wegzulassen.
1-5
Lage
6
erster Kanal
8
zweiter Kanal
10
Mikrokanal
12
Laserchip
14
Rückführkanal
16
Kanalabschnitt
18
,
20
,
22
,
24
,
26
,
28
,
30
,
36
,
38
Durchbruch
60
Zufuhrkanal
60
a,
60
b,
100
a,
100
b Nut
62
,
64
,
82
,
84
,
86
,
102
,
302
Seitenwand
100
Mikrokanal
142
Fortsatz
162
,
164
Kanalabschnitt
K Kühlmittel
h Höhe eines Kanals
d Dicke einer Lage
t Tiefe einer Nut.
K Kühlmittel
h Höhe eines Kanals
d Dicke einer Lage
t Tiefe einer Nut.
Claims (7)
1. Kühlelement für eine Laserdiode, das wenigstens zwei Lagen (3, 4) umfaßt,
die mit ihren Flachseiten aufeinander angeordnet und mit wenigstens einem
ersten bzw. wenigstens einem zweiten Kanal (8 bzw. 6) zum Führen eines
strömenden Kühlmittels (K) parallel zu diesen Flachseiten versehen sind, wo
bei der erste und der zweite Kanal (8 bzw. 6) zumindest einen gemeinsamen
Kanalabschnitt (16) bilden, in dem das Kühlmittel (K) mit einer Geschwindig
keitskomponente senkrecht zu diesen Flachseiten strömt,
gekennzeichnet dadurch,
daß zumindest eine Seitenwand (62, 82) dieses gemeinsamen Kanalab
schnitts (16) im Mittel schräg zu den aneinandergrenzenden Flachseiten der
beiden Lagen (3, 4) orientiert ist.
2. Kühlelement nach Anspruch 1, bei dem die Seitenwand (62, 82) durch eine
Fläche gebildet ist.
3. Kühlelement nach Anspruch 1, bei dem die Seitenwand (64, 84) gestuft ist.
4. Kühlelement, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei
dem der erste oder der zweite Kanal (60) zumindest teilweise durch zwei ein
ander gegenüberliegende Nuten (60a, 60b) in benachbarten Lagen (3,4) ge
bildet ist, deren Tiefe (t) kleiner ist als die Dicke (d) der jeweils zugehörigen
Lage (3, 4) ist.
5. Kühlelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der erste
und der zweite Kanal (8, 6) ätztechnisch hergestellt sind.
6. Kühlelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Lagen
(3, 4) aus Kupfer Cu bestehen.
7. Bauelement mit einem Kühlelement nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, auf dem ein wenigstens eine Laserdiode enthaltender Laserchip (12) an
geordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998120355 DE19820355A1 (de) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | Kühlelement für eine Laserdiode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998120355 DE19820355A1 (de) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | Kühlelement für eine Laserdiode |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19820355A1 true DE19820355A1 (de) | 1998-10-15 |
Family
ID=7866935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998120355 Withdrawn DE19820355A1 (de) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | Kühlelement für eine Laserdiode |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19820355A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6596472B2 (en) * | 2000-06-14 | 2003-07-22 | Minitube Of America, Inc. | Reproductive cultures containing colloidal silver |
US7567597B2 (en) | 2002-07-30 | 2009-07-28 | Osram Gmbh | Semiconductor device with a cooling element |
WO2021164987A1 (de) * | 2020-02-20 | 2021-08-26 | Rogers Germany Gmbh | Verfahren zur herstellung eines kühlelements und kühlelement hergestellt mit einem solchen verfahren |
-
1998
- 1998-05-07 DE DE1998120355 patent/DE19820355A1/de not_active Withdrawn
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WO2021164987A1 (de) * | 2020-02-20 | 2021-08-26 | Rogers Germany Gmbh | Verfahren zur herstellung eines kühlelements und kühlelement hergestellt mit einem solchen verfahren |
EP3926665A1 (de) | 2020-02-20 | 2021-12-22 | Rogers Germany GmbH | Verfahren zum herstellen eines kühlelements und kühlelement hergestellt mit einem solchen verfahren |
EP4016591A1 (de) * | 2020-02-20 | 2022-06-22 | Rogers Germany GmbH | Verfahren zur herstellung eines kühlelements und kühlelement hergestellt mit einem solchen verfahren |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAV | Applicant agreed to the publication of the unexamined application as to paragraph 31 lit. 2 z1 | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8130 | Withdrawal |