DE19803392A1 - Verfahren zur Herstellung einer Lotverbindung - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Lotverbindung

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Lotverbindung für ein Bauele­ ment, eine Lotverbindung sowie die Verwendung einer Lotverbindung gemäß den Oberbe­ griffen der unabhängigen Ansprüche.
Zum Herstellen einer festen metallischen Verbindung zwischen Körpern, welche zumindest eine metallische Oberfläche aufweisen, ist bekannt, diese z. B. mittels Ofenlötung oder Ver­ klebung zu verbinden. Die Verwendung von Körpern aus massivem Metall stellt sicher, daß auch an der Verbindungsstelle eine durchgehende metallische Leitfähigkeit vorhanden ist. Solche metallischen Verbundkörper sind zwar für Abschirmzwecke in der Meßtechnik oder als hermetisch dichte und hochfrequenzdichte Gehäuse für elektronische Bauelemente gut geeignet, sie sind jedoch teuer und weisen zudem ein hohes Gewicht auf.
Metallisierte Kunststoffkörper haben den Vorteil, daß sie, bei vergleichbaren Abmessungen, billiger und wesentlich leichter sind als Körper aus Massivmetall. Allerdings ist es insbe­ sondere bei der Verkapselung von Hochfrequenz-Bauelementen notwendig, sowohl hochfre­ quenzdichte als auch hermetisch dichte Gehäuse herzustellen. Die Herstellung der Verbin­ dung zwischen metallisierten Kunststoff-Gehäuseteilen über Ofenlötung oder Kleben ist problematisch. Zum einen ist eine Temperatureinwirkung beim Ofenlöten möglicherweise schädlich für den Kunststoff, der bei zu großer Hitzeeinwirkung schmilzt oder sich zersetzt und beschädigt wird, wobei auch die Metallisierung des Kunststoffs beschädigt werden kann, zum anderen besteht die Gefahr, daß Inhomogenitäten oder Haftungsfehler eine Kle­ beverbindung stören. Beide Effekte verschlechtern sowohl die Hermetizität als auch die Hochfrequenzdichtigkeit eines derartigen Gehäuses. Ein weiteres Problem ist die thermische Belastung eines durch das Gehäuse gekapselten elektronischen Bauelements. Der Einfluß höherer Temperaturen bei einer Ofenlötung kann die elektronischen Eigenschaften eines Bauelements in unerwünschter Weise beeinflussen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer Lotverbin­ dung und eine Lotverbindung für ein Bauelement anzugeben, insbesondere für die Verbin­ dung von metallisierten Kunststoffteilen, bei welchem auf zusätzliche Kleber und die An­ wendung höherer Temperaturen zur Herstellung der Verbindung verzichtet werden kann, sowie die Verwendung einer solchen Lotverbindung.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Weiterführende und vorteilhafte Ausgestaltungen sind den weiteren Ansprüchen und der Beschreibung zu entnehmen.
Erfindungsgemäß wird eine Lotverbindung hergestellt, indem zur festen Verbindung vorge­ sehene Teile eines Bauelements mit zumindest metallischer Oberfläche mit den als Naht­ stellen vorgesehenen Flächen und/oder Kanten in Berührung gebracht, werden, wobei die Teile zumindest im Bereich der Nahtstellen metallisch sind oder eine metallische Oberfläche aufweisen, wobei vor der Berührung zwischen den Teilen ein Verbindungsmittel angebracht wird, und die Teile anschließend bei einer Temperatur unterhalb der Schmelztemperatur des Verbindungsmittels parallel zur Verbindungsfläche oder Verbindungskante lateral gegenein­ ander mit einer Reibbewegung bewegt werden, bis das Verbindungsmittel im Bereich der Nahtstellen zumindest: bereichsweise aufschmilzt, daß die laterale Bewegung dann beendet wird, so daß die Schmelze des Verbindungsmittels erstarrt und die Teile an den Nahtstellen mittels der erstarrten Schmelze fest miteinander verbindet.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren gelingt es auf einfache Weise, durchgehende metal­ lische Verbindungen herzustellen. Die Schmelze wird durch lokal wirksame Reibungshitze erzeugt, so daß es nicht notwendig ist, das gesamte Bauelement zu erhitzen oder durch An­ wendung höherer Temperaturen die Teile miteinander zu verschweißen. Das Verfahren ist sowohl für großflächige Teile, insbesondere Abschirmwände, geeignet als auch für kleinvo­ lumige Teile, insbesondere Gehäuse für elektronische Bauelemente.
Besonders vorteilhaft lassen sich metallisierte Kunststoffteile mit dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung einer Lotverbindung miteinander verbinden, da das Verfahren schonend für eine metallisierte Oberfläche ist. Dies erlaubt eine preiswerte Fertigung und eine große Gewichtsersparnis bei einem gefertigten Bauelement. Die vorhandene Metallisie­ rung von Kunststoffteilen wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren nicht beschädigt, so daß die Verbindung der Teile durchgehend metallisch ist. Damit ist insbesondere eine hoch­ frequenzdichte Kapselung von elektronischen Schaltungen möglich, insbesondere von elek­ tronischen Hochfrequenzbauelementen.
Als Verbindungsmittel sind niedrigschmelzende Metalle oder Legierungen geeignet. Ein besonderer Vorteil ist, daß keine bleihaltigen oder flußmittelhaltigen Lote eingesetzt werden müssen. Bevorzugte Verbindungsmittel sind niedrigschmelzende Metalle oder Metallegie­ rungen, deren Schmelzpunkte unter 300°C liegen. Ein besonders bevorzugtes Verbindungs­ mittel ist Indium. Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß zur Erzeugung einer metallischen Verbindung keine erhöhten Temperaturen notwendig sind. Weder muß ein Bauelement als Ganzes in einen entsprechend voluminösen Ofenraum ein­ gebracht werden, noch wird ein etwaig vorhandener, von dem Bauelement umhüllter Körper unerwünscht hohen Temperaturen ausgesetzt. Besonders günstig ist, daß etwaige empfindli­ che elektronische Schaltungen im Innern eines mit dem erfindungsgemäßen Verfahren her­ gestellten Gehäuses bei der Herstellung der Lotverbindung nicht weiter thermisch belastet werden. Das Gehäuse kann dabei Metall oder metallisierten Kunststoff aufweisen.
Wegen der geringen thermischen Belastung des Bauelements insgesamt bei der Herstellung der Lotverbindung kann das Verfahren unter Umgebungsbedingungen durchgeführt werden, insbesondere ist keine Schutzgasatmosphäre notwendig. Ebenso wird der Kunststoff im Nahtbereich unter der metallischen Oberfläche nicht aufgeschmolzen.
Ein weiterer Vorteil ist, daß sowohl plane Flächen miteinander, als auch Kanten und plane Flächen miteinander verbunden werden können. Eine aufwendige Nut- und Feder- Konstruktion im Bereich von Nahtstellen von miteinander zu verbindenden Teilen ist für die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens nicht notwendig. Der Fertigungsaufwand ist damit erheblich vereinfacht.
Ein erfindungsgemäßes Gehäuse weist im Gegensatz zu üblichen Kunststoffgehäusen eine besonders hohe Dichtigkeit auf, so daß ein elektronisches Bauelement durch die Verkapse­ lung quasihermetisch gegen schädliche Umwelteinflüsse wie etwa Feuchtigkeit geschützt ist.
Im folgenden sind die Merkmale, soweit sie für die Erfindung wesentlich sind, eingehend erläutert und anhand von Figuren näher beschrieben. Es zeigen
Fig. 1 den Querschnitt eines erfindungsgemäßen Gehäuses mit einem elektronischen Bau­ element,
Fig. 2 den Querschnitt durch eine Nahtstelle von fest verbundenen Teilen gemäß der Erfin­ dung, und
Fig. 3 mögliche Reibbewegungsabläufe gemäß dem endungsgemäßen Verfahren.
Die Erfindung wird in den Ausführungsbeispielen vorzugsweise an metallisierten Kunst­ stoffteilen erläutert. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können vorteilhaft jedoch auch massive metallische Teile miteinander verbunden werden oder massive metallische Teile mit metallisierten Kunststoffteilen.
Fig. 1 zeigt einen Querschnitt durch ein erfindungsgemäßes Bauelement 1 mit fest verbun­ denen Teilen 3, 4 am Beispiel eines Gehäuses 1, welches zur Kapselung eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines Hochfrequenzbauelements, dienen soll, mit einem Deckel 3 und einem Bodenteil 4. Die Gehäuseteile 3, 4 weisen einen Kunststoffkern 5 und eine me­ tallische Beschichtung 6 auf. Die metallische Beschichtung umgibt den Kunststoffkern je­ weils vollständig. Es ist jedoch auch möglich, eine metallische Beschichtung nur bereichs­ weise auf einer Kunststoffteil vorzusehen. Im Innern des Gehäuses 1 ist ein Bauelement 7 angedeutet, welches insbesondere ein elektronisches Hochfrequenzbauelement darstellen kann; etwaige elektrische Durchführungen, welche von diesem Element 7 ausgehen und durch das Gehäuse 1 treten, sind nicht dargestellt. Vorzugsweise werden elektrische Durch­ führungen in einer für bekannte Metallgehäuse von elektronischen Hochfrequenzbauele­ menten üblichen Weise ausgebildet.
Das Gehäuseteil 3 ist vorzugsweise ein Deckel, welcher eben ist und/oder Wände aufweist, so daß er innen einen Hohlraum zum Aufnehmen eines zu kapselnden Körpers 7 aufweist, und der mit einem im wesentlichen nach außen ebenen Bodenteil 4 fest verbunden ist. Der Kunststoffkern der Gehäuseteile 3, 4 ist vorzugsweise aus einem thermoplastischen Kunst­ stoff gebildet. Besonders geeignet sind Kunststoffgehäuse, die in Spritzgußtechnik herge­ stellt sind und deren Kunststoffteile zumindest teilweise metallisiert sind. Der Vorteil ist, daß mit dieser Technik Kunststoffgehäuse in geeigneter Form hergestellt werden können.
Besonders geeignete Materialien sind Acrylnitril-Butadien-Styrol (ABS), Polyethersulfon (PES), Polyetherimid (PEI), Polyaryletherketon (PEK), Polysulfon (PSU), Polybutylen­ terephthalat (PBT), Polyphenylensulfid (PPS) und/oder Flüssigkristallpolymer (LCP) und/oder geeignete Mischungen (Blends) mit anderen Kunststoffen. Bevorzugt sind solche Kunststoffe, die leicht zu metallisieren sind und eine gute Haftung einer Metallschicht auf dem Kunststoff ermöglichen. Ein zweckmäßiger Richtwert für die Schälfestigkeit der Me­ tallisierung auf einem Kunststoffkern ist wenigstens 1 N/mm. Besonders geeignet sind Kunststoffe, die möglichst ähnliche thermische Ausdehnungskoeffizienten wie eine verwen­ dete Metallisierung aufweisen, womit ein verbessertes Alterungsverhalten eines erfindungs­ gemäßen Gehäuses 1 erzielt wird. Zur Anpassung des thermischen Ausdehnungskoeffizi­ enten und zur Konditionierung des Kunststoffes für eine Metallisierung werden einem Po­ lymer zweckmäßigerweise spezielle Füll- und Verstärkungsmaterialien beigemischt.
Günstig ist eine Metallisierungsschicht 6, welche mit galvanischen und/oder chemo­ galvanischen und/oder mit Vakuumbeschichtungsverfahren, insbesondere CVD (Chemical Vapour Deposition), aufgebracht ist. Die notwendige aufzubringende Schichtdicke richtet sich nach der von einem Gehäuse 1 geforderten Hochfrequenz-Dämpfung für ein etwaiges gekapseltes Hochfrequenz-Bauelement und nach der Art der oder des für die Metallisierung gewählten Metalle bzw. Metalls. Für Hochfrequenzstrahlung im Bereich um 100 GHz sind, abhängig von der Hochfrequenzleitfähigkeit des verwendeten Metalls, Schichtdicken von mehreren Mikrometern Dicke vorteilhaft. Für ein Hochfrequenz-Bauelement, welches im Radarbereich bei etwa 20 GHz arbeiten soll, ist ein Gehäuse mit einer Metallisierung mit Schichten von Kupfer, Nickel und Gold von einer Gesamtdicke von etwa 10 µm günstig. Würde ein derartiges Hochfrequenzbauelement mit einem Gehäuse aus massivem Metall gekapselt, müßte aus Stabilitätsgründen eine wesentlich dickere Metallwandstärke gewählt werden, obwohl zur Dämpfung bereits eine sehr viel dünnere Wandstärke ausreichend ist. Die Verwendung eines metallisierten Kunststoffgehäuses ermöglicht hier zusätzlich eine Optimierung des Materialeinsatzes für die Metallkomponente. Ist der Kunststoffkern 5 beid­ seitig oder vollständig mit einer Metallisierung 6 versehen, steht zur Hochfrequenzabschir­ mung die doppelte Wandstärke der Metallisierung zur Verfügung.
Es ist auch vorteilhaft möglich, eine Metallisierung des Gehäuses 1 nur im Inneren des Ge­ häuses vorzusehen, so daß zwar die Hochfrequenzabschirmung im Inneren vorhanden ist, aber die Außenseite des Gehäuses durch den unmetallisierten, freiliegenden Kunststoffkern elektrisch isoliert ist.
Neben der Berücksichtigung der geforderten Hochfrequenz-Dämpfung wird eine Mindest­ dicke der Metallisierung 6 vorzugsweise so gewählt, daß die Metallisierungsschicht 6 beim erfindungsgemäßen Verfahren nicht im Nahtbereich aufbricht, vorzugsweise ist die Schicht­ dicke mindestens 1 µm. Die Metallisierungsschicht 6 kann sowohl aus unterschiedlichen aufeinander abgelagerten metallischen Schichten gebildet sein als auch aus einer einzigen metallischen Schicht mit einer oder mehreren metallischen Komponenten. Neben den An­ forderungen an die Hochfrequenzabschirmung ist die Schichtdicke mindestens an die Fe­ stigkeit des verwendeten Kunststoffkern 5, des verwendeten Material für die Metallisierung 6 und an die Rauhigkeit im Bereich der als Verbindungsstelle vorgesehenen Gehäuseteile anzupassen. Zweckmäßig sind dabei Schichtdicken zwischen 1 µm und 100 µm, insbesonde­ re zwischen 5 µm und 50 µm. Eine zweckmäßige Wandstärke des Gehäuses 1 liegt zwischen 0,5 bis ca. 5 mm. Das Gehäuse 1 kann im Bereich der Nahtstelle auch eine größere Dicke aufweisen, um die mechanische Belastung der Teile 3, 4 im Nahtbereich zu vermindern und eine durchgehende, unterbrechungsfreie metallische Lotverbindung sicherzustellen.
Die Gehäuseteile 3, 4 sind über ein Verbindungsmittel 8 fest miteinander verbunden. Vor­ zugsweise ist das Verbindungsmittel ein metallisches Lot, welches flußmittelfrei und bleifrei ist. Geeignet sind niedrigschmelzende Metalle oder Legierungen mit einem Schmelzpunkt unterhalb von 300°C; besonders bevorzugt ist Indium als Verbindungsmittel. Bei der Aus­ wahl eines Lots wird die vorgesehene Einsatztemperatur des Bauelements mit der Lotver­ bindung berücksichtigt, so daß der Schmelzpunkt des Verbindungsmittels oberhalb der Ein­ satztemperatur liegt.
In Fig. 2 ist eine schematische Detailansicht einer Verbindungsstelle 8 zwischen zwei Ge­ häuseteilen 3, 4 mit Kunststoffkern 5 und Metallisierung 6 dargestellt. Eine Kante eines metallisierten Kunststoffteils ist mit einem flächigen metallisierten Kunststoffteil verbunden. Eine vorteilhafte Oberflächenrauhigkeit im Bereich der Nahtstelle ist angedeutet.
Ein Verfahren gemäß der Erfindung wird so durchgeführt, daß ein Kunststoffbodenteil 4, das aus einem mit einer Metallisierungsschicht 6 überzogenen Kunststoffkern 5 besteht, und ein Gehäusedeckel 3, der ebenfalls aus einem mit einer Metallisierungsschicht 6 überzogenen Kunststoffkern 5 besteht, miteinander in Kontakt gebracht werden. Innerhalb des Gehäuses können mikroelektronische Hochfrequenzbauelemente oder andere elektronische Bauele­ mente vorgesehen sein. Vorzugsweise sind Boden 4 und Deckel 3 vollständig mit der Me­ tallisierungsschicht 6 bedeckt. Eine bevorzugte Metallisierungsschicht weist zumindest Kup­ fer und/oder Nickel und/oder Gold auf.
An den Nahtstellen zwischen Deckel 3 und Boden 4 wird ein Lot 8, insbesondere Indium, angeordnet. Zweckmäßig ist, den als Kontaktstelle auf dem Boden 4 und/oder auf dem Ge­ häuse 3 vorgesehenen Bereich mit dem Lot 8 zu beschichten. Es ist auch möglich, eine ent­ sprechend geformte Folie aus dem Lotmaterial zwischen Deckel 3 und Boden 4 zu legen. Das Lot 8 ist bevorzugt weicher als die Metallisierungsschicht 6 und weist einen geringeren Schmelzpunkt auf als die Metallisierungsschicht und die vorgesehene Einsatztemperatur des Bauelements 1.
Deckel 3 und Boden 4 werden anschließend mit einer Reibbewegung parallel zueinander bewegt. Durch die Reibungswärme schmilzt das Lot 8 und benetzt im Bereich der Nahtstel­ len die Oberflächen von Deckel 3 und Boden 4, so daß nach dem Erstarren der Schmelze eine durchgegende metallische Verbindung entsteht. Vorzugsweise wird die Reibbewegung periodisch ausgeführt. Eine günstige Vibrationsamplitude bei der Reibbewegung der Gehäu­ seteile liegt zwischen 0,1-10 mm, insbesondere zwischen 0,2 und 5 mm. Bevorzugt ist eine Vibrations-Frequenz zwischen 50 und 1000 Hz, wobei eine zweckmäßige laterale Ge­ schwindigkeit im Bereich zwischen 100-1000 mm/s liegt. Als oberste anwendbare Frequenz ist diejenige Frequenz zweckmäßig, oberhalb der ein Aufschmelzen des Kunststoffs beob­ achtet wird, was jedenfalls vermieden werden soll. Um die Reibung zu erhöhen, kann es günstig sein, die Oberflächenrauhigkeit der zu verbindenden Teile zumindest im Bereich der Nahtstelle zu erhöhen.
Bei der Ausführung der Reibbewegung kann ein geringer zusätzlicher Druck senkrecht zur Oberfläche von Boden 4 und Deckel 3 ausgeübt werden, der jedoch erheblich kleiner ist als ein beim Ultraschallschweißen auftretender Druck und daher die Metallisierung 6 schont. Bei einer zu verbindenden Fläche von 5 cm2 ist eine Anpreßkraft senkrecht zur Reibbewe­ gung von höchstens 200 N vorteilhaft. Der Druck muß groß genug sein, um die Reibung zwischen den zusammenzufügenden Teilen zu überwinden und zu ermöglichen, daß das Verbindungsmittel bei der Reibbewegung schmilzt. Die optimale Flächenpressung hängt vor allem von der Materialpaarung Metallisierung-Verbindungsmittel, von der Rauhigkeit im Bereich der Nahtstelle, sowie von weiteren Verfahrensparametern wie Reibfrequenz und Reibgeschwindigkeit ab. Günstig sind Drücke von höchstens 10 N/mm2, insbesondere zwi­ schen 10 mN/mm2 und 10 N/mm2. Die Drücke sind deutlich niedriger als Drücke, die beim Ultraschallschweißen auftreten, so daß die Metallisierungsschicht 6 nicht beschädigt wird, insbesondere reißt die Metallisierungsschicht 6 nicht auf, und der darunterliegende Kunst­ stoffkern 5 wird nicht geschädigt. Die optimalen Parameter sind vor allem auf das verwen­ dete Lot 8, insbesondere dessen Schmelztemperatur, und auf die Rauhigkeit der Reibpartner abzustimmen. Ein höherer Anpreßdruck und/oder eine erhöhte Rauhigkeit verstärken die Reibung und lassen das Lot schneller schmelzen, so daß eine geringere Amplitude und/oder Frequenz und/oder Geschwindigkeit ausreichend sein kann. Das Lot 8 soll jedoch nicht zu schnell schmelzen, um eine einwandfreie Benetzung der Verbindungsstelle mit dem Lot 8 zu ermöglichen und die Hitzeentwicklung im Bereich der Nahtstelle möglichst gering zu halten.
Die Schmelze füllt auch geringe Unebenheiten auf der Oberfläche von Deckel 3 und Boden 4 auf, so daß die metallische Verbindung das Gehäuseinnere nicht nur hermetisch gegen Feuchte schützt, sondern auch eine hochfrequenzdichte Verbindung vorliegt.
Günstig ist, die Metallisierungsschicht 6 im zur Kontaktierung vorgesehenen Bereich von Boden 4 und/oder Deckel 3 vor dem Aufbringen des Lots 8 leicht aufzurauhen. Die Reibung wird dadurch in diesem Bereich erhöht. Dies kann mittels Ätzverfahren erfolgen; bei größe­ ren Dicken der Metallisierung 6 sind auch mechanische Verfahren möglich. Eine weitere günstige Maßnahme ist, den Kunststoffkern 5 selbst vor dem Aufbringen der Metallisierung 6 aufzurauhen. Damit läßt sich vorteilhaft vermeiden, daß die Metallisierung 6 beim Aufrau­ hen beschädigt wird. Abhängig von sonstigen Verfahrensparametern können Rauhigkeiten im Bereich bis zu wenigen Mikrometern günstig sein.
Die Auslenkung der zu verbindenden Teile bei der Reibbewegung kann auf mehrere Arten erfolgen. Dies ist in Fig. 3 skizzenhaft dargestellt. Es sind laterale, angulare, orbitale und zirkulare Reibbewegungen dargestellt. Vorzugsweise wird nur ein Gehäuseteil bewegt, wäh­ rend das Gehäusteil, welches den Reibpartner bildet und mit dem das bewegte Gehäuseteil verbunden werden soll, in Ruhe bleibt.
Eine bevorzugte Reibbewegung kann lateral (l) erfolgen, d. h. ein Gehäuseteil, z. B. der Dec­ kel 3, bleibt innerhalb der Ebene der Reibbewegung in eine Richtung ausgerichtet und wird mit einer linearen Bewegung auf seinem Reibpartner, dem Bodenteil 4, gerieben. Das Bo­ denteil 4 bleibt dabei vorzugsweise in Ruhe. Das bewegte Teil kann in eine einzige Richtung bewegt werden oder auch hin und her geführt werden.
Eine zirkulare (z) oder orbitale (o) Reibbewegung liegt vor, wenn das bewegte Gehäuseteil zwar in einer Richtung ausgerichtet bleibt, aber insgesamt eine kreisförmige bzw. ellipsoide Bewegung beschreibt. Bei einer angularen Reibbewegung (a) bleibt das bewegte Gehäuseteil nicht in eine Richtung ausgerichtet, sondern dreht sich um einen Drehpunkt, der innerhalb oder außerhalb des Gehäuses liegen kann.
Ein großer Vorteil ist, daß die Reibbewegung der Gehäuseteile bei Raumtemperatur durch­ geführt werden kann, obwohl ein Lot 8 aufgeschmolzen wird. Zur Verbesserung der Benet­ zung kann das Verfahren auch unter Schutzgasatmosphäre durchgeführt werden. Bei gegen Oxidation unempfindlichen Reaktionspartnern Metallisierung 6 und Lot 8 kann die Verbin­ dung jedoch auch in normaler Atmosphäre erfolgen.
Da kein übliches Material als Lot 8, wie z. B. Lötzinn, eingesetzt werden muß, kann auf die Verwendung bleihaltiger Lotmittel verzichtet werden. Ein weiterer Vorteil ist, daß das Lot 8 flußmittelfrei ist. Es hat sich herausgestellt, daß Flußmittel eher als Trennmittel wirkt, so daß Hohlräume auftreten, die sowohl die Hermetizität des Gehäuses 1 als auch dessen Hochfre­ quenzdichtigkeit verschlechtern.
Ein erfindungsgemäßes Gehäuse mit einem Hochfrequenzbauelement ist bevorzugt für den Einsatz bei Frequenzen zwischen 1 und 100 GHz geeignet, insbesondere für den Einsatz im Millimeterwellenbereich.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist auch für die Lotverbindung zwischen Elementen für Abschirmwände geeignet. Da bei üblichen Abschirmkammern mehrere Lagen Mumetall und mehrere Lagen Massivmetall jeweils eine Wand bilden, ermöglicht der Einsatz metallisierter Kunststoffteile den Ersatz von teuren und sehr schweren Massivmetallwänden, ohne die Funktion oder die Stabilität der Anordnung zu verschlechtern.

Claims (25)

1. Verfahren zur Herstellung einer Lotverbindung für ein Bauelement, welches zumindest bereichsweise eine metallische Oberfläche aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß Teile (3, 4) des Bauelements (1), welche fest verbunden werden sollen, an als Naht­ stellen vorgesehenen Flächen und/oder Kanten in Berührung gebracht werden, wobei die Teile zumindest im Bereich der Nahtstellen metallisch sind oder eine metallische Oberfläche aufweisen, und wobei zwischen den Teilen (3, 4) vor der Berührung ein Verbindungsmittel (8) angeordnet wird, daß die Teile (3, 4) anschließend bei einer Temperatur unterhalb der Schmelztemperatur des Verbindungsmittels (8) parallel zur Verbindungsfläche lateral gegeneinander mit einer Reibbewegung bewegt werden, bis das Verbindungsmittel (8) im Bereich der Nahtstellen zumindest bereichsweise auf­ schmilzt, daß die laterale Bewegung dann beendet wird, so daß die Schmelze des Ver­ bindungsmittels (8) erstarrt und die Teile (3, 4) an den Nahtstellen mittels der erstarrten Schmelze fest miteinander verbindet.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile (3, 4) mit einer periodischen Reibbewegung gegeneinander gerieben wer­ den.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Reibbewegung mit einer lateralen Geschwindigkeit von 100-1000 mm/s durch­ geführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Reibbewegung mit einer Amplitude von 0,1-10 mm durchgeführt wird.
5. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reibbewegung mit einer Frequenz zwischen 50 und 1000 Hz durchgeführt wird.
6. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reibbewegung mit einer linearen, angularen und/oder orbitalen Bewegung des einen Teils (3) gegen das andere Teil (4) durchgeführt wird.
7. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reibbewegung zusätzlich mit einer linearen, angularen und/oder orbitalen Be­ wegungsamplitude überlagert wird.
8. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reibbewegung mit einem Druck senkrecht zur Reibbewegung von weniger als 10 N/mm2 durchgeführt wird.
9. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Verbindungsmittel (8) Metalle oder Metallegierungen eingesetzt werden, deren Schmelzpunkt unterhalb von 300°C liegt.
10. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Indium als Verbindungsmittel (8) verwendet wird.
11. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reibbewegung bei Raumtemperatur durchgeführt wird.
12. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile (3, 4) vor dem Verbinden zumindest im Bereich der Nahtstelle auf eine vorgegebene Rauhigkeit aufgerauht werden.
13. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Teile (3, 4) aus Massivmetall miteinander fest verbunden werden.
14. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Teile (3, 4) aus metallisiertem Kunststoff fest miteinander verbunden werden.
15. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Teile (3, 4) mit einer metallischen Beschichtung von mehr als 1 µm Dicke verwen­ det werden.
16. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Teile (3, 4) mit einem Kunststoffkern (5) aus mindestens einem Mitglied der Grup­ pe von Acrylnitril-Butadien-Styrol (ABS), Polyethersulfon (PES), Polyetherimid (PEI), Polyaryletherketon (PEK), Polysulfon (PSU), Polybutylenterephthalat (PBT), Polyphe­ nylensulfid (PPS) und/oder Flüssigkristallpolymer (LCP) verwendet werden.
17. Lotverbindung für ein Bauelement, welches zumindest bereichsweise eine metallische Oberfläche aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung (8) aus einer erstarrten metallischen Schmelze gebildet ist, daß die Verbindung (8) flußmittelfrei ist, und daß die Verbindung (8) an der Verbindungsstelle zwischen zur Verbindung vorgesehenen Teilen (3, 4) des Bauelements (1) durchgehend metallisch ist.
18. Lotverbindung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung ein Metall oder eine metallische Verbindung mit einem Schmelz­ punkt unterhalb von 300°C aufweist.
19. Lotverbindung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Verbindung Indium aufweist.
20. Lotverbindung nach mindestens einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Oberfläche (6) auf einem Kunststoffkern (5) abgelagert ist.
21. Lotverbindung nach mindestens einem der Ansprüche 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Oberfläche (6) eine Dicke zwischen 1 µm und 100 µm aufweist.
22. Lotverbindung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Kunststoffkern (5) mindestens einen der Kunststoffe Acrylnitril-Butadien-Styrol (ABS), Polyethersulfon (PES), Polyetherimid (PEI), Polyaryletherketon (PEK), Polysul­ fon (PSU), Polybutylenterephthalat (PBT) und/oder Polyphenylensulfid (PPS) aufweist.
23. Lotverbindung nach Anspruch 20 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Kunststoffkern (5) einen Flüssigkristallpolymer aufweist.
24. Verwendung einer Lotverbindung zur Herstellung einer Abschirmanordnung gegen elektromagnetische Störstrahlung.
25. Verwendung einer Lotverbindung zur Herstellung eines hochfrequenzdichten Gehäuses für mikroelektronische Bauelemente.
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