DE19781536T1 - Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle von Staubteilchen-Agglomeraten - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle von Staubteilchen-Agglomeraten

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DE19781536T1
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controlling
agglomerates
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Robert Bingham
Vadim Nickolovich Txytovich
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Council for the Central Laboratory of the Research Councils
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/02—Details
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