DE19747574A1 - Verfahren zur Ermittlung realisierbarer Konfigurationen von Bearbeitungsanlagen - Google Patents
Verfahren zur Ermittlung realisierbarer Konfigurationen von BearbeitungsanlagenInfo
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1058172A2 (en) * | 1999-06-01 | 2000-12-06 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing techniques |
DE19948139A1 (de) * | 1999-10-07 | 2001-04-12 | Volkswagen Ag | Flexibles Fertigungssystem |
DE10062471A1 (de) * | 2000-12-14 | 2002-07-04 | Witzig & Frank Gmbh | Bearbeitungseinrichtung und Maschinensteuerprogramm |
DE10161307A1 (de) * | 2001-12-13 | 2003-07-03 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Analysieren eines wiederholt auftretenden Prozesses und Verfahren und Vorrichtung zum Evaluieren einer Mehrzahl von Prozeßvorrichtungen gleichen Typs sowie Verfahren und Vorrichtung zum Verbessern der Leistungsfähigkeit einer Prozeßvorrichtung |
DE10304252A1 (de) * | 2003-02-03 | 2004-08-26 | Erwin Junker Maschinenfabrik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum CNC-Schleifen von Nockenwellen, Kurbelwellen und dergleichen |
DE102004034378B4 (de) * | 2003-07-17 | 2010-01-28 | Advics Co., Ltd., Kariya | Fahrzeugbewegungssteuerungsvorrichtung |
EP3686698A1 (en) * | 2019-01-24 | 2020-07-29 | ABB Schweiz AG | Automated creation of modular industrial plants |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7337019B2 (en) * | 2001-07-16 | 2008-02-26 | Applied Materials, Inc. | Integration of fault detection with run-to-run control |
US7016753B2 (en) * | 2001-10-30 | 2006-03-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Management system for production line and management method for production line |
JP4210270B2 (ja) * | 2005-06-07 | 2009-01-14 | ファナック株式会社 | ロボット制御装置及びロボット制御方法 |
DE102006025407A1 (de) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale | Verfahren und System zum dynamischen Ändern der Transportsequenz in einer Cluster-Anlage |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3146342C3 (ja) * | 1980-11-25 | 1988-12-22 | Hitachi, Ltd., Tokyo, Jp |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0616475B2 (ja) * | 1987-04-03 | 1994-03-02 | 三菱電機株式会社 | 物品の製造システム及び物品の製造方法 |
US5195041A (en) * | 1989-07-24 | 1993-03-16 | Institute Of Business Technology | Method and apparatus for improving manufacturing processes |
US5402350A (en) * | 1991-06-28 | 1995-03-28 | Texas Instruments Incorporated | Scheduling for multi-task manufacturing equipment |
US5444632A (en) * | 1994-04-28 | 1995-08-22 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for controlling and scheduling processing machines |
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Patent Citations (1)
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---|---|---|---|---|
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Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
H.-J. BUXBAUM: Steuerung roboterintegrierter flexibler Fertigungszellen, In: Automatisierungs- technische Praxis, 1994, Vol.36, No.8, S. 24-32 * |
HUMML, W.: DNC-Netzwerk im Werkzeugbau: Großer Nutzen in Kleinen Details, In: Werkstatt und Betrieb, 1996, Vol.129, No.4, S. 252-255 * |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1058172A2 (en) * | 1999-06-01 | 2000-12-06 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing techniques |
EP1058172A3 (en) * | 1999-06-01 | 2004-01-28 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing techniques |
DE19948139A1 (de) * | 1999-10-07 | 2001-04-12 | Volkswagen Ag | Flexibles Fertigungssystem |
DE10062471A1 (de) * | 2000-12-14 | 2002-07-04 | Witzig & Frank Gmbh | Bearbeitungseinrichtung und Maschinensteuerprogramm |
US6668208B2 (en) | 2000-12-14 | 2003-12-23 | Witzig & Frank Gmbh | Automatic allocation of machining operations to a plurality of machining stations |
DE10161307A1 (de) * | 2001-12-13 | 2003-07-03 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Analysieren eines wiederholt auftretenden Prozesses und Verfahren und Vorrichtung zum Evaluieren einer Mehrzahl von Prozeßvorrichtungen gleichen Typs sowie Verfahren und Vorrichtung zum Verbessern der Leistungsfähigkeit einer Prozeßvorrichtung |
DE10304252A1 (de) * | 2003-02-03 | 2004-08-26 | Erwin Junker Maschinenfabrik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum CNC-Schleifen von Nockenwellen, Kurbelwellen und dergleichen |
DE102004034378B4 (de) * | 2003-07-17 | 2010-01-28 | Advics Co., Ltd., Kariya | Fahrzeugbewegungssteuerungsvorrichtung |
EP3686698A1 (en) * | 2019-01-24 | 2020-07-29 | ABB Schweiz AG | Automated creation of modular industrial plants |
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