DE19740017C2

DE19740017C2 - Sensoreinrichtung

Info

Publication number: DE19740017C2
Application number: DE1997140017
Authority: DE
Inventors: Georg Weimer; Peter Suetsch
Original assignee: Nord Micro AG and Co OHG
Current assignee: Nord Micro AG and Co OHG
Priority date: 1997-09-11
Filing date: 1997-09-11
Publication date: 2002-02-21
Anticipated expiration: 2017-09-12
Also published as: DE19740017A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Sensoreinrichtung zum be rührungslosen Überwachen einer definierten Endposition eines mechanischen Funktionsteils, insbesondere einer Tür in einem Flugzeug.

Bei der Überwachung der Funktionsfähigkeit von mechani schen Funktionsteilen in Flugzeugen kommt es darauf an, daß sowohl vor einem Start als auch während des Fluges exakte und verläßliche Daten zur Verfügung stehen. Bei spielsweise ist es von allergrößter Wichtigkeit, daß das Personal über den Schließzustand der Türen infor miert wird. Besonders problematisch sind hierbei Frachtraumtüren, da sowohl deren Größe als auch rauhe Behandlung beim Be- und Entladen zu Störungen führen können. Auch der "normale" Verschleiß sowie bleibende (langsame) Materialverformungen können zu ungenauem und ungenügendem Schließen führen. Aus diesem Grund werden zum einen Sensoreinrichtungen der eingangs genannten Art eingebaut, zum anderen werden diese im Rahmen von Wartungsarbeiten immer wieder überprüft.

Die DE 43 22 249 A1 zeigt ein Bussystem für Kraftfahr zeuge, bei dem auf ein Aufforderungssignal eines Busma ster-Geräts ein Oszillator eines Sensors zum berüh rungslosen Überwachen aktiviert wird. Bei hinreichender Nähe einer abzutastenden Fläche stellt sich eine Ände rung des Signalpegels ein, die ein Kippen einer Trig gerstufe bewirkt. Dieses Ausgangssignal wird von einer Buslogik erfaßt und an das Busmastergerät übermittelt.

Bei der DE 43 22 249 A1 ist das Messen einer Entfernung insofern problematisch, als zwischen dem Start des Os zillators und dem eigentlichen Meßvorgang eine defi nierte Zeit vergehen muß, um alle möglichen Einschwing vorgänge sicher auszuschalten. Darüber hinaus ist die bekannte Anordnung relativ großbauend. Sie muß eine Reihe von Meß- und Steuerschaltungen enthalten, da das Meßsignal vollständig autark innerhalb des Sensors auf ein einfaches Bus-Anfragesignal hin gebildet wird. Die Übermittlung des Meßsignals erfolgt beim bekannten Ge genstand weiterhin in relativ aufwendiger Weise über einen Bus.

Die bisher bekannten Sensoreinrichtungen sind nur be dingt tauglich, den Schließzustand der Türen, ganz all gemein aber die Endposition eines mechanischen Funkti onsteils mit einer so großen Zuverlässigkeit und Genau igkeit zu überprüfen, daß die Wartungsarbeiten erleich tert und die Flugsicherheit erhöht werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Sen soreinrichtung der eingangs genannten Art aufzuzeigen, durch welche die Flugsicherheit bei geringem Aufwand bezüglich Konstruktion und Wartung erhöht wird.

Diese Aufgabe wird durch eine Sensoreinrichtung nach dem Patentanspruch 1 gelöst.

Ein wesentlicher Punkt der so ausgebildeten Erfindung liegt darin, daß das Meßsignal in Antwort auf ein Steu ersignal in der entfernt von der Meßschaltung mit Füh ler anzuordnenden Steuerschaltung erzeigt wird. Dadurch ist es möglich, die Funktionsfähigkeit des Gesamtsy stems einfach zu prüfen.

Erfindungsgemäß sind die Steuerschaltung zur Erzeugung einer Gruppe von Steuersignalen und die Meßschaltung derart ausgebildet, daß bei Empfang eines jeden Steuer signals aus einer Gruppe von Steuersignalen ein anderer Vergleichswert erzeugt wird, der mit einem von der Ent fernung abhängigen Signal des Fühlers verglichen wird. Die Meßschaltung ist dann so ausgebildet, daß sie bei Übereinstimmung eines Vergleichswerts mit dem Signal des Fühlers das Meßsignal vorzugsweise als digitales Signal erzeugt. Die Steuerschaltung wiederum ist derart ausgebildet, daß das Anzeigesignal aus einem Vergleich der zeitlichen Übereinstimmung des Steuersignals mit dem Meßsignal gebildet wird.

Dieses System hat nun den Vorteil, daß im Steuersystem alle Daten vorliegen, die Auskunft darüber geben, was momentan im Meßsystem abläuft. Die "Antworten" des Meß systems sind also für das Steuersystem leicht "ver ständlich". Die Störungssicherheit ist gegenüber einem freilaufenden Meßsystem erheblich größer.

Vorzugsweise ist die elektronische Meßschaltung am Füh ler angeordnet, besonders vorzugsweise mit diesem in einer baulichen Einheit zusammengefaßt. Durch diese räumliche Nähe ist es möglich, Störungen zwischen Füh ler und Meßschaltung praktisch vollständig zu eliminieren und die Meßschaltung besonders massiv und gegen me chanische Beanspruchung unanfällig auszubilden.

Vorzugsweise sind die elektronische Meßschaltung und die Steuerschaltung derart ausgebildet, daß das Steuer signal, das Meßsignal und eine Stromversorgung für die Meßschaltung über lediglich zwei Leitungen zwischen Meßschaltung und Steuerschaltung übertragen werden. Dies bringt eine weitere Vereinfachung des Ein- und Ausbaus der Anordnung sowie eine erhöhte Störungssi cherheit mit sich.

Vorzugsweise umfaßt die elektronische Meßschaltung eine Kodier einrichtung, die in Übereinstimmung mit empfangenen Steuer signalen Vergleichswerte erzeugt, eine Vergleicherschaltung, welche die Vergleichswerte mit der Entfernung entsprechenden Signalen des Fühlers vergleicht und das Meßsignal dann erzeugt, wenn der erzeugte Vergleichswert mit dem Signal des Fühlers im wesentlichen übereinstimmt. Durch diese Ausführungsform wird die Beziehung zwischen den "anfragenden" Signalen und den "Antworten" der Meßschaltung besonders klar und einfach. Glei ches gilt für den Aufbau der Gesamtanordnung. Diese umfaßt in diesem Fall vorzugsweise als Kodiereinrichtung einen (Binär- )Zähler, während die Steuerschaltung einen Taktgenerator um faßt, der Steuersignale als Zähl- bzw. Clocksignale für den Zähler erzeugt. Weiterhin erzeugt die Steuerschaltung ein Rück setzsignal, das nach einer Gruppe von Zähl- bzw. Clocksignalen abgegeben wird, deren Anzahl dem zu einem maximalen Vergleichs wert gehörigen Inhalt des Zählers gehört und den Zähler dann in einen Anfangszustand (Inhalt "0") zurücksetzt. Der Vergleichs wert entspricht dem Zählerinhalt, kann z. B. mit steigendem Zählerinhalt steigen und wird über einen D/A-Wandler, z. B. ein schaltbares Widerstandsnetzwerk erzeugt. Diese Ausführungsform ist besonders einfach und mit auf dem Markt erhältlichen Bauteilen leicht realisierbar. Beim Aufwärtszählen wird das Meß signal dann erzeugt, wenn der (steigende) Vergleichswert das der Entfernung entsprechende Signal des Fühlers überschreitet.

Die Steuerschaltung weist vorzugsweise eine Überwachungsein richtung zur Überwachung der Funktionsfähigkeit der Meßschal tung samt dem Fühler auf. Diese wiederum umfaßt vorzugsweise eine Strommeßeinrichtung zur Überwachung eines Versorgungs stroms für die Meßschaltung mit Fühler und zwar insbesondere in einem besonderen Funktionszustand, also nicht (nur) im Ruhezu stand. Insbesondere wird dann die Funktion der Meßschaltung samt Fühler als gestört angenommen, wenn plötzlich keine Meß signale trotz Erzeugung von Zähl- bzw. Clocksignalen erzeugt werden.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfaßt der Fühler einen Schwingkreis mit einer Spule. Die Güte des Schwingkreises wird hierbei durch die räumliche Beziehung der Spule zur Meßfläche verändert. Hierbei kann sowohl die Güte des Schwingkreises als auch (gegebenenfalls zusätzlich) dessen Re sonanzfrequenz verändert werden.

Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen erläutert, zu deren Verständnis die beiliegenden Abbildungen dienen. Hierbei zeigen:

Fig. 1 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform der Erfin dung,

Fig. 2 eine ausführbare Schaltung der Ausführungsform der Erfindung nach Fig. 1 und

Fig. 3 ein Zeitdiagramm zur Erläuterung von Schaltzuständen wichtiger Einzelteile des Aufbaus nach den Fig. 1 und 2.

Bei der nachfolgenden Erläuterung werden für gleiche und gleichwirkende Teile dieselben Bezugsziffern verwendet.

In Fig. 1 ist mit der Bezugsziffer 40 eine Steuerschaltung ge zeigt, die über Leitungen 7 und 8 (Masse) mit einer Meßschal tung (20) verbunden ist.

Die Meßschaltung (20) weist an ihrem Eingang E eine Transsorberdiode auf, die zwischen die erste Leitung 7 und die zweite Leitung 8 zur Begrenzung der zwischen den Leitungen 7 und 8 stehenden Spannungen auf einen für die Bauteile ungefährlichen Wert im wesentlichen knapp über der Versorgungsspannung (vorzugsweise +12 V) eingestellt ist.

Ein Näherungssensor-IC 26, das beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 als handelsüblicher Baustein TCA 505 BG ausgeführt ist, weist einen Versorgungsspannungseingang (PIN 12 in Fig. 2) auf, der mit dem Ausgang einer Gleichrichterschaltung bestehend aus einer in Durchlaßrichtung geschalteten Diode (D2 in Fig. 2) und einem Glättungskondensator (C2 in Fig. 2) verbunden ist. Ein Ausgang (PIN 11 in Fig. 2) ist über einen Widerstand (R8 in Fig. 2) mit der Leitung 7 verbunden. Ein Eingang (PIN 1 in Fig. 2) ist mit einem Fühler 10 verbunden, der eine Spule 11 mit dazu parallelgeschaltetem Kondensator (C1 in Fig. 2) umfaßt. Der so gebildete LC-Schwingkreis kann in seiner Güte (und in geringem Maß in seiner Resonanzfrequenz) verändert werden, indem man eine Meßfläche 9 in ihrem Abstand zur Spule 11 verändert. Eine derartige Anordnung ist an sich bekannt.

Weiterhin umfaßt die Meßschaltung 20 eine Kodiereinrichtung 22, die im wesentlichen aus einem Binärzähler 23 und einem schalt baren Widerstandsnetzwerk 24 besteht, das als D/A-Wandler ver standen werden kann.

Der Binärzähler 23, der gemäß Fig. 2 einen Baustein MC 14024 umfassen kann, weist einen Clock-Eingang (PIN 1 in Fig. 2) auf, der über eine Pegelanpassung 27 mit der Leitung 7 verbunden ist. Die Pegelanpassung 27 umfaßt - wie in Fig. 2 gezeigt - eine Spannungsteilerschaltung bestehend aus den Widerständen R9 und R10, welche die Spannung auf der Leitung 7 (gegenüber Masse) halbiert. Weiterhin ist ein Filter-Kondensator C5 zwi schen Clock und Masse geschaltet, der Störungen in Form von Na delimpulsen kurzschließt.

Ein Reset-Eingang (PIN 2 in Fig. 2) des Binärzählers 23 ist über eine Reset-Erzeugung 28 ebenfalls an die Leitung 7 an geschlossen, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist. Diese Reset-Erzeu gung 28 umfaßt - wie in Fig. 2 gezeigt - ebenfalls eine Spannungsteilerschaltung, bestehend aus einer Reihenschaltung von drei Widerständen. Hierbei sind die drei Widerstände R11, R12 und R13 zwischen die Leitung 7 und Masse geschaltet. Zwi schen dem Reset-Eingang des Binärzählers 23 und Masse liegt der Widerstand R13. Der mit der Leitung 7 verbundene Widerstand R 11 ist von einer Diode D2 (in Sperrichtung) überbrückt. Der Verbindungspunkt zwischen der Diode D2, dem Widerstand R11 und dem Widerstand R12 ist über einen Filterkondensator C6 mit Masse verbunden. Durch dieses Netzwerk ist eine (unsymmetrische) Tiefpaßschaltung gebildet, deren Zeitkonstante etwa bei 30 msek (für Pulse ansteigender Polarität, bei denen die Diode D2 sperrt) liegt.

Weiterhin sind ein Masse-Eingang des Binärzählers 23 (PIN 7 in Fig. 2) und ein Stromversorgungseingang (PIN 14 in Fig. 2) über eine Zenerdiode zur Stabilisierung der Versorungsspannung und einen Widerstand (R14 in Fig. 2) mit dem Stromversorgungsein gang (PIN 12 in Fig. 2) des Näherungssensors 26 verbunden.

Der Binärzähler 23 weist 6 Ausgänge (Q1 = LSB; Q6 = MSB) auf, wel che auf einen Schalter-Baustein (29) geführt sind, der in Fig. 2 vom Typ 74 HC 05 ausgebildet ist. Eine Stromversorgung des Schalterbausteins (29) ist mit der Stromversorgung des Binär zählers 23 verbunden. Die Ausgänge des Binärzählers 23 steuern die Schaltzustände des Schalterbauteils 29 derart, daß Ausgänge (PINs 2, 4, 6, 8, 10 und 12 in Fig. 2) des Schalterbausteins 29 entsprechend den Signalen aus dem Binärzähler 23 auf Masse ge legt oder offengehalten werden.

Die Ausgänge des Schalterbausteins 29 sind über Widerstände R1 bis R6 auf einen Vergleichseingang (PIN 2 in Fig. 2) des Nä herungssensors 26 geführt, der darüber hinaus über einen weite ren Widerstand R7 auf Masse liegt. Auf diese Weise bilden die Widerstände R1 bis R7 ein durch den Schalter-Baustein 29 schaltbares Widerstandsnetzwerk.

Ein Ausgang (PIN 11 in Fig. 2) des als Vergleicherschaltung 26 wirkenden Näherungssensor IC ist über einen Widerstand R8 mit der Leitung 7 verbunden.

Die Vergleicherschaltung 26 ist nun derart ausgebildet, daß aus der Güte des LC-Schwingkreises des Fühlers 10 ein der Entfernung d der Spule 11 zur Meßfläche 9 entsprechendes Signal gebildet wird, das mit einem Vergleichssignal verglichen wird, welches einem Strom entspricht, der über das Wi derstandsnetzwerk 24 bzw. die Widerstände R1-R7 und den Schalterbaustein 29 zu Masse fließt. Dann, wenn das Signal des Fühlers und der Vergleichswert übereinstimmen, wird ein Schal ter geschlossen, der den Widerstand R8 auf Masse legt, so daß durch die Leitung 7 aus der Steuerschaltung 40 ein erhöhter Strom fließt.

Nachfolgend wird der Betrieb der hier gezeigten Ausführungs formen der Erfindung anhand von Fig. 3 näher erläutert.

Im obersten Diagramm a.) aus Fig. 3 ist der Verlauf eines Steuersignals über die Zeit (isoliert) aufgezeichnet, das der Versorgungsspannung auf der Leitung 7 durch entsprechende Schaltungseinrichtungen in der Steuerschaltung 40 aufgeprägt ist.

Mit b.) sind Schaltzustände am Ausgang des Zählers 23 bezeich net.

Der Vergleichswert an der Vergleicherschaltung 26 ist in Fig. 3 im Diagramm c.) als Stromwert angegeben, wobei mit dem Wort "Schaltschwelle" derjenige Vergleichswert bezeichnet ist, der dem Signal aus dem Fühler 10 entspricht.

Im Diagramm d.) der Fig. 3 ist die Höhe des Stroms über die Zeit schematisiert wiedergegeben, der durch die Leitung 7 fließt.

Zum Zeitpunkt t₀ beginnt ein in der Steuerschaltung 40 vorge sehener Taktgenerator Impulse mit einer Dauer von etwa 100 µs abzugeben, welche den Strom aus der Steuerschaltung 40 kurzzei tig kräftig absinken lassen. Diese Taktimpulse gelangen zum Clock-Eingang des Zählers 23, so daß dieser seinen Inhalt er höht, wodurch wiederum der Strom aus dem PIN 2 der Vergleicher schaltung 26 steigt. Dies ist in Fig. 3 bis zum dreizehnten Im puls gezeigt, bei welchem - der Annahme in diesem Beispiel ent sprechend - der Vergleichswert (PIN 2 der Vergleicherschaltung 26) das Signal (entsprechend der "Schaltschwelle" in Fig. 3c.) aus dem Sensor 10 überschreitet.

Sobald dieser Vergleichswert mindestens erreicht ist, wird der Widerstand R8 mit Masse verbunden, so daß nicht mehr nur ein Versorgungsstrom (in Fig. 3 mit I₀ bezeichnet) fließt, sondern ein erhöhter Strom I_S, der vorzugsweise etwa das 2,5fache des "normalen" Versorgungsstroms I₀ beträgt. Dieser erhöhte Strom I_S kann nun in der Steuerschaltung 40 festgestellt werden. Aus dieser Übereinstimmung der Stromerhöhung, die als Meßsignal zur Verfügung steht, mit dem dreizehnten, als Steuersignal wirken den Taktimpuls, wird nun in der Steuerschaltung 40 ein Anzeige signal gebildet, welches die Entfernung d zwischen dem Fühler 10 und der Meßfläche 9 wiedergibt.

Das Meßsignal (der überhöhte Strom I_S) fließt nun so lange, bis nicht nur das 64. Steuersignal (Taktimpuls) den Zähler 23 zu Ende gezählt hat, sondern auch noch über eine gewisse Zeitdauer hinaus, welche durch die Zeitkonstante der Reset-Erzeugung 28 bestimmt wird. Nach dem 64. Steuersignal (bei größeren Zählern 23 entsprechend mehr Steuersignale) sendet nämlich die Steuer schaltung 40 keine Steuersignale mehr während eines Zeitraums von ca. 100 ms. Durch die Zeitkonstante (30 ms) der Reset-Erzeu gung 28 ist nun gewährleistet, daß nach eben diesem Zeitinter vall von etwa 30 ms die Spannung am Reset-Eingang (PIN 2 in Fig. 2) des Zählers 23 auf einen wirksamen Wert ansteigt, so daß der Zähler 23 zurückgesetzt wird. Dieser Zeitpunkt ist in Fig. 3 mit RESET bezeichnet.

Nach Ablauf der Pause (bei diesem Ausführungsbeispiel 100 ms) beginnt die Steuerschaltung 40 erneut Steuersignale zu senden, so daß der Zählvorgang bzw. der Meßvorgang erneut beginnt.

Die Steuerschaltung 40 ist weiterhin so ausgebildet, daß aus der Höhe des Versorgungsstroms I (entsprechend d.) aus Fig. 3) die Funktionsfähigkeit bzw. eine Störung der Meßschaltung samt Fühler herleitbar ist.

Aus obigem geht hervor, daß man mit der hier gezeigten Ausfüh rungsform der Erfindung nicht nur feststellen kann, ob der Ab stand d zwischen dem Fühler 10 und der Meßfläche 9 hinreichend gering ist, so daß man ein vollständiges Schließen der Tür (welche die Meßfläche 9 trägt) feststellen kann, sondern auch, wie groß dieser Abstand tatsächlich ist. Daraus wiederum ist es möglich, bei der Wartung Erkenntnisse über den Zustand des Schließ- und Aufhängemechanismus der Tür zu gewinnen. Das System ist außerordentlich leicht auch vor Einbau in ein Flug zeug zu eichen bzw. zu kalibrieren, so daß man das Meßsystem selbst verwenden kann, um den Einbau der Meßfläche 9 und deren Grund-Position zum Fühler 10 zu bestimmen. Die Tatsache, daß sämtliche Signale über lediglich zwei Leitungen zwischen der Steuereinheit 40 und der Meßschaltung 20 fließen, führt dazu, daß ein äußerst einfach zu installierendes und störungsunan fälliges System zur Verfügung steht. Die in der Meßschaltung 20 eingebaute Elektronik ist sozusagen passiv und arbeitet aus schließlich auf die Steuersignale hin, welche von der Steuer schaltung 40 ausgesandt werden. Dadurch ist eine weitere Absen kung der Störanfälligkeit möglich. Weiterhin können dadurch derart vorkalibrierte Meßschaltungen mit Fühler zur Verfügung gestellt werden, daß deren Austauschbarkeit ganz erheblich er leichtert wird. Es ist sozusagen keine Anpassung zwischen der Meßschaltung mit Fühler und der Steuerschaltung notwendig.

Bezugszeichenliste

E Eingang
d Entfernung

7

erste Leitung

8

zweite Leitung (Masse)

9

Meßfläche

10

Fühler

11

Spule

20

Meßschaltung

22

Kodiereinrichtung

23

Binärzähler

24

Widerstandsnetzwerk

26

Vergleicherschaltung

27

Pegelanpassung

28

Reset-Erzeugung

29

Schalterbaustein

40

Steuerschaltung

Claims

1. Sensoreinrichtung zum berührungslosen Überwachen einer definierten (End-)Position eines mechani schen Funktionsteils, insbesondere einer Tür in einem Flugzeug, umfassend
einen an einem Flugzeug befestigten Fühler (10) zum Abtasten einer Entfernung (d) zwischen dem Fühler (10) und einer Meßfläche (9) am Funktion steil;
eine elektronische Meßschaltung (20), die mit dem Fühler (10) verbunden und derart ausgebildet ist, daß auf mindestens ein Steuersignal hin ein der Entfernung (d) entsprechendes Meßsignal erzeugt wird;
eine Steuerschaltung (40), die mit der elektroni schen Meßschaltung (20) über Leitungen (7, 8) ver bunden ist, das Steuersignal erzeugt, daß Meßsi gnal empfängt und ein Anzeigesignal zum Anzeigen der festgestellten Endposition erzeugt,
wobei die Steuerschaltung (40) zur Erzeugung einer Gruppe von Steuersignalen und die elektronische Meßschaltung (20) derart ausgebildet sind, daß beim Empfang eines jeden Steuersignals aus der Gruppe von Steuersignalen ein anderer Vergleichs wert erzeugt wird, der mit einem von der Entfer nung (d) abhängigen Signal des Fühlers (10) ver glichen wird; und
wobei die elektronische Meßschaltung (20) bei ei ner Übereinstimmung eines Vergleichswerts mit dem Signal des Fühlers (10) das Meßsignal erzeugt, wo bei die Steuerschaltung (40) derart ausgebildet ist, daß das Anzeigesignal aus einem Vergleich der zeitlichen Übereinstimmung des Steuersignals mit dem Meßsignal gebildet wird.

2. Sensoreinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die elektronische Meßschaltung (20) am Fühler (10) vorzugsweise mit diesem eine bauli che (Gehäuse-)Einheit bildend angeordnet ist.

3. Sensoreinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die elek tronische Meßschaltung (20) und die Steuerschal tung (40) derart ausgebildet sind, daß das Steuer signal das Meßsignal und eine Stromversorgung für die elektronische Meßschaltung (20) über lediglich zwei Leitungen (7, 8) zwischen der elektronischen Meßschaltung (20) und der Steuerschaltung (40) übertragen werden.

4. Sensoreinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die elek tronische Meßschaltung (20) derart ausgebildet ist, daß das Meßsignal von der elektronischen Meß schaltung (20) in einem zeitlichen Abstand nach Empfang des mindestens einen Steuersignals erzeugt wird.

5. Sensoreinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die elek tronische Meßschaltung (20) eine Kodiereinrichtung (22), die in Übereinstimmung mit empfangenen Steu ersignalen Vergleichswerte erzeugt, und eine Ver gleicherschaltung (26) aufweist, welche die Ver gleichswerte mit die Entfernung (d) repräsentie renden Signalen des Fühlers (10) vergleicht und das Meßsignal dann erzeugt, wenn der erzeugte Ver gleichswert mit dem Signal des Fühlers (10) über einstimmt.

6. Sensoreinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß die Kodiereinrichtung (22) einen (Binär-Zähler (23) umfaßt, der den einem Zählerin halt entsprechenden, insbesondere mit steigendem Zählerinhalt steigenden Vergleichswert über einen angeschlossenen D/A-Wandler, insbesondere über ein schaltbares Widerstandsnetzwerk (24) erzeugt, daß die Steuerschaltung (40) einen Taktgenerator um faßt, der Steuersignale als Zähl- beziehungsweise Clocksignale für den Zähler (23) sowie ein Rück setzsignal erzeugt, das nach einer Gruppe von Zähl- beziehungsweise Clocksignalen deren Anzahl den zu einem maximalen Vergleichswert gehörigen Inhalt des Zählers (23) gehört, den Zähler (23) in einen Anfangszustand (0) zurückversetzt.

7. Sensoreinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuer einrichtung (40) eine Überwachungseinrichtung zur Überwachung der Funktionsfähigkeit der elektroni schen Meßschaltung (20) mit Fühler (10) umfaßt, die vorzugsweise eine Strommeßeinrichtung zur Überwachung eines Versorgungsstroms für die elek tronische Meßschaltung (20) mit Fühler (10) um faßt.

8. Sensoreinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Fühler (10) einen Schwingkreis mit einer Spule (11) um faßt, wobei eine Güte des Schwingkreises (10) durch eine räumliche Beziehung der Spule (11) zur Meßfläche (9) veränderbar ist.