DE19728233A1 - Magnetisch beaufschlagte Luftlager-Bewegungseinrichtung für eine Abbildungseinrichtung - Google Patents

Magnetisch beaufschlagte Luftlager-Bewegungseinrichtung für eine Abbildungseinrichtung

Info

Publication number
DE19728233A1
DE19728233A1 DE19728233A DE19728233A DE19728233A1 DE 19728233 A1 DE19728233 A1 DE 19728233A1 DE 19728233 A DE19728233 A DE 19728233A DE 19728233 A DE19728233 A DE 19728233A DE 19728233 A1 DE19728233 A1 DE 19728233A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
carriage
rail
movement device
guide surfaces
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19728233A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19728233C2 (de
Inventor
Alan W Menard
Uri Bin-Nun
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gerber Systems Corp
Original Assignee
Gerber Systems Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gerber Systems Corp filed Critical Gerber Systems Corp
Publication of DE19728233A1 publication Critical patent/DE19728233A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19728233C2 publication Critical patent/DE19728233C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J19/00Character- or line-spacing mechanisms
    • B41J19/18Character-spacing or back-spacing mechanisms; Carriage return or release devices therefor
    • B41J19/20Positive-feed character-spacing mechanisms
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0662Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
    • F16C32/067Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play
    • F16C32/0674Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play by means of pre-load on the fluid bearings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/06Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using cylindrical picture-bearing surfaces, i.e. scanning a main-scanning line substantially perpendicular to the axis and lying in a curved cylindrical surface
    • H04N1/0607Scanning a concave surface, e.g. with internal drum type scanners
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/06Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using cylindrical picture-bearing surfaces, i.e. scanning a main-scanning line substantially perpendicular to the axis and lying in a curved cylindrical surface
    • H04N1/0607Scanning a concave surface, e.g. with internal drum type scanners
    • H04N1/0621Scanning a concave surface, e.g. with internal drum type scanners using a picture-bearing surface stationary in the main-scanning direction
    • H04N1/0635Scanning a concave surface, e.g. with internal drum type scanners using a picture-bearing surface stationary in the main-scanning direction using oscillating or rotating mirrors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/06Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using cylindrical picture-bearing surfaces, i.e. scanning a main-scanning line substantially perpendicular to the axis and lying in a curved cylindrical surface
    • H04N1/0671Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using cylindrical picture-bearing surfaces, i.e. scanning a main-scanning line substantially perpendicular to the axis and lying in a curved cylindrical surface with sub-scanning by translational movement of the main-scanning components

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

Es sind bereits Abbildungseinrichtungen wie Fotoplotter und Abtaster (Scanner) bekannt, die in einer Ebene sowie auf ex­ ternen und internen Trommelflächen abbilden. In Abtastern wird ein Testmuster mit einem nicht modulierten optischen Strahl abgetastet und das reflektierte oder durchgelassene Licht ausgewertet, nachdem es die Kopie verläßt. Die daraus sich ergebenen optischen Signale werden mit einem Detektor erfaßt und aufgezeichnet.
Fotoplotter werden auf grafischem Gebiet und bei der Herstel­ lung gedruckter Schaltungen eingesetzt. Ebene Bilderzeugungs­ systeme, wie sie in US-A 4,851,656 beschrieben sind, haben eine ebene Auflagefläche für ein Substrat oder einen Auf­ zeichnungsträger. Ein optischer Belichtungskopf ist an einer beweglichen Trägereinrichtung gelagert und wird während der Belichtung rasterartig über den Aufzeichnungsträger hinwegbe­ wegt.
Innentrommelabtaster haben eine zylindrische Auflagefläche für den Aufzeichnungsträger. Ein optischer Strahlgenerator gibt einen modulierten optischen Strahl auf einen rotierenden Spiegel ab, der den Strahl auf den Aufzeichnungsträger re­ flektiert. Während der Rotation des Spiegels wandert der re­ flektierte Strahl über die Oberfläche des Aufzeichnungsträ­ gers von einer Seitenkante zur anderen und belichtet dabei eine Folge von Pixeln, die gemeinsam eine Abtastzeile ortho­ gonal zur Trommelachse erzeugen. Der rotierende Spiegel ist auf einem Schlitten befestigt, der sich längs der Trommel­ achse senkrecht zur Abtastzeile bewegt. Der Schlitten bewegt sich kontinuierlich, so daß der Abbildungsprozeß schrauben­ förmig längs des Zylinders verläuft. Der so rotierende Abbil­ dungsstrahl wandert über die Trommeloberfläche, bis auf dem Aufzeichnungsträger das gesamte Bild aufgebaut ist.
Der Innentrommel-Fotoplotter Crescent 42 der Gerber Scienti­ fic, Inc., enthält einen Schlitten mit zwei Seiten, die ihn in zwei Ebenen halten, wobei er magnetisch mit einer starren Schiene gekoppelt ist, die in Richtung der Trommelachse ver­ läuft. Der Schlitten ist unter der Schiene aufgehängt. Mehre­ re Reibflächen aus polymerem Material sind an den orthogona­ len Seiten des Schlittens befestigt, um ihn in einem vorbe­ stimmtem Abstand zur Schiene zu halten. Ein Motor und ein Drehspiegel zum Reflektieren des optischen Strahls auf den Aufzeichnungsträger sind an der Unterseite des Schlittens be­ festigt.
Der Schlitten wird mit einem Antrieb längs der Schiene be­ wegt, der einen Schrittmotor und eine Führungsspindel ent­ hält. Eine Motortreiberschaltung speist den Schrittmotor in winzigen Schritten zum Drehen der Führungsspindel, wodurch sich der Schlitten längs der Schiene bewegt. Die Motortrei­ berschaltung steuert den Schrittmotor in einem offenen Steu­ erkreis.
Die Qualität der Abbildung mit dem Fotoplotter Crescent 42 wird durch die störungsfreie Bewegung des Schlittens längs der Schiene bestimmt. Jegliche Änderungen der Bewegungsge­ schwindigkeit führt zu einer Fehlerposition der Bildpunkte, und im schlechtesten Fall werden auf dem Aufzeichnungsträger Längslinien erzeugt. Die Kombination der Reibung zwischen Schiene und Reibflächen, der Toleranzen bei der Läppung der Führungsspindel der Schrittbewegung des Schrittmotors und der fehlenden Rückmeldung der Schlittenposition führt zu einer Geschwindigkeitsänderung des Schlittens.
Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß die Reibflächen mit der Zeit abgenutzt werden und auszuwechseln sind. Außerdem können sie ungleichmäßig abnutzen und deshalb weitere Bewe­ gungsänderungen des Schlittens verursachen.
Die Führungsspindel muß mit extrem engen Toleranzen geläppt sein. Nur sehr wenige Hersteller können eine annehmbare Füh­ rungsspindel mit einer Länge von etwa 106 cm herstellen. Eine Führungsspindel muß ferner von Hand geläppt werden, wenn sie vom Hersteller zum Einbau in den Fotoplotter geliefert wird. Die engen Toleranzen und das zusätzliche Läppen Erhöhen die Herstellkosten der Führungsspindel. Außerdem ist die maximal mögliche Geschwindigkeit der Schlittenbewegung längs der Schiene bei einem Antriebssystem mit Führungsspindel und Schrittmotor sehr gering. Dies zeigt sich auch in der relativ geringen Rückführgeschwindigkeit des Schlittens in seiner An­ fangsposition bei Beginn der Abtastung eines nächsten Auf­ zeichnungsträgers.
In US-A 3,272,568 ist eine Führung mit einem feststehenden Führungsteil und einem Führungskörper beschrieben, der an dem Führungsteil über magnetisch gekoppelte Luftlager bewegt wer­ den kann. Ein Luftlager enthält mehrere in dem Führungsteil oder dem Führungskörper vorgesehene Kanäle. Komprimierte Luft wird diesen Kanälen zugeführt, um ein Luftkissen zwischen dem Führungsteil und dem Führungskörper zu erzeugen. Mehrere Ma­ gnete sind in dem Führungsteil oder Führungskörper angeord­ net, um beide magnetisch zu koppeln.
Die US-A 4,704,712 beschreibt eine Schlitteneinrichtung ge­ ringer Reibung, deren Schlitten auf einer festen Schiene be­ wegt werden kann. Diese Schiene hat an zwei rechtwinklig zu­ einander stehenden Seiten poröse Streifen, die ein Luftkissen zwischen Schiene und Schlitten erzeugen sollen. Mehrere Ka­ näle zwischen der Schiene und den porösen Streifen ermögli­ chen das Austreten von Luft durch die Poren nach außen. Der Schlitten hat an den porösen Streifen Lagerflächen. Perma­ nentmagnete an diesen Lagerflächen erzeugen eine Anziehung zwischen dem Schlitten und der Schiene, die der Kraftwirkung der Luft entgegengesetzt ist. Ein in der Schiene und dem Schlitten angeordneter Linearmotor bewegt den Schlitten längs der Schiene.
Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Bewegungseinrichtung für eine Abbildungseinrichtung anzugeben, die reibungslos arbei­ tet und eine konstante Geschwindigkeit hoher Gleichmäßigkeit erzeugt und eine schnelle Rückführung eines Schlittens ermög­ licht.
Die Erfindung löst diese Aufgabe durch die Merkmale des Pa­ tentanspruchs 1. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Eine Bewegungseinrichtung nach der Erfindung ermöglicht den Aufbau einer Abbildungseinrichtung hoher Abbildungsqualität und kurzer Zykluszeiten bei der Bilderzeugung.
Die Erfindung wird im folgenden an Hand der Zeichnungen näher erläutert. Darin zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht einer Abbildungseinrichtung mit einer Bewegungseinrichtung nach der Erfindung,
Fig. 2 eine Vorderansicht der Bewegungseinrichtung aus Fig. 1,
Fig. 3 eine vergrößerte perspektivische Vorderansicht ei­ nes Schlittens und einer Schiene der Bewegungsein­ richtung nach Fig. 1,
Fig. 4 eine vergrößerte Seitenansicht des Schlittens und der Schiene der Bewegungseinrichtung nach Fig. 1,
Fig. 5 eine perspektivische Darstellung des Schlittens der Bewegungseinrichtung nach Fig. 1 zur Darstellung seiner Oberseite,
Fig. 6 eine perspektivische Darstellung des Schlittens der Bewegungseinrichtung nach Fig. 1 zur Darstellung seiner Unterseite,
Fig. 7 eine Draufsicht auf einen Teil der Schiene zur Dar­ stellung der Magnetanordnung eines Linearmotors,
Fig. 8 ein Blockdiagramm des Linearmotors in dem An­ triebssystem der Abbildungseinrichtung nach Fig. 1,
Fig. 9 eine Seitenansicht des Schlittens und der Schiene in einer anderen Ausführungsform des Antriebssy­ stems,
Fig. 10 eine Seitenansicht des Schlittens und der Schiene einer weiteren Ausführungsform des Antriebssystems, und
Fig. 11 eine Seitenansicht eines vorzugsweisen Ausführungs­ beispiels einer Abbildungseinrichtung mit einer Be­ wegungseinrichtung nach der Erfindung.
In Fig. 1 ist eine Abbildungseinrichtung 10 dargestellt, die einen Innentrommel-Fotoplotter enthält. Dieser hat eine teilzylindrische Trommel 12, die eine Belichtungskammer 14 bildet. Die Innenfläche 16 der Trommel 12 dient als interne Auflage für einen Aufzeichnungsträger oder eine Platte 18 in der Belichtungskammer 14 in vorgegebener Orientierung zu ei­ nem Punkt auf der zentralen Achse z der Innentrommel. Die blattförmigen Aufzeichnungsträger 18 können aus Aluminium- oder Polymerfolie wie Polyester bestehen und haben auf einer Seite eine Schicht aus einer lichtempfindlichen Emulsion. Sie können auch aus einem lichtempfindlichen Film bestehen. Meh­ rere (nicht dargestellte) Öffnungen in der Auflagefläche 16 der Innentrommel 12 dienen zum Ziehen der Platte oder des Blatts 18 auf die Auflagefläche mit einem Unterdruck, der von einem Vakuumgenerator über ein Leitungssystem 17 unter der Trommel im unteren Teil des Geräts zugeführt wird.
Der Plotter 10 hat ferner eine Steuerung 19, einen optischen Strahlgenerator 21 wie z. B. eine Laserdiode und eine Strahl­ erzeugungsoptik, die an der Rahmenkonstruktion 22 montiert sind. Ein optischer Strahl des Strahlgenerators 21 wird über die Optik auf der zentralen Achse z der Innentrommel 12 abge­ geben. Die Steuerung 19 moduliert den optischen Strahl mit digitalen Signalen eines Bildes, das von einem Rasterbildpro­ zessor (nicht dargestellt) geliefert wird. Das Bild wird auf dem Aufzeichnungsträger 18 in oben beschriebener Weise abta­ stend aufgebaut.
In Fig. 2 und 3 ist der Abtaster 20 dargestellt. Er enthält eine Strahldehnungsvorrichtung 24 und eine Rotationsanordnung 26, die auf einem Schlitten 30 über der Innentrommel befe­ stigt ist. Die Strahldehnungsvorrichtung 24 wird im folgenden noch deutlicher beschrieben und enthält mehrere Linsen 27, 28, 29, die an dem Schlitten 30 befestigt sind und den opti­ schen Strahl des Generators 21 dehnen und fokussieren. Die Rotationsanordnung 26 enthält einen achsversetzten Para­ bolspiegel 32, der an einem Motor 34 befestigt ist und den auf die zentrale Achse z der Trommel 12 ausgerichteten opti­ schen Strahl über die Strahldehnungsvorrichtung 24 recht­ winklig zur Auflagefläche 16 (Fig. 1) hin umlenkt, auf der mit Emulsion beschichteten Oberfläche des Aufzeichnungsträ­ gers 18 fokussiert und über einen vorgegebenen Bogen raster­ artig über diese Fläche schwenkt. Jede Schwenkbewegung des Strahls über den Aufzeichnungsträger 18 erzeugt eine Abtast­ zeile mit einer Folge von Pixeln. Die Drehzahl des Parabol­ spiegels 32 liegt im Bereich von 12000 bis 24000 Umdrehungen pro Minute.
Wie aus Fig. 2 und 4 hervorgeht, ist der Schlitten 30 über ein magnetisches Luftlagersystem 36 mit einer Schiene 38 ge­ koppelt, die zwei geläppte Oberflächen 40 hat. Die Schiene erstreckt sich parallel zur zentralen Achse z der Innentrom­ mel 12. Fig. 4 und 7 zeigen die Bewegung des Schlittens 30 längs der Schiene 38 mit einem Linearmotor 42, der am Schlit­ ten 30 befestigt ist. Der Linearmotor 42 enthält eine Wick­ lungsanordnung 44 und eine Magnetschienenanordnung 46. Die Steuerung 19 liefert Steuersignale an ein Motortreibersystem 48, das in Fig. 8 schematisch dargestellt ist und das An­ triebssignal für die Wicklungsanordnung 44 des Motors 42 er­ zeugt. Das Motortreibersystem 48 enthält eine Servosteuerung 52, einen Servoverstärker 54, eine Linearskala bzw. einen Co­ dierer 56 und einen Blattkantendetektor 57.
Bei dem in Fig. 5 und 6 gezeigten magnetischen Luftlagersy­ stem 36 hat der Schlitten 30 zwei rechteckige Platten 66, 70 aus nicht ferromagnetischem Material wie z. B. Aluminium. Sie sind rechtwinklig zueinander mit mechanischen Elementen wie Bolzen befestigt und bilden einen um 90° gedrehten T-förmigen Schlitten. Zwei nach unten sich öffnende rechtwinklige Wände 62 dienen der Halterung der Abtastanordnung 26 und sind durch die Bodenfläche 64 der horizontalen Platte 66 und die untere Innenfläche 68 der vertikalen Platte 70 gebildet. Zwei nach oben sich öffnende rechtwinklige Wände 72 sind an den recht­ winkligen Oberflächen 40 der Schiene 38 verschiebbar (Fig. 4) und durch die Oberseite 78 der horizontalen Platte 66 und die obere Innenfläche 80 der vertikalen Platte 70 gebildet.
Die rechtwinkligen Platten 66, 70 des Schlittens 30 haben ei­ ne Reihe miteinander verbundener Luftkanäle 82 (gestrichelt gezeigt), die in mehreren Öffnungen 84 münden, welche in ei­ nem vorbestimmten Muster an den oberen rechtwinkligen Flächen 78, 80 angeordnet sind. Die Luftkanäle 82 haben ferner eine gemeinsame Zuführöffnung 86, die an einer Seitenwand 88 der horizontalen Platte 66 mündet. Unter Druck stehendes Gas wie Luft wird der Zuführöffnung 86 über ein (nicht dargestelltes) Rohr zugeführt, strömt durch die Luftkanäle 82 des Schlittens 30 und tritt aus den Öffnungen 84 aus, um den Schlitten 30 mit Abstand zu den rechtwinkligen Flächen 40 der Schiene 38 zu halten. An der oberen vertikalen Innenfläche 80 und der horizontalen Oberseite 78 sind die Öffnungen 84 in zwei parallelen Reihen mit untereinander gleichen Abständen über die Länge des Schlittens 30 angeordnet.
Der Schlitten 30 ist durch mehrere Magnetelemente 89 wie Sel­ tenerdmetalloxid-Permanentmagnete oder Elektromagnete beauf­ schlagt, die mit einem Kleber oder mechanisch in mehreren Ta­ schen 90 befestigt sind, welche in einem vorbestimmten Muster in den oberen rechtwinkligen Wänden 72 des Schlittens 30 an­ geordnet sind. Die Magnete 89 sind vorzugsweise in den Flä­ chen 78, 80 vertieft oder in deren Ebene angeordnet. Die Ma­ gnete 89 in der Innenfläche 80 der vertikalen Platte 70 sind zwischen den beiden Öffnungsreihen 84 geradlinig und mit un­ tereinander gleichen Abständen angeordnet. Die Magnete 89 in der Oberseite 78 der horizontalen Platte 66 sind in zwei pa­ rallelen Reihen kollinear zwischen den parallelen Reihen der Öffnungen 84 angeordnet.
Die Permanentmagnete 89 erzeugen eine Anziehungskraft entge­ gengesetzt der Abstoßkraft der Druckluft, so daß der Schlit­ ten 30 parallel unter einem vorbestimmten kleinen Abstand zu der Schiene 38 gehalten wird. Die Stärke der Magnete 89 ist derart, daß ihre Anziehungskraft die Abstoßkraft der Druck­ luft und die Schwerkraft in vertikaler Richtung ausgleicht, so daß ein Luftspalt zwischen der Schiene 38 und den recht­ winkligen Flächen 78, 80 des Schlittens 30 etwa 8 Micron breit ist, was einen vorzugsweisen Wert der "Steifigkeit" darstellt. Diese ist definiert als der Widerstand gegenüber seitlicher Bewegung in X- oder Y-Richtung oder gegenüber ei­ ner Winkelversetzung um die Längs-, Quer- und Hochachse des Schlittens 30 relativ zur Schiene 38, wenn eine externe Kraft auf den Schlitten 30 einwirkt.
Wie Fig. 4 und 7 zeigen, liefert der Linearmotor 42, der ähn­ lich einem Modell der Trilogy Systems Corp. ist, die An­ triebskraft zum Bewegen des Schlittens 30 längs der Schiene 38. Der Linearmotor 42 ist ein bürstenloser Gleichstrommotor mit einer Wicklungsanordnung 44 und einer Magnetschienenan­ ordnung 46. Die Wicklungsanordnung 44 enthält mehrere Motor­ wicklungen oder Phasen (nicht dargestellt).
Abbildungseinrichtungen auf dem Gebiet der Grafik erfordern einen hohen Genauigkeitsgrad bei der Abtastbewegung des opti­ schen Strahls auf dem Aufzeichnungsträger, und damit ist die Bewegung des Schlittens 30 längs der Schiene 38 mit konstan­ ter Geschwindigkeit ein kritischer Faktor. Unregelmäßigkeiten der Bewegung oder Geschwindigkeitsänderungen des Schlittens erzeugen Längslinien auf dem Aufzeichnungsträger 18.
Die Motorphasen des Linearmotors 42 werden daher vorzugsweise sinusförmig geschaltet bzw. kommutiert. Sinusförmige Kommu­ tierung ermöglicht eine nahezu perfekte Steuerung, was bedeu­ tet, daß der Schlitten 30 mit gesteuerter Geschwindigkeit und nur geringen oder keinen Unregelmäßigkeiten bewegt wird. Die Geschwindigkeit des Schlittens ist gering, d. h. 10 Micron/2,5 ms oder 4 mm/s. Bei dieser Geschwindigkeit muß jede Abtastzeile gleichmäßig innerhalb eines kleinen Bruchteils einer Abtastzeile (1/100) beabstandet sein, oder es tritt eine unzulässige Bildverzeichnung auf. Daher muß die Geschwindigkeit bis herunter zu weniger als 1,0% über Fre­ quenzbereiche bis zu einschließlich 400 Hz gleichmäßig sein.
Die Motorphasen können auch mit Halleffekt-Elementen geschal­ tet werden, die integral mit der Wicklungsanordnung 44 vorge­ sehen sind. Die Verwendung von Halleffekt-Elementen erzeugt jedoch eine Kraftunregelmäßigkeit im Linearmotor 42, wodurch der Schlitten 30 eine unregelmäßige Bewegung erhält, daher werden solche Elemente vorzugsweise zur punktweisen Positio­ nierung einer Last eingesetzt.
Gemäß Fig. 4 und 5 ist die Wicklungsanordnung 44 an der Ober­ seite 78 der horizontalen Platte 66 in einer Nut oder Ausspa­ rung 94 befestigt, die zentral in Richtung der Längsachse des Schlittens 30 zwischen den Reihen der Magnete 89 und der Öff­ nungen 84 liegt.
Bei dem in Fig. 4 und 7 gezeigten Ausführungsbeispiel der Er­ findung ist die Magnetschienenanordnung 46 in die Schiene 38 eingebettet bzw. integral mit ihr ausgeführt. Ein U-förmiger Kanal 92 erstreckt sich in Längsrichtung der Unterseite 40 der Schiene 38 und hat zwei einander gegenüberstehende Sei­ tenwände 98. Magnete 100 für die Schienenanordnung 46 sind an diesen Seitenwänden 98 befestigt, so daß zwei Magnetreihen einander gegenüberstehen. Die Magnete 100 einer jeden Reihe sind mit wechselnder und einander entgegengesetzter Polarität angeordnet, so daß die Richtung der Magnetfelder 101 mit jedem Paar einander gegenüberstehender Magnete wechselt.
Die Breite des Kanals 92 ist so groß, daß die Wicklungsanord­ nung 44 des Linearmotors 42 zwischen den Magnetreihen 100 frei hindurchlaufen kann, wodurch sich eine reibungslose Be­ wegung des Schlittens 30 ergibt.
Die Schiene 38 besteht aus extrudiertem ferromagnetischem Ma­ terial wie Magnetstahl, das einen Weg für den Magnetfluß der Felder 101 zwischen den einander gegenüberstehenden Magneten bildet. Die Schiene 38 muß auch ausreichend starr sein, um eine minimale Biegung bei Bewegung des Schlittens 30 zu ge­ währleisten.
Bei der in Fig. 9 gezeigten Alternativausführung ist die Schiene 38 aus Granit gefertigt. Der Vorteil einer Granit­ schiene besteht darin, daß die rechtwinkligen Seiten 40 genau auf sehr geringe Toleranzen der Fläche und der Geradlinigkeit geläppt werden können. Ferner ist das Granitmaterial weniger empfindlich gegen Verwerfung oder Biegung durch interne Span­ nungen und Umwelteinflüsse. Zur magnetischen Kopplung des Schlittens 30 mit der Granitschiene 38 enthält diese mehrere Streifen 102 oder Abschnitte aus ferromagnetischem Material, die in die rechtwinkligen Seiten 40 mit einem Kleber einge­ legt sind. Die Streifen 102 sind in Längsrichtung der Schiene 38 den Magneten 89 (Fig. 5) gegenüberliegend angeordnet, die in den Wänden des Schlittens 30 befestigt sind. Die Streifen 102 und die rechtwinkligen Seiten der Granitschiene 38 sind gleichzeitig so geläppt, daß flache, koplanare Seiten für den Schlitten 30 entstehen. Um die Magnetschienenanordnung 46 zu bilden, muß eine U-förmige Schiene 103 aus ferromagnetischem Material in dem Kanal 92 im Boden 40 befestigt werden, um den Rückflußweg der Magnetfelder 101 der Magnete 100 zu bilden. Die Magnete 100 sind dann an den inneren Seitenwänden der U-förmigen Schiene 103 befestigt.
Bei einer in Fig. 10 gezeigten dritten Alternative kann eine selbständige Magnetschienenanordnung 46 mit an den Innenwän­ den einer U-förmigen Schiene 103 aus ferromagnetischem Mate­ rial befestigten Magneten 100 an der Schiene 38 befestigt sein oder parallel zu ihr liegen.
In Fig. 8 ist das Motortreibersystem 48 dargestellt. Es ent­ hält eine Servosteuerung 52, einen Servoverstärker 54, einen Linearcodierer 56 und einen Blattkantendetektor 57. Das Mo­ tortreibersystem 48 liefert die Treibersignale für die Wick­ lungen des Linearmotors 42. Die Steuerung 19 enthält einen Algorithmus, der Ausgangssignale über eine serielle RS232-Schnittstelle 104 an die Servosteuerung 52 liefert, abhängig von Eingangssignalen, die über die Bedienung 105, den Line­ arcodierer 56 und den Blattkantendetektor 57 zugeführt wer­ den. Die Servosteuerung 52 liefert über eine Leitung 106 ein Servosignal an den Servoverstärker 54, der dann sinusförmige Treibersignale an die Wicklungsanordnung 44 des Linearmotors 42 über eine Leitung 107 abgibt. Der Linearcodierer 56 lie­ fert ein Positionssignal (mit einer Auflösung von 0,25 Micron) des Schlittens 30 an der Schiene 38 an die Servo­ steuerung 52 zum Schließen der Positionsschleife der Servo­ steuerung sowie an die Steuerung 19. Die Position des Schlit­ tens 30 wird im Speicher der Steuerung 19 gespeichert, die die Schlittenposition während der Bewegung längs der Schiene 38 überwacht. Abhängig von der Eingabe der Bedienung 105 und der Schlittenposition liefert der Algorithmus das Ausgangssi­ gnal an die Servosteuerung zum Ansteuern des Linearmotors 42 für Start und Ende der Bewegung des Schlittens 30 und zur Steuerung seiner Geschwindigkeit. Der Algorithmus liefert auch ein Bildabtast-Freigabe/Sperrsignal zum Einleiten und Beenden der Abtastbewegung des optischen Strahls des Strahl­ generators auf dem Aufzeichnungsträger 18.
Wie Fig. 4 zeigt, hat der Linearcodierer 56 eine lineare Skala 108 und einen Codierkopf 109. Die Skala 108 erstreckt sich in Längsrichtung an der Unterkante der Schiene 38, und der Codierkopf 109 ist an der Kante der horizontale Platte 66 des Schlittens 30 befestigt. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Auflösung des Codierers 0,25 Micron.
Bei dem Betrieb des Motortreibersystems 48 liefert die Steue­ rung 19 mit dem Algorithmus ein Signal an die Servosteuerung 52 zum Einschalten das Linearmotors 42 und zum Bewegen des Schlittens 30 in eine vorbestimmte Anfangsposition an einem Ende der Schiene 38. Ein Positionsregister der Steuerung 19 wird dann auf Null gestellt. Nachdem der Aufzeichnungsträger 18 in der Innentrommel 12 befestigt ist, wird der Schlitten 30 durch die Steuerung vorwärts bewegt, bis die Kante des Aufzeichnungsträgers 18 mit einem Kantendetektor 57 erfaßt wird. Die Steuerung 19 speichert in ihrem Speicher die Zahl der Zählschritte zwischen der Anfangsposition und der Kante des Aufzeichnungsträgers 18 und steuert den Linearmotor 42 zur Bewegung des Schlittens 30 um etwa 6,3 bis 12,5 mm von der Kantenposition des Aufzeichnungsträgers 18 rückwärts. Dieser vorbestimmte Abstand ermöglicht die Beschleunigung des Schlittens 30 auf eine konstante Geschwindigkeit, bevor die Kante des Aufzeichnungsträgers 18 erreicht wird. Soll der Ab­ bildungsprozeß beginnen, so schaltet die Steuerung 19 den Li­ nearmotor 42 zum Bewegen des Schlittens 30 über eine Länge ein, die gleich der Bildlänge zuzüglich eines Bremsweges ist. Wenn die Steuerung bestimmt, daß der Schlitten 30 die aktive Kante des Aufzeichnungsträgers erreicht hat, liefert sie ein Anfangssignal zum Beginn der Laserabtastung auf dem Auf­ zeichnungsträger 18. Nachdem der Schlitten 30 längs der Schiene 38 über den vorgegebenen Weg gelaufen ist, liefert die Steuerung 19 ein Stopsignal für die Laserabtastung. Die Steuerung 19 steuert dann den Schlitten 30 derart, daß er zur Anfangsposition mit vorbestimmter Geschwindigkeit zurückge­ führt wird. Das Luftlagersystem 36 ermöglicht eine viel größere Rückführgeschwindigkeit des Schlittens 30 zur An­ fangsposition als bei einem Antrieb mit einer Führungsspindel und einem Schrittmotor.
Gemäß Fig. 3 und 6 sind die Rotationsanordnung 26 und die Strahldehnungsvorrichtung 24 des Abtasters 20 an den unteren rechtwinkligen Flächen 64, 68 des Schlittens 30 befestigt. Die Rotationsanordnung 26 ist mit zwei Streifen 110 an der Vorderseite 112 des Schlittens 30 so befestigt, daß der Para­ bolspiegel 32 koaxial mit der zentralen Achse z der Innen­ trommel 12 (Fig. 2) liegt. Die untere vertikale Seite 62 hat einen U-förmigen Ausschnitt 114, so daß der weitgehend recht­ winklig reflektierte optische Strahl die gesamte Breite des Aufzeichnungsträgers 18 abtastet, wenn sich der Parabolspie­ gel 32 dreht.
Die Strahldehnungsvorrichtung 24 ist an der Rückseite 116 des Schlittens 30 befestigt und enthält drei koaxial befestigte Einzellinsen 27, 28, 29 zum Vergrößern des Durchmessers des optischen Strahls des Strahlgenerators 21. Die Positionierung der Strahldehnungsvorrichtung 24 auf dem beweglichen Schlitten 30 ermöglicht die Verwendung eines Strahls kleine­ ren Durchmessers, wodurch die Effekte der optischen Turbulenz des Abbildungssystems 100 sowie deren Einwirkungen auf die Bildqualität vermieden werden. In dem Innentrommelsystem ist der optische Strahl einer Luftturbulenz ausgesetzt, wenn er längs der zentralen Achse z der Trommel 12 zum Parabolspiegel 32 verläuft. Bekanntlich nehmen mit größerem Durchmesser des axialen Strahls die Effekte der Luftturbulenz zu. Deshalb wird bei der hier beschriebenen Einrichtung ein kleinerer optischer Strahl fester Größe längs der Achse z der In­ nentrommel 12 geleitet. Der typische Durchmesser dieses Strahls (gemessen bei den 13%-Punkten) für ein System ohne Strahldehnungsvorrichtung 24 am Schlitten 30 beträgt etwa 16,4 mm, während der Durchmesser des Strahls etwa 4 mm bei einem System beträgt, das am Schlitten 30 eine Strahldeh­ nungsvorrichtung hat.
Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Strahldehnungs­ vorrichtung 24 erzeugen die Linsen 27, 28, 29 eine afokale Dehnung des Durchmessers des optischen Strahls. Unter "afokal" ist zu verstehen, daß der zugeführte Strahl und der von der Dehnungsvorrichtung abgegebene Strahl parallel zur Achse der Optik liegen bzw. kollimiert sind. Der Fachmann kann jedoch erkennen, daß jede Art einer Optik eingesetzt werden kann, ohne vom Grundgedanken der Erfindung abzuwei­ chen. Die erste bzw. hinterste Linse 27 ist fest an dem Schlitten 30 befestigt. Die zweite und die dritte Linse 28 und 29 sind jeweils durch Magnetkopplung am Schlitten befe­ stigt. Zwei unabhängig gesteuerte Luftlager 120, 122 ermögli­ chen eine einstellbare Positionierung der Linsen 28, 29 zum Ändern der Vergrößerung und der Fokussierung des axialen Strahls, der aus der Strahldehnungsvorrichtung 24 austritt.
Jede Linse 27, 28, 29 ist in einer quadratischen Fassung 118 aus Stahl oder einem anderen ferromagnetischen Material befe­ stigt, die zwei rechtwinklige Flächen zur Anlage an den unte­ ren rechtwinkligen Flächen 64 und 68 des Schlittens 30 hat. Ähnlich dem magnetisch beaufschlagten Luftlagersystem des Schlittenantriebs hat der Schlitten 30 zwei unabhängige ma­ gnetisch gekoppelte Luftlager 120, 122 für die zweite und die dritte Linse 28 und 29. Jedes Luftlager 120, 122 enthält zwei Permanentmagnete 128, die jeweils in einer Fläche 64, 68 des Schlittens 30 liegen. Die Luftlager 120, 122 enthalten auch zwei unabhängige Kanalnetze 129 (gestrichelt dargestellt), die an mehreren Öffnungen 130 in den unteren rechtwinkligen Flächen 64 und 68 münden. Die Öffnungen 130 sind in einem vorbestimmten Muster um jedes Paar Permanentmagnete 128 für jede Linsenfassung 118 angeordnet. Die Magnete 128 müssen ei­ ne solche Fläche haben, daß die erforderliche Bewegungslänge der Linsen 28, 29 längs des Schlittens 30 gegeben ist. Ähn­ lich muß die Zahl und die Anordnung der Öffnungen 130 einen ausreichenden Bereich bilden, um ein Luftkissen zwischen den Flächen der Fassungen 118 und dem Schlitten über die Bewe­ gungslänge der Linsen 28, 29 zu erzeugen. Die Fassungen 118 müssen eine solche Fläche haben, daß eine stabile Bewegung gewährleistet ist. Bei dem vorzugsweisen Ausführungsbeispiel ist die Breite der Linsenfassung etwa 45 mm. Die magnetisch beaufschlagten Luftlager 120, 122 ermöglichen eine reibungs­ lose Bewegung der Linsen 28, 29 durch Einführen von Druckluft durch die Kanäle 129 und die Öffnungen 130 sowie eine Befe­ stigung der Linsen 28, 29 an der jeweiligen Stelle durch Un­ terbrechen der Luftzufuhr, wodurch die Linsenfassungen 118 in der jeweils festen Position und Beziehung zueinander an dem Schlitten 30 magnetisch gekoppelt werden.
Wie Fig. 3 zeigt, haben die zweite und die dritte Linse 28 und 29 jeweils eine Konstantkraftfeder 132, deren eines Ende an der horizontalen Unterseite 64 des Schlittens 30 und deren anderes Ende an der Fassung 118 der Linse 28 bzw. 29 befe­ stigt ist. Die Federn 132 sind so gespannt, daß ihre jewei­ lige Linse 28, 29 vorwärts längs der Zylinderachse z zu zwei Anschlagstiften 134 gezogen wird, die an der Unterseite 64 des Schlittens 30 befestigt sind, um die Vorwärtsbewegung der Linsen 28, 29 zu stoppen. Die Anschlagstifte 134 erzeugen ei­ ne bekannte Positionsbeziehung zwischen den drei Linsen 27, 28, 29, wenn die zweite und die dritte Linse 28, 29 an ihnen anliegen.
Die Strahldehnungsvorrichtung 24 enthält ferner einen Arm 136 zum Eingriff mit einem Stift 137, der seitlich von jeder Lin­ senfassung 118 der zweiten und der dritten Linse 28, 29 ab­ steht. Der Arm 136 erstreckt sich neben dem Schlitten 30 in dessen Längsrichtung und ist mit seinem hinteren Ende 138 an dem Rahmen 22 der Abbildungseinrichtung 10 schwenkbar befe­ stigt. Eine Feder 139 drückt den Arm 136 von dem Schlitten 30 nach außen. Ein Pneumatikzylinder 140 ist an dem Rahmen 22 der Abbildungseinrichtung 10 senkrecht zu dem Arm 136 befe­ stigt, so daß er den Arm nach innen drücken kann. Der Arm 136 hat eine vordere Öffnung 142 am freien Ende 144 zum Eingriff mit den Stiften 137. Die vordere Öffnung 142 ist größer als der Querschnitt der Stifte 137, um einen sicheren Eingriff mit ihnen zu gewährleisten. Der Arm 136 hat ferne eine läng­ liche Öffnung 146 nahe der kleineren vorderen Öffnung 142, um den Stift 137 der zweiten Linse 128 aufzunehmen, wenn die vordere Öffnung 142 mit dem Stift 137 der dritten Linse 29 in Eingriff kommt. Der Vorteil der länglichen Öffnung 146 be­ steht darin, daß ein einziger Arm 136 mit beiden Stiften 137 der Linsenfassungen in Eingriff kommen kann, ohne den Stift der zweiten Linse 28 zu stören.
Die Temperatur im Fotoplotter 10 ändert sich in einem weiten Bereich und beeinflußt die Fokussierung und Vergrößerung der Linsen 27, 28, 29 am Schlitten 30. Zur Kompensation solcher Änderungen ist ein (nicht dargestellter) Temperatursensor wie z. B. ein Bimetallelement an dem Schlitten 30 oder in der Innenkammer im Bereich des Schlittens 30 befestigt. Der Tem­ peratursensor liefert ein Temperatursignal an die Steuerung 19, das zur zusätzlichen Änderung der Position der Linsen 28, 29 am Schlitten 30 benutzt wird, wodurch die Umgebungs­ temperatur in einem weiten Bereich kompensiert werden kann.
Bei der Positionierung der zweiten und der dritten Linse 28, 29 der Strahldehnungsvorrichtung 24 steuert die Steuerung 19 abhängig von einem Linsenpositionsalgorithmus die Betätigung der Luftlager 120, 122 für jede Linse 28, 29, die Bewegung des Schlittens 30 und die Betätigung des Arms 136.
Die gewünschte Position einer jeden Linse 27, 28 und 29 am Schlitten 30 während der Abtastung und die damit zusammenhän­ gende Strahlvergrößerung hängt von den Eigenschaften (Brennweiten) der Linsen und der gewünschten Lichtfleckgröße des Strahls ab. Der Lichtfleckdurchmesser bei 50% Intensität ist etwa gleich dem Abstand (Rasterteilung) zwischen den Abtastzeilen. Ein Bereich von Lichtfleckdurchmessern ist für einen vorgegebenen Auflösungsbereich wie z. B. 1270 bis 3810 Punkte/Inch erforderlich, was eine Strahldehnung mit einem minimalen Dehnbereich von 3 : 1 benötigt. Der Durchmesser des von der Strahldehnungsvorrichtung abgegebenen Strahls ist durch die Größe des eingegebenen Strahls, die Eigenschaften der Linsen (Brennweiten) und die relativen Abstände zwischen den Linsen bestimmt. Wenn die spezifischen Parameter einer jeden Linse 27, 28, 29 wie die Brennweite empirisch bestimmt sind, können die Relativpositionen der drei Linsen berechnet werden, um die relative Vergrößerung der Strahldehnungsvor­ richtung und die Fokusposition des Bildstrahls zu bestimmen.
Der Einfluß einer jeden Linse auf den einfallenden Strahl er­ gibt sich durch die folgenden Übertragungsgleichungen:
t₁ = f₁ + f₂ + (f₁ × f₂ x M) / f₃
t₂ = [f₂ × (M × f₁ - f₁ + t₁)) / (t₁ - f₁ - f₂)
wobei
f₁= erste Brennweite
f₂= zweite Brennweite
f₃= dritte Brennweite
t₁= Abstand zwischen erster und zweiter Linse
t₂= Abstand zwischen zweiter und dritter Linse
M = Vergrößerungsverhältnis (Ausgangsstrahldurchmesser zu Eingangsstrahldurchmesser)
ist.
Gemeinsam können die Reihe von Linsen und ihre jeweiligen Ab­ stände als eine einzige Übertragungsgleichung beschrieben werden. Abhängig von der gewünschten Vergrößerung und der Fo­ kusposition werden die physikalischen Positionen der Linsen 28, 29 relativ zu den Positionen der Anschlagstifte 134 mit der Steuerung 19 berechnet. Die gewünschte Vergrößerung und Fokusposition des optischen Strahls hängt von der Wellenlänge des Lichtes, den Parametern (Dicke) der Übertragungsmedien und der Bildauflösung ab. Die Linsenpositionen können dann für eine diskrete Gruppe von Vergrößerungen und Fokusposi­ tionen berechnet werden, um eine Tabelle zu erzeugen und zu speichern, mit der die Positionierung der Linsen 28, 29 be­ schleunigt werden kann.
Zum Bewegen der Linsen 28, 29 liefert die Steuerung 19 zu­ nächst komprimierte Luft in die Kanäle 129 zum Aktivieren der magnetisch beaufschlagten Luftlager 120, 122 für die zweite und die dritte Linse 28, 29, so daß diese Linsen "schweben" können. Die Konstantkraftfedern 132 drücken die Linsen 28, 29 vorwärts zu den Anschlagstiften 134, wodurch die Linsenposi­ tionen bekannt sind. Die komprimierte Luft wird dann an den Luftlagern 120, 122 beseitigt, wodurch die Linsen 28, 29 ma­ gnetisch in dieser Position stillgesetzt werden. Die Steue­ rung 19 liefert dann ein Antriebssignal an den Linearmotor 42 zum Bewegen des Schlittens 30 in seine Anfangsstellung an der Schiene 38, so daß die vordere Öffnung 142 des Arms 136 auf den Stift 137 der zweiten Linse 28 ausgerichtet ist. Der Pneumatikzylinder 140 wird dann betätigt, um den Arm 136 seitlich nach innen zu bewegen und mit dem Stift 137 der zweiten Linse 28 in der vorderen Öffnung 142 in Eingriff zu bringen. Der Schlitten 30 wird dann vorwärts gesteuert, bis er auf Widerstand trifft und stehenbleibt. Die Steuerung 19 speichert diese Position des Schlittens 30 mit einem von dem Codierer 56 gelieferten Signal, das die relative Anfangsposi­ tion der zweiten Linse 28 angibt. Das Antriebssignal für den Linearmotor 42 wird dann unterbrochen. Das Luftlager 120 der zweiten Linse 28 wird mit Druckluft betätigt. Der Schlitten 30 wird mit der Steuerung 19 aus der relativen Anfangspositi­ on über eine vorbestimmte Strecke bewegt, die von der Tabelle in der Steuerung 19 geliefert wird, während die zweite Linse 28 mit dem Arm 136 in fester Positionsbeziehung zur Schiene 38 gehalten wird. Nach der Bewegung wird die Druckluft an dem Luftlager 122 der zweiten Linse 28 beseitigt, wodurch diese magnetisch fixiert wird. Der Pneumatikzylinder 140 wird dann ausgeschaltet, um den Arm 136 an dem Stift 137 der zweiten Linse 28 freizugeben.
Zum Positionieren der dritten Linse 29 am Schlitten 30 werden die vorstehend beschriebenen Schritte ähnlich ausgeführt. Der Pneumatikzylinder 140 wird betätigt, um den Arm 136 mit dem Stift 137 der dritten Linse 29 in der vorderen Öffnung 142 in Eingriff zu bringen. Der Stift 137 der zweiten Linse 28 sitzt in der länglichen Öffnung 134 des Arms 136. Der Schlitten 30 wird dann vorwärts gesteuert, bis er auf Widerstand trifft und stehenbleibt. Die Steuerung 19 speichert diese Position des Schlittens 30, die die relative Anfangsposition der drit­ ten Linse 29 angibt. Das Luftlager 122 der dritten Linse 29 wird dann mit Druckluft betätigt. Der Schlitten 30 wird durch die Steuerung 19 über eine vorbestimmte Länge bewegt, die sich aus der Tabelle für die erforderliche Lichtfleckgröße des Bildstrahls am Aufzeichnungsträger 18 ergibt. Die Steue­ rung 19 entfernt dann die Druckluft von dem dritten Luftlager 122, wodurch die dritte Linse 29 fixiert wird. Der Pneumatik­ zylinder 140 wird ausgeschaltet und zurückgezogen, wodurch der Arm 136 seitlich nach außen bewegt wird und die dritte Linse 29 freigibt.
In Fig. 11 ist ein vorzugsweises Ausführungsbeispiel des An­ triebssystems und der Strahldehnungsvorrichtung für einen Fo­ toplotter 10 dargestellt. Dem Fachmann ist jedoch geläufig, daß diese Einheiten auch in einem Abbildungssystem 150 ver­ wendet werden können, bei dem ein optischer Strahl am Auf­ zeichnungsträger auf einen Spiegel reflektiert wird, der ihn über die Strahldehnungsvorrichtung auf einen Bildprozessor zur Aufzeichnung des auf dem Aufzeichnungsträger vorhandenen abgetasteten Bildes richtet.
Dem Fachmann ist geläufig, daß das Bewegungssteuersystem und die Strahldehnungsvorrichtung für jede Abbildungseinrichtung verwendet werden können, die eine flache oder eine Außen­ trommelauflage für einen Aufzeichnungsträger hat.
Ferner können anstelle rechtwinkliger Wände des Schlittens, der Schiene und der Linsenfassungen auch andersartig ausge­ richtete Wände ohne Abweichung vom Grundgedanken der Erfin­ dung vorgesehen sein, wenn die Wände den Schlitten an der Schiene halten und die Linsenfassungen am Schlitten in zwei orthogonalen Ebenen gehalten werden.
Ein wesentlicher Vorteil des Antriebssystems der Erfindung besteht in der wesentlich verbesserten Qualität des auf den Aufzeichnungsträger durch Abtastung aufgebrachten Bildes. Wie zuvor beschrieben, hängt die Bildqualität wesentlich von der Genauigkeit der Bewegung des Abtasters längs der Schiene ab. Der Vorteil dieses Antriebssystems besteht darin, daß die ma­ gnetisch beaufschlagten Luftlager eine steife, reibungslose Vorrichtung zur Kopplung des Schlittens mit der Schiene rea­ lisieren, wodurch sich eine stabile Lagerung der Abtastvor­ richtung ergibt. Ferner ermöglicht die reibungslose Kopplung des Schlittens mit der Schiene zusammen mit dem Linearantrieb eine glatte Schlittenbewegung längs der Schiene.

Claims (18)

1. Bewegungseinrichtung für ein Abbildungssystem (10) zum Bewegen eines Drehspiegelmotors (34) und eines Spiegels (32) parallel zur Längsachse einer mit einem Aufzeich­ nungsträger (18) versehenen Abtastfläche, mit einer Steuerung (19) mit Bewegungssteueralgorithmus zum Erzeu­ gen von Motorsteuersignalen zwecks Bewegung eines Schlit­ tens (30) mit vorgegebener Geschwindigkeit, gekennzeich­ net durch eine starre Schiene (38) über die Länge der Ab­ tastfläche parallel zu deren zentraler Längsachse und mit zwei Führungsflächen (40), durch einen Schlitten (30) mit zwei Führungsflächen, die unter einem vorbestimmten Ab­ stand mit den Führungsflächen der Schiene (38) gekoppelt sind, und mit mehreren Magnetelementen (89) in einem vor­ bestimmten Muster an seinen Führungsflächen sowie einer Kanalanordnung (82), die an in einem Muster an den Füh­ rungsflächen des Schlittens (30) angeordneten Austritts­ öffnungen (84) mündet und mit einer Zuführöffnung (86) zum Zuführen von Druckluft verbunden ist, und durch einen Linearmotor (42) zum Bewegen des Schlittens (30) längs der Schiene (38) abhängig von Motorsteuersignalen, der eine Wicklungsanordnung (44) an dem Schlitten (30) und eine Schienenanordnung (46) in fester Position relativ zur Schiene (38) enthält.
2. Bewegungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Führungsflächen (40) der Schiene (38) und die Führungsflächen (72) des Schlittens (30) jeweils rechtwinklig zueinander stehen.
3. Bewegungseinrichtung nach Anspruch 1 und 2, gekennzeich­ net durch ein Motorsteuersystem (48) zum Erzeugen von Treibersignalen für den Linearmotor (42).
4. Bewegungseinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Motortreibersystem (48) eine Servo­ schaltung (52) und einen damit elektrisch verbundenen Servoverstärker (54) zur Abgabe der Motorsteuersignale enthält.
5. Bewegungseinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Motortreibersystem (48) einen Linearco­ dierer (56) an der Schiene (38) enthält, der Positionssi­ gnale des Schlittens (30) an der Schiene (38) der Servo­ schaltung (52) zuführt.
6. Bewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kantendetektor (57) zur Abgabe von Signalen vorgesehen ist, die die Position des Schlittens (30) an einer Kante des Aufzeichnungsträgers (18) melden.
7. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Schlitten (30) mit einer unteren Führungsfläche der Schiene (38) gekop­ pelt ist.
8. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetelemente (89) Seltenerdmetalloxid-Permanentmagnete sind.
9. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetelemente (89) in die Führungsflächen (64, 68) des Schlittens (30) so eingelassen sind, daß ihre Außenflächen in gemeinsamer Ebene mit den Führungsflächen (64, 68) liegen.
10. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetelemente (89) eine vorbestimmte Steifigkeit der Führung zwischen Schiene (38) und Schlitten (30) erzeugen.
11. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Spalt zwischen den Führungsflächen (64, 68) des Schlittens (30) und den Führungsflächen (40) der Schiene (38) etwa 8 Micron breit ist.
12. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Linearmotor (42) mit sinusförmiger Kommutierung betrieben wird.
13. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklungsanord­ nung (44) die Form einer flachen Platte hat.
14. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schienenanord­ nung (46) des Linearmotors (42) einen U-förmigen Kanal (92) mit zueinander parallelen Seitenwänden (98) aus fer­ romagnetischem Material und mehrere Permanentmagnete (100) an diesen Seitenwänden enthält.
15. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schiene (38) aus Granit besteht und an den Führungsflächen (40) mehrere Streifen (102) aus ferromagnetischem Material hat, die den Magnetelementen (89) des Schlittens (30) gegenüber­ stehen, wenn dieser mit der Schiene (38) gekoppelt ist.
16. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckluft der Kanalanordnung des Schlittens (30) mit einem Druck von etwa 80 psi zugeführt wird.
17. Bewegungseinrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Schlitten (30) durch zwei rechtwinklig miteinander verbundene Platten (66, 70) gebildet ist.
18. Abbildungssystem mit einem Strahlgenerator zur Erzeugung eines optischen Strahls, mit einer Abtastfläche (16) mit zentraler Längsachse zur Aufnahme von Aufzeichnungsträ­ gern (18), mit einer Steuerung (19) mit Bewegungssteu­ eralgorithmus zum Erzeugen von Motorsteuersignalen zwecks Bewegung eines Schlittens mit vorbestimmter Geschwindig­ keit, gekennzeichnet durch eine starre Schiene (38) über die Länge der Abtastfläche (16) parallel zur Längsachse der Abtastfläche (16) und mit zwei Führungsflächen (40), durch einen Schlitten (30) mit zwei Führungsflächen (72) unter einem vorbestimmten Abstand zu den Führungsflächen (40) der Schiene (38) und mit mehreren Magnetelementen (89) in einem Muster an den Führungsflächen (72) des Schlittens (30) sowie mit einer Kanalanordnung (82), die an in einem Muster an den Führungsflächen (72) des Schlittens (30) angeordneten Austrittsöffnungen (84) mün­ det und mit einer Zuführöffnung (86) für komprimierte Luft verbunden ist, durch eine Abtastvorrichtung (26) an dem Schlitten (30) zum Reflektieren des optischen Strahls, und durch einen Linearmotor (42) zum Bewegen des Schlittens (30) längs der Schiene (38) abhängig von Mo­ torsteuersignalen, der eine Wicklungsanordnung (44) an dem Schlitten (30) und eine Schienenanordnung (46) in fe­ ster Position relativ zur Schiene (38) enthält.
DE19728233A 1996-07-02 1997-07-02 Magnetisch beaufschlagte Luftlager-Bewegungseinrichtung für eine Abbildungseinrichtung Expired - Fee Related DE19728233C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/674,763 US5821981A (en) 1996-07-02 1996-07-02 Magnetically preloaded air bearing motion system for an imaging device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19728233A1 true DE19728233A1 (de) 1998-01-08
DE19728233C2 DE19728233C2 (de) 2000-01-20

Family

ID=24707797

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19728233A Expired - Fee Related DE19728233C2 (de) 1996-07-02 1997-07-02 Magnetisch beaufschlagte Luftlager-Bewegungseinrichtung für eine Abbildungseinrichtung

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5821981A (de)
JP (1) JPH10181286A (de)
DE (1) DE19728233C2 (de)
FR (1) FR2750777A1 (de)
GB (1) GB2314937A (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10013046A1 (de) * 2000-03-17 2001-09-27 Aerolas Gmbh Linearantrieb
EP2714325A2 (de) * 2011-05-31 2014-04-09 Korea Institute Of Machinery & Materials Aktiv kompensiert stufe mit 5-dof-bewegungsfehlerkompensation und bewegungsfehlerkompensationsverfahren dafür

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5938187A (en) * 1997-04-18 1999-08-17 Gerber Systems Corporation Media feed apparatus for an imaging device
US6042101A (en) * 1997-06-03 2000-03-28 Gerber Systems Corporation Automated media transport device and method of using the same
DE50008462D1 (de) * 1999-03-19 2004-12-09 Infineon Technologies Ag Vorrichtung zum Haltern eines Teils und Anwendung der Vorrichtung
DE10122484A1 (de) 2001-05-09 2002-11-28 Heidelberger Druckmasch Ag Verfahren und Vorrichtung zur Belichtung von Druckformen
US7978307B2 (en) * 2006-05-04 2011-07-12 Asml Netherlands B.V. Gas bearing, and lithographic apparatus provided with such a bearing

Family Cites Families (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE630212A (de) * 1962-03-28
US3739088A (en) * 1971-05-20 1973-06-12 Perkin Elmer Corp Printing plate production method and apparatus
US3816659A (en) * 1972-10-13 1974-06-11 Perkin Elmer Corp Scanning apparatus
DE2309750B2 (de) * 1973-02-27 1976-08-05 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zum antrieb von schreiboder druckerwagen in datenschreibern
NL7302941A (de) * 1973-03-02 1974-09-04
US4028732A (en) * 1973-03-02 1977-06-07 Lucien Salter Apparatus and method for display of images
US3857031A (en) * 1973-10-15 1974-12-24 Nasa Automatic focus control for facsimile cameras
US4064205A (en) * 1974-07-02 1977-12-20 Logetronics, Inc. Method for making a printing plate from a porous substrate
US3938191A (en) * 1974-08-21 1976-02-10 The Singer Company Rotary data base with air bearing
US4131916A (en) * 1975-12-31 1978-12-26 Logetronics, Inc. Pneumatically actuated image scanning reader/writer
JPS5412833A (en) * 1977-06-30 1979-01-30 Ricoh Co Ltd Oscillating mirror driving device
US4209239A (en) * 1977-09-14 1980-06-24 The Gerber Scientific Instrument Company Plotting apparatus having an adjustable plotting head
US4221995A (en) * 1978-07-24 1980-09-09 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Linear motor drive system for continuous-path closed-loop position control of an object
JPS55137770A (en) * 1979-04-16 1980-10-27 Ricoh Co Ltd Facsimile unit
GB2049300A (en) * 1979-04-19 1980-12-17 Pioneer Electronic Corp Linear motor drive system for driving linear tracking system
JPS55166496A (en) * 1979-06-08 1980-12-25 Canon Inc Linear motor control method
FR2474221A1 (fr) * 1980-01-23 1981-07-24 Thomson Csf Dispositif optique d'enregistrement-lecture de supports d'information et systeme de memoire optique comportant un tel systeme
US4445798A (en) * 1980-02-15 1984-05-01 Nippon Electric Co., Ltd. Serial printer with a linear motor printer carriage
FR2488353A1 (fr) * 1980-08-07 1982-02-12 Cermo Dispositif hydrostatique de support
DE3042497A1 (de) * 1980-11-11 1982-07-29 Magnet Bahn Gmbh Elektrischer antrieb oder generator
US4666315A (en) * 1981-06-12 1987-05-19 International Business Machines Corporation Planar and cylindrical oscillating pneumatodynamic bearings
US4417330A (en) * 1981-10-15 1983-11-22 Burroughs Corporation Optical memory system providing improved focusing control
US4494226A (en) * 1981-10-15 1985-01-15 Burroughs Corporation Three beam optical memory system
US4443870A (en) * 1981-10-15 1984-04-17 Burroughs Corporation Optical memory system providing track following
US4402061A (en) * 1981-10-15 1983-08-30 Burroughs Corporation Preformatted optical media for use in an optical memory system
DE3144120A1 (de) * 1981-11-06 1983-05-19 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Schlittenmikrotom
US4432082A (en) * 1982-02-17 1984-02-14 Burroughs Corporation Optical memory system having a long seek capability
US4435797A (en) * 1982-02-17 1984-03-06 Burroughs Corporation Optical memory system having track following and seeking capabilities
US4432083A (en) * 1982-02-17 1984-02-14 Burroughs Corporation Optical memory system having track following
US4489406A (en) * 1982-02-17 1984-12-18 Burroughs Corporation Optical memory system having a short seek capability
US4409624A (en) * 1982-03-31 1983-10-11 Xerox Corporation Raster scanning apparatus
LU84183A1 (fr) * 1982-06-04 1984-03-07 Digitized Information Systems Appareil a balayage automatique pour traitement photomecanique et procede de controle et de regulation dudit balayage
US4631432A (en) * 1982-06-21 1986-12-23 Image Communications, Inc. Linear motor facsimile machine
US4476496A (en) * 1982-06-21 1984-10-09 Image Communications Inc. Linear motor facsimile machine
JPS5978533A (ja) * 1982-10-27 1984-05-07 Canon Inc 露光装置
US4585331A (en) * 1984-08-20 1986-04-29 Xerox Corporation Optical scanning system utilizing linear drive motors
US4704712A (en) * 1985-06-24 1987-11-03 Rca Corporation Low-friction slide apparatus for optical disc translation stage
US4834353A (en) * 1987-10-19 1989-05-30 Anwar Chitayat Linear motor with magnetic bearing preload
US4985651A (en) * 1987-10-19 1991-01-15 Anwar Chitayat Linear motor with magnetic bearing preload
US4851656A (en) * 1988-01-11 1989-07-25 The Gerber Scientific Instrument Company Method and apparatus for enhancing optical photoplotter accuracy
US4798478A (en) * 1988-02-16 1989-01-17 Nicolet Instrument Corporation Self-aligning fluid bearing
US4933687A (en) * 1988-10-03 1990-06-12 Cirrus Technology Inc. Laser-actuated digital imaging system
JP2761744B2 (ja) * 1988-12-01 1998-06-04 旭光学工業株式会社 走査式描画装置のポリゴンミラー分割面倒れに基づく走査ビーム補正装置
JP2678485B2 (ja) * 1988-12-01 1997-11-17 旭光学工業株式会社 走査式描画装置の描画面調整機構
DE3939551A1 (de) * 1989-11-30 1991-06-06 Linotype Ag Optisches positionierungssystem fuer mindestens einen bildpunkt
US5228358A (en) * 1990-02-21 1993-07-20 Canon Kabushiki Kaisha Motion guiding device
US5098203A (en) * 1991-03-11 1992-03-24 Contraves Goerz Corporation Bearing system
US5291392A (en) * 1992-02-19 1994-03-01 Gerber Systems Corporation Method and apparatus for enhancing the accuracy of scanner systems
US5619246A (en) * 1993-09-07 1997-04-08 Gerber Systems Corporation Apparatus and method of positioning photosensitive media on an exposure platen
JP3800616B2 (ja) * 1994-06-27 2006-07-26 株式会社ニコン 目標物移動装置、位置決め装置及び可動ステージ装置
JPH0872353A (ja) * 1994-09-06 1996-03-19 Fujitsu Ltd ドットラインプリンタのシャトル機構
GB2293460B (en) * 1994-09-23 1997-01-08 Gerber Systems Corp Dual scan spinner for use in scanner systems

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10013046A1 (de) * 2000-03-17 2001-09-27 Aerolas Gmbh Linearantrieb
EP2714325A2 (de) * 2011-05-31 2014-04-09 Korea Institute Of Machinery & Materials Aktiv kompensiert stufe mit 5-dof-bewegungsfehlerkompensation und bewegungsfehlerkompensationsverfahren dafür
EP2714325A4 (de) * 2011-05-31 2014-11-12 Korea Mach & Materials Inst Aktiv kompensiert stufe mit 5-dof-bewegungsfehlerkompensation und bewegungsfehlerkompensationsverfahren dafür
US9079279B2 (en) 2011-05-31 2015-07-14 Korea Institute Of Machinery & Materials Actively compensated stage having 5-DOF motion error compensation and motion error compensating method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10181286A (ja) 1998-07-07
GB9713866D0 (en) 1997-09-03
FR2750777A1 (fr) 1998-01-09
US5821981A (en) 1998-10-13
GB2314937A (en) 1998-01-14
DE19728233C2 (de) 2000-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0173849B1 (de) Laserstrahl-Lithograph
DE69717975T2 (de) In zwei richtungen ausgewogenes positioniergerät, sowie lithographisches gerät mit einem solchen positioniergerät
DE69302172T2 (de) Verfahren und einrichtung zum halten eines dünnen mediums zwischen zwei körpern
DE19728232A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Dehnen eines optischen Strahls in einem Abbildungssystem
DE60221180T2 (de) Lithographischer Apparat
DE10219514A1 (de) Beleuchtungssystem, insbesondere für die EUV-Lithographie
DE10031915A1 (de) Kompakte Mehrstrahllaserlichtquelle und Interleafrasterscanlinien-Verfahren zur Belichtung von Druckplatten
DE3687372T2 (de) Abtastanordnung.
EP0746800B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur photomechanischen herstellung strukturierter oberflächen, insbesondere zum belichten von offsetdruckplatten
DE69129509T2 (de) Filmbelichtungsapparat und Belichtungsverfahren unter Verwendung dieses Apparates
DE68911084T2 (de) Sequenzvorrichtung zur Bildung von Schaltkreisen.
DE19728233C2 (de) Magnetisch beaufschlagte Luftlager-Bewegungseinrichtung für eine Abbildungseinrichtung
DE19817131A1 (de) Mehrfach-Abtastsystem für eine Abbildungseinrichtung
DE19716240C2 (de) Fotoplott-Verfahren und Anordnung zur Aufzeichnung eines computergespeicherten Rasterbildes auf einen ebenen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger
EP0950212B1 (de) Verfahren zur ansteuerung einer belichtungsvorrichtung
DE602004011705T2 (de) Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und damit erzeugte Vorrichtung
DE19728200C2 (de) Abbildungssystem
DE2411508C2 (de) Vorrichtung zum Erzeugen von Masken für Mikroschaltkreise
DE19728201B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen eines Lichtstrahls in einer Abbildungsvorrichtung
DE19817132A1 (de) Transportvorrichtung für eine Abbildungseinrichtung
DE4007716C2 (de)
DE2460914C2 (de) Photolithographische Projektionsvorrichtung
DE60304373T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Abnehmen von Druckplatten unterschiedlicher Grössen
DE602004011724T2 (de) Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
DE69900708T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen einer Belastungskraft für die Druckkopfeinstellung mittels Magneten

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee