DE19719373C1 - Laserbearbeitungskopf mit Kühlvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Laserbearbeitungskopf mit einem Düsen­ körper, entlang dessen Zentralachse ein Laserstrahl führbar ist, der an der Spitze des Düsenkörpers austritt, um ein Werkstück bearbeiten zu können.

Ein derartiger Laserbearbeitungskopf ist bereits aus der DE 41 33 198 C3 bekannt. Bei ihm wird eine an der Spitze des Düsenkörpers angeordnete Sensorelektrode bei der Bearbeitung des Werkstücks mittels eines Laser­ strahls sehr stark der vom Werkstück zurückkommenden Strahlung aus­ gesetzt, was zu einer Beschädigung der Sensorelektrode führen kann, ins­ besondere bei hoher Laserleistung.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Laserbearbeitungskopf der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß die Gefahr einer Beschädi­ gung seines Spitzenbereichs durch vom Werkstück zurückkommende Strahlung verringert wird, wobei gleichzeitig der Laserbearbeitungskopf in seinem Spitzenbereich vergleichsweise schlank bleiben soll.

Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patent­ anspruchs 1 angegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Ein Laserbearbeitungskopf nach der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß der Düsenkörper eine Flüssigkeitskammer aufweist, die zum Teil mit einer leicht verdampfbaren Flüssigkeit gefüllt und bis in den Bereich seiner Spitze geführt ist.

Erwärmt sich durch vom Werkstück zurückkommende Strahlung die Spitze des Düsenkörpers oder eine dort angeordnete Sensoreinrichtung, so wird von dieser Wärme auf die in der Flüssigkeitskammer befindliche, leicht verdampfbare Flüssigkeit übertragen, wodurch diese Flüssigkeit verdampft. Die Wärmeübertragung ist relativ groß, da die Flüssigkeits­ kammer bis in die unmittelbare Nachbarschaft der Düsenspitze bzw. der Sensoreinrichtung geführt ist. Die in der Flüssigkeitskammer auf diese Weise verdampfte Flüssigkeit wird dabei durch Zirkulation in einen anderen Bereich der Flüssigkeitskammer transportiert, in dem eine niedrigere Umgebungstemperatur herrscht, um dort wieder zu kondensieren. Dabei ist die Flüssigkeitskammer hermetisch abgeschlos­ sen, so daß weder Flüssigkeit noch verdampfte Flüssigkeit entweichen können.

Bei der leicht verdampfbaren Flüssigkeit kann es sich um irgendeine ge­ eignete Flüssigkeit handeln, beispielsweise um destilliertes Wasser oder um fluorierte Spezialflüssigkeiten.

Nach einer sehr vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung befindet sich an einem der Spitze des Düsenkörpers abgewandten Ende der Flüssig­ keitskammer eine Kühlvorrichtung. Durch diese Kühlvorrichtung wird das genannte Ende der Flüssigkeitskammer auf relativ niedriger Tempera­ tur gehalten, um somit für ein vollständiges Kondensieren der verdampf­ ten Flüssigkeit sorgen zu können. Die Kühlwirkung der gesamten Anord­ nung kann dadurch noch weiter verbessert werden.

Dabei kann die Kühlvorrichtung einerseits an den Außenseiten der Flüs­ sigkeitskammer vorhanden sein, kann sich vorteilhafterweise aber auch innerhalb der Flüssigkeitskammer befinden, um den Kühlwirkungsgrad noch weiter zu erhöhen.

Vorteilhafterweise kann dabei die Kühlvorrichtung als Rohrleitungssy­ stem ausgebildet sein, durch das ein Kühlmedium hindurchführbar ist. Das Rohrleitungssystem kann also an der Außenwandung der Flüssig­ keitskammer entlanggeführt sein oder im Innern der Flüssigkeitskammer verlaufen. z. B. wendelartig. Dabei kann als Kühlmedium eine Kühlflüs­ sigkeit zum Einsatz kommen, z. B. Wasser, destilliertes Wasser, oder der­ gleichen. Möglich ist aber auch die Verwendung eines Kühlgases als Kühl­ medium. Hier könnte z. B. Preßluft zum Einsatz kommen.

Nach einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung erstreckt sich die Flüssigkeitskammer für die leicht verdampfbare Kühlflüssigkeit in Längsrichtung des Düsenkörpers. Üblicherweise steht die Längsrich­ tung des Düsenkörpers vertikal, so daß auf diese Weise eine gute Zirkula­ tion der in der Kühlkammer vorhandenen Kühlflüssigkeit erhalten wird, wenn diese verdampft und wieder kondensiert.

Dabei kann die Flüssigkeitskammer innerhalb der Wand des Kühlkörpers liegen, um nach wie vor eine schlanke Ausbildung des gesamten Laserbe­ arbeitungskopfs zu gestatten. Um eine möglichst große Kühlwirkung zu erzielen, kann die Flüssigkeitskammer konzentrisch zur Längsachse des Düsenkörpers liegen, also als konzentrische Kühlkammer ausgebildet sein. Sie liegt dann zwischen zwei konzentrischen Enden des Düsenkör­ pers, die unter einem vorbestimmten Abstand zueinander gehalten sind. Am eingangsseitigen und spitzenseitigen Ende des Düsenkörpers sind die genannten Wände dann gas- und flüssigkeitsdicht miteinander verbun­ den.

Beim Düsenkörper kann es sich um einen solchen mit oder ohne Sensor­ einrichtung handeln. Sie kann z. B. zur Messung eines Abstands zwischen ihr und dem zu bearbeitenden Werkstück verwendet werden. Dabei liegt sie koaxial zur Zentralachse des Düsenkörpers. Die Sensoreinrichtung ist dabei so in den Düsenkörper einsetzbar, daß die Flüssigkeitskammer die Sensoreinrichtung wenigstens bereichsweise konzentrisch umgibt. Hier­ durch ergibt sich eine effektive Kühlung der Sensoreinrichtung. Dabei kann die Sensoreinrichtung als Metalldüse ausgebildet sein, an die ein Sensorpotential anlegbar ist. In diesem Fall wird der Abstand zwischen der Sensoreinrichtung und dem Werkstück auf kapazitivem Wege gemessen. Die Metalldüse kann dabei gegenüber dem Düsenkörper elektrisch isoliert sein, z. B. durch eine geeignete dünne Oberflächenbeschichtung, oder es kann der Düsenkörper zweigeteilt sein, wie dies aus der DE 41 33 198 C3 bekannt ist. Dann steht die Metalldüse elektrisch in Kontakt mit dem Spit­ zenbereich des Düsenkörpers, der gegenüber seinem verbleibenden obe­ ren Bereich elektrisch isoliert ist. Das Sensorpotential wird dann an den Spitzenbereich des Düsenkörpers gelegt. Spitzenbereich und verbleiben­ der Bereich des Düsenkörpers sind durch eine Isolationsbeschichtung gegeneinander elektrisch isoliert, jedoch fest miteinander verbunden, wo­ bei sich durch diese Isolationsschicht hindurch die Flüssigkeitskammer erstreckt. In diesem Fall muß eine elektrisch nicht leitende Kühlflüssig­ keit innerhalb der Flüssigkeitskammer zum Einsatz kommen, um keinen Kurzschluß zwischen den beiden Bereichen des Düsenkörpers zu erzeu­ gen, da im Gegensatz zum Spitzenbereich des Düsenkörpers der verblei­ bende obere Bereich auf Schirmpotential liegt.

Die Sensoreinrichtung kann aber auch als induktive Sensoreinrichtung ausgebildet sein. Hier kann es sich z. B. um einen Hohlzylinder handeln, in dessen Umfangswandbereich eine konzentrisch zur Zylinderachse liegen­ de Spulenanordnung untergebracht ist. Jetzt läßt sich der Abstand zwi­ schen der Sensoreinrichtung und dem Werkstück auf induktivem Wege er­ mitteln. Ist der Hohlzylinder der Sensoreinrichtung aus Metall, so läßt sie sich besonders effektiv kühlen, da jetzt ein sehr guter Wärmeübergang in Richtung zur Kühlflüssigkeit möglich ist.

Die Zeichnung stellt Ausführungsbeispiele der Erfindung dar. Es zeigen:

Fig. 1 einen Axialschnitt durch eine Düse nach einem erstem Ausfüh­ rungsbeispiel und

Fig. 2 einen Axialschnitt durch eine Düse nach einem zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel.

Eine Düse 1 nach Fig. 1 weist einen Düsenkörper 2 auf, zu dem ein Spit­ zenbereich 3 und ein verbleibender hinterer Bereich 4 des Düsenkörpers 2 gehören. Der Düsenkörper 2 ist konusförmig ausgebildet, und zwar außen wie auch innen. Lediglich das freie Ende des Spitzenbereichs 3 weist einen hohlzylinderförmigen Verlauf auf, so daß ein im Innern des Düsenkörpers 2 vorhandener Düsenkanal 5 sich zur Spitze der Düse 1 hin konisch ver­ jüngt und schließlich in einen zylindrischen Kanal 5a übergeht.

Der Spitzenbereich 3 und der verbleibende Bereich 4 des Düsenkörpers 2 sind, wie die Fig. 1 erkennen läßt, passend aufeinander gesetzt und fest miteinander verbunden, wobei sie gegeneinander elektrisch isoliert sind, so daß keine elektrisch leitende Verbindung zwischen ihnen vorhanden ist.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel besteht der verbleibende Bereich 4 des Düsenkörpers 2 aus Aluminium, das oberflächeneloxiert ist. Diese Eloxalschicht bildet die elektrische Isolation zwischen dem verbleibenden Bereich 4 und dem Spitzenbereich 3. Der Spitzenbereich 3 ist aus Messing hergestellt. Beide Teile 3 und 4 sind, wie bereits erwähnt, fest miteinander verbunden. z. B. verklebt, wobei zu diesem Zweck eine sehr dünne Schicht eines Keramik-Klebers besonders vorteilhaft ist, da der Keramik-Kleber temperaturstabil ist und zusätzlich elektrisch isolierend wirkt.

Der Düsenkörper 2 ist in einem hülsenförmigen Element 6 gelagert, und zwar zentriert zu diesem. Dabei liegt der verbleibende Bereich 4 mit einer Schulter 7 auf einem Ansatz 8 des hülsenförmigen Elements 6 (Hülse). Ein Kopfteil 9 mit Innenkonus und Außengewinde ist in den oberen Bereich des hülsenförmigen Elements 6 hineingeschraubt und drückt die Schulter 7 gegen den Ansatz 8.

Das hülsenförmigen Element 6 besteht z. B. aus Aluminium und steht mit dem verbleibenden Bereich 4 des Düsenkörpers 2 in elektrischem Kontakt. An beiden Elementen 4 und 6 kommt Schirmpotential zu liegen, und zwar über die Schirmleitung eines Steckers, der Aufnahme in einer Stecker­ buchse 10 findet, die am äußeren Umfangsrand des hülsenförmigen Ele­ ments 6 angebracht ist. Eine Signalleitung 11 der Steckerbuchse 10 ist mit dem Spitzenbereich 3 des Düsenkörpers 2 elektrisch verbunden. Die Signalleitung 11 verläuft im Raum zwischen den Elementen 4 und 6.

Das o. g. Schirmpotential kann dadurch erzeugt werden, daß das Sensor­ signal über einen Verstärker mit einem Verstärkungsgrad V = 1 oder etwas größer oder kleiner geleitet wird.

Wie bereits erwähnt, weist der Spitzenbereich 3 einen zylindrischen Kanal 5a auf, in welchem sich ein Innengewinde 12 befindet. In dieses Innenge­ winde 12 ist mit einem entsprechenden Außengewinde eine Düsenelektro­ de 13 hineingeschraubt, die in elektrischem Kontakt mit dem Spitzenbe­ reich 3 steht. Die Düsenelektrode 13 ist aus elektrisch leitendem Material hergestellt, beispielsweise aus Kupfer, und weist vorwiegend eine keglige Form auf. Sie kann außen aber auch zylindrisch ausgebildet sein. Der In­ nenkanal 13a der Düsenelektrode 13 ist so gewählt, daß er den Kanal 5 praktisch bis zur Spitze der Düsenelektrode 13 keglig fortsetzt.

Das hülsenförmige Element 6, das zur Abschirmung des Düsenkörpers 2 dient, erstreckt sich praktisch bis zur Stirnseite des Spitzenbereichs 3 und weist dort ebenfalls einen zylindrischen Kanal auf, in welchem sich ein Innengewinde 14 befindet. In dieses Innengewinde 14 ist mit einem entsprechenden Außengewinde eine Schirmhülse 15 hineingeschraubt, die den Spitzenbereich 3 nach vorn überragt und teilweise auch noch einen Fußteil der Düsenelektrode 13 umfangsseitig umgreift. Die Schirmhülse 15 steht direkt in elektrischem Kontakt mit dem hülsenförmigen Element 6, so daß auch sie auf Schirmpotential zu liegen kommt. Durch sie wird praktisch der obere Teil der Düsenelektrode 13 mit abgeschirmt. Genauer gesagt kommt der Gewindebereich der Schirmhülse 15 zwischen hülsen­ förmigem Element 6 und Spitzenbereich 3 zu liegen, wobei sich die Schirm­ hülse 15 weiter über den stirnseitigen Randbereich des Spitzenbereichs 3 hinaus erstreckt.

Vorzugsweise ist die Schirmhülse mit einer elektrisch isolierenden Ober­ flächenbeschichtung versehen, ausgenommen in ihrem Gewindeab­ schnitt, da dort eine elektrisch leitende Verbindung zum hülsenförmigen Element 6 hergestellt werden muß. Die Oberflächenbeschichtung kann beispielsweise eine Oxidschicht bzw. Eloxalschicht sein, wenn die Schirm­ hülse 15 aus einem entsprechenden Material hergestellt ist. Ansonsten ist sie gegenüber dem Spitzenbereich 3 und der Düsenelektrode 13 elektrisch isoliert, so daß es auch möglich ist, einen mechanischen Kontakt zwischen diesen Elementen herzustellen, um eine konstruktive Versteifung im Be­ reich der Düsenspitze zu erhalten.

Die Düsenelektrode 13 ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel mit einem Umfangswulst 13b versehen, der den stirnseitigen Bereich der Schirmhül­ se 15 abdeckt und somit vor Metallspritzern schützt, die u. U. beim Bear­ beiten des Werkstücks. z. B. beim Schweißen, entstehen. Das Werkstück ist mit dem Bezugszeichen W versehen. Insbesondere wird durch den Um­ fangswulst 13b verhindert, daß derartige Metallspritzer in den Bereich zwischen Düsenelektrode 13 und Schirmhülse 15 eintreten und dort Be­ schädigungen verursachen können. Da die Schirmhülse 15 eine elektrisch isolierende Oberflächenbeschichtung trägt, können Metallspritzer im Be­ reich zwischen Schirmhülse 15 und Düsenelektrode 13 praktisch nicht zu Kurzschlüssen führen.

Die Düsenelektrode 13 läßt sich aus dem Spitzenbereich 3 in einfacher Weise herausschrauben, ohne daß dazu weitere Teile gelöst werden müs­ sen. Sie kann somit leicht gegen eine andere ausgetauscht werden. Sollte in diesem Zusammenhang eine Anpassung der Geometrie der Schirmhülse 15 erforderlich sein, so läßt sich die Schirmhülse 15 ebenfalls leicht vom hülsenförmigen Element 6 abschrauben und durch eine geeignete andere ersetzen. Schirmhülse 15 und Düsenelektrode 13 lassen sich somit sehr schnell austauschen, was zu einer besseren Verfügbarkeit der Düse führt. Die Schirmhülse 15 kann die Düsenelektrode 13 aber auch über einen grö­ ßeren Bereich oder umfangsseitig vollständig abdecken, falls dies ge­ wünscht ist.

Der Düsenkörper 2 nach der Erfindung weist in seiner Umfangswandung eine Flüssigkeitskammer 16 auf. Diese Flüssigkeitskammer 16 befindet sich sowohl im Spitzenbereich 3 des Düsenkörpers 2 als auch in dessen verbleibenden Bereich 4. Dabei liegt die Flüssigkeitskammer 16 koaxial zur Längsachse A des Düsenkörpers 2, in deren Richtung auch der Laser­ strahl L verläuft. Gebildet wird die Flüssigkeitskammer 16 durch im Ab­ stand voneinander liegende Wandbereiche 4a, 4b des verbleibenden Be­ reichs 4 des Düsenkörpers 2 sowie durch im Abstand voneinander liegende Wandbereiche 3a, 3b seines Spitzenbereichs. Dabei erstreckt sich die Flüssigkeitskammer 16 vom strahleingangsseitigen Ende des Düsenkör­ pers 2 bis herab in dessen Spitzenbereich und dort bis zur Stirnseite hin­ unter, so daß dieser stirnseitige Bereich der Flüssigkeitskammer 16 den oberen Teil der Düsenelektrode 13 im Abstand konzentrisch umgibt. Die Flüssigkeitskammer 16 kann dadurch erhalten werden, daß am oberen Ende die Wände 4a, 4b und am unteren Ende des Düsenkörpers 2 die Wän­ de 3a, 3b gas- und flüssigkeitsdicht miteinander verbunden werden. Mit anderen Worten bilden die Wände 3a, 4a einen Innenkonus und Wände 3b, 4b einen dazu im Abstand liegenden Außenkonus. Dabei erstreckt sich die Flüssigkeitskammer 16 auch über den Verbindungsbereich zwischen dem Spitzenbereich 3 und dem verbleibenden Bereich 4 des Düsenkörpers 2 hinweg. Auch in diesem Verbindungsbereich der Bauteile 3 und 4 liegt nach außen hin eine gas- und flüssigkeitsdichte Verbindung vor, so daß eine Kühlflüssigkeit, die sich innerhalb der Flüssigkeitskammer 16 befin­ det, auch in diesem Bereich nicht aus der Flüssigkeitskammer 16 austre­ ten kann. Die Flüssigkeitskammer 16 ist somit hermetisch gas- und flüs­ sigkeitsdicht verschlossen.

Bei der in der Flüssigkeitskammer 16 vorhandenen Kühlflüssigkeit kann es sich um eine solche handeln, die einen im Vergleich zu an der Spitze des Düsenkörpers 2 auftretenden Temperaturen niedrigen Siedepunkt auf­ weist. Die der Düsenelektrode 13 von außen zugeführte Wärme muß somit in der Lage sein, die innerhalb der Flüssigkeitskammer 16 vorhandene Flüssigkeit verdampfen zu können. Diese Kühlflüssigkeit kann u. U. de­ stilliertes Wasser sein, kann aber auch einen noch niedrigen Siedepunkt aufweisen.

Wie die Fig. 1 verdeutlicht, verläuft die Flüssigkeitskammer 16 am strahlausgangsseitigen Ende des Düsenkörpers 2 über eine gewisse Strecke in Längsrichtung der Achse A konzentrisch mit demselben Radius um diese herum. In diesem Bereich trägt die Innenwand 3a das Innenge­ winde 12. Da in dieses Innengewinde 12 die Düsenelektrode 13 hineinge­ schraubt wird, wird eine gute wärmeleitende Verbindung zwischen Düsen­ elektrode 13 und Spitzenbereich 3 erhalten, da beide Bauteile aus Metall bestehen. Wärme von der Düsenelektrode 13 kann somit wirksam auf die in der Flüssigkeitskammer 16 vorhandene Flüssigkeit übertragen werden, die sich bei vertikaler Ausrichtung des Düsenkörpers 2 im unteren Bereich der Flüssigkeitskammer 16 sammelt. Wird diese Flüssigkeit erwärmt, so verdampft sie und steigt nach oben in Richtung zum strahleingangsseiti­ gen Ende des Düsenkörpers 2. Dort ist die Flüssigkeitskammer 16 etwas dicker ausgebildet, um eine Kühleinrichtung 17 aufnehmen zu können. Durch diese Kühleinrichtung 17 wird die verdampfte Flüssigkeit abge­ kühlt, so daß sie kondensieren und zum spitzenseitigen Bereich der Flüs­ sigkeitskammer 16 zurückströmen kann.

Die Kühleinrichtung 17 wird dadurch erhalten, daß ein gut wärmeleiten­ des Rohr wendelförmig geformt und zwischen den Wänden 4a, 4b im obe­ ren Bereich des verbleibenden Bereichs 4 des Düsenkörpers 2 angeordnet wird, also innerhalb der Flüssigkeitskammer 16. Das wendelförmige Rohr trägt das Bezugszeichen 18. Über einen Einlaß 19 und einen Auslaß 20 werden entweder ein Kühlgas oder eine Kühlflüssigkeit durch das Rohr 18 hindurchgeleitet. Beide Rohrenden 19, 20 sind dabei gas- und flüssig­ keitsdicht durch die Wand 4b hindurchgeführt und laufen auch durch eine Öffnung 21 der Hülse 6 nach außen. Bei dem Rohr 18 kann es sich z. B. um ein sehr dünnes Kupferrohr handeln.

Ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Fig. 2 darge­ stellt. Hier sind gleiche Elemente mit den gleichen Bezugszeichen verse­ hen und werden nicht nochmals beschrieben.

Im Unterschied zum Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 ist hier der Düsen­ körper 2 nicht in einen Spitzenbereich und in einen verbleibenden Bereich unterteilt. Diese Flüssigkeitskammer 16 wird daher lediglich durch die Wände 2a und 2b des Düsenkörpers 2 begrenzt, die sich durchgehend von oben nach unten erstrecken.

Wie die Fig. 2 erkennen läßt, ist in die Spitze des Düsenkörpers 2 ein z. B. aus Metall bestehender Hohlzylinder 22 eingeschraubt, dessen Außenge­ winde auf dem Innengewinde 12 sitzt. Der Hohlzylinder 22 weist einen Durchgangskanal 23 auf, durch den der Laserstrahl L hindurchtritt und auf das Werkstück W auftrifft. Am spitzenseitigen Ende des Hohlzylinders 22 ist in dessen- seitlichen Wandbereich eine konzentrisch zur Zylin­ derachse liegende Spulenanordnung untergebracht. Diese Spulenanord­ nung trägt das Bezugszeichen 24. Sie kann aus einer oder mehreren elek­ trisch isolierten Ringspulenbestehen, die konzentrisch zur Achse A liegen und gegenüber dem Hohlzylinder 22 elektrisch isoliert sind. Ein stirnseiti­ ger Flanschbereich 25 schützt die Spulenanordnung 24 zum stirnseitigen Ende hin gegen Metallspritzer vom Werkstück W, usw. Elektrische Versor­ gungsleitungen 26 für die Spulenanordnung 24 sind gas- und flüssigkeits­ dicht durch die Wände 2a, 2b hindurchgeführt und mit dem dann in ge­ eigneter Weise ausgebildeten Stecker 10 verbunden.

Erwärmt sich der Hohlzylinder 22 bei der Bearbeitung des Werkstücks W infolge von vom Werkstück W kommender Strahlung, so wird von ihm die Wärme über die Innenwand 2a des Düsenkörpers 2 zur Flüssigkeit über­ tragen, die sich im Innern der Flüssigkeitskammer 16 befindet, und zwar in deren unteren Bereich bei Vertikalstellung des Laserbearbeitungskopfs 1. Die in der Flüssigkeitskammer 16 vorhandene Flüssigkeit verdampft dann und steigt nach oben in Richtung zur Kühleinrichtung 17, wo sie wie­ der abkühlt und kondensiert, um anschließend ins untere Ende der Kam­ mer 16 zurückzuströmen. Auf diese Weise wird eine wirksame Kühlung der an der Spitze des Düsenkörpers 2 befindlichen Sensoreinrichtung er­ reicht.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 kann die induktive Sensoreinrich­ tung zur Abstandsmessung auch durch eine kapazitive Sensoreinrichtung zur Abstandsmessung ersetzt werden, also durch die Sensorelektrode 13 von Fig. 1. In diesem Fall könnte die Sensorelektrode 13 durch eine elek­ trisch isolierende Oberflächenbeschichtung im Bereich des Schraubge­ windes gegenüber dem Innenkonus 2a des Düsenkörpers 2 isoliert wer­ den. Das Meßpotential zur Sensorelektrode 13 müßte dann über eine ge­ eignet verlegte Leitung 11 zur Steckerbuchse 10 geführt werden. Diese Lei­ tung 11 könnte dabei gas- und flüssigkeitsdicht durch die Wandung des Düsenkörpers 2 hindurchgeführt werden, wie dies bei der Leitung 26 der Fall ist.

Selbstverständlich ist es auch möglich, den Düsenkörper 2 ohne Sensor­ einrichtung zu verwenden. In diesem Fall wird nur sein Spitzenbereich wirksam gekühlt.

Claims (13)

1. Laserbearbeitungskopf mit einem Düsenkörper (2), entlang dessen Zentralachse (A) ein Laserstrahl (L) führbar ist, der an der Spitze des Dü­ senkörpers (2) austritt, um ein Werkstück (W) bearbeiten zu können, da­ durch gekennzeichnet, daß der Düsenkörper (2) eine Flüssigkeitskam­ mer (16) aufweist, die zum Teil mit einer leicht verdampfbaren Flüssigkeit gefüllt und bis in den Bereich der Spitze des Düsenkörpers (2) geführt ist.

2. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß an einem der Spitze des Düsenkörpers (2) abgewandten Ende der Flüssigkeitskammer (16) eine Kühlvorrichtung (17) angeordnet ist.

3. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Kühlvorrichtung (17) in der Flüssigkeitskammer (16) liegt.

4. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Kühlvorrichtung (17) als Rohrleitungssystem ausgebil­ det ist, durch das ein Kühlmedium hindurchführbar ist.

5. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß das Kühlmedium eine Kühlflüssigkeit ist.

6. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß das Kühlmedium ein Kühlgas ist.

7. Laserbearbeitungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Flüssigkeitskammer (16) in Längsrichtung des Düsenkörpers (2) erstreckt.

8. Laserbearbeitungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeitskammer (16) innerhalb der Wand des Düsenkörpers (2) liegt.

9. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Flüssigkeitskammer (16) konzentrisch zur Längsachse (A) des Düsenkörpers (2) liegt.

10. Laserbearbeitungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine Sensoreinrichtung (13, 24) so in den Düsen­ körper (2) einsetzbar ist, daß die Flüssigkeitskammer (16) die Sensorein­ richtung (13, 24) wenigstens bereichsweise konzentrisch umgibt.

11. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß die Sensoreinrichtung als Metalldüse (13) ausgebildet ist, an die ein Sensorpotential anlegbar ist

12. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß die Sensoreinrichtung als Hohlzylinder (22) ausgebildet ist, in dessen Wandbereich eine konzentrisch zur Zylinderachse (A) liegende Spulenanordnung (24) untergebracht ist.

13. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich­ net, daß der Hohlzylinder (22) aus Metall oder einer Keramik besteht.