DE1564662C - Strahlerzeuger für an eine Vakuumpumpe angeschlossene Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Elektronenmikroskope - Google Patents
Strahlerzeuger für an eine Vakuumpumpe angeschlossene Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere ElektronenmikroskopeInfo
- Publication number
- DE1564662C DE1564662C DE19661564662 DE1564662A DE1564662C DE 1564662 C DE1564662 C DE 1564662C DE 19661564662 DE19661564662 DE 19661564662 DE 1564662 A DE1564662 A DE 1564662A DE 1564662 C DE1564662 C DE 1564662C
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- vacuum
- tight
- insulating cylinder
- metal
- beam generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 27
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
Description
Die Erfindung betrifft einen Strahlerzeuger für an eine Vakuumpumpe angeschlossene Korpuskular-Strahlgeräte,
wobei insbesondere an Elektronenmikroskope, aber auch an Ionenmikroskope und Beugungsgeräte
gedacht ist. Sie geht dabei aus von dem in der deutschen Patentschrift 1 031 447 beschriebenen
Strahlerzeuger, der einen das Ende eines Hochspannungskabels umgebenden, in das Vakuumgehäuse
des Gerätes vakuumdicht eingesetzten keramischen Isolierzylinder enthält, in dessen Innerem eine
mit dem Kabelende fluchtende vakuumdichte Metallhülse angeordnet ist, die einerseits eine wärmeempfindliche
vakuumdichte Durchführung für Spannungszuführungen vakuumdicht umschließt und andererseits
mit dem innerhalb des Vakuumgehäuses befindlichen Ende des Isolierzylinders vakuumdicht
verlötet ist. Als Durchführung für die Spannungen vom Kabelende zu den einzelnen Teilen des eigentlichen
Strahlerzeugers, d.h. der Kathode und dem Wehnelt-Zylinder, ist bei der bekannten Anordnung
eine Glasdurchführung verwendet.
Bei der Herstellung dieses bekannten Strahlerzeugers
treten insofern gewisse Schwierigkeiten auf, als zur Erzielung der vakuumdichten Lötverbindung zwischen
der Metallhülse und dem Isolierzylinder die Teile auf. mehrere 100° C erhitzt werden müssen
(Hartlötung); dabei kann die Dichtwirkung der üblicherweise verwendeten Glasdurchführung infolge
Gefügeänderungen des Glases bei Temperaturen oberhalb von 300° C negativ beeinflußt werden.
Die Erfindung befaßt sich mit der Aufgabe, einen Strahlerzeuger der eingangs beschriebenen Art so zu
gestalten, daß bei seiner Herstellung eine schädliche Temperaturerhöhung der Durchführung vermieden
werden kann. Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Metallhülse aus zwei
vakuumdicht miteinander verbundenen Metallteilen besteht, von denen das eine die Durchführung umschließt
und das andere mit dem Isolierzylinder verlötet ist.
Die Erfindung ermöglicht demnach die Herstellung der eine hohe Erwärmung erfordernden vakuumdichten
Verbindung zwischen der Hülse einerseits und dem Isolierzylinder andererseits, ohne daß der die
Glasdurchführung bzw. schlechthin die Durchführung für die Spannungszuführungen aufnehmende
Teil der Hülse in für die Durchführung nachteiliger Weise mit erhitzt werden muß. Die beiden die Hülse
bildenden Metallteile werden erst nach Herstellen der vakuumdichten Verbindung zwischen dem einen Metallteil
und dem Isolierzylinder miteinander verbunden, z. B. elektrisch verschweißt, wobei keine die
Durchführung für die Spannungszuleitungen beeinträchtigende Erwärmung auftritt, da bei der Verbindung
der beiden Metallteile im Gegensatz zur Herstellung einer Verbindung zwischen einem Metallteil
und einem keramischen Teil die Erwärmung der Teile, unter Umständen durch Berührung mit kühlenden
Teilen, örtlich begrenzt ist.
Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besitzt das eine Metallteil die Form eines aus
dem innerhalb des Vakuumgehäuses liegenden Ende des Isolierzylinders herausragenden Rohres, während
das zweite Metallteil als den herausragenden Teil des ersten Metallteiles vakuumdicht umschließender
Flansch ausgebildet ist, der an dem Isolierzylinder vakuumdicht festgelötet ist. Bei dieser Ausführungsform ist also die Hülse in zwei allein im Hinblick auf
ihre getrennten Aufgaben ausgebildete Metallteile aufgeteilt, nämlich einen zur Aufnahme der Durchführung
dienenden und demgemäß rohrförmigen Teil und einen weiteren Teil, der dieAufgabe der vakuumdichten
Festlegung des ersten Teiles mit der Durchführung löst und demgemäß als Flansch ausgebildet ist.
Ein Ausführungsbeispiel für dieses bevorzugte Konstruktionsprinzip der Erfindung zeigt die Figur.
Der Isolierzylinder 1 ist in an sich bekannter und daher in der Figur nicht dargestellter Weise vakuumdicht
in das Vakuumgehäuse des Korpuskularstrahlgerätes, in diesem Beispiel eines Elektronenmikroskops,
eingesetzt. Hierbei finden in üblicher Weise beispielsweise aus gummiähnlichem Material bestehende
Dichtungen Verwendung; ferner ist es bekannt, zur Lagerung des Isolierzylinders 1 Kugellager
heranzuziehen, um eine Zentrierung der Kathode 2 mit dem Wehneltzylinder 3 bezüglich der optischen
Achse des Gerätes durchführen zu können.
Der Isolierzylinder 1 besteht aus Keramik, jedoch ist es möglich, hierfür auch ein anderes Isoliermaterial
zu verwenden, sofern dieses eine Hartlötung mit Metallteilen ermöglicht. Der Ausdruck »keramisch«
ist also weniger von der Art als vielmehr von den Eigenschaften des für den Zylinder 1 verwendeten
Materials her zu verstehen.
In dem Hohlraum 4 des Isolierzylinders 1, der mit einem flüssigen Isoliermittel gefüllt sein kann, verläuft
der wesentliche Teil der allgemein mit S bezeichneten Metallhülse, die ihrerseits die in diesem
Ausführungsbeispiel als Glasdurchführung ausgebildete Durchführung 6 für in diesem Falle zwei Spannungszuführungen
7 und 8 vakuumdicht aufnimmt. Die Spannungsdurchführungen dienen hier zur Durchführung des Kathodenheizstromes von dem
nicht gezeichneten, im oberen nicht geschnitten dargestellten Teil des Isolierzylinders 1 auslaufenden
Kabelende zu der Kathode 2. Zur Aufnahme der zugehörigen Leiter 9 und 10 nebst Buchsen ist innerhalb
der Hülse 5 der Isolierblock 11 mit entsprechenden Ausnehmungen angeordnet, der mittels des Gewindeteiles
12 gehalten ist. Das Gewindeteil 12 weist an seinem in der Figur unteren Ende Kontaktfahnen
13 auf, mit denen über die Metallhülse 5 eine Potentialzufuhr von einem entsprechenden Leiter des nicht
dargestellten Kabels zu der Wehneltelektrode 3 hergestellt wird.
Erfindungsgemäß ist die Metallhülse 5 aus den beiden Metallteilen 5 α und 5 b durch Verschweißung an
der Stelle 14 vakuumdicht zusammengesetzt. Dabei dient das Teil 5 a zur Aufnahme der Glasdurchführung
6, während das Teil 5 b als Flansch ausgebildet und durch Hartlötung vakuumdicht mit dem in der
Figur unteren Ende des Isolierzylinders 1 verbunden ist. Es ist also möglich, ohne Beeinflussung der Güte
des durch die Glasdurchführung 6 erzeugten vakuumdichten Abschlusses zunächst das Metallteil 5 b durch
einen Lötvorgang, dessen Temperatur ohne Rücksicht auf eine nachteilige Beeinflussung der in dem
Teil Sa enthaltenen Konstruktionselemente gewählt
werden kann, vakuumdicht an dem Isolierzylinder 1 festzulegen, dann das Metallteil 5 a in den Zylinder
und das flanschartige Teil Sb einzuführen und an
dem letztgenannten Teil vakuumdicht zu befestigen. Diese Befestigung kann ohne Gefährdung der Glasdurchführung
6 durch Schweißen, z. B. an der leicht zugänglichen Stelle 14, erfolgen, da hierbei nur eine
örtlich begrenzte Erwärmung auftritt.
In dem figürlich dargestellten Ausführungsbeispiel dient das Metallteil 5 b zugleich zum Aufschrauben
der Überwurfkappe 15, die ihrerseits die Kathode und den Wehneltzylinder hält und nach deren Abschrauben
in einfacher Weise das Auswechseln der Kathode möglich ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Strahlerzeuger für an eine Vakuumpumpe
angeschlossene Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Elektronenmikroskope, mit einem das
Ende eines Hochspannungskabels umgebenden, in das Vakuumgehäuse des Gerätes vakuumdicht
eingesetzten keramischen Isolierzylinder, in dessen Innerem eine mit dem Kabelende fluchtende
vakuumdichte Metallhülse angeordnet ist, die einerseits eine wärmeempfindliche vakuumdichte
Durchführung für Spannungszuführungen vakuumdicht umschließt und andererseits mit dem innerhalb
des Vakuumgehäuses befindlichen Ende des Isolierzylinders vakuumdicht verlötet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallhülse
(5) aus zwei vakuumdicht miteinander verbundenen Metallteilen (5 a, 5 b) besteht, von denen
das eine (Sa) die Durchführung (6) um- ao schließt und das andere (5 b) mit dem Isolierzylinder
(1) verlötet ist.
2. Strahlerzeuger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Metallteile (5 a,
5 b) miteinander verschweißt sind.
3. Strahlerzeuger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das eine Metallteil
(5 ä) die Form eines aus dem innerhalb des Vakuumgehäuses liegenden Ende des Isolierzylinders
(1) herausragenden Rohres besitzt und das zweite Metallteil (Sb) als den herausragenden Teil des
ersten Metallteiles vakuumdicht umschließender Flansch ausgebildet ist, der an dem Isolierzylinder
vakuumdicht festgelötet ist.
35
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES0104782 | 1966-07-14 | ||
DES0104782 | 1966-07-14 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1564662A1 DE1564662A1 (de) | 1970-09-17 |
DE1564662B2 DE1564662B2 (de) | 1972-07-27 |
DE1564662C true DE1564662C (de) | 1973-03-01 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2518688C2 (de) | Röntgenröhre | |
DE69006331T2 (de) | Hochspannungsverbinder für Röntgenstrahlenröhre. | |
DD253509A5 (de) | Elektronenstrahlroehre und verfahren zum herstellen einer elektronenstrahlroehre | |
DE3641488A1 (de) | Kathode mit einrichtungen zur fokussierung eines von der kathode emittierten elektronenstrahls | |
DE4028338C2 (de) | ||
DE2325993B2 (de) | Elektronenkanone | |
DE2516464C3 (de) | Kathodenstrahlröhre | |
DE1564662C (de) | Strahlerzeuger für an eine Vakuumpumpe angeschlossene Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Elektronenmikroskope | |
DE2820516C2 (de) | Verfahren zur Hochspannungs-Konditionierung von Kathodenstrahlröhren | |
DE1541005C3 (de) | Elektronenentladungsvorrichtung | |
DE2422811A1 (de) | Elektrische entladungsroehre und verfahren zu deren herstellung | |
DE2002374A1 (de) | Gasentladungsroehre fuer einen Laser | |
DE1564662B2 (de) | Strahlerzeuger fuer an eine vakuumlpumpe angeschlossene korpuskularstrahlgeraete, insbesondere elektronenmikroskope | |
DE4035404C2 (de) | ||
DE3045594C2 (de) | ||
DE1226338B (de) | Proben-Heizvorrichtung, insbesondere fuer Elektronenmikroskope | |
DE2512628C2 (de) | Elektronenkanone | |
DE2714846C2 (de) | Aufnahmeröhre mit einer als Nebenbeleuchtungsquelle dienenden Lampe | |
DE1005199B (de) | Strahlerzeugungssystem zur Erzeugung eines Elektronenstrahls grosser Stromdichte mittels magnetischer Fokussierung | |
DE6946926U (de) | Roentgenroehre mit metallkolben. | |
EP0458222B1 (de) | Hochspannungsdurchführung für Korpuskularstrahlgeräte | |
DE893974C (de) | Elektrischer Durchfuehrungsisolator | |
DE2647590A1 (de) | Stromdurchfuehrung | |
CH665920A5 (de) | Roentgenroehre mit einem die anode und die kathode umgebenden zylindrischen metallteil. | |
DE715166C (de) | Abgeschirmte Zuendkerze |