DE19716264C2 - Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung einer Oberfläche eines Gegenstands - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung einer Oberfläche eines Gegenstands

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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Überprüfung einer Oberfläche eines Gegenstands auf Verunreinigungen in Form von Erhebungen. Desweiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Überprüfung einer Oberfläche eines Gegenstands auf Verunreinigungen in Form von Erhebungen.
Es ist bekannt, eine Oberfläche eines Gegenstands dadurch im Hinblick auf Erhebungen der Oberfläche zu überprüfen, dass die Oberfläche von einer Lichtquelle schräg angestrahlt und von einer Prüfperson betrachtet wird. Bei den Erhebungen der Oberfläche kann es sich dabei ganz allgemein um Verunreinigungen handeln, die sich auf der Oberlfäche abgesetzt haben, oder ganz allgemein um Inhomogenitäten, die die Oberfläche selbst aufweist. Mit einer entsprechenden Erfahrung kann die Prüfperson beispielsweise Verunreinigungen in der Größenordnung von einigen Mikrometern erkennen. Ersichtlich ist dieses Verfahren aber nur bedingt für die Überprüfung des Gegenstands in einer Serienfertigung geeignet.
Aus der Halbleitertechnik ist es bekannt, einen von einer Lichtquelle erzeugten Lichtstrahl steil auf die Oberfläche eines Silizium-Wafers zu richten. Ist dort zum Beispiel eine Verunreinigung vorhanden, so wird der Lichtstrahl gestreut. Aus dem detektierten Streulicht kann dann auf die Verunreinigung rückgeschlossen werden. Dieses Verfahren ist jedoch nur bei den extrem ebenen und glatten Oberflächen eines Silizium-Wafers verwendbar.
Weist die Oberfläche des zu überprüfenden Gegenstands hingegen Unebenheiten auf oder ist die Oberfläche gar beliebig strukturiert, so wird der auf die Oberfläche einfallende Lichtstrahl durch diese Unebenheiten reflektiert. Das reflektierte Licht wird dann in gleicher Weise wie das von Verunreinigungen gestreute Licht detektiert. Bei dem bekannten Verfahren kann jedoch nicht unterschieden werden, ob es sich um reflektiertes oder gestreutes Licht handelt. Es kann somit in diesem Fall auch nicht sicher aus dem detektierten Licht auf eine Verunreinigung rückgeschlossen werden.
Als weiteren Stand der Technik werden die US 5,305,079 A und die US 4,772,126 A genannt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren der eingangs genannten Art zu schaffen, mit dem auch unebene oder beliebig strukturierte Oberflächen eines Gegenstand im Hinblick auf Verunreinigungen überprüft werden können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Vorrichtung nach dem Anspruch 1 sowie durch das Verfahren nach dem Anspruch 13 gelöst.
Der Lichtstrahl wird also als Streiflicht auf die Oberfläche des Gegenstands gerichtet. Ist dort zum Beispiel eine Verunreinigung vorhanden, so wird der Lichtstrahl gestreut und zumindest ein Teil des gestreuten Lichts wird von dem Lichtsensor erfaßt. Das gestreute Licht kann dabei auch Anteile aufweisen, die durch eine gegebenenfalls nachfolgende Reflektion und/oder Brechung und/oder Beugung entstehen. Aus der Tatsache, daß der Lichtsensor Licht empfängt kann rückgeschlossen werden, daß eine Verunreinigung auf der Oberfläche vorhanden ist. Entsprechendes ist bei mehreren Verunreinigungen der Fall. Ist jedoch keine Erhebung auf der Oberfläche vorhanden, so streift der Lichtstrahl über die Oberfläche des Gegenstands hinweg, ohne daß er besonders gestreut oder reflektiert oder dergleichen wird. Dies hat zur Folge, daß von dem Lichtsensor auch kein gestreutes Licht erfaßt wird. Aus der Tatsache, daß der Lichtsensor kein Licht empfängt kann somit rückgeschlossen werden, daß keine Erhebung und insbesondere keine Verunreinigung auf der Oberfläche vorhanden ist.
Dabei ist es nicht erforderlich, daß die Oberfläche des Gegenstands extrem glatt oder eben ist. Selbst wenn die Oberfläche Unebenheiten oder eine beliebige Struktur aufweist, so führt dies nicht zu einer Streuung oder Reflektion oder dergleichen des Lichtstrahls. Statt dessen streift der Lichtstrahl über diese Unebenheiten oder die Struktur hinweg, ohne dadurch besonders beeinflußt zu werden.
Somit ist es auch bei unebenen oder strukturierten Oberflächen durch die Verwendung eines Streiflichts möglich, Erhebungen und damit insbesondere Verunreinigungen auf der Oberfläche des Gegenstand sicher zu erkennen. Bei dem Streiflicht handelt es sich um einen einfach zu erzeugenden Lichtstrahl, der ohne Weiteres auch bei der Serienfertigung des Gegenstands eingesetzt werden kann.
Bei vorteilhaften Ausgestaltungen der Erfindung ist der von der Lichtquelle erzeugte Lichtstrahl etwa parallel zu der Oberfläche ausgerichtet und/oder weist der von der Lichtquelle erzeugte Lichtstrahl einen Winkel von etwa 0 Grad bis etwa 10 Grad zu der Oberfläche auf. Insbesondere weist der Winkel einen Wert von etwa 1 Grad bis etwa 7 Grad zu der Oberfläche auf. Durch diese Ausgestaltungen wird ein Streiflicht erzeugt, das besonders gut dazu geeignet ist, einerseits durch das Auftreffen auf einer Verunreinigung zu streuen und andererseits ansonsten im Wesentlichen keinen Veränderungen zu unterliegen. Insbesondere Unebenheiten oder Strukturen in der zu überprüfenden Oberfläche haben bei derartigen Ausgestaltungen des Streiflichts keine besonderen Folgen im Hinblick auf eine unerwünschte Streuung oder Reflektion oder dergleichen.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der Lichtstrahl geringfügig aufgespreizt. Durch diese Ausgestaltung wird ein Streiflicht erzeugt, das über eine größere Länge dazu geeignet ist, bei einem Nicht- Vorhandensein von Verunreinigungen keinen Veränderungen zu unterliegen. Auch bei Unebenheiten oder Strukturen in der Oberfläche entsteht aufgrund des parallelen oder nur geringfügig gespreizten Lichtstrahls im Wesentlichen keine Streuung oder Reflektion des Lichtstrahls.
Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist der Lichtsensor in einer etwa parallel zu dem Lichtstrahl verlaufenden Ebene angeordnet. Besonders zweckmäßig ist es, wenn der Lichtsensor etwa in der Mitte über einem von dem Lichtstrahl überstreiften Bereich angeordnet ist. Auf diese Weise kann mit einem einzigen Lichtsensor die gesamte Länge überwacht werden, über die der Lichtsensor über die Oberfläche hinwegstreift. Es ist also bei dieser Weiterbildung ein Lichtsensor ausreichend, um die Oberfläche des Gegenstands im Hinblick auf Verunreinigungen zu überprüfen.
Bei einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind zwei oder mehrere dreidimensional im Raum um die Oberfläche angeordnete Lichtsensoren vorgesehen. Besonders zweckmäßig ist es, wenn die Lichtsensoren auf einem Zylindermantel um den Lichtstrahl angeordnet sind. Auf diese Weise ist es möglich, Verunreinigungen auf der Oberfläche noch besser und sicherer zu erkennen. Gleichzeitig ist es durch diese Weiterbildung möglich, das gesamte Verfahren zur Überprüfung aufgrund der Mehrzahl von Lichtsensoren zu beschleunigen.
Bei einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind zwei oder mehrere Lichtquellen vorgesehen. Besonders zweckmäßig ist es, wenn die Lichtstrahlen der Lichtquellen etwa parallel zueinander ausgerichtet sind und/oder wenn die Lichtstrahlen der Lichtquellen einander entgegengerichtet sind. Auf diese Weise kann der Lichtstrahl hinsichtlich seiner Breite vergrößert werden, mit der er über die zu überprüfende Oberfläche hinwegstreift. Dies stellt gleichzeitig eine Beschleunigung des gesamten Prüfverfahrens dar. Des weiteren wird durch die einander engegengerichtet wirkenden Lichtquellen erreicht, daß Verunreinigungen auf der Oberfläche noch besser und sicherer erkannt werden.
Weitere Merkmale, Anwendungsmöglichkeiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung, die in der Zeichnung dargestellt sind. Dabei bilden alle beschriebenen oder dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Patentansprüchen oder deren Rückbeziehung sowie unabhängig von ihrer Formulierung bzw. Darstellung in der Beschreibung bzw. in der Zeichnung.
Die einzige Figur der Zeichnung zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Überprüfung einer Oberfläche eines Gegenstands.
Die in der Figur dargestellte Vorrichtung 1 weist zwei Lichtquellen 2, 3 und einen Lichtsensor 4 auf.
Die Lichtquelle 2 erzeugt einen Lichtstrahl 5 und die Lichtquelle 3 erzeugt einen Lichtstrahl 6. Die Lichtstrahlen 5, 6 bestehen aus etwa parallelem oder nur geringfügig aufgespreiztem Licht. Bei den Lichtquellen 2, 3 kann es sich beispielsweise um Laser-Lichtquellen handeln.
Der Lichtsensor 4 ist dazu geeignet, Licht zu erfassen. Fällt Licht auf den Lichtsensor 4, so wird die dadurch veränderte Intensität des von dem Lichtsensor 4 erfaßten Lichts erkannt. Dabei ist es unerheblich, ob es sich um gestreutes Licht oder reflektiertes Licht oder dergleichen handelt. Bei dem Lichtsensor 4 kann es sich beispielsweise um eine Kamera mit einer photoempfindlichen Sensorfläche handeln.
Die Lichtquellen 2, 3 und der Lichtsensor 4 sind mit einem nicht-dargestellten Rechengerät gekoppelt, das die Lichtquellen 2, 3 ein- und ausschaltet und die Intensität des von dem Lichtsensor 4 erfaßten Lichts verarbeitet.
In der Figur ist des weiteren ein Gegenstand 7 dargestellt, der eine Oberfläche 8 besitzt. Bei dem Gegenstand 7 kann es sich um jeglichen insbesondere technischen Gegenstand handeln, beispielsweise um eine Maschine, ein einzelnes Bauteil einer Maschine, ein Werkzeug zur Herstellung eines derartigen Bauteils oder dergleichen. Die Oberfläche 8 des Gegenstands 7 kann uneben oder strukturiert oder auf sonstige Weise nicht glatt sein.
In der Figur bildet die Oberfläche 8 eine Ebene. Es ist aber auch möglich, daß die Oberfläche 8 zwei- oder dreidimensional gebogen ist. Des weiteren besitzt die in der Figur dargestellte Oberfläche 8 eine viereckige Gestalt. Es ist aber auch möglich, daß die Oberfläche 8 eine beliebig geformte Gestalt aufweist.
In der Figur ist ein Koordinatensystem 9 angegeben, das eine x-Achse und eine y-Achse in der Ebene der Oberfläche 8 aufweist sowie eine z-Achse lotrecht dazu.
Die beiden Lichtquellen 2, 3 sind einander gegenüberstehend auf beiden Seiten der Oberfläche 8 angeordnet. Die beiden Lichtquellen 2, 3 sind etwas oberhalb der Ebene der Oberfläche 8 angeordnet. Die Lichtstrahlen 5, 6 der Lichtquellen 2, 3 sind zu der Oberfläche 8 gerichtet. Die Lichtstrahlen 5, 6 sind zueinander entgegengerichtet. Die beiden Lichstrahlen 5, 6 verlaufen jeweils etwa parallel zu der x-z-Ebene und sind somit insoweit etwa parallel zueinander angeordnet. Es ist jedoch auch möglich, daß die beiden Lichstrahlen 5, 6 insoweit einen Winkel zueinander aufweisen. In der x-z-Ebene weisen die beiden Lichtstrahlen 5, 6 einen Winkel 10, 11 zu der Ebene der Oberfläche 8 auf. Der Winkel 10, 11 beträgt zwischen etwa 1 Grad und etwa 7 Grad, insbesondere etwa 6 Grad.
Es ist ebenfalls möglich, daß die beiden Lichtstrahlen 5, 6 etwa parallel zu der Ebene der Oberfläche 8 angeordnet sind, daß also die beiden Winkel 10, 11 etwa gleich 0 Grad sind. In diesem Fall ist es möglich, daß die beiden Lichtstrahlen 5, 6 etwa koaxial verlaufen.
Ebenfalls ist es möglich, daß nur eine einzige der beiden Lichtquellen 2 oder 3 vorhanden ist, deren Lichtstrahl 5 oder 6 entweder etwa parallel oder unter dem Winkel 10 oder 11 von beispielsweise etwa 6 Grad zur Oberfläche 8 angeordnet ist.
Die beiden Lichtstrahlen 5, 6 der Lichtquellen 2, 3 stellen ein Streiflicht auf der Oberfläche 8 des Gegenstands 7 dar. Dies bedeutet, daß die beiden Lichtstrahlen 5, 6 über die Oberfläche 8 hinwegstreifen, ohne die Oberfläche 8 besonders zu berühren. Insbesondere werden die beiden Lichtstrahlen 5, 6 von der Oberfläche 8 im wesentlichen nicht gestreut oder reflektiert oder auf sonstige Weise beeinflußt oder verändert.
In der Figur ist ein Bereich 12 auf der Oberfläche 8 schwarz gekennzeichnet, über den die beiden Lichtstrahlen 5, 6 hinwegstreifen. Der Bereich 12 besitzt eine Länge in x- Richtung und eine Breite in y-Richtung. Die Länge kann insbesondere in Abhängigkeit von dem Winkel 10, 11 der Lichtstrahlen 5, 6 beispielsweise etwa 50 mm betragen. Die Breite kann in Abhängigkeit von den verwendeten Lichtquellen 2, 3 beispielsweise etwa 3 mm betragen.
In z-Richtung oberhalb der Oberfläche 8 des Gegenstands 7 ist der Lichtsensor 4 angeordnet. Der Lichtsensor 4 ist in derjenigen x-z-Ebene angeordnet, in der die beiden Lichtstrahlen 5, 6 verlaufen. Des weiteren ist der Lichtsensor 4 etwa in der Mitte über dem von den beiden Lichtstrahlen 5, 6 gebildeten Bereich 12 angeordnet. Der Lichtsensor 4 ist derart ausgerichtet, daß er Licht aus der Richtung der Oberfläche 8 erfassen kann.
Mit Hilfe der beschriebenen Vorrichtung 1 kann die Oberfläche 8 des Gegenstands 7 im Hinblick auf Erhebungen der Oberfläche 8 untersucht werden. Bei einer Erhebung der Oberfläche 8 kann es sich ganz allgemein um Verunreinigungen handeln, die sich auf der Oberfläche 8 abgesetzt haben, also beispielsweise um Partikel, Bakterien, Trocknungsrückstände oder dergleichen. Ebenfalls kann es sich bei einer Erhebung der Oberfläche 8 ganz allgemein um Inhomogenitäten handeln, die die Oberfläche 8 selbst aufweist, also beispielsweise um Einschlüsse, Kratzer, Aufwölbungen oder dergleichen.
Zur Überprüfung der Oberfläche 8 des Gegenstands 7 beispielsweise im Hinblick auf Verunreinigungen werden die beiden Lichtstrahlen 5, 6 der beiden Lichtquellen 2, 3 in der beschriebenen Weise auf die Oberfläche 8 gerichtet. Des weiteren wird der Lichtsensor 4 in der beschriebenen Weise über der Oberfläche 8 angeordnet.
Ist in dem Bereich 12 der Oberfläche 8 keine Verunreinigung vorhanden, so hat dies zur Folge, daß die beiden Lichtstrahlen 5, 6 ohne jegliche Hindernisse über die Oberfläche 8 hinwegstreifen. Die beiden Lichtstrahlen 5, 6 unterliegen also in dem Bereich 12 im wesentlichen keiner Veränderung. Es entsteht im wesentlichen keine Streuung oder Reflektion oder dergleichen der beiden Lichtstrahlen 5, 6. Von dem Lichtsensor 4 wird somit im wesentlichen keine Veränderung des erfaßten Lichts detektiert. Daraus kann durch das Rechengerät rückgeschlossen werden, daß innerhalb des Bereichs 12 auf der Oberfläche 8 des Gegenstands 7 keine Verunreinigungen vorhanden sind.
Ist hingegen in dem Bereich 12 der Oberfläche 8 eine Verunreinigung vorhanden, so hat dies zur Folge, daß zumindest einer der beiden Lichtstrahlen 5, 6 von der Verunreinigung gestreut wird. In der Figur sind derartige Verunreinigungen als weiße Punkte innerhalb des schwarzen Bereichs 12 dargestellt. Das auf diese Weise erzeugte gestreute Licht wird von der Verunreinigung nach allen Seiten abgelenkt. Das gestreute Licht kann dabei auch Anteile aufweisen, die durch eine Reflektion und/oder eine Brechung und/oder eine Beugung an der Verunreinigung und/oder danach an der Oberfläche 8 entstanden sind. Dies hat zur Folge, daß zumindest ein Teil des gestreuten Lichts von dem Lichtsensor 4 erfaßt wird. Die Intensität des von dem Lichtsensor 4 erfaßten Lichts verändert sich damit. Daraus kann durch das Rechengerät rückgeschlossen werden, daß innerhalb des Bereichs 12 auf der Oberfläche 8 eine Verunreinigung vorhanden ist.
Nunmehr wird beispielsweise der Gegenstand 7 in der Ebene der Oberfläche 8 um eine Strecke in y-Richtung verschoben, die etwa der Breite des Bereichs 12 entspricht. Damit streifen die beiden Lichtstrahlen 5, 6 über einen neuen Bereich, der zu dem bisherigen Bereich 12 benachbart ist. Der beschriebene Prüfvorgang wird dann für diesen neuen Bereich wiederholt. Auf diese Weise kann dann nacheinander die gesamte Oberfläche 8 des Gegenstands 7 im Hinblick auf Verunreinigungen überprüft werden.
Durch das beschriebene Verfahren kann die Oberfläche 8 des Gegenstands 7 hinsichtlich Erhebungen der Oberfläche 8 untersucht werden. Diese Untersuchung kann dabei im Rahmen einer Prüfung der Güte, zum Beispiel der Bearbeitungsgüte der Oberfläche 8 erfolgen, oder im Rahmen einer Prüfung oder Analyse der Materialbeschaffenheit des Gegenstands 7, oder im Rahmen einer Feststellung der Zahl oder der Größe oder der Konzentration von Partikeln oder dergleichen auf der Oberfläche 8.
In der Figur ist der Winkel zwischen dem Lichtstrahl 5 der Lichtquelle 2 und dem Lichtsensor 4 mit der Bezugsziffer 13 gekennzeichnet. Dieser Winkel 13 beträgt 90 Grad abzüglich dem Betrag des Winkels 10. Es ist jedoch ebenfalls möglich, daß der Lichtsensor 4 in einem anderen Winkel 13 angeordnet ist, also nicht lotrecht zur Ebene der Oberfläche 8. Des weiteren kann der Lichtsensor 4 auch in einem Winkel zu der x-z-Ebene angeordnet sein, also auch insoweit schräg zur Oberfläche 8. Wesentlich ist nur, daß der Lichtsensor 4 derart angeordnet ist, daß er den von den beiden Lichtstrahlen 5, 6 überstreiften Bereich 12 einsehen kann, und daß er von dort ausgehendes Licht erfassen kann.
Ebenfalls ist es möglich, daß nicht nur der Lichtsensor 4, sondern daß mehrere Lichtsensoren vorgesehen sind. Diese können dreidimensional in dem Raum über der Oberfläche 8 angeordnet sein. Beispielsweise können mehrere Lichtsensoren auf einem Zylindermantel angeordnet sein, dessen Achse von den beiden Lichtstrahlen 5, 6 gebildet wird. Damit lassen sich insbesondere Materialanalysen oder dergleichen durchführen.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, daß nicht nur die beiden Lichtquellen 2, 3, sondern daß mehrere Lichtquellen vorgesehen sind. Diese Lichtquellen können beispielsweise in zwei Reihen nebeneinander über der Oberfläche 8 angeordnet sein. Auf diese Weise ist es mögich, durch eine entsprechende Anzahl von Lichtquellen und eine entsprechende Anzahl von Lichtsensoren den Bereich 12 zu vergrößern und damit gegebenenfalls die gesamte Oberfläche 8 des Gegenstands 7 mittels eines einzigen Prüfvorgangs zu überprüfen.
Ist die Oberfläche 8 des Gegenstands 7 gewölbt, so können immer bestimmte Teile der Oberfläche 8 herausgegriffen und überprüft werden, die für sich im wesentlichen eine Ebene bilden. Auf diese Weise kann somit auch eine gewölbte Oberfläche 8 nacheinander im Hinblick auf Verunreinigungen überprüft werden.

Claims (15)

1. Vorrichtung (1) zur Überprüfung einer Oberfläche (8) eines Gegenstands (7) auf Verunreinigungen in Form von Erhebungen auf der Oberfläche (8), wobei
mindestens eine Lichtquelle (2, 3) zur Erzeugung von mindestens einem Lichtstrahl (5, 6) vorgesehen ist,
dieser mindestens eine Lichtstrahl (5, 6) ein annähernd paralleles Licht aufweist,
das annähernd parallele Licht in einem derartigen Winkel (10, 11) über einen Bereich (12) der Oberfläche (8) streift, dass es zu der Oberfläche (8) gerichtet ist,
auftretende Verunreinigungen in dem Bereich (12) eine Streuung des mindestens einen Lichtstrahls (5, 6) zur Folge hat, während ein nicht-verunreinigter Bereich (12) der Oberfläche (8) keine oder nur eine geringfügige Veränderung des mindestens einen Lichtstrahls (5, 6) bewirkt,
und ein Lichtsensor (4) in einer annähernd lotrecht zu der Oberfläche (8) verlaufenden Ebene angeordnet ist, so dass zumindest ein Teil des aus dem Bereich (12) gestreuten Lichts erfassbar ist.
2. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, wobei der von der Lichtquelle (2, 3) erzeugte Lichtstrahl (5, 6) annähernd parallel zu der Oberfläche (8) ausgerichtet ist.
3. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der von der Lichtquelle (2, 3) erzeugte Lichtstrahl (5, 6) einen Winkel von annähernd 0 Grad bis annähernd 10 Grad zu der Oberfläche (8) aufweist.
4. Vorrichtung (1) nach Anspruch 3, wobei der Winkel (10, 11) einen Wert zwischen annähernd 1 Grad bis annähernd 7 Grad zu der Oberfläche (8) aufweist.
5. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Lichtstrahl (5, 6) geringfügig aufgespreizt ist.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Lichtsensor (4) in einer annähernd parallel zu dem Lichtstrahl (5, 6) verlaufenden Ebene angeordnet ist.
7. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Lichtsensor (4) annähernd in der Mitte über einem von dem Lichtstrahl (5, 6) überstreiften Bereich (12) angeordnet ist.
8. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zwei oder mehrere dreidimensionale im Raum um die Oberfläche (8) angeordnete Lichtsensoren vorgesehen sind.
9. Vorrichtung (1) nach Anspruch 8, wobei die Lichtsensoren auf einem Zylindermantel um den Lichtstrahl (5, 6) angeordnet sind.
10. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zwei oder mehrere Lichtquellen (2, 3) vorgesehen sind.
11. Vorrichtung (1) nach Anspruch 10, wobei die Lichtstrahlen (5, 6) der Lichtquellen (2, 3) annähernd parallel zueinander ausgerichtet sind.
12. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 10 oder 11, wobei die Lichtstrahlen (5, 6) der Lichtquellen (2, 3) einander entgegengerichtet sind.
13. Verfahren zur Überprüfung einer Oberfläche (8) eines Gegenstands (7) auf Verunreinigungen in Form von Erhebungen auf der Oberfläche (8), wobei
mindestens ein Lichtstrahl (5, 6) von mindestens einer Lichtquelle (2, 3) erzeugt wird,
dieser mindestens eine Lichtstrahl (5, 6) als annähernd paralleles Licht erzeugt wird,
das annähernd parallele Licht in einem derartigen Winkel (10, 11) über einen Bereich (12) der Oberfläche (8) streifend erzeugt wird, dass es zu der Oberfläche (8) gerichtet ist,
von auftretenden Verunreinigungen in dem Bereich (12) eine Streuung des mindestens einen Lichtstrahls (5, 6) hervorgerufen wird, während von einem nicht- verunreinigten Bereich (12) der Oberfläche (8) keine oder nur eine gerinfügige Veränderung des mindestens einen Lichtstrahls (5, 6) bewirkt wird, und
ein Lichtsensor (4) in einer annähernd lotrecht zu der Oberfläche (8) verlaufenden Ebene angeordnet wird, so dass zumindest ein Teil des aus dem Bereich (12) gestreuten Lichts erfasst wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, wobei auf eine Verunreinigung der Oberfläche (8) geschlossen wird, wenn gestreutes Licht erfasst wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 oder 14, wobei auf das Nicht-Vorhandensein einer Verunreinigung geschlossen wird, wenn kein gestreutes Licht erfasst wird.
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