DE19716264A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung einer Oberfläche eines Gegenstands - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung einer Oberfläche eines GegenstandsInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Überprüfung einer
Oberfläche eines Gegenstands im Hinblick auf Erhebungen der
Oberfläche mit einer Lichtquelle zur Erzeugung eines der
Oberfläche zugeordneten Lichtstrahls, und mit einem
Lichtsensor zur Erfassung von durch eine Erhebung der
Oberfläche gestreutem Licht. Des weiteren betrifft die
Erfindung ein Verfahren zur Überprüfung einer Oberfläche eines
Gegenstands im Hinblick auf Erhebungen der Oberfläche, bei dem
ein der Oberfläche zugeordneter Lichtstrahl erzeugt und durch
eine Erhebung der Oberfläche gestreutes Licht erfaßt wird.
Es ist bekannt, eine Oberfläche eines Gegenstands dadurch im
Hinblick auf Erhebungen der Oberfläche zu überprüfen, daß die
Oberfläche von einer Lichtquelle schräg angestrahlt und von
einer Prüfperson betrachtet wird. Bei den Erhebungen der
Oberfläche kann es sich dabei ganz allgemein um
Verunreinigungen handeln, die sich auf der Oberfläche
abgesetzt haben, oder ganz allgemein um Inhomogenitäten, die
die Oberfläche selbst aufweist. Mit einer entsprechenden
Erfahrung kann die Prüfperson beispielsweise Verunreinigungen
in der Größenordnung von einigen Mikrometern erkennen.
Ersichtlich ist dieses Verfahren aber nur bedingt für die
Überprüfung des Gegenstands in einer Serienfertigung geeignet.
Aus der Halbleitertechnik ist es bekannt, einen von einer
Lichtquelle erzeugten Lichtstrahl steil auf die Oberfläche
eines Silizium-Wafers zu richten. Ist dort zum Beispiel eine
Verunreinigung vorhanden, so wird der Lichtstrahl gestreut.
Aus dem detektierten Streulicht kann dann auf die
Verunreinigung rückgeschlossen werden. Dieses Verfahren ist
jedoch nur bei den extrem ebenen und glatten Oberflächen eines
Silizium-Wafers verwendbar.
Weist die Oberfläche des zu überprüfenden Gegenstands hingegen
Unebenheiten auf oder ist die Oberfläche gar beliebig
strukturiert, so wird der auf die Oberfläche einfallende
Lichtstrahl durch diese Unebenheiten reflektiert. Das
reflektierte Licht wird dann in gleicher Weise wie das von
Verunreinigungen gestreute Licht detektiert. Bei dem bekannten
Verfahren kann jedoch nicht unterschieden werden, ob es sich
um reflektiertes oder gestreutes Licht handelt. Es kann somit
in diesem Fall auch nicht sicher aus dem detektierten Licht
auf eine Verunreinigung rückgeschlossen werden.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein
Verfahren der eingangs genannten Art zu schaffen, mit dem auch
unebene oder beliebig strukturierte Oberflächen eines
Gegenstands im Hinblick auf Verunreinigungen überprüft werden
können.
Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs
genannten Art durch die Erfindung dadurch gelöst, daß der von
der Lichtquelle erzeugte Lichtstrahl derart als Streiflicht
hinsichtlich der Oberfläche ausgerichtet ist, daß die Erhebung
der Oberfläche eine Streuung des Lichtstrahls zur Folge hat,
während der Lichtstrahl ansonsten möglichst keiner oder nur
einer geringfügigen Veränderung unterliegt, und daß der
Lichtsensor derart angeordnet ist, daß zumindest ein Teil des
gestreuten Lichts erfaßbar ist. Des weiteren wird diese
Aufgabe bei einem Verfahren der eingangs genannten Art durch
die Erfindung dadurch gelöst, daß der Lichtstrahl derart als
Streiflicht hinsichtlich der Oberfläche ausgerichtet wird, daß
er durch eine Erhebung der Oberfläche gestreut wird, während
er ansonsten möglichst nicht oder nur geringfügig verändert
wird, und daß zumindest ein Teil des gestreuten Lichts erfaßt
wird.
Der Lichtstrahl wird also als Streiflicht auf die Oberfläche
des Gegenstands gerichtet. Ist dort zum Beispiel eine
Verunreinigung vorhanden, so wird der Lichtstrahl gestreut und
zumindest ein Teil des gestreuten Lichts wird von dem
Lichtsensor erfaßt. Das gestreute Licht kann dabei auch
Anteile aufweisen, die durch eine gegebenenfalls nachfolgende
Reflexion und/oder Brechung und/oder Beugung entstehen. Aus
der Tatsache, daß der Lichtsensor Licht empfängt kann
rückgeschlossen werden, daß eine Verunreinigung auf der
Oberfläche vorhanden ist. Entsprechendes ist bei mehreren
Verunreinigungen der Fall. Ist jedoch keine Erhebung auf der
Oberfläche vorhanden, so streift der Lichtstrahl über die
Oberfläche des Gegenstands hinweg, ohne daß er besonders
gestreut oder reflektiert oder dergleichen wird. Dies hat zur
Folge, daß von dem Lichtsensor auch kein gestreutes Licht
erfaßt wird. Aus der Tatsache, daß der Lichtsensor kein Licht
empfängt kann somit rückgeschlossen werden, daß keine Erhebung
und insbesondere keine Verunreinigung auf der Oberfläche
vorhanden ist.
Dabei ist es nicht erforderlich, daß die Oberfläche des
Gegenstands extrem glatt oder eben ist. Selbst wenn die
Oberfläche Unebenheiten oder eine beliebige Struktur aufweist,
so führt dies nicht zu einer Streuung oder Reflexion oder
dergleichen des Lichtstrahls. Statt dessen streift der
Lichtstrahl über diese Unebenheiten oder die Struktur hinweg,
ohne dadurch besonders beeinflußt zu werden.
Somit ist es auch bei unebenen oder strukturierten Oberflächen
durch die Verwendung eines Streiflichts möglich, Erhebungen
und damit insbesondere Verunreinigungen auf der Oberfläche des
Gegenstands sicher zu erkennen. Bei dem Streiflicht handelt es
sich dabei um einen einfach zu erzeugenden Lichtstrahl, der
ohne weiteres auch bei der Serienfertigung des Gegenstands
eingesetzt werden kann.
Bei vorteilhaften Ausgestaltungen der Erfindung ist der von
der Lichtquelle erzeugte Lichtstrahl etwa parallel zu der
Oberfläche ausgerichtet und/oder weist der von der Lichtquelle
erzeugte Lichtstrahl einen Winkel von etwa 0 Grad bis etwa 10
Grad zu der Oberfläche auf, insbesondere einen Winkel von etwa
1 Grad bis etwa 7 Grad zu der Oberfläche. Durch diese
Ausgestaltungen wird ein Streiflicht erzeugt, das besonders
gut dazu geeignet ist, einerseits durch das Auftreffen auf
eine Verunreinigung zu streuen und andererseits ansonsten im
wesentlichen keinen Veränderungen zu unterliegen. Insbesondere
Unebenheiten oder Strukturen in der zu überprüfenden
Oberfläche haben bei derartigen Ausgestaltungen des
Streiflichts keine besonderen Folgen im Hinblick auf eine
unerwünschte Streuung oder Reflexion oder dergleichen.
Bei weiteren vorteilhaften Ausgestaltungen der Erfindung
erzeugt die Lichtquelle einen Lichtstrahl mit etwa parallelem
Licht und/oder ist der Lichtstrahl geringfügig aufgespreizt.
Durch diese Ausgestaltungen wird ein Streiflicht erzeugt, das
über eine größere Länge dazu geeignet ist, bei einem Nicht-
Vorhandensein von Verunreinigungen keinen Veränderungen zu
unterliegen. Auch bei Unebenheiten oder Strukturen in der
Oberfläche entsteht aufgrund des parallelen oder nur
geringfügig gespreizten Lichtstrahls im wesentlichen keine
Streuung oder Reflexion des Lichtstrahls.
Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist der
Lichtsensor in einer etwa lotrecht zu der Oberfläche und etwa
parallel zu dem Lichtstrahl verlaufenden Ebene angeordnet.
Besonders zweckmäßig ist es, wenn der Lichtsensor etwa in der
Mitte über einem von dem Lichtstrahl überstreiften Bereich
angeordnet ist. Auf diese Weise kann mit einem einzigen
Lichtsensor die gesamte Länge überwacht werden, über die der
Lichtsensor über die Oberfläche hinwegstreift. Es ist also bei
dieser Weiterbildung ein Lichtsensor ausreichend, um die
Oberfläche des Gegenstands im Hinblick auf Verunreinigungen zu
überprüfen.
Bei einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung
sind zwei oder mehrere dreidimensional im Raum um die
Oberfläche angeordnete Lichtsensoren vorgesehen. Besonders
zweckmäßig ist es, wenn die Lichtsensoren auf einem
Zylindermantel um den Lichtstrahl angeordnet sind. Auf diese
Weise ist es möglich, Verunreinigungen auf der Oberfläche noch
besser und sicherer zu erkennen. Gleichzeitig ist es durch
diese Weiterbildung möglich, das gesamte Verfahren zur
Überprüfung aufgrund der Mehrzahl von Lichtsensoren zu
beschleunigen.
Bei einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung
sind zwei oder mehrere Lichtquellen vorgesehen. Besonders
zweckmäßig ist es, wenn die Lichtstrahlen der Lichtquellen
etwa parallel zueinander ausgerichtet sind und/oder wenn die
Lichtstrahlen der Lichtquellen einander entgegengerichtet
sind. Auf diese Weise kann der Lichtstrahl hinsichtlich seiner
Breite vergrößert werden, mit der er über die zu überprüfende
Oberfläche hinwegstreift. Dies stellt gleichzeitig eine
Beschleunigung des gesamten Prüfverfahrens dar. Des weiteren
wird durch die einander entgegengerichtet wirkenden
Lichtquellen erreicht, daß Verunreinigungen auf der Oberfläche
noch besser und sicherer erkannt werden.
Weitere Merkmale, Anwendungsmöglichkeiten und Vorteile der
Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von
Ausführungsbeispielen der Erfindung, die in der Zeichnung
dargestellt sind. Dabei bilden alle beschriebenen oder
dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination
den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer
Zusammenfassung in den Patentansprüchen oder deren
Rückbeziehung sowie unabhängig von ihrer Formulierung bzw.
Darstellung in der Beschreibung bzw. in der Zeichnung.
Die einzige Figur der Zeichnung zeigt ein Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Überprüfung einer
Oberfläche eines Gegenstands.
Die in der Figur dargestellte Vorrichtung 1 weist zwei
Lichtquellen 2, 3 und einen Lichtsensor 4 auf.
Die Lichtquelle 2 erzeugt einen Lichtstrahl 5 und die
Lichtquelle 3 erzeugt einen Lichtstrahl 6. Die Lichtstrahlen
5, 6 bestehen aus etwa parallelem oder nur geringfügig
aufgespreiztem Licht. Bei den Lichtquellen 2, 3 kann es sich
beispielsweise um Laser-Lichtquellen handeln.
Der Lichtsensor 4 ist dazu geeignet, Licht zu erfassen. Fällt
Licht auf den Lichtsensor 4, so wird die dadurch veränderte
Intensität des von dem Lichtsensor 4 erfaßten Lichts erkannt.
Dabei ist es unerheblich, ob es sich um gestreutes Licht oder
reflektiertes Licht oder dergleichen handelt. Bei dem
Lichtsensor 4 kann es sich beispielsweise um eine Kamera mit
einer photoempfindlichen Sensorfläche handeln.
Die Lichtquellen 2, 3 und der Lichtsensor 4 sind mit einem
nicht-dargestellten Rechengerät gekoppelt, das die
Lichtquellen 2, 3 ein- und ausschaltet und die Intensität des
von dem Lichtsensor 4 erfaßten Lichts verarbeitet.
In der Figur ist des weiteren ein Gegenstand 7 dargestellt,
der eine Oberfläche 8 besitzt. Bei dem Gegenstand 7 kann es
sich um jeglichen insbesondere technischen Gegenstand handeln,
beispielsweise um eine Maschine, ein einzelnes Bauteil einer
Maschine, ein Werkzeug zur Herstellung eines derartigen
Bauteils oder dergleichen. Die Oberfläche 8 des Gegenstands 7
kann uneben oder strukturiert oder auf sonstige Weise nicht
glatt sein.
In der Figur bildet die Oberfläche 8 eine Ebene. Es ist aber
auch möglich, daß die Oberfläche 8 zwei- oder dreidimensional
gebogen ist. Des weiteren besitzt die in der Figur
dargestellte Oberfläche 8 eine viereckige Gestalt. Es ist aber
auch möglich, daß die Oberfläche 8 eine beliebig geformte
Gestalt aufweist.
In der Figur ist ein Koordinatensystem 9 angegeben, das eine
x-Achse und eine y-Achse in der Ebene der Oberfläche 8
aufweist sowie eine z-Achse lotrecht dazu.
Die beiden Lichtquellen 2, 3 sind einander gegenüberstehend
auf beiden Seiten der Oberfläche 8 angeordnet. Die beiden
Lichtquellen 2, 3 sind etwas oberhalb der Ebene der Oberfläche
8 angeordnet. Die Lichtstrahlen 5, 6 der Lichtquellen 2, 3
sind zu der Oberfläche 8 gerichtet. Die Lichtstrahlen 5, 6
sind zueinander entgegengerichtet. Die beiden Lichtstrahlen 5,
6 verlaufen jeweils etwa parallel zu der x-z-Ebene und sind
somit insoweit etwa parallel zueinander angeordnet. Es ist
jedoch auch möglich, daß die beiden Lichtstrahlen 5, 6 insoweit
einen Winkel zueinander aufweisen. In der x-z-Ebene weisen die
beiden Lichtstrahlen 5, 6 einen Winkel 10, 11 zu der Ebene der
Oberfläche 8 auf. Der Winkel 10, 11 beträgt zwischen etwa 1
Grad und etwa 7 Grad, insbesondere etwa 6 Grad.
Es ist ebenfalls möglich, daß die beiden Lichtstrahlen 5, 6
etwa parallel zu der Ebene der Oberfläche 8 angeordnet sind,
daß also die beiden Winkel 10, 11 etwa gleich 0 Grad sind. In
diesem Fall ist es möglich, daß die beiden Lichtstrahlen 5, 6
etwa koaxial verlaufen.
Ebenfalls ist es möglich, daß nur eine einzige der beiden
Lichtquellen 2 oder 3 vorhanden ist, deren Lichtstrahl 5 oder
6 entweder etwa parallel oder unter dem Winkel 10 oder 11 von
beispielsweise etwa 6 Grad zur Oberfläche 8 angeordnet ist.
Die beiden Lichtstrahlen 5, 6 der Lichtquellen 2, 3 stellen
ein Streiflicht auf der Oberfläche 8 des Gegenstands 7 dar.
Dies bedeutet, daß die beiden Lichtstrahlen 5, 6 über die
Oberfläche 8 hinwegstreifen, ohne die Oberfläche 8 besonders
zu berühren. Insbesondere werden die beiden Lichtstrahlen 5, 6
von der Oberfläche 8 im wesentlichen nicht gestreut oder
reflektiert oder auf sonstige Weise beeinflußt oder verändert.
In der Figur ist ein Bereich 12 auf der Oberfläche 8 schwarz
gekennzeichnet, über den die beiden Lichtstrahlen 5, 6
hinwegstreifen. Der Bereich 12 besitze eine Länge in x-
Richtung und eine Breite in y-Richtung. Die Länge kann
insbesondere in Abhängigkeit von dem Winkel 10, 11 der
Lichtstrahlen 5, 6 beispielsweise etwa 50 mm betragen. Die
Breite kann in Abhängigkeit von den verwendeten Lichtquellen
2, 3 beispielsweise etwa 3 mm betragen.
In z-Richtung oberhalb der Oberfläche 8 des Gegenstands 7 ist
der Lichtsensor 4 angeordnet. Der Lichtsensor 4 ist in
derjenigen x-z-Ebene angeordnet, in der die beiden
Lichtstrahlen 5, 6 verlaufen. Des weiteren ist der Lichtsensor
4 etwa in der Mitte über dem von den beiden Lichtstrahlen 5, 6
gebildeten Bereich 12 angeordnet. Der Lichtsensor 4 ist derart
ausgerichtet, daß er Licht aus der Richtung der Oberfläche 8
erfassen kann.
Mit Hilfe der beschriebenen Vorrichtung 1 kann die Oberfläche
8 des Gegenstands 7 im Hinblick auf Erhebungen der Oberfläche
8 untersucht werden. Bei einer Erhebung der Oberfläche 8 kann
es sich ganz allgemein um Verunreinigungen handeln, die sich
auf der Oberfläche 8 abgesetzt haben, also beispielsweise um
Partikel, Bakterien, Trocknungsrückstände oder dergleichen.
Ebenfalls kann es sich bei einer Erhebung der Oberfläche 8
ganz allgemein um Inhomogenitäten handeln, die die Oberfläche
8 selbst aufweist, also beispielsweise um Einschlüsse,
Kratzer, Aufwölbungen oder dergleichen.
Zur Überprüfung der Oberfläche 8 des Gegenstands 7
beispielsweise im Hinblick auf Verunreinigungen werden die
beiden Lichtstrahlen 5, 6 der beiden Lichtquellen 2, 3 in der
beschriebenen Weise auf die Oberfläche 8 gerichtet. Des
weiteren wird der Lichtsensor 4 in der beschriebenen Weise
über der Oberfläche 8 angeordnet.
Ist in dem Bereich 12 der Oberfläche 8 keine Verunreinigung
vorhanden, so hat dies zur Folge, daß die beiden Lichtstrahlen
5, 6 ohne jegliche Hindernisse über die Oberfläche 8
hinwegstreifen. Die beiden Lichtstrahlen 5, 6 unterliegen also
in dem Bereich 12 im wesentlichen keiner Veränderung. Es
entsteht im wesentlichen keine Streuung oder Reflexion oder
dergleichen der beiden Lichtstrahlen 5, 6. Von dem Lichtsensor
4 wird somit im wesentlichen keine Veränderung des erfaßten
Lichts detektiert. Daraus kann durch das Rechengerät
rückgeschlossen werden, daß innerhalb des Bereichs 12 auf der
Oberfläche 8 des Gegenstands 7 keine Verunreinigungen
vorhanden sind.
Ist hingegen in dem Bereich 12 der Oberfläche 8 eine
Verunreinigung vorhanden, so hat dies zur Folge, daß zumindest
einer der beiden Lichtstrahlen 5, 6 von der Verunreinigung
gestreut wird. In der Figur sind derartige Verunreinigungen
als weiße Punkte innerhalb des schwarzen Bereichs 12
dargestellt. Das auf diese Weise erzeugte gestreute Licht wird
von der Verunreinigung nach allen Seiten abgelenkt. Das
gestreute Licht kann dabei auch Anteile aufweisen, die durch
eine Reflexion und/oder eine Brechung und/oder eine Beugung
an der Verunreinigung und/oder danach an der Oberfläche 8
entstanden sind. Dies hat zur Folge, daß zumindest ein Teil
des gestreuten Lichts von dem Lichtsensor 4 erfaßt wird. Die
Intensität des von dem Lichtsensor 4 erfaßten Lichts verändert
sich damit. Daraus kann durch das Rechengerät rückgeschlossen
werden, daß innerhalb des Bereichs 12 auf der Oberfläche 8
eine Verunreinigung vorhanden ist.
Nunmehr wird beispielsweise der Gegenstand 7 in der Ebene der
Oberfläche 8 um eine Strecke in y-Richtung verschoben, die
etwa der Breite des Bereichs 12 entspricht. Damit streifen die
beiden Lichtstrahlen 5, 6 über einen neuen Bereich, der zu dem
bisherigen Bereich 12 benachbart ist. Der beschriebene
Prüfvorgang wird dann für diesen neuen Bereich wiederholt. Auf
diese Weise kann dann nacheinander die gesamte Oberfläche 8
des Gegenstands 7 im Hinblick auf Verunreinigungen überprüft
werden.
Durch das beschriebene Verfahren kann die Oberfläche 8 des
Gegenstands 7 hinsichtlich Erhebungen der Oberfläche 8
untersucht werden. Diese Untersuchung kann dabei im Rahmen
einer Prüfung der Güte, zum Beispiel der Bearbeitungsgüte der
Oberfläche 8 erfolgen, oder im Rahmen einer Prüfung oder
Analyse der Materialbeschaffenheit des Gegenstands 7, oder im
Rahmen einer Feststellung der Zahl oder der Größe oder der
Konzentration von Partikeln oder dergleichen auf der
Oberfläche 8.
In der Figur ist der Winkel zwischen dem Lichtstrahl 5 der
Lichtquelle 2 und dem Lichtsensor 4 mit der Bezugsziffer 13
gekennzeichnet. Dieser Winkel 13 beträgt 90 Grad abzüglich dem
Betrag des Winkels 10. Es ist jedoch ebenfalls möglich, daß
der Lichtsensor 4 in einem anderen Winkel 13 angeordnet ist,
also nicht lotrecht zur Ebene der Oberfläche 8. Des weiteren
kann der Lichtsensor 4 auch in einem Winkel zu der x-z-Ebene
angeordnet sein, also auch insoweit schräg zur Oberfläche 8.
Wesentlich ist nur, daß der Lichtsensor 4 derart angeordnet
ist, daß er den von den beiden Lichtstrahlen 5, 6
überstreiften Bereich 12 einsehen kann, und daß er von dort
ausgehendes Licht erfassen kann.
Ebenfalls ist es möglich, daß nicht nur der Lichtsensor 4,
sondern daß mehrere Lichtsensoren vorgesehen sind. Diese
können dreidimensional in dem Raum über der Oberfläche 8
angeordnet sein. Beispielsweise können mehrere Lichtsensoren
auf einem Zylindermantel angeordnet sein, dessen Achse von den
beiden Lichtstrahlen 5, 6 gebildet wird. Damit lassen sich
insbesondere Materialanalysen oder dergleichen durchführen.
Eine weitere Möglichkeit bestehe darin, daß nicht nur die
beiden Lichtquellen 2, 3, sondern daß mehrere Lichtquellen
vorgesehen sind. Diese Lichtquellen können beispielsweise in
zwei Reihen nebeneinander über der Oberfläche 8 angeordnet
sein. Auf diese Weise ist es möglich, durch eine entsprechende
Anzahl von Lichtquellen und eine entsprechende Anzahl von
Lichtsensoren den Bereich 12 zu vergrößern und damit
gegebenenfalls die gesamte Oberfläche 8 des Gegenstands 7
mittels eines einzigen Prüfvorgangs zu überprüfen.
Ist die Oberfläche 8 des Gegenstands 7 gewölbt, so können
immer bestimmte Teile der Oberfläche 8 herausgegriffen und
überprüft werden, die für sich im wesentlichen eine Ebene
bilden. Auf diese Weise kann somit auch eine gewölbte
Oberfläche 8 nacheinander im Hinblick auf Verunreinigungen
überprüft werden.
Claims (17)
1. Vorrichtung (1) zur Überprüfung einer Oberfläche (8)
eines Gegenstands (7) im Hinblick auf Erhebungen der
Oberfläche (8) mit einer Lichtquelle (2, 3) zur Erzeugung
eines der Oberfläche (8) zugeordneten Lichtstrahls (5,
6) , und mit einem Lichtsensor (4) zur Erfassung von durch
eine Erhebung der Oberfläche (8) gestreutem Licht,
dadurch gekennzeichnet, daß der von der Lichtquelle (2,
3) erzeugte Lichtstrahl (5, 6) derart als Streiflicht
hinsichtlich der Oberfläche (8) ausgerichtet ist, daß die
Erhebung der Oberfläche (8) eine Streuung des
Lichtstrahls (5, 6) zur Folge hat, während der
Lichtstrahl (5, 6) ansonsten möglichst keiner oder nur
einer geringfügigen Veränderung unterliegt, und daß der
Lichtsensor (4) derart angeordnet ist, daß zumindest ein
Teil des gestreuten Lichts erfaßbar ist.
2. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der von der Lichtquelle (2, 3) erzeugte Lichtstrahl
(5, 6) etwa parallel zu der Oberfläche (8) ausgerichtet
ist.
3. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der von der Lichtquelle (2, 3)
erzeugte Lichtstrahl (5, 6) einen Winkel von etwa 0 Grad
bis etwa 10 Grad zu der Oberfläche (8) aufweist,
insbesondere einen Winkel (10, 11) von etwa 1 Grad bis
etwa 7 Grad zu der Oberfläche (8).
4. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (2, 3) einen
Lichtstrahl (5, 6) mit etwa parallelem Licht erzeugt.
5. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtstrahl (5, 6)
geringfügig aufgespreizt ist.
6. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtsensor (4) in einer
etwa lotrecht zu der Oberfläche (8) und etwa parallel zu
dem Lichtstrahl (5, 5) verlaufenden Ebene angeordnet ist.
7. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtsensor (4) etwa in
der Mitte über einem von dem Lichtstrahl (5, 6)
überstreiften Bereich (12) angeordnet ist.
8. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehrere
dreidimensional im Raum um die Oberfläche (8) angeordnete
Lichtsensoren vorgesehen sind.
9. Vorrichtung (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtsensoren auf einem Zylindermantel oder
dergleichen um den Lichtstrahl (5, 6) angeordnet sind.
10. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehrere
Lichtquellen (2, 3) vorgesehen sind.
11. Vorrichtung (1) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtstrahlen (5, 6) der Lichtquellen (2, 3)
etwa parallel zueinander ausgerichtet sind.
12. Vorrichtung (1) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtstrahlen (5, 6) der Lichtquellen (2, 3)
einander entgegengerichtet sind.
13. Verfahren zur Überprüfung einer Oberfläche (8) eines
Gegenstands (7) im Hinblick auf Erhebungen der Oberfläche
(8), bei dem ein der Oberfläche (8) zugeordneter
Lichtstrahl (5, 6) erzeugt und durch eine Erhebung der
Oberfläche (8) gestreutes Licht erfaßt wird, dadurch
gekennzeichnet, daß der Lichtstrahl (5, 6) derart als
Streiflicht hinsichtlich der Oberfläche (88) ausgerichtet
wird, daß er durch die Erhebung der Oberfläche (8)
gestreut wird, während er ansonsten möglichst nicht oder
nur geringfügig verändert wird, und daß zumindest ein
Teil des gestreuten Lichts erfaßt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß
der Lichtstrahl (5, 6) etwa parallel zu der Oberfläche
(8) und/oder unter einem Winkel von etwa 0 Grad bis etwa
10 Grad zu der Oberfläche, insbesondere unter einem
Winkel (10, 11) von etwa 1 Grad bis etwa 7 Grad zu der
Oberfläche (8), erzeugt wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch
gekennzeichnet, daß der Lichtstrahl (5, 6) mit etwa
parallelem Licht, insbesondere mit geringfügig
aufgespreiztem Licht erzeugt wird.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, daß auf eine Erhebung der Oberfläche (8)
geschlossen wird, wenn gestreutes Licht erfaßt wird.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, daß auf das Nicht-Vorhandensein einer
Erhebung geschlossen wird, wenn kein gestreutes Licht
erfaßt wird.
Priority Applications (3)
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