DE1963835B2 - Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Verschiebung eines Gegenstandes mit Hilfe eines mit dem Gegenstand mechanisch verbundenen Beugungsgitters - Google Patents
Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Verschiebung eines Gegenstandes mit Hilfe eines mit dem Gegenstand mechanisch verbundenen BeugungsgittersInfo
- Publication number
- DE1963835B2 DE1963835B2 DE1963835A DE1963835A DE1963835B2 DE 1963835 B2 DE1963835 B2 DE 1963835B2 DE 1963835 A DE1963835 A DE 1963835A DE 1963835 A DE1963835 A DE 1963835A DE 1963835 B2 DE1963835 B2 DE 1963835B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- plate
- radiation
- diffraction grating
- angle
- optically anisotropic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 13
- PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N (1s,3r,4e,6e,8e,10e,12e,14e,16e,18s,19r,20r,21s,25r,27r,30r,31r,33s,35r,37s,38r)-3-[(2r,3s,4s,5s,6r)-4-amino-3,5-dihydroxy-6-methyloxan-2-yl]oxy-19,25,27,30,31,33,35,37-octahydroxy-18,20,21-trimethyl-23-oxo-22,39-dioxabicyclo[33.3.1]nonatriaconta-4,6,8,10 Chemical compound C1C=C2C[C@@H](OS(O)(=O)=O)CC[C@]2(C)[C@@H]2[C@@H]1[C@@H]1CC[C@H]([C@H](C)CCCC(C)C)[C@@]1(C)CC2.O[C@H]1[C@@H](N)[C@H](O)[C@@H](C)O[C@H]1O[C@H]1/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/[C@H](C)[C@@H](O)[C@@H](C)[C@H](C)OC(=O)C[C@H](O)C[C@H](O)CC[C@@H](O)[C@H](O)C[C@H](O)C[C@](O)(C[C@H](O)[C@H]2C(O)=O)O[C@H]2C1 PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N 0.000 description 4
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101150116295 CAT2 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100326920 Caenorhabditis elegans ctl-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100126846 Neurospora crassa (strain ATCC 24698 / 74-OR23-1A / CBS 708.71 / DSM 1257 / FGSC 987) katG gene Proteins 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005090 crystal field Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000009021 linear effect Effects 0.000 description 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 230000014616 translation Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
30
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Verschiebung eines Gegenstandes
mit Hilfe eines mit dem Gegenstand mechanisch J5 verbundenen Beugungsgitters, dessen Rillen sich quer
zur Verschiebungsrichtung erstrecken, bei der die Strahlung aus einer Strahlungsquelle mit dem Gitter
zweimal hintereinander in Wechselwirkung tritt und ein zugehöriges, ein optisch anisotropes Element enthalten- -to
des optisches System zweimal durchläuft, bei der das optisch anisotrope Element im abbildenden Strahlengang
des Beugungsgitters aufgenommen ist und die Strahlung endgültig auf zwei photoelektrische Wandler
auffällt, in denen bei der Verschiebung Signale unterschiedlicher Phasenlage erzeugt werden.
Eine derartige Vorrichtung ist bekannt, so z. B. aus der CH-PS 4 12 357. Mit dieser Vorrichtung können
Verschiebungen bei einer verhältnismäßig hohen Geschwindigkeit des Rasters genau gemessen werden.
Diese bekannte Vorrichtung hat aber den Nachteil, daß der Weglängenunterschied zwischen ordentlichen
und außerordentlichen Wellen, die sich im anisotropen Element fortpflanzen, von der Wellenlänge der
Strahlung abhängig ist. Ist das anisotrope Element eine sogenannte Viertelwellenlängenplatte, so beträgt der
Weglängenunterschied nur für eine bestimmte Wellenlänge eine Viertelwellenlänge. Wenn auf eine andere
Wellenlänge übergegangen wird, muß das Element, insbesondere die Viertelwellenlängenplatte, durch ein
anderes Element ersetzt werden, um den gleichen Weglängenunterschied einzuhalten. So muß eine dickere
Viertelwellenlängenplatte verwendet werden, wenn eine größere Wellenlänge gewählt wird.
Die Erfindung bezweckt, eine Vorrichtung der obenerwähnten Art achromatisch zu machen, so daß
eine Strahlungsquelle mit einem breiten Emissionsspektrum benutzt werden kann, mit anderen Worten, daß die
Strahlungsquelle besser ausgenutzt werden kann. Sie ist dadurch gekennzeichnet, daß das optisch anisotrope
Element aus einer Reihenschaltung zweier doppelbrechender einachsiger plattenförmiger Kristalle derart
aufgebaut ist, daß die quer zur Kristalloberfläche stehenden Hauptschnitte zueinander senkrecht stehen
und daß in diesen Hauptschnitten der Winkel zwischen der optischen Achse und der Kristalloberfläche bei den
beiden Kristallen gleich ist. Ein derartiges Gebilde aus zwei derartigen Kristallen ist unter der Bezeichnung
»Savart-Platte« bekannt.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß der Weglängenunterschied zwischen den ordentlichen und
den außerordentlichen Wellen in der Savart-Platte in einem geeigneten Schnitt dem Einfallswinkel der
Strahlung auf die Oberfläche der Platte proportional ist (es sei bemerkt, daß in einer üblichen doppelbrechenden
Platte, wie einer λ/4-Piatte, dieser lineare Effekt nicht auftritt). Bei einem Beugungsgitter ist der Winkel
zwischen der Richtung des Bündels der nullten Ordnung und der des Bündels der Ordung +1 bzw. — 1 in erster
Annäherung der Wellenlänge der verwendeten Strahlung proportional. Der Weglängenunterschied der aus
dem Gebilde eines Gitters und einer Savart-Platte austretenden ordentlichen und außerordentlichen
Strahlen bleibt, in Wellenlängen ausgedrückt, demzufolge konstant, wenn die Wellenlänge geändert wird.
Wenn insbesondere ein Weglängenunterschied gleich A/4 zur Umwandlung linear polarisierter Strahlung in
zirkulär polarisierte Strahlung und umgekehrt verlangt wird, wird bei geeigneter Anpassung der Dicke der
Savart-Platte an die Gitterkonstante diese Umwandlung tatsächlich in einem großen Wellenlängenbereich
erhalten.
Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnung beispielsweise näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 eine Ausführungsform einer Vorrichtung zur Bestimmung der Verschiebung eines Gegenstandes und
F i g. 2 und 3 Einzelheiten der Vorrichtung nach Fig. 1.
In der Vorrichtung nach Fig. 1 wird das von der Lichtquelle 2 herrührende Licht mit. der Kreisfrequenz
ω vom Polarisator 3 in linear polarisiertes Licht umgewandelt, dessen Polarisationsrichtung z. B. zu der
Zeichnungsebene parallel ist. An der Stelle A kann das Bündel durch:
A\ uw(üt
dargestellt werden. Das verschiebbare Gitter, dessen Gitterlinien sich quer zur Zeichnungsebene erstrecken,
ist mit 1 bezeichnet. Das Gitter ist starr mit dem (nicht dargestellten) Gegenstand verbunden, dessen Verschiebung
gemessen werden soll. Das Gitter spaltet das Bündel in kohärente Teilbündel auf. Das Teilbündel der
Ordnung —1 kann, z. B. an der Stelle B-\ (Fig. 2), durch:
A2 sin (cat—2 π zip),
das Teilbündel der Ordnung +1, z. B. an der Stelle S+1,
durch:
Ai sin (ωί+2 π zip)
dargestellt werden. Über die plankonvexe Linse 16 fallen die Teilbündel auf den Hohlspiegel 9 auf. Bevor
die Teilbündel der Ordnung +1 und -1 auf die plankonvexe Linse 16 auffallen, durchlaufen sie das
Gebilde 10 zweier Platten 11 und 12, die z. B. aus Quarz bestehen. Die Platten 11 und 12 sind derart orientiert,
daß sowohl der zu der Oberfläche senkrechte
Hauptschnitt der Platte 11 wie auch der der Platte 32
einen Winkel von 45° mit der Zeichnungsebene einschließen. Diese Hauptschnitte sind dabei zueinander
senkrecht.
In der Savart-Platte 10 wird sowohl d;is Bündel der Ordnung +1 wie auch das Bündel der Ordnung — 1 in
ein ordentliches und ein außerordentliches Teilbündel aufgespaltet. Die Dicke des Gebildes der Platten 11 und
12 wird derart gewählt, daß ein Weglängenunterschied
(In + I)A
zwischen den ordentlichen und den außerordentlichen Teilbündeln erhalten wird. Die Teilbündel fallen dann
über die plankonvexe Linse 16 auf den Hohlspiegel 9 auf. Da der Krümmungsmittelpunkt der konvexen
Grenzflächen der Linse 16 mit dem Krümmungsmittelpunkt des Hohlspiegels 9 zusammenfällt, sind die am
Spiegel reflektierten Strahlen nach Brechung an der konvexen Oberfläche der Linse 16 wieder zu den sich
durch die Linse 16 in Richtung auf den Spiegel 9 fortpflanzenden Strahlen parallel. Das Teilbündel der
Ordnung 0 wird dadurch unwirksam gemacht, daß eine absorbierende Schicht 17 auf dem Spiegel angebracht
wird.
Nach Reflexion am Spiegel 9 durchlaufen die Teilbündel wieder die plankonvexe Linse 16 und dann
die Savartplatte 10. Die Teilbündel haben dann einen Weglängenunterschied von
(2n + 1);.
können, z. B. an der Stelle D, durch ein rechtsdrehend zirkulär polarisiertes Bündel mit der Phase
(ct>f— 4 π zip)
r> und ein linksdrehend zirkulär polarisiertes Bündel mit
der Phase
(ωί+4π z/p)
dargestellt werden. Der Phasenunterschied zwischen in den beiden Bündeln betrag φ =8 π zip. Die Summe der
Bündel kann durch eine linear polarisierte Schwingung dargestellt werden, wobei die Lage tx der Polarisationsebene
eine lineare Funktion des Abstandes zist:
α+'/2 φ =
erhalten. Jedes der beiden linear polarisierten Strahlungsbündel ist infolge dieses Weglängenunterschiedes
in ein zirkulär polarisiertes Bündel umgewandelt. Da die Hauptrichtungen der Teilplatten 11 und 12 zueinander
senkrecht sind, ist das eine Bündel (z. B. das der Ordnung — 1) ein rechtsdrehend zirkulär polarisiertes Bündel mit
der Phase:
(ωί-2π z/p)
und das andere Bündel ein linksdrehend zikular polarisiertes Bündel mit der Phase:
{ωί+2πζ1ρ)
Die kohärenten Teilbündel werden am Gitter 1 wieder einer Diffraktion unterworfen. Aus dem Gitter 1
treten in Richtung zusammenfallende kohärente Teilbündel der Ordnung ( — 1, —1) und der Ordnung (+1,
+1) aus. Die in Richtung zusammenfallenden Teilbündel Die linear polarisierte: Schwingung fällt auf die
Reihenschaltung der λ/4-Platte 33, des elektrooptischen,
z. B. aus Kaliumdihydrophosphat hergestellten Kristalls 32 und der λ/4-Piatte auf. Die Hauptriebtungen der
λ/4-Platten 33 und 34 sind zueinander parallel, und die Hauptrichtung des Kristalls 32 schließt mit den
Hauptrichtungen der Platten 33 und 34 einen Winkel von 45° ein. An den Kristall 32 wird eine Wechselspannung
V = Vosincuf
aus der Wechselspannungsquelle 50 angelegt, derart, w daß die von der Spannung im Kristall erzeugte
Feldstärke zu der Fortpflanzungsrichtung der Strahlung im Kristall 32 parallel ist.
In der älteren deutschen veröffentlichten Anmeldung P 18 11 732.3 wurde nachgewiesen, daß die Lage der
jri Polarisationsebene des aus der Reihenschaltung austretenden
linear polarisierten Bündels, abgesehen von der Anfangslage, durch: β sin ωί dargestellt wird. Dabei
stellt β die Amplitude des Verschiebungswinkels der Polarisationsebene dar.
Die Lage der Polarisationsebene des aus der Λ/4-Platte 34 austretenden linear polarisierten Bündels,
z. B. an der Stelle E, kann also z. B. durch:
κ. (z, t) = Q +4 π z/p+ß sin Ωί
dargestellt werden. Der isotrope Teilspiegel 35 spaltet das Bündel in zwei Teilbündel auf. Ein Teilbündel fällt
über den Polarisator 36 auf die Photozelle 38 und das andere Teilbündel über den Polarisator 37 auf die
so Photozelle 39 auf. Die Polarisationsrichtungen der
Polarisatoren 36 und 37 schließen miteinander einen Winkel von 45° ein.
Die Ausgangssignale der Photozellen, die der Intensität des auffallenden Teilbündels proportional
sind, haben die Form:
51 = C2 + Ssin2^(z,/) = C2 + Ssin(2C1 + 8.t z/p + 2fismilt)
52 = C2 + Scos2a(z,0 = C2 + Scos(2C, + 8,-rz/p + 2/isin S2t).
Diese Signale können, z. B. auf die in der älteren Patentanmeldung P 18 11 732.3 oder auf die in der
französischen Patentschrift 13 08 993 beschriebene Weise, weiter verarbeitet werden. Bei einer Verschiebung
des Gitters über einen Abstand Az = p/16 tritt ein
zusätzlicher Nulldurchgang entweder von S\ oder von S2 auf. Dank den Eigenschaften der Savart-Platte 10
kann ω in einem großen Bereich geändert werden. Der Weglängenunterschied in der Savart-Platte zwischen
den ordentlichen und den außerordentlichen Strahlen bleibt in diesem Bereich
(2/1 + I)/.
In Fig.3 ist der Strahlengang durch die Platten 11
und 12 der Savart-PIatte 10 eines senkrecht auf die Oberfläche ABCD der Platte 1 einfallenden Strahls 20
dargestellt. Die mit einem Pfeil 15 angedeutete Richtung der optischen Achse der Platte 11 ist parallel zu der zu
den Eintrittsflächen ABCD senl"-echten Seitenfläche ABER Die Polarisationsrichtung des einfallenden
Strahles 20 ist zu der Fläche ACGE parallel. In der Platte 11 wird der Strahl 20 in zwei Strahlen
aufgespaltet, und zwar einen ordentlichen Strahl 21 mit einer Polarisationsrichtung in der Ebene BCGF, der sich
ungebrochen fortpflanzt, und einen außerordentlichen Strahl 22 mit einer Polarisationsrichtung in der Ebene
AEFB, der gebrochen wird. Die Amplituden der beiden Strahlen sind einander gleich, weil die Polarisationsrichtungen
des gebrochenen und des ungebrochenen Strahls mit der Polarisationsrichtung des einfallenden Strahls 20
Winkel von 45° einschließen.
Der ungebrochene Strahl 21 und der gebrochene Strahl 22 pflanzen sich nach Durchgang durch die Platte
11 parallel zueinander fort, weil die Austrittsfläche EFGH der Platte 11 zu der Eintrittsfläche ABCD
parallel ist. Die Größe der Verschiebung des außerordentlichen Strahls 22 in bezug auf den ordentlichen
Strahl 21 ist von der Dicke der Platte 11 und von dem Winkel zwischen der optischen Achse und der
Oberfläche der Platte abhängig.
Die Strahlen fallen dann auf die Oberfläche KLMN der Platte 12 auf, die der Deutlichkeit halber in der
Zeichnung in einiger Entfernung von der Platte 11 liegt, aber die in Wirklichkeit an dieser Platte festgekittet ist.
Die mit einem Pfeil 16 angedeutete Richtung der optischen Achse der Platte 12 ist parallel zu der zu der
Eintrittsfläche KLMNsenkrechten Seitenfläche LMQR,
die ihrerseits zu der Fläche ABEF der Platte 11 senkrecht ist. Der Strahl 21, dessen Polarisationsrichtung
zu dem Hauptschnitt LMQR der Platte 12 parallel ist, ist für diese Platte ein außerordentlicher Strahl und
wird in einer zu dem Hauptschnitt parallelen Richtung gebrochen. Der Strahl 22, dessen Polarisationsrichtung
zu dem Hauptschnitt LMQR senkrecht ist, ist für die Platte 12 ein ordentlicher Strahl und pflanzt sich
ungebrochen fort.
Die Verschiebung des aus der Platte 12 austretenden gebrochenen Strahls 23 in bezug auf den Strahl 21 ist bei
einer gleichen Dicke der Platten 11 und 12 gleich der Verschiebung des Strahls 22 in bezug auf den Strahl 21.
Da die Richtung der einen Verschiebung zu der der anderen Verschiebung senkrecht ist, schließt die Ebent
der aus der Savart-PIatte austretenden Strahlen 23 unc 24 einen Winkel von 45° sowohl mit dem Hauptschnit
ABEF der Platte 11 wie auch mit dem Hauptschnit r) LMQR der Platte 12 ein. Der Weglängenunterschiec
des Strahls 23 in bezug auf den Strahl 24 ist gleich NuI bei gleicher Dicke der Platten.
Wenn der einfallende Strahl nicht senkrecht auf die Oberfläche ABCD der Savart-PIatte 10 auffällt unc
ι« somit der Einfallswinkel / von 0° abweicht, wird dei
Winkel von 45° zwischen der Ebene der austretender Strahlen und den Hauptschnitten aufrechterhalten
Diese Ebene ist also nach wie vor quer zu den Rillen des Rasters 1 orientiert.
Es läßt sich errechnen (vgl. Franion »Optica Interferemetry«, S. 140), daß der Weglängenunterschiec
Δ zwischen den aus der Savart-PIatte austretender zueinander senkrecht polarisierten Strahlen proportional
dem Winkel /ist:Δ = ei.
-'» Die aus dem Gitter 1 austretenden Strahlen dei
Ordnung +1 bzw. der Ordnung — 1 schließen mit der zi
dem Raster parallelen Oberfläche der Savart-Plattf einen Winkel +/bzw. —/ein. Diese Winkel +/und —
sind der Wellenlänge der auf das Gitter 1 auffallender
2> Strahlung proportional: (i = c\%), so daß Δ = ei = οτλ
Der Weglängenunterschied zwischen den aus dei Savart-PIatte austretenden zueinander senkrecht pola
risierten Strahlen ist also, in Wellenlängen ausgedrückt konstant.
Jd Bei einer Ausführungsform bestand die Savart-Platte
10 aus zwei Quarzkristallen 11 und 12 mit je einer Dickf von 0,9 mm. Die optische Achse jedes Kristalls schlo[
mit der Kristalloberfläche einen Winkel von 45° ein Das Gitter 1 hatte eine Gitterkonstante von ρ — 8 μΐη
j") Die Wellenlänge der Strahlung variierte zwischer
0,6 μίτι und 1,2 μπι.
Durch Drehung des Gitters 1 um eine Achse quer zi der Gitteroberfläche kann eine genaue Anpassung de;
reellen Weglängenunterschieds zwischen den gewöhnli chen und den außerordentlichen Strahlen in dei
Savart-PIatte an die Gitterkonstante erhalten werden.
Es versteht sich, daß die Vorrichtung nach dei Erfindung auch angewandt werden kann, wenn da;
Raster als ein Reflexionsgitter ausgebildet ist. Die Vorrichtung eignet sich nicht nur zum Messen vor
Translationen, sondern auch zum Messen von Rotationen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Verschiebung eines Gegenstandes mit Hilfe eines
mit dem Gegenstand mechanisch verbundenen Beugungsgitters, dessen Rillen sich quer zur
Verschiebungsrichtung erstrecken, bei der die Strahlung aus einer Strahlungsquelle mit dem Gitter
zweimal hintereinander in Wechselwirkung tritt und ι ο ein zugehöriges, ein optisch anisotropes Element
enthaltendes optisches System zweimal durchläuft, bei der das optisch anisotrope Element im
abbildenden Strahlengang des Beugungsgitters aufgenommen ist und die Strahlung endgültig auf zwei
photoelektrische Wandler auffällt, in denen bei der Verschiebung Signale unterschiedlicher Phasenlage
erzeugtwsrden, dadurch gekennzeichnet, daß das optisch anisotrope Element aus einer
Reihenschaltung zweier doppelbrechender einachsiger plattenförmiger Kristalle (U, i2) derart
aufgebaut ist, daß die quer zur Kristalloberfläche stehenden Hauptschnitte zueinander senkrecht
stehen und daß in diesen Hauptschnitten der Winkel zwischen der optischen Achse und der Kristalloberfläche
bei den beiden Kristallen gleich ist
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel zwischen 30° und 45° liegt.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL6900491A NL6900491A (de) | 1969-01-11 | 1969-01-11 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1963835A1 DE1963835A1 (de) | 1970-09-17 |
| DE1963835B2 true DE1963835B2 (de) | 1978-10-19 |
| DE1963835C3 DE1963835C3 (de) | 1979-06-21 |
Family
ID=19805844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE1963835A Expired DE1963835C3 (de) | 1969-01-11 | 1969-12-19 | Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Verschiebung eines Gegenstandes mit Hilfe eines mit dem Gegenstand mechanisch verbundenen Beugungsgitters |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3630625A (de) |
| JP (1) | JPS501217B1 (de) |
| AU (1) | AU1012370A (de) |
| BE (1) | BE744278A (de) |
| CH (1) | CH519700A (de) |
| DE (1) | DE1963835C3 (de) |
| FR (1) | FR2028166A1 (de) |
| GB (1) | GB1303261A (de) |
| NL (1) | NL6900491A (de) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2451668A1 (de) * | 1974-10-31 | 1976-05-06 | Leitz Ernst Gmbh | Anordnung zur geometrischen trennung von lichtfluessen in abbildungssystemen |
| JPS51105876A (ja) * | 1975-03-14 | 1976-09-20 | Hitachi Ltd | Jikikogakukokaomochiirukodokei |
| DE2857203A1 (de) * | 1977-11-25 | 1980-11-27 | J Mckelvie | Method and apparatus for sensing in-plane deformation of a surface |
| DE3633574A1 (de) * | 1986-10-02 | 1988-04-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische winkelmesseinrichtung |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2441049A (en) * | 1944-09-29 | 1948-05-04 | Polaroid Corp | Composite achromatic wave plates comprising superimposed sheets of differently birefringent, molecularly oriented, transparent, solid, organic plastic material |
| DE1548707C3 (de) * | 1966-07-26 | 1979-02-15 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Fotoelektrischer Schrittgeber |
-
1969
- 1969-01-11 NL NL6900491A patent/NL6900491A/xx unknown
- 1969-12-19 DE DE1963835A patent/DE1963835C3/de not_active Expired
-
1970
- 1970-01-07 AU AU10123/70A patent/AU1012370A/en not_active Expired
- 1970-01-07 US US1117A patent/US3630625A/en not_active Expired - Lifetime
- 1970-01-08 GB GB98070A patent/GB1303261A/en not_active Expired
- 1970-01-08 CH CH20070A patent/CH519700A/de not_active IP Right Cessation
- 1970-01-08 JP JP45002360A patent/JPS501217B1/ja active Pending
- 1970-01-09 BE BE744278D patent/BE744278A/xx unknown
- 1970-01-12 FR FR7000849A patent/FR2028166A1/fr not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS501217B1 (de) | 1975-01-16 |
| BE744278A (fr) | 1970-07-09 |
| GB1303261A (de) | 1973-01-17 |
| AU1012370A (en) | 1971-07-08 |
| DE1963835A1 (de) | 1970-09-17 |
| CH519700A (de) | 1972-02-29 |
| NL6900491A (de) | 1970-07-14 |
| DE1963835C3 (de) | 1979-06-21 |
| US3630625A (en) | 1971-12-28 |
| FR2028166A1 (de) | 1970-10-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3702203C2 (de) | Verfahren zum Messen von Relativbewegungen | |
| DE69107549T2 (de) | Optischer Faserkreisel. | |
| DE2414034A1 (de) | Verfahren zur messung der dicke mehrerer uebereinanderliegender schichten | |
| EP0561015A1 (de) | Interferometrische Phasenmessung | |
| DE3877543T2 (de) | Optischer fibersensor. | |
| EP0021148A1 (de) | Verfahren und Einrichtung zur interferometrischen Messung | |
| DE2259244A1 (de) | Verfahren zur modulation des optischen weges und interferenzmodulator zur ausuebung dieses verfahrens | |
| DE2127483A1 (de) | Verfahren zur interferentiellen Messung von Langen, Winkeln, Gangunter schieden oder Geschwindigkeiten | |
| DE3212809A1 (de) | Strahlteiler | |
| DE1939005C3 (de) | Fotoelektrische Vorrichtung zur Bestimmung der Bewegung eines Gegenstandes | |
| DE3942385A1 (de) | Verschiebungsmessgeraet des interferenzgittertyps | |
| DE1946301C3 (de) | Vorrichtung zum Messen einer Rotation eines ersten Gegenstandes in Bezug auf einen zweiten Gegenstand | |
| DE2806777C2 (de) | ||
| DE2122920C2 (de) | Verfahren zum Messen von Drehgeschwindigkeiten und Einrichtung zum Durchführen des Verfahrens | |
| DE3915143A1 (de) | Optischer geber | |
| DE1963835C3 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Verschiebung eines Gegenstandes mit Hilfe eines mit dem Gegenstand mechanisch verbundenen Beugungsgitters | |
| EP0017822B1 (de) | Vorrichtung zur Analyse des Polarisationszustandes einer Strahlung | |
| DE2122940A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Spektralanalyse | |
| DE2132735C3 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung der Lage eines Gegenstandes in einem beliebigen Querschnitt eines Strahlungsbündels | |
| DE1598919A1 (de) | Messgeraet fuer den zirkularen Dichroismus von Materialproben | |
| DE102018118842A1 (de) | Relativpositions-detektionsmittel und verschiebungs-detektionsvorrichtung | |
| DE1960116C3 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung der Verschiebung eines Gegenstandes mit Hilfe eines mit dem Gegenstand mechanisch starr verbundenen Gitters | |
| DE112020005233T5 (de) | Messgerät mit heterodynem gitter und messverfahren | |
| DE19611037A1 (de) | Polarisierender Strahlteiler auf der Basis von Wollaston-Prismen | |
| DE69103559T2 (de) | Abstandsdetektionsanordnung einer physikalischen Grösse durch Reflektion. |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |