DE1963644A1 - Verfahren zum Herstellen von Teilen mit Loechern oder Vertiefungen - Google Patents
Verfahren zum Herstellen von Teilen mit Loechern oder VertiefungenInfo
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Description
β FrcriUiütt/Maln 1
Nlddastr. 52
18. Dez. 1969
1336 - HD - 2813
GENERAL ELECTRIG COMPANY
1 River Road
Schenectady, N.Y. /USA
Schenectady, N.Y. /USA
Verfahren zum Herstellen von Teilen mit Löchern oder Vertiefungen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von
Teilen mit Löchern oder Vertiefungen, vorzugsweise kleinen Querschnitts.
Es wurde schon lange erkannt, daß dünne, tafelförmige Körper mit Öffnungen oder Löchern von extrem geringer
Größe zahlreiche wichtige Anwendungsgebiete aufweisen. In der Vergangenheit wurden Metallfilter durch Weben
von Metalldrähten hergestellt, so daß sich ein feines Sieb ergibt. Die Löcher in diesen Sieben sind jedoch
grob und unregelmäßig. Gemäß einem anderen Herstellverfahren wird ein feines Metallpulver mit einem anderen
Pulver, das ebenfalls aus Metall sein kann, gemischt und die Mischung anschließend gesintert, so daß sich
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eine kompakte Hasse bildet, die sodann geätet wird, um
eines der Pulver zu entfernen· Das so erzeugte Produkt
weist jedoch grobe und unregelmäßige Poren auf.
Poröse Körper, wie expandierte Vycor-Röhren und bestimmte
Filterpapiere, weisen Löcher mit kleinem Querschnitt auf, jedoch können diese bei zahlreichen Anwendungsfällen
nicht verwendet werden, wo eine hohe Zugfestigkeit oder elektrische oder metallische Eigenschaften gefordert
werden. Obwohl Filter mit Löchern kleinen Querschnitts bereits durch Bestrahlen oder Belichten einer Kunststofftafel
und Abätzen der Strahlenspuren hergestellt wurden, so ist jedoch dieses Verfahren bei Metallen
nicht anwendbar.
Bank der Erfindung ist es möglich, in dünne Tafeln, die aus einer Legierung bestehen, öffnungen oder Löcher
anzubringen. Die gemäß der Erfindung erzeugten Teile können dort verwendet werden, wo die bekannten porösen
Körper nicht anwendbar sind.
Gemäß der Erfindung wird ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem (a) ein Gußkörper, aus einer Legierung bestehend,
verwendet wird, wobei die Legierung in gegossenem, festem Zustand mindestens zwei Phasen aufweist, (b)
dieser Körper so behandelt wird, daß sich eine Phase in einem Grundgefüge der zweiten oder anderer Phasen
fein verteilt und (c) das so behandelte Teil so geätzt wird, daß die fein verteilte Phase bis zur gewünschten
Tiefe entfernt wird.
Die so erzeugten Löcher oder Vertiefungen, die sich durch
Wegätzen der ersten Phase ergeben, sind im wesentlichen untereinander gleich groß. Zusätzlich können diese Lö-
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eher oder Vertiefungen ganz oder teilweise mit bestimmten
Materialien ausgefüllt werden, so daß sich zusammengesetzte Körper für eine Vielzahl von Spezialzwecke]! ergeben.
Die Erfindung wird nachstehend mit ihren verschiedenen Aueführungsformen näher beschrieben. Die Figuren zeigen
hierbei ein Ausführungsbeispiel.
Die Figur 1 zeigt eine Mikroaufnahme mit 75Ofacher Vergrößerung eines Werkstücks aus 94 Gew.# Titan und 6 Gew.# *
Molybdän, das, wie in dem beigefügten Beispiel beschrieben, bearbeitet wurde. Die Aufnahme zeigt die feine Verteilung der molybdänreichen Phase in einem Grundgefüge
aus titanreicher Phase.
Die Figur 2 ist eine Durchlichtaufnähme mit 10 00Ofacher
Vergrößerung des Werkstücks nach Fig. 1, nachdem entsprechend dem Beispiel die Molybdänphase durch Ätzen
beseitigt wurde, so daß Löcher entstanden sind.
Allgemein besteht der Gegenstand der Erfindung aus einem festen Körper, der eine Vielzahl von Vertiefungen oder λ
Löchern sehr geringen Querschnitts aufweist. Hierbei versteht man unter den Ausdrücken "Poren" und "Löcher"
solche Löcher, die sich von einer Seite des geätzten Körpers zur gegenüberliegenden Seite erstrecken, unter
dem Ausdruck "Vertiefung" sind solche Löcher zu verstehen, die von einer Seite des Körpers ausgehen und in dem
Körper selbst enden, unter dem Wort "Phase" sind Stoffe
zu verstehen, die im wesentlichen die gleichen Eigenschaften, wie z.B. gleiche Kristallstruktur und gleiche Zusammensetzung, aufweisen.
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Das Verfahren gemäß der Erfindung geht aus von einer
Legierung, die im festen Zustand mindestens zwei Phasen aufweist. Die Legierung wird hierbei so behandelt, daß
mindestens eine Phase in fein verteilter Form in einer Matrix oder einem G-rundgefüge der zweiten oder anderer
Phasen vorliegt. Die so behandelte Legierung, die den vorbeschriebenen Aufbau zeigt, wird geätzt, um die fein
verteilte Phase bis zur gewünschten Tiefe zu beseitigen, so daß sich Löcher oder - falls gewünscht - Vertiefungen
bilden.
Die verwendete Legierung weist also mindestens zwei Phasen
in festem Zustand auf, wobei die Legierung so behandelt wird, daß eine Phase fein verteilt in einem-Grundgefüge
der anderen Phase oder Phasen vorliegt. Die Behandlung kann auf mehrere Weisen erfolgen und hängt ab von der
Art der Legierung und ihrer Zusammensetzung.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird eine Legierung
verwendet, die im gegossenen und erstarrten mindestens zwei Phasen aufweist, wenn sie gegossen ist.
Die Legierung wird gegossen und anschließend plastisch verformt, um im wesentlichen die durch das Gießen gebildete
innere Struktur zu zerstören. Der sich so ergebende aus einer Legierung bestehende Teil wird bis
oberhalb seiner Rekristallisationstemperatur erhitzt. Hierbei wird das durch Verformung entstandene Spannungsgefüge
durch ein spannungsfreies Kristallgefüge ersetzt.
Die Größe der Rekristallisation hängt in großem Mäße ab von der angewendeten Rekristallisationstemperatur.
Allgemein gilt, daß je höher die benutzte Rekristallisationstemperatur ist, um so kürzer die Zeit für eine
vollständige Kornneubildung ist.
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Weiterhin gilt allgemein, daß je stärker die Verformung war, um so kleiner das neu gebildete Korn wird. Beispiele
für die nach dem Verfahren verwendbaren Legierungen sind Ag - Ou, Ag - Al, Al-Co, Al - Ou, Al - Mg,
Au - Ge, Au - In, Be - Je, Be - Ou, Be - Ni, Be - Zr, Bi - Mg, 0 - Fe, 0 - Mn, C-Ti, Co- Cr, Pe-Mn und
V - Zr.
Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung kann eine legierung verwendet werden, bei welcher eine
Phasenausscheidung auftritt. Eine solche legierung wird als Vergütungs- oder Ausscheidungslegierung bezeichnet,
bei der aus einer einzigen festen Phase eine zweite Phase ausgeschieden wird. Die Behandlung einer
solchen legierung, um eine feine Verteilung der ausgeschiedenen festen Phase in einer anderen Phase zu erhalten,
besteht darin, die Legierung zu gießen, plastisch zu verformen, damit der durch das Gießen erhaltene Aufbau
zerstört wird, Erhitzen auf eine Temperatur, bei welcher die aus einer einzigen Phase bestehende feste Lösung so
lange belassen wird, daß sie homogen wird, Abschrecken auf Raumtemperatur, so daß eine übersättigte, aus nur
einer Phase bestehende feste Lösung entsteht, die thermisch instabil ist und Erhitzen der Lösung auf eine
Temperatur, bei der die zweite Phase ausfällt. Die Temperatur für diese Ausscheidung und ihre Dauer bestimmt
die Größe der einzelnen Teilchen der ausgeschiedenen Phase. Je höher diese Ausscheidungstemperatur und je
länger diese Temperatur gehalten wird, um so größer werden die ausgeschiedenen Teilchen, d.h. sie werden
mit wachsender Temperatur und Zeit grobkörniger. Andererseits werden bei niederer Ausscheidungstemperatur
und kürzerer Dauer die Teilchen der ausgeschiedenen Phase kleiner, d.h. die kleinsten Teilchen erhält man,
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wenn die Legierung gerade auf die Temperatur erhitzt wird, bei der die zweite Phase ausscheidet. Sie !Teilchen der ausgeschiedenen
Phase werden im allgemeinen gleich groß sein. Ihre jeweilige form hängt jedoch von der Behandlung der
Legierung ab.
Es gibt zahlreiche Legierungen, bei denen beim Abkühlen in festem Zustand eine Ausscheidung auftritt, so daß
zwei Phasen entstehen. Bei diesen Legierungen tritt die Ausscheidung bei einer bestimmten Zusammensetzung und
in einem bestimmten !Temperaturbereich auf, d.h. unter einer bestimmten für die Legierungszusammensetzung eigentümlichen
Temperatur. Die Zusammensetzungen und die Ausscheidungstemperaturen können den Zuetandsschaubildern
in der Literatur entnommen werden. Als Beispiele der hier geeigneten Legierungen gelten Cu-Co, Al - Mg,
- Zn, Cu - Al, Ni - Ti, Cu - Be, Ni - Be und Bi - Sn.
Gemäß einem weiteren Äasfiüirungsbeispiel können Legierungen
verwendet werden, bei denen im festen Zustand eine Zweiphasenstruktur vorliegt, bei denen jedoch eine
martensitische Umwandlung auftritt. Die Martensitphase
tritt in einem bestimmten Temperaturbereich während der Abkühlung auf.
Die Behandlung einer solchen Legierung zur Erzeugung einer fein verteilten Phase besteht darin, zuerst die
Legierung zu gießen, plastisch zu verformen, um die Gießstruktur zu zerstören, Erhitzen der Legierung über
die Rekristallisationstemperatur und über die Temperatur, bei welcher die Martensitumwandlung auftritt,
wobei die Legierung so lange belassen wird, bis ihr Gefüge homogen ist, Abschrecken auf Raumtemperatur,
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Erhitzen des abgeschreckten Körpers auf eine Temperatur über diejenige, bei der die Martensitumwandlung auftritt
und Bearbeiten dieses heißen Körpers, damit mindestens eine feine Phase vorliegt. Es ist klar, daß bei dieser
Legierungsart das Bearbeiten des Teiles bei einer Temperatur,
bei der zwei feste Phasen vorliegen, d.h. bei einer Temperatur über derjenigen bei der die Martensitumwandlung
eintritt, dazu führt, daß mindestens eine Phase in fein verteilter form beim Abkühlen auftritt. Wiederholtes Erhitzen
der Legierung in den Temperaturbereich, wo zwei *
Phasen vorliegen, also oberhalb der Martensitumwandlungstemperatur,
und Bearbeiten dieser Legierung bei diesem Temperaturbereich ergibt eine noch feinere Verteilung
der späteren zu ätzenden Phase. Die Bearbeitung kann z.B. durch Walzen oder Schmieden erfolgen.
Es sind zahlreiche Legierungszusammensetzungen ts::a,:mt,
bei denen mindestens zwei Phasen vorkommen und bzu, denen
eine Umwandlung in eine Martensitphase beim Al „ ^.«.ü
auftritt· Solche Legierungen und ihre Zusammen^l^iir.,-sind
aus der Literatur bekannt. Beispiele hier!Ur sind Pe - C, Ti - Y, Pe - Ni, Au - Cb, Fe-Ni- G.
Allgemein gesprochen, werden die Legierungsbestandteile zusammengeschmolzen, damit eine möglichst einheitliche
Schmelze entsteht. Die Schmelze wird dann zu einem Werkstück geeigneter Größe nach einer üblichen Methode
gegossen, Die gegossene Legierung wird plastisch verformt, um dies Gußgefüge zu zerstören. Hierbei können
zahlreiche Methoden verwendet weden, z.B. kann die Legierung, da heiß und verformbar, stranggepreßt, gewalzt,
geschmiedet oder gepreßt werden. Die Temperatur, bei der die Legierung heiß bearbeitet wird, hängt weit-
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gehend von der bei den jeweiligen Temperaturen vorhandenen Verformbarkeit ab.
Die Legierung wird dann weiterbehandelt, damit eine Phase in einem Grundgefüge einer zweiten oder anderen Phasen
fein verteilt wird. Nach dieser Behandlung wird das Werkstück erhitzt, damit das Gefüge sich stabilisiert. Die
Temperatur liegt hierbei gerade über der Rekristallisationstemperatur und die Dauer Entspricht der für die
Stabilisierung notwendigen Zeit.
Allgemein wird vor dem Ätzen die Legierung in einer Ebene quer zur Bearbeitungsrichtung aufgeschnitten, damit man
einen Teil mit einer Oberfläche mit im wesentlichen einheitlich verteilter Phase erhält. DasAbschneiden erfolgt
mittels konventioneller Methoden, wie beispiels*- weise Sägen, Abstechen oder Funkenbearbeitung.
Beispielsweise wird zurHerstellung eines Filters quer eine dünne Scheibe abgeschnitten, deren Dicke weitgehend
von den Festigkeitseigenschaften der Legierung und ihrer Dehnbarkeit in bezug auf die gewünschte Dicke
des Endproduktes abhängt. Die Scheibe kann nunmehr direkt geätzt werden, vorzugsweise wird sie jedoch vor
dem Ätzen poliert, damit die durch das Abschneiden zerstörte Oberfläche beseitigt wird. Dieses Polieren
ist auch wegen der Verminderung der Dicke der Scheibe auf das gewünschte Maß, z.B. auf Folienmaß, günstig.
Die verwendeten Säuren hängen weitgehend von der Zusammensetzung der zu beseitigenden Phase und dem verbleibenden
Teil des Werkstücks ab. Die Zusammensetzung kann den Zustandsdiagrammen aus der Literatur entnommen werden.
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Ist das Zustandsdiagramm nicht erhältlich, kann die Zusammensetzung
leicht durch metallographische Verfahren und eine ficirfcgenstrahlenanalyse ermittelt werden. Die
verwendete Säure soll nur die zu beseitigende Phase angreifen und keine wesentliche Wirkung auf den verbleibenden
Teil des Werkstücks haben.
Das Ätzen kann in einem der zahlreichen Verfahren durchgeführt werden. Beispielsweise kann der aus einer Legierung
bestehende Teil in eine Ätzflüssigkeit eingelegt werden, bis die zu beseitigende Phase genügend abgeätzt
ist,.so daß sich Löcher bilden. Werden jedoch anstelle von Löchern Vertiefungen gewünscht, sollte nur eine Seite
des Werkstücks der Säure ausgesetzt werden, bis die zu entfernende Phase abgeätzt ist und sich Vertiefungen
der gewünschten Tiefe gebildet haben. In einigen Fällen,
insbesondere wenn das Werkstück so dünn wie eins Poll?
is··;, ist ein elektrolytisches Ätzverfahren vcrzusiehen,
da ea schnell und vor allem leicht kontrollierbar durchzuführen
ist. Nach dem Ätzen wird das Werkstück mit Wasser oder einer Neutralisierflüssigkeit gereinigt^
damit eine weitere Ätzwirkung unterbunden ist.
Der Ätzvorgang, entweder durch einfachen Kontakt des
Werkstücks mit der Ätzflüssigkeit oder mittels anderer Verfahren, kann so vorgenommen werden, daß Löcher der
gewünschten Größe entstehen. Speziell können Sie geätzten
Looher so groß sein, wie die Größe der Teilchen der abgeätzten Phase. Jedoch ist es auch möglich, daß die
Löcher feiner sind als die Teilchengröße, was durchführbar ist, wenn eine entsprechende Dicke des Werkstücks
gewählt wird und/oder durch entsprechende Wahl der chemischen
Wirkung der Säure. In diesem Zusammenhang ist die elektrochemische Art der Phasen ein wichtiger Faktor,
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besonders ihre Reaktionsvermögen mit den Ätzmitteln, die ebenfalls Electrolyte darstellen. Beispielweise ist bei
einer silberreichen Silber-Kupferlegierung die Kupferphase reaktionsfreudiger als die Silberphase, entsprechend
der Lage in der elektromotorischen Spannungsreihe· Die Kupferatome haben eine stärkere Tendenz als Ionen in
Lösung zu gehen, wobei sie Elektronen an das verbleibende Kupfer abgeben, so daß dieses negativ wird und sich
ein galvanischer Sffekt ergibt. Beim Ätzprozeß einer
Legierung gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren scheint eine Konzentration dieses galvanischen Effekts im Zentrum
jedes auszuätzenden Teilchens vorhanden zu sein, so daß dieser Mittenbereich der (Teilchen bevorzugt von
dem Ätzmittel angegriffen werden, bis die Perforation erfolgtο Danach erfolgt das Abätzen vom Zentrum aus zu
den landbereiclien des Teilchens, Dieser galvanisch®
Effekt kann verstärkt werden durch Erhöhen der Ätzwirkimgj
indem ein Elektrolyt wrwendet wircL Vorteilhaft ist die«
ser Effelit bei -Sicken Werkstücken, insbesonders feei
disksE. lolie&p *ibä in liesen feine Löcher au erzeugen,
wobei der Ätzvorgang beendet wird, sobald sicla. elas loeli
gebildet hat uM bevor der Ätzvorgang in Richtung der
Randbereiche äer zu lösenden Teilchen fortschreitet» Andererseits können bei dünnen Polien das Ätzmittel den
Zentralbereiek eines jeden ParlkelchenB so schnell auflösen,
daß die Eandbersiohe ebenfalls angegriffen werden^
bevor der Ätzvorgang abgebrochen wird, was zu größeren
Löchern führt. Zusätzlich kann gesagt werden, daß bei schnellerem chemischen Angriff, d.h«, je schneller die
Teilchen in der Säure gelöst werden, die Kontrolle der durch Ätzen entstandenen Lochgröße schwieriger wird.
Deshalb sollte die Wirkung, d.h. die Wirksamkeit des Ätzmittels direkt proportional der Dicke der zu ätzenden
Folie gemacht werden» Dies kann durch entsprechende Wahl
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der Arten oder der Reaktionsfähigkeit des Ätzmittels oder der Ätzmethode erfolgen.
Bei den Gegenständen, die gemäß der Erfindung hergestellt
werden, kann die Sicke des Werkstücks in weiten Grenzen variieren und hängt meist vom Verwendungszweck des späteren
Endprodukts ab. Das Minimum ist eine Sicke, welche gerade noch einen PiIm ergibt, allgemein etwa 1 000 Angström,
abhängig hierbei von der verwendeten Legierung. Sas Minimum und das Maximum der Sicke ist abhängig von ä
der Ätzbarkeit der Phase, die als Grundgefüge dient und
von der abzuätzenden Phase. Sie.geätzten Löcher oder Vertiefungen weisen im wesentlichen einheitlichen Querschnitt
auf. Ihre Querschnittsfläche, d.h. ihr Surchmesser, hängt weitgehend vom späteren Verwendungszweck des Erzeugnisses
ab und kann um etwa 50 Angström und darunter betragen. Nach oben ist die Querschnittefläche der Löcher oder Vertiefungen
nicht begrenzt, da vor dem Ätzen die bearbeitete Legierung so erhitzt werden kann, daß die Teilchen
die gewünschte Größe annehmen. Sie vorliegende Erfindung ist besonders für die Herstellung poröser Folien
nützlich.
Alle die hier gemachten Angaben über Teile, Verhältnisse oder Beträge .sind Gewichtsangaben, falls nichts anderes
angegeben ist.
Sie Erfindung wird nachstehend an einem Beispiel verdeutlicht.
Surch Vakuumschmelzen mittels Elektronenstrahlen wurde eine Probe einer 94 % Titan - 6 % Molybdän - Legierung
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hergestellt.· Die verwendeten Metalle hatten einen Reinheitsgrad von 99,999 #. Das sich ergebende Teil, d.h.
das Werkstück,hatte eine Dicke von etwa 19 mm. Die beiden
einander gegenüberliegenden Scheibenflächen wurden maschinell bearbeitet, damit sie planparallel wurden.
Der so erhaltene Teil hatte einen Durchmesser von 50 mm und eine Dicke von etwa 19 mm. Dieser Teil wurde, um
eine Oxydation des Titans zu verhindern, in Titanfolie eingeschlagen und in einem Ofen mit reiner Heliumatmosphäre
erhitzt. Alle nachfolgenden Wärmebehandlungen des aus dieser legierung bestehenden Werkstücks wurden
in reiner Heliumatmosphäre durchgeführt. Nachdem das
Werkstück eine Temperatur von 1200° C erreicht hatte, wurde es aus dem Ofen genommen und durch Hämmerschmieden
auf eine Stärke von 9,5 mm (0,385") gebracht, wobei das Schmelzgefüge zerstört wurde.
Das Werkstück wurde sodann in einem Ofen auf 800° C erhitzt und 30 min lang auf dieser Temperatur gehalten,
damit sein Gefüge homogenisiert wurde. Sodann erfolgte ein Abschrecken in Wasser auf Raumtemperatur.
Das Werkstück wurde anschließend auf 700° C erhitzt. Diese
Temperatur liegt über der Temperatur, über der Martensit
vorkommt. Es wurde sodann etwa 20 see heißgewalzt. Das Erwärmen und Heißwalzen wurde zweimal wiederholt. Das
Werkstück wurde danach auf Zimmertemperatur in Wasser abgeschreckt. Seine Stärke betrug 6,3 mm. Es erfolgte dann
abermals eine Erwärmung auf 750° C, ein Heißwalzen und ein Abschrecken in Wasser auf Raumtemperatur. Das Werkstück
wurde in seiner Stärke auf 4,75 mm (0,187") reduziert. Nachfolgend wurde es auf 800° C erwärmt, abermals
heißgewalzt und in Wasser auf Raumtemperatur abge-
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schreckt, so daß seine Stärke nunmehr 3,5 mm (0,138 ")
betrug. .
Anschließend wurde das Werkstück auf 750° G erhitzt und
1/2 Stunde in dieser Temperatur belassen, damit sein G-efüge stabil wurde. Es wurde dann rasch in Luft auf
Raumtemperatur abgekühlt.
■/r
Vom Werkstück wurde danach quer eine dünne Scheibe von
1,27 mm (0,05") abgeschnitten. Diese dünne Scheibe wurde beidseitig geschliffen und poliert, bis eine Folie von ™
0,076 mm (0,003") Dicke entstand. Diese Folie wurde dann
noch dünner gemacht, elektropoliert unter Verwendung einer Lösung aus 94 ml Essigsäure und 6 ml Perchlorsäure,
bis ihre Dicke 5 Mikron betrug. Eine Mikroaufnahme der Folie zeigt Fig. 1. Diese dünne Folie wurde anschließend
bei Raumtemperatur einer Säure ausgesetzt, die aus 2 ml konzentrierter 49$iger Flußsäure, 2 ml konzentrierter
70$iger Salpetersäure und 96 ml Wasser bestand, bis die Molybdänphase im wesentlichen beseitigt war. Das Auflösen
der molybdänreichen Phase wurde durch periodische Entnahme einer Probe der Folie aus der Säure und deren Untersuchung
unter dem Elektronenmikroskop überwacht. i
Die fertig geätzte Folie wurde sodann in ein Elektronenmikroskop gegeben und ein bei Durchstrahlung erzeugtes
Schattenbild angefertigt, wie es die Fig. 2 zeigt.
Die Enddicke der geätzten Folie betrug etwa 0,5 Mikron.
Die Löcher, die durch das Lösen der molybdänreichen Phase erzeugt wurden, waren im wesentlichen von gleicher Größe,
d.h. etwa 5 000 Angström im Durchmesser. Es erschien, als ob die Löcher durch die ganze Folie hindurch im
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wesentlichen gleich waren. Die geätzte Polie war beispielsweise als Filter gut geeignet.
Da der poröse geätzte Körper in dünnen Folien mit einer hohen Zugfestigkeit erzeugt werden kann, ist er besonders
als Filter zum !Trennen sehr feiner Stoff, z.B. zur !Reinigung von Wasser, geeignet. Ein solcher Filter
ermöglicht einen guten Flüssigkeitsdurchsatz, da infolge seiner geringen Dicke er einen geringen Strömungswiderstand
für das durchfließende Medium darstellt. Zusätzlich ist infolge der hohen Zugfestigkeit der Folie eine
Druckanwendung möglich, um den Flüssigkeitsdurchsatz zu erhöhen.
Das Anwendungsgebiet der erfindungsgemäß erzeugten Körper ist sehr groß. Beispielsweise können die durch
Ätzen erzeugten Löcher oder Vertiefungen mit einem Material ausgefüllt werden, das unterschiedlich zu dem
verbleibenden (und/oder herausgeätzten) Material ist. So ist zum Beispiel eine Füllung mit supraleitfähigem
Material oder mit Eisenteilchen möglich, um eine orientierte aus einzelnen Weißschen Bezirken- bestehende
ferromagnetische Platte zu erhalten.
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Claims (8)
1. Verfahren zum Herstellen von Teilen mit Löchern oder Vertiefungen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Gußkörper
aus einer Legierung verwendet wird, die in gegossenem, festem Zustand mindestens zwei Phasen
aufweist, dieser aus einer Legierung bestehende Gußkörper so behandelt wird, daß sich eine Phase
fein verteilt in einem Grundgefüge (Matrix) der zweiten oder anderer Phasen und das so behandelte
Teil so geätzt wird, daß die fein verteilte Phase bis zur gewünschten Tiefe entfernt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlung eine plastische Verformung des
aus einer Legierung bestehenden Gußkörpers und ein Erhitzen des Teils über seine Rekristallisationstemperatur umfaßt.
3« Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß als Legierung eine Ausscheidungslegierung verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlung eine plastische Verformung des
aus einer Legierung bestehenden Gußkörpers umfaßt, um im wesentlichen das Gußgefüge zu zerstören, sodann
der Körper auf eine Temperatur erhitzt wird, bei der nur eine einzige Phase vorliegt und bei der
das Gefüge homogenisiert wird, der erhitzte Körper abgeschreckt und der abgeschreckte Teil sodann auf
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eine Temperatur erhitzt wird, "bei der die zweite Phase
ausscheidet.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß "bei der Legierung eine martensitische Umwandlung
auftritt.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlung eine plastische Verformung des aus
einer Legierung bestehenden Gußkörpers umfaßt, um im wesentlichen das Gußgefüge zu zerstören, sodann der
Körper auf eine Temperatur über der EekristalH sationstemperatur und über der Temperatur erhitzt wird, bei
der die martensitische Umwandlung auftritt, damit das Gefüge homogen wird, der Körper abgeschreckt
wird und anschließend erhitzt wird auf eine Temperatur, die über derjenigen liegt, bei der die martensitische
Umwandlung eintritt und der so erhitzte Körper bearbeitet wird, daß eine Phase in fein verteilter
Form erzeugt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung eine Titan-Molybdänlegierung ist.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung vor dem- Ätzen auf Eolienstärke
vermindert wird.
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Le e rs e i t e
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