DE19631263C1

DE19631263C1 - Overhead railtrack for product transport

Info

Publication number: DE19631263C1
Application number: DE1996131263
Authority: DE
Inventors: Josef Ortner
Original assignee: ORTNER LUEFTUNGS und KLIMAANLA
Current assignee: ORTNER LUEFTUNGS- UND KLIMAANLAGEN GMBH, VILLACH,
Priority date: 1996-08-02
Filing date: 1996-08-02
Publication date: 1997-10-09
Anticipated expiration: 2016-08-03

Abstract

The free ends (120) of the numerous hangers (10) are secured to the roof, while a levelling mechanism (20) is placed on the web (14) of each hanger and which joins the arms (12) of the hanger top each other. This is aligned horizontally by an adjusting mechanism. One or more guides (32) on the levelling mechanism accommodates the track rails, of which there are two or more, running horizontally alongside each other along a series of hangers spaced apart. The rails accommodate and transport mountings for the products. The hanger webs can have horizontal top surfaces (36). The levelling mechanisms can comprise channel-sections fitted onto the web from the top or side. The adjusting mechanism can be between horizontal surfaces on the web and the levelling mechanism.

Description

Die Erfindung betrifft ein deckenseitig abhängbares Gleis (eine abhängbare Transporteinrichtung) zum Transport von Produktionsgütern. Im besonderen ist die Erfindung auf ein solches Gleis zur Installation in sogenannten Reinräumen gerichtet, wie sie beispielsweise in der Halbleiterindustrie notwendig sind. In diesen Reinräumen muß die Luft quasi staubfrei gehalten werden. Zu diesem Zweck werden große Luftmengen in laminarer Strömung über die Decke einer Produktionshalle zugeführt und über den Boden der Halle abgesaugt. Beispielsweise bei einem Reinraum von 5000 qm Fläche werden dabei bis zu 10 Millionen m³ Luft/h umgesetzt.The invention relates to a track that can be suspended from the ceiling (a suspended transport device) for transporting Production goods. In particular, the invention is based on such track for installation in so-called clean rooms directed, such as in the semiconductor industry are necessary. In these clean rooms, the air has to be be kept dust-free. To this end, be great Amounts of air in laminar flow over the ceiling of a Production hall fed and over the floor of the hall aspirated. For example, with a clean room of 5000 square meters Up to 10 million m³ of air / h are converted.

Im Rahmen der vorstehend skizzierten Reinraumtechnik werden auch besonders hohe Anforderungen an Transporteinrichtungen gestellt, auf denen insbesondere Produktionsgüter, wie Halbleiter, transportiert werden. Üblicherweise geschieht dies dadurch, daß die Halbleiter (Leiterplatten) in entsprechenden Aufnahmen (Boxen) auf einem Gleis (einer Schienenbahn) geführt werden. Wegen des hohen Wertes der Produktionsgüter und ihrer hohen Empfindlichkeit ist eine absolut zuverlässige, vibrationsfreie Führung notwendig.As part of the clean room technology outlined above also particularly high demands on transport equipment posed, on which in particular production goods, such as Semiconductors to be transported. Usually happens this in that the semiconductors (printed circuit boards) in corresponding recordings (boxes) on a track (one Railroad) be performed. Because of the high value of the production goods and their high sensitivity is an absolute reliable, vibration-free guidance necessary.

Aus diesem Grunde ist es bekannt, entsprechende Gleise deckenseitig anzuordnen, da hierdurch die Produktionsfläche und der Produktionsablauf nicht gestört werden.For this reason it is known to be appropriate Arrange the tracks on the ceiling, because of this the production area and the production process are not be disturbed.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein zur deckenseitigen Montage geeignetes Gleis der genannten Art zur Verfügung zu stellen, das einen störungsfreien Transport der Güter erlaubt und dabei vor allem auch die besonderen Anforderungen der Reinraumtechnik erfüllt.The invention is based, to suitable track of the type mentioned to provide trouble-free transportation that allows goods and, above all, special ones Requirements of clean room technology met.

Dabei geht die Erfindung zunächst von der Überlegung aus, das Gleis unter Verwendung einer Vielzahl von U-förmigen Abhängern zu gestalten, auf denen nachstehend noch näher beschriebene Führungsmittel angeordnet werden.The invention is based on the consideration the track using a variety of U-shaped To shape hangers, on which below in more detail described guide means are arranged.

Derartige Abhänger lassen sich über ihre freien U-Schenkel an in der Decke üblicherweise bereits vorhandenen Schienen oder Trägern befestigen. Diese Schienen oder Träger dienen primär der Konfektionierung luftdurchlässiger Deckenelemente, über die die eingangs genannten Luftmengen in den Reinraum geleitet werden. Diese Profile können gleichzeitig zur Befestigung der U-förmigen Abhänger eingesetzt werden. Such hangers can be used with their free U-legs on rails that are usually already in the ceiling or attach straps. These rails or supports serve primarily making air permeable Ceiling elements over which the air volumes mentioned at the beginning be directed into the clean room. These profiles can at the same time for fastening the U-shaped hangers be used.

Ein wesentliches Element der Erfindung besteht darin, die Abhänger im Bereich ihrer horizontalen (Verbindungs)Schenkel mit Nivellierelementen auszubilden.An essential element of the invention is in the hangers in the area of their horizontal Form (connecting) legs with leveling elements.

Insbesondere bei großflächigen Reinräumen ohne Träger läßt sich nicht immer sicherstellen, daß die Decke exakt horizontal ausgerichtet ist. Entsprechend besteht die Gefahr, daß an der Decke befestigte U-förmige Abhänger im Bereich ihrer horizontalen Verbindungsschenkel ebenfalls unter einem gewissen Winkel zur Horizontalen verlaufen.Especially in large clean rooms without a carrier not always make sure that the ceiling is accurate is aligned horizontally. Accordingly, there is Danger of hanging U-shaped hangers in the ceiling Area of their horizontal connecting legs as well run at a certain angle to the horizontal.

Da die Abhänger zur Aufnahme der Führungsmittel dienen, würde dies eine entsprechende "Schrägstellung" der Führungsmittel bedingen. Die genannten Nivellierelemente dienen dazu, Toleranzen auszugleichen und eine exakt horizontale Auflagefläche als Bestandteil einer zugehörigen Führungsbahn zur Verfügung zu stellen.Since the hangers are used to hold the guide means, this would be a corresponding "skew" of the Conditional leadership means. The mentioned leveling elements serve to compensate for tolerances and one exactly horizontal contact surface as part of an associated To provide guideway.

Entsprechend besteht ein weiteres Merkmal der Erfindung darin, die Nivellierelemente mit einer solchen Führungsbahn auszubilden, die der Aufnahme von Führungsmitteln dient, über die wiederum die Aufnahmemittel für die Produktionsgüter geführt werden.Accordingly, there is another feature of the invention in it, the leveling elements with such a track to train people to use management resources, through which in turn the receiving means for the Production goods.

Danach betrifft die Erfindung in ihrer allgemeinsten Ausführungsform ein deckenseitig abhängbares Gleis zum Transport von Produktionsgütern, mit folgenden Merkmalen:Thereafter, the invention relates to its most general Embodiment a track that can be suspended from the ceiling Transport of production goods with the following features:

- a variety of U-shaped hangers,
- The free ends of the U-legs of the hangers are for form-fitting ceiling-side installation,
- The hanger is on the connecting legs at least one leveling element can be attached,
- Each leveling element has at least one Adjustment device for horizontal alignment of the Leveling element,
- Each leveling element has at least one guideway to hold a guide rail on,
- At least two guideways run on one horizontal plane side by side and along a Large number of spaced one behind the other Dependents,
- The guide rails are used for recording and Transport of receptacles for the production goods.

Nach dem Prinzip einer "Schwebebahn" besteht ein komplettes Gleis demnach aus einer Vielzahl beabstandet zueinander und hintereinander angeordneter Abhänger, auf denen Führungsbahnen verlaufen, über die die Produktionsgüter transportiert werden.According to the principle of a "suspension railway" there is a complete one Track from a variety spaced from each other and hangers arranged one behind the other on which Guideways run through which the production goods be transported.

Dadurch, daß jeder Abhänger eine individuelle Justierung des oder der zugeordneten Nivellierelemente erlaubt, wird die Möglichkeit geschaffen, auch über große Transportstrecken hinweg eine exakt horizontale Ausrichtung der Führungsbahnen sicherzustellen. Hierdurch wird die Transportsicherheit erhöht, oder anders ausgedrückt: die Gefahr von Verkantungen und damit Transportstörungen wird vermieden. The fact that each hanger an individual adjustment of or the assigned leveling elements, the Possibility created, also over long transport routes an exact horizontal alignment of the Ensure guideways. This will make the Transport security increased, or in other words: the Risk of canting and thus transportation problems avoided.

Ein wichtiger Aspekt der erfindungsgemäßen Einrichtung besteht darin, daß das Gleis jederzeit nachrüstbar ist, insbesondere dann, wenn deckenseitig bereits Möglichkeiten zur Befestigung der Abhänger vorhanden sind, beispielsweise die genannten Profile oder Schienen, die der Aufnahme der porösen Deckenelemente dienen.An important aspect of the device according to the invention consists in that the track can be retrofitted at any time, especially if there are already possibilities on the ceiling for attaching the hangers are available, for example the profiles or rails mentioned, which are the inclusion of the porous ceiling elements.

Üblicherweise wird die eigentliche Führungsbahn zwei beabstandet zueinander verlaufende Führungsschienen (ähnlich Bahnschienen) aufweisen. Insbesondere in einem solchen Fall bietet es sich an, jeden Abhänger mit einem Nivellierelement, aber zwei Justiereinrichtungen zu versehen. Hierzu wird die Montage des Nivellierelementes auf dem Abhänger erleichtert. Je Abhänger werden dann die zwei Justiereinrichtungen so eingestellt, daß das Nivellier element insgesamt und insbesondere die Bereiche, die der Aufnahme der Führungsbahnen dienen, exakt fluchtend ausgerichtet sind.Usually the actual guideway is two spaced-apart guide rails (similar Railroad tracks). Especially in such a case it is a good idea to have each hanger with one Leveling element, but two adjustment devices too Mistake. For this purpose, the leveling element is mounted on relieved the hanger. The two are then each hanger Adjustment devices set so that the level element overall and especially the areas that the Serve accommodation of the guideways, exactly aligned are aligned.

Eine alternative Ausführungsform besteht darin, auf jedem Abhänger zwei beabstandet zueinander zugeordnete Nivellier elemente anzuordnen, wobei jedes Nivellierelement eine Führungsbahn besitzt.An alternative embodiment is on each Hanger two spaced levels Arrange elements, each leveling element one Owns the guideway.

Ist der Verbindungsschenkel der Abhänger mit einer horizontal verlaufenden oberen Auflagefläche gestaltet, erleichtert dies die Ausrichtung des Nivellierelementes. Dieses kann dann beispielsweise aus einem U-förmig gestalteten Profil bestehen, welches auf den Verbindungs schenkel des Abhängers von oben aufgesteckt oder seitlich aufgeschoben werden kann. Is the connecting leg the hanger with one designed horizontally running upper contact surface, this facilitates the alignment of the leveling element. This can then be U-shaped, for example designed profile, which on the connection Leg of the hanger attached from above or on the side can be postponed.

Bei dieser Ausführungsform werden die Justiereinrichtungen nach einer Weiterbildung der Erfindung zwischen korrespondierenden horizontalen Flächenabschnitten des Verbindungsschenkels und des Nivellierelementes angeordnet.In this embodiment, the adjustment devices according to a development of the invention between corresponding horizontal surface sections of the Connection leg and the leveling element arranged.

Die Justiereinrichtung kann jede Einrichtung sein, die es erlaubt, die Auflagefläche des Nivellierelementes in Längs- und Querrichtung einzustellen. Hierzu gehören beispielsweise Keile, Justierschrauben oder verstellbare Federelemente.The adjustment device can be any device that it allows the support surface of the leveling element to be and cross direction. These include, for example Wedges, adjusting screws or adjustable spring elements.

Eine spezifische Ausführungsform ist im Anspruch 5 genannt. Danach besteht die Justiereinrichtung aus einer Schraube, die einen unterhalb des Verbindungsschenkels der Profile angeordneten Hohlraum durchgreift und endseitig in vertikalen Wänden geführt ist. Benachbart zum Schraubenkopf ist ein zum anderen Ende hin konisch sich verjüngender Ring auf dem Schraubenhals angeordnet. Zwei korrespondierende keilförmige Backen sitzen mit ihren gewölbten Schrägflächen auf der konischen Umfangsfläche des Ringes auf, während ihre halbkreisförmig gestalteten Stützflächen auf dem Schraubenhals aufliegen. Um die gewünschte Justierung zu ermöglichen, soll die Anordnung des Ringes und der Backen so erfolgen, daß diese sich außenseitig an den vertikalen Innenflächen der Wände abstützen.A specific embodiment is mentioned in claim 5. Then the adjustment device consists of a screw, the one below the connecting leg of the profiles arranged cavity and ends in vertical walls. Adjacent to the screw head is a tapered ring towards the other end arranged on the screw neck. Two corresponding ones wedge-shaped jaws sit with their curved inclined surfaces on the conical peripheral surface of the ring while its semicircular support surfaces on the Fit the screw neck. To make the desired adjustment enable the arrangement of the ring and the jaws so that they are on the outside of the vertical Support the inner surfaces of the walls.

Im Zusammenhang mit der nachfolgenden Figurenbeschreibung wird dieses Justierelement noch näher erläutert.In connection with the following description of the figures this adjustment element is explained in more detail.

Über eine (optische) Wasserwaage kann die Justierung des Nivellierelementes erleichtert werden. Diese Wasserwaage wird am Nivellierelement montiert. Using an (optical) spirit level, the adjustment of the Leveling element can be facilitated. This spirit level is mounted on the leveling element.

Die erfindungsgemäße Gestaltung ermöglicht es auch, das Gleis zu verkleiden. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn das Gleis in Reinräumen eingesetzt wird, weil so zusätzliche Schutzmaßnahmen gegen ein Eindringen von Staub in die Transportbahn bereitgestellt werden.The design according to the invention also makes it possible To disguise the track. This is particularly advantageous if the track is used in clean rooms, because so additional protective measures against the ingress of dust be provided in the transport track.

Nach einer Ausführungsform sind dabei die vertikalen U- Schenkel der Abhänger am oberen und unteren Ende mit L-förmigen, gegeneinander gerichteten Haken zur steckbaren Aufnahme von seitlichen Verkleidungselementen ausgebildet. Weisen die Verkleidungselemente beispielsweise einen Griff auf, läßt sich die Montage wie folgt ausführen: Der Monteur schiebt das Verkleidungselement unter mindestens zwei L- förmige obere Haken benachbarte Abhänger, drückt das Verkleidungselement anschließend plan gegen die Außenflächen der Abhänger und führt das Verkleidungselement danach ein Stück nach unten, bis der untere Rand des Verkleidungselementes hinter die korrespondierenden unteren Haken eingreift. Da in diesem Fall zur Montage ein gewisses Spiel im Bereich der Haken notwendig ist, sieht eine Weiterbildung der Erfindung vor, die vertikalen U-Schenkel der Abhänger außenseitig mit Klemmbacken auszubilden, so daß die Verkleidungselemente schwingungsfrei an den U-Schenkeln festgelegt werden können.According to one embodiment, the vertical U- Leg of the hanger at the top and bottom with L-shaped, opposing hooks for pluggable Inclusion of side cladding elements trained. For example, the trim elements have a handle assembly can be carried out as follows: The fitter pushes the cladding element under at least two L- shaped upper hooks adjacent hangers, pushes that Cladding element then flat against the outer surfaces the hanger and then introduces the cladding element Piece down until the bottom of the Cladding element behind the corresponding lower Hook engages. Because in this case a certain amount for assembly Play in the area of the hook is necessary, one sees Further development of the invention, the vertical U-leg to form the hanger on the outside with clamping jaws, so that the cladding elements on the U-legs without vibration can be set.

Dabei können die Verkleidungselemente - je nach Länge - über zwei, drei oder mehr benachbarte Abhänger montiert werden.The cladding elements can - depending on the length - over two, three or more adjacent hangers can be installed.

Um einen etwaigen (vertikalen) Spalt zwischen benachbarten Verkleidungselementen ebenfalls abzudecken, um so "Schmutz nester" zu vermeiden, können die vertikalen U-Schenkel der Abhänger zusätzlich außenseitig Rastelemente aufweisen. Diese Rastelemente dienen dann zur Festlegung von korrespon dierenden Rastelementen an Abdeckleisten, die den genannten Zwischenraum spielfrei ausfüllen.To a possible (vertical) gap between neighboring ones Covering elements also to cover "dirt to avoid nests "can the vertical U-legs the hanger additionally has locking elements on the outside. These locking elements then serve to determine correspon Denden locking elements on cover strips that mentioned Fill in the gap without play.

Dabei soll die Dimensionierung der Abdeckleisten und Verkleidungselemente vorzugsweise so erfolgen, daß sämtliche Schutzelemente untereinander fluchten und unmittelbar aneinander anschließen.The dimensioning of the cover strips and Cladding elements are preferably made so that all Protective elements are aligned with each other and immediately connect to each other.

Prinzipiell können die seitlichen Verkleidungselemente aus Platten bestehen. Eine Ausführungsform sieht vor, die Verkleidungselemente wannenförmig zu gestalten.In principle, the side cladding elements can Plates exist. One embodiment provides that To design cladding elements trough-shaped.

In diesem Fall weisen die Verkleidungselemente zumindest im Bereich der hinter den Klemmbacken fixierten Kanten beispielsweise einen parallel zur Hauptfläche verlaufenden Flansch auf. Entsprechend werden die Verkleidungselemente dann im Flanschbereich fixiert.In this case, the cladding elements at least in Area of the edges fixed behind the jaws for example one that runs parallel to the main surface Flange on. The cladding elements accordingly then fixed in the flange area.

Die Montage erfolgt dabei in der Regel so, daß die Verkleidungselemente derart montiert werden, daß sich die Wanne in Richtung auf die Aufnahmemittel für die Produktionsgüter (also in Richtung auf das Gleis) öffnet.The assembly is usually done so that the Cladding elements are mounted so that the Tub towards the receiving means for the Production goods (i.e. towards the track) opens.

Bei dieser Ausführungsform können die seitlichen Verkleidungselemente gleichzeitig der Aufnahme bodenseitiger Verkleidungselemente dienen.In this embodiment, the side Cladding elements simultaneously receiving the floor Cladding elements serve.

Wie eingangs beschrieben, erfolgt bei Reinräumen eine Zuführung von Luft durch die Decke. Um die Luftströmung ungehindert sicherzustellen, müssen die unteren (horizontalen) Verkleidungselemente entsprechend perforiert sein oder Öffnungen aufweisen.As described at the beginning, there is a clean room Air supply through the ceiling. To the air flow to ensure unhindered, the lower (horizontal) cladding elements perforated accordingly be or have openings.

Nach einer Ausführungsform bestehen sie aus Lochplatten, die zwischen den unteren horizontalen Rändern gegenüberliegender Verkleidungselemente einlegbar sind. Hierdurch entfallen zusätzliche Verankerungsmaßnahmen.According to one embodiment, they consist of perforated plates that opposite between the lower horizontal edges Cladding elements can be inserted. This eliminates additional anchoring measures.

Insbesondere an Stellen, an denen die Transporteinrichtung durch eine Wand geführt werden muß, kann es zum Beispiel aufgrund thermischer Einflüsse zu einer Verschiebung der Relativposition zwischen Führungsbahn und Durchbruch kommen. Diesem Umstand trägt die Erfindung in einer weiteren Ausführungsform dadurch Rechnung, daß die Nivelliereinrichtung im Bereich korrespondierender Abhänger über einen Stellmotor insbesondere höhenmäßig einstellbar ist.Especially in places where the transport device it has to be led through a wall, for example due to thermal influences to a shift of the Relative position between guideway and breakthrough. The invention bears this fact in another Embodiment in that the Leveling device in the area of corresponding hangers in particular adjustable in height via a servomotor is.

Sämtliche Bauteile der erfindungsgemäßen Einrichtung bestehen vorzugsweise aus antistatischen Werkstoffen, oder sie sind antistatisch beschichtet. Konkret eignen sich Edelstahl, Aluminium oder antistatisch beschichtete Kunststoffe. Vor allem im Bereich der Verkleidungselemente bieten sich antistatische Kunststoffe an, vornehmlich aus durchsichtigen Materialien, um eine optische Überprüfung des Gleises zu erleichtern.All components of the device according to the invention consist preferably of antistatic materials, or they are antistatically coated. Specifically, are suitable Stainless steel, aluminum or anti-static coated Plastics. Especially in the area of cladding elements offer antistatic plastics, mainly made of clear materials for visual inspection of the Lighten track.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert.The invention is based on a Embodiment explained in more detail.

Dabei zeigen - jeweils in stark schematisierter Darstellung -Here show - each in a highly schematic representation -

Fig. 1 eine Seitenansicht eines Abhängers mit aufgelegtem Nivellierelement, Fig. 1 is a side view of a leveling Abhängers-hook,

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht des Verbindungsschenkels des Abhängers nach Fig. 1, Fig. 2 is a perspective view of the connecting leg of the Abhängers according to Fig. 1,

Fig. 3 einen Längsschnitt durch das Nivellierelement nach Fig. 2 im Bereich der Justiereinrichtung, Fig. 3 shows a longitudinal section through the leveling of Fig. 2 in the region of the adjusting device,

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht auf die Außenfläche eines U-Schenkels des Abhängers nach Fig. 1 mit eingesetzten Verkleidungselementen. Fig. 4 is a perspective view of the outer surface of a U-leg of the hanger according to Fig. 1 with cladding elements inserted.

Der in Fig. 1 dargestellte Abhänger ist Bestandteil eines erfindungsgemäßen Gleises, das eine Vielzahl von hintereinander im Abstand angeordneten Abhängern aufweist.The hanger shown in Fig. 1 is part of a track according to the invention, which has a plurality of hangers arranged one behind the other at a distance.

Mit dem Bezugszeichen 10 ist der Abhänger insgesamt gekennzeichnet. Er weist eine U-Form auf und umfaßt entsprechend zwei vertikale Schenkel 12 und einen horizontal verlaufenden Verbindungsschenkel 14. Alle Schenkel 12, 14 sind Aluminium-Stranggußprofile und untereinander formschlüssig verbunden. Am oberen Ende 12o des Schenkels 12 sind Anker 16 angeordnet, über die der Abhänger 10 in hier nur schematisch angedeuteten Schienen 18 deckenseitig fixiert wird. Die Decke ist ebenfalls nur schematisch mit dem Bezugszeichen 20 angedeutet.The hanger is identified as a whole by reference number 10 . It has a U-shape and accordingly comprises two vertical legs 12 and a horizontally extending connecting leg 14 . All legs 12 , 14 are extruded aluminum profiles and are positively connected to one another. At the upper end 12 o of the leg 12 , anchors 16 are arranged, by means of which the hanger 10 is fixed on the ceiling side in rails 18, which are only schematically indicated here. The blanket is also indicated only schematically with the reference number 20 .

Auf dem Verbindungsschenkel 14 sitzt ein Nivellierelement 20 auf, welches im Längsschnitt im wesentlichen eine (umgekehrte) U-Form besitzt, wie sich insbesondere aus Fig. 3 ergibt.A leveling element 20 is seated on the connecting leg 14 , which in longitudinal section essentially has an (inverted) U-shape, as can be seen in particular from FIG. 3.

Das Nivellierelement 20 ist über Führungsnasen 22 auf der Innenseite seiner U-Schenkel 24 seitlich entlang korrespondierender Führungsnuten 26 auf den Seitenflächen 28 des Verbindungsschenkels 14 mit Spiel aufgeschoben.The leveling element 20 is pushed over with guide lugs 22 on the inside of its U-legs 24 laterally along corresponding guide grooves 26 on the side surfaces 28 of the connecting leg 14 with play.

An seinen beiden Enden weist das Nivellierelement 20 jeweils eine Stufe 30 auf, in der jeweils eine Führungsbahn 32, ebenfalls mit U-Profil, senkrecht zur Längserstreckung des Nivellierelementes 20 angeordnet ist.At both ends, the leveling element 20 has a step 30 , in each of which a guide track 32 , also with a U-profile, is arranged perpendicular to the longitudinal extent of the leveling element 20 .

Wie sich insbesondere aus Fig. 3 ergibt, wird zwischen der Deckfläche 34 des Nivellierelementes 20 und der Deckfläche 36 des Verbindungsschenkels 14 ein Hohlraum ausgebildet. Eine Schraube 40 durchgreift den Hohlraum 38 und liegt mit ihrem Kopf 42, von außen zugänglich, in einer entsprechenden Öffnung eines U-Schenkels 24 ein und wird am gegenüberliegenden Ende in einer Bohrung 44 des gegenüberliegenden U-Schenkels 24 geführt. As is apparent in particular from 3 Fig., Is the Nivellierelementes 20 and the top surface of the connecting leg 14 is formed a cavity between the top surface 34 36. A screw 40 passes through the cavity 38 and lies with its head 42 , accessible from the outside, in a corresponding opening of a U-leg 24 and is guided at the opposite end in a bore 44 of the opposite U-leg 24 .

Auf dem Schraubenhals 46 sitzt, benachbart zum Schraubenkopf 42, ein Ring 48 auf, der sich in Richtung auf die Bohrung 44 konisch verjüngt.A ring 48 sits on the screw neck 46 , adjacent to the screw head 42 , and tapers conically in the direction of the bore 44 .

Im Hohlraum 38 sind ferner zwei keilförmige Backen 50, 52 angeordnet. Die Backen 50, 52 sind mit gewölbten Schrägflächen 54 ausgebildet, so daß sie flächig auf dem konischen Teil 49 des Ringes 48 aufliegen. Die Backen 50, 52 besitzen ferner Stützflächen 56, die halbkreisförmig gestaltet sind und auf dem Schraubenhals 46 aufliegen.Two wedge-shaped jaws 50 , 52 are also arranged in the cavity 38 . The jaws 50 , 52 are formed with curved inclined surfaces 54 so that they rest flat on the conical part 49 of the ring 48 . The jaws 50 , 52 also have support surfaces 56 which are semicircular in shape and rest on the screw neck 46 .

Wie Fig. 3 zeigt, stützen sich der Ring 48 beziehungsweise die Backen 50, 52 jeweils an den korrespondierenden Innenflächen der U-Schenkel 24 ab.As shown in FIG. 3, the ring 48 or the jaws 50 , 52 are each supported on the corresponding inner surfaces of the U-legs 24 .

Zu erwähnen ist noch, daß die Schraube 40 an ihrem freien Ende ein Außengewinde 58 besitzt.It should also be mentioned that the screw 40 has an external thread 58 at its free end.

Bei Drehung des Schraubenkopfes 42 wird der Schraubenkopf in Richtung auf den Hohlraum 38 oder von diesem weg bewegt. Entsprechend wird der auf dem Schraubenhals 46 aufsitzende Ring 48 mitgeführt, der wiederum die Backen 50, 52 beaufschlagt, wobei über die Relativverschiebung von Ring 48 und Backen 50, 52 die Feinjustierung der Position des Nivellierelementes 20 gegenüber dem Verbindungsschenkel 14 erfolgt, da die Deckfläche 36 des Verbindungsschenkels 14 flächig gegen die senkrecht dazu verschiebbare Backe 52 anliegt.When the screw head 42 rotates , the screw head is moved in the direction of the cavity 38 or away from it. According to the seated on the screw neck 46 ring 48 is carried, in turn the jaws 50, applied 52, wherein on the relative displacement of the ring 48 and jaws 50, the fine adjustment of the position of the Nivellierelementes 20 relative to the connecting leg 14 is carried out 52, since the top surface 36 of the connecting leg 14 rests flat against the jaw 52 which can be displaced perpendicularly thereto.

Die vorstehend beschriebenen Justiereinrichtungen sind jeweils vor den Stufen 30 angeordnet, wie Fig. 2 zeigt. Daraus ergibt sich die Möglichkeit der Ausrichtung der Deckfläche 34 des Nivellierelementes 20 in eine exakt horizontale Position, so daß auch die Führungsbahn 32 exakt horizontal tariert werden.The adjustment devices described above are each arranged in front of the steps 30 , as shown in FIG. 2. This results in the possibility of aligning the top surface 34 of the leveling element 20 in an exactly horizontal position, so that the guideway 32 is also tared exactly horizontally.

In die Führungsbahnen 32 werden (hier nicht dargestellte) Führungsschienen eingesetzt, die über eine Vielzahl von Abhängern 10 durchgehend sich erstrecken und zur Aufnahme sowie zum Transport von Kästen dienen, in denen Produktions güter wie Halbleiterplatten, angeordnet sind.In the guideways 32 (not shown here) guide rails are used which extend continuously over a plurality of hangers 10 and serve to accommodate and transport boxes in which production goods such as semiconductor plates are arranged.

Die beschriebenen Nivellierelemente beziehungsweise Justiereinrichtungen je Abhänger ermöglichen über die gesamte Gleisstrecke eine exakte horizontale Ausrichtung und damit einen störungsfreien Transport.The leveling elements described respectively Adjustment devices per hanger enable the exact horizontal alignment across the entire track and thus trouble-free transport.

Um die transportierten Positionsgüter auch vor etwaigen Staubbelastungen zu schützen, können die Abhänger 10 zusätzlich verkleidet werden, wie dies in Fig. 4 dargestellt ist.In order to also protect the transported items from possible dust loads, the hangers 10 can be additionally clad, as shown in FIG. 4.

Dabei sind auf den Außenflächen der Schenkel 12 oben (12o) und unten (12u) L-förmige Haken 60, 62 befestigt, die zur Aufnahme von (hier wannenförmig gestalteten) Verkleidungs elementen 62 dienen, die mit ihren Rändern zwischen den Haken 60, 62 festgelegt werden (Fig. 4).L-shaped hooks 60 , 62 are attached to the outer surfaces of the legs 12 at the top ( 12 o) and bottom ( 12 u), which serve to receive (here trough-shaped) cladding elements 62 , which have their edges between the hooks 60 , 62 can be determined ( FIG. 4).

Wie Fig. 4 zeigt, weisen die vertikalen Ränder der Verkleidungselemente 62 jeweils einen flanschartigen Rand 64 auf, der unmittelbar gegen die Außenfläche der Schenkel 12 anliegt. Um eine schwingungsfreie Führung der Verkleidungs elemente 62 sicherzustellen, werden die Flanschränder 64 zusätzlich über Klemmbacken 66 gesichert, die als Blattfedern gestaltet sind und mit ihrem einen Ende 66.1 auf der Außenwand des Schenkels 12 drehbar befestigt sind, so daß ihr anderes Ende 66.2 gegen die Federkraft vom Schenkel 12 abgebogen werden kann und nach Winkelverschiebung auf den Flanschrand 64 zurückfedert und diesen sicher gegenüber dem Schenkel 12 festlegt.As shown in FIG. 4, the vertical edges of the cladding elements 62 each have a flange-like edge 64 which bears directly against the outer surface of the legs 12 . In order to ensure vibration-free guidance of the cladding elements 62 , the flange edges 64 are additionally secured via clamping jaws 66 , which are designed as leaf springs and are rotatably fastened with their one end 66.1 on the outer wall of the leg 12 , so that their other end 66.2 against the spring force can be bent from the leg 12 and springs back to the flange edge 64 after angular displacement and fixes it securely with respect to the leg 12 .

Wie Fig. 4 schematisch andeutet, verläuft etwa mittig auf der Außenfläche des Schenkels 12 eine vertikale Längsnut 68, In der auch die Klemmbacken 66 befestigt sind.As schematically indicated in FIG. 4, a vertical longitudinal groove 68 runs approximately centrally on the outer surface of the leg 12 , in which the clamping jaws 66 are also fastened.

Die Längsnut 68 dient im übrigen der klemmbaren Aufnahme von (hier nicht dargestellten) Abdeckleisten, um den Abschnitt 70 zwischen benachbarten Verkleidungselementen 62 ebenfalls abzudecken, wobei die Geometrie der Abdeckleisten so gewählt wird, daß die Abdeckleisten zusammen mit den Verkleidungs elementen 62 eine fluchtende gemeinsame Frontfläche bilden.The longitudinal groove 68 is in the rest of the clampable Low (not shown) cover strips to the section 70 also cover between adjacent lining elements 62, wherein the geometry of the cover strips is chosen so that the cover strips elements together with the Panel 62 a flush common front surface form.

Auf die horizontalen Flächenabschnitte der unteren Ränder 72 der Verkleidungselemente 62 wird anschließend eine (hier ebenfalls nicht dargestellte) Lochplatte aufgelegt, so daß die Transporteinrichtung allseitig (über die Decke, die Verkleidungselemente 62 und die Lochplatte) geschützt wird.A perforated plate (also not shown here) is then placed on the horizontal surface sections of the lower edges 72 of the covering elements 62 , so that the transport device is protected on all sides (via the ceiling, the covering elements 62 and the perforated plate).

Claims

1. Track that can be suspended from the ceiling for the transport of production goods, with the following features:

1.1 a plurality of U-shaped hangers ( 10 ),
1.2 the free ends ( 12 o) of the U-legs ( 12 ) of the hangers ( 10 ) are designed for form-fitting installation on the ceiling,
1.3 at least one leveling element ( 20 ) can be placed on each of the connecting legs ( 14 ) of the hangers ( 10 ),
1.4 each leveling element ( 20 ) is designed with at least one adjusting device ( 41 ) for the horizontal alignment of the leveling element ( 20 ),
1.5 each leveling element ( 20 ) has at least one guide track ( 32 ) for receiving a guide rail,
1.6 at least two guide rails run next to one another on a horizontal plane and along a plurality of hangers ( 10 ) arranged at a distance from one another,
1.7 The guide rails are used to hold and transport receptacles for the production goods.

2. Track according to claim 1, wherein the connecting legs ( 14 ) of the hangers ( 10 ) have a horizontally extending, upper cover surface ( 36 ).

3. Track according to claim 1 or 2, wherein the leveling elements ( 14 ) consist of U-shaped profiles which can be plugged onto the connecting leg ( 14 ) of the hanger ( 10 ) from above or pushed on laterally.

4. Track according to one of claims 1 to 3, wherein the adjusting device (s) ( 41 ) between corresponding horizontal surface sections ( 34 , 36 ) of the connecting leg ( 14 ) of a hanger ( 10 ) and the leveling element ( 20 ) is (are) ).

5. Track according to claim 3 or 4, wherein the adjusting device ( 41 ) consists of a screw ( 40 ) which passes through a cavity ( 38 ) arranged below the connecting leg of the leveling element ( 20 ) and ends in the U-legs ( 24 ) of the leveling element ( 20 ), whereby, adjacent to the screw head ( 42 ), a ring ( 48 ) tapering towards the other end sits on the screw neck ( 46 ) and two wedge-shaped jaws ( 50 , 52 ) with their curved inclined surfaces ( 54 ) lie on the conical peripheral surface ( 49 ) of the ring ( 48 ) and with their semicircular support surfaces ( 56 ) on the screw neck ( 46 ) and the jaws ( 50 , 52 ) and the ring ( 48 ) are each on the outside on the vertical Support the inner surfaces of the U-legs ( 24 ).

6. Track according to one of claims 1 to 5, wherein each leveling element ( 20 ) is formed with two horizontally spaced adjusting devices ( 41 ).

7. Track according to one of claims 1 to 6 with an im Leveling element arranged level.

8. Track according to one of claims 1 to 7, wherein the vertical U-legs ( 12 ) of the hanger ( 10 ) at the upper and lower ends ( 12 o, 12 u) L-shaped, mutually directed hooks ( 60 , 62 ) have for pluggable reception of side cladding elements ( 62 ).

9. Track according to claim 8, wherein the vertical U-legs ( 12 ) of the hanger ( 10 ) on the outside have clamping jaws ( 66 ) for vibration-free fixing of the cladding elements ( 62 ).

10. Track according to claim 8 or 9, wherein the vertical U-legs ( 12 ) of the hanger ( 10 ) on the outside have locking elements ( 68 ) for fixing corresponding locking elements of cover strips which fill the space between adjacent cladding elements ( 62 ).

11. Track according to claim 10, wherein the cover strips are designed so that they are flush with the front surfaces of the cladding elements ( 62 ).

12. Track according to one of claims 8 to 11, wherein the cladding elements ( 62 ) are trough-shaped.

13. Track according to claim 12, wherein the cladding elements ( 62 ) at least in the region of the edges fixed behind the clamping jaws ( 66 ) have a flange ( 64 ) running parallel to the main surface.

14. Track according to claim 12 or 13, wherein the cladding elements ( 62 ) can be mounted such that the trough opens in the direction of the receiving means for the production goods.

15. Track according to claim 14, in which perforated plates between lower horizontal edges ( 72 ) of opposite cladding elements ( 62 ) can be inserted.

16. Track according to one of claims 1 to 15, in which the leveling elements ( 20 ) and / or the connecting legs ( 14 ) are adjustable in height via a servomotor.

17. Track according to one of claims 1 to 16, the components consist of an antistatic material or are coated antistatically.

18. Track according to claim 17, wherein the components at least partially made of aluminum.

19. Track according to claim 16 or 17, wherein the cladding elements ( 62 ) and perforated plates consist of antistatically coated, transparent plastic.