DE19628857A1

DE19628857A1 - Head for processing workpieces using laser beam

Info

Publication number: DE19628857A1
Application number: DE19628857A
Authority: DE
Inventors: Peter Schubert
Original assignee: Precitec GmbH and Co KG
Current assignee: Precitec GmbH and Co KG
Priority date: 1996-07-17
Filing date: 1996-07-17
Publication date: 1998-01-29

Abstract

The head has a cassette (4) with focussing optics, a carrier (10) for the cassette that can slide in the axial direction, a drive mechanism (24-31) for the carrier and a pressure chamber (16) between the optics and the radiation outlet where a compressed gas is introduced. The carrier projects with its end into another pressure chamber (19) where such a working pressure prevails that the carrier is held in equilibrium. The two pressure chambers are connected by at least one channel(23). The carrier at the end is a hollow cylinder and the second pressure chamber is annular in section.

Description

Die Erfindung betrifft einen Anschlußkopf zur Bearbeitung eines Werk stücks mittels eines Laserstrahls gemäß dem Oberbegriff des Patentan spruchs 1. Ein derartiger Anschlußkopf ist bereits aus dem Deutschen Ge brauchsmuster G 94 16 111.9 bekannt. Der bekannte Anschlußkopf ent hält eine eine Fokussierungsoptik aufnehmende Kassette, eine die Kasset te aufnehmende Trägereinheit, die in Axialrichtung der Fokussierungsop tik verschiebbar ist, eine Antriebseinrichtung zur Verschiebung der Trä gereinheit in Axialrichtung der Fokussierungsoptik sowie einen zwischen der Fokussierungsoptik und einem Strahlausgang des Anschlußkopfs lie genden Druckraum, in den ein unter Überdruck stehendes Arbeitsgas ein leitbar ist.The invention relates to a connection head for processing a work piece by means of a laser beam according to the preamble of the patent Proverb 1. Such a connection head is already from the German Ge usage pattern G 94 16 111.9 known. The well-known connection head ent holds a cassette that accommodates focusing optics, one holds the cassette te receiving carrier unit, which in the axial direction of the focusing op tik is displaceable, a drive device for moving the Trä unit in the axial direction of the focusing optics and a between the focusing optics and a beam output of the connection head in the pressure chamber into which a working gas is under overpressure is conductive.

Bei der Bearbeitung eines Werkstücks mit Hilfe eines Laserstrahls, bei spielsweise beim Schneiden des Werkstücks mit Hilfe eines Laserstrahls hoher Leistung, ist die Lage des Laserstrahl-Brennflecks und somit die La ge der Fokussierungsoptik relativ zur Werkstückoberfläche von großer Be deutung. Auch bei Änderung der Materialdicke oder Materialsorte ist es häufig erforderlich, die Fokuslage zur Materialoberfläche zu ändern.When machining a workpiece with the help of a laser beam, at for example when cutting the workpiece with the help of a laser beam high power, is the location of the laser beam focal spot and thus the La ge the focusing optics relative to the workpiece surface of large Be interpretation. Even when changing the material thickness or type of material it is often required to change the focus position to the material surface.

Beim bekannten Anschlußkopf kann hierzu die Fokussierungsoptik in Axialrichtung des Anschlußkopfs bzw. in Längsrichtung des den Anschlußkopf durchlaufenden Laserstrahls motorisch verschoben werden. Die dazu erforderliche Antriebskraft ist allerdings relativ groß, wenn die Verschiebung der Fokussierungsoptik in Richtung zum Strahlausgang des Anschlußkopfs erfolgt, da die Fokussierungsoptik den zwischen ihr und der Düsenspitze des Anschlußkopfs liegenden Druck raum begrenzt, in dem sich das unter Überdruck stehende Arbeitsgas befindet.In the known connection head, the focusing optics in Axial direction of the connection head or in the longitudinal direction of the Connection head moving laser beam motorized will. However, the driving force required for this is relatively large, if the shifting of the focusing optics towards Beam output of the connection head occurs because the focusing optics pressure between it and the nozzle tip of the connection head limited space in which the pressurized working gas located.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Anschlußkopf der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß eine Verschiebung der Fokussie rungsoptik unter verringertem Kraftaufwand möglich ist.The invention has for its object the connection head of the beginning mentioned type so that a shift in focus optics with reduced effort is possible.

Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patent anspruchs 1 angegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.The solution to the problem is in the characterizing part of the patent claim 1 specified. Advantageous embodiments of the invention are can be found in the subclaims.

Ein Anschlußkopf zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laser strahls mit einer eine Fokussierungsoptik aufweisenden Kassette, einer die Kassette aufnehmenden Trägereinheit, die in Axialrichtung der Fokus sierungsoptik verschiebbar ist, einer Antriebseinrichtung zur Verschie bung der Trägereinheit in Axialrichtung der Fokussierungsoptik sowie mit einem zwischen der Fokussierungsoptik und einem Strahlausgang des An schlußkopfs liegenden Druckraum, in den ein unter Überdruck stehendes Arbeitsgas einleitbar ist, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerein heit mit ihrem vom Strahlausgang wegwelsenden Ende in eine Druckkam mer hineinragt, und daß in dieser Druckkammer ein solcher Arbeitsdruck erzeugbar ist, daß die Trägereinheit im Gleichgewicht gehalten wird.A connection head for machining a workpiece using a laser with a cassette that has focusing optics, one the cassette-receiving carrier unit, which is the focus in the axial direction sierungsoptik is displaceable, a drive device for displacement Exercise the carrier unit in the axial direction of the focusing optics and with one between the focusing optics and a beam output of the An pressure chamber located in the end, in which a pressurized Working gas can be introduced, is characterized in that the carrier unit with its end that runs away from the beam outlet into a print mer protrudes, and that in this pressure chamber such a working pressure can be generated that the carrier unit is kept in balance.

Da nunmehr zwischen der hinteren Seite der Trägereinheit und der vorde ren Seite der Fokussierungoptik keine Kraftdifferenz mehr herrscht, läßt sich die Trägereinheit zusammen mit der Fokussierungsoptik relativ leicht und mit nur geringstem Kraftaufwand verschieben, so daß zu die sem Zweck nur relativ schwach dimensionierte Antriebseinrichtungen verwendet zu werden brauchen. Dies spart einerseits Antriebsenergie und andererseits Baugröße und Gewicht, so daß sich die Gesamtkosten für den Anschlußkopf verringern.Now between the rear of the carrier unit and the front ren side of the focusing optics there is no longer a force difference the carrier unit together with the focusing optics relative move easily and with minimal effort, so that to the only relatively weakly dimensioned drive devices need to be used. On the one hand, this saves drive energy and on the other hand, size and weight, so that the total cost of the Reduce the connection head.

Prinzipiell ist es möglich, den Druckraum und die Druckkammer über ge trennte Leitungen mit unter Druck stehendem Gas zu versorgen. Nach ei ner vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kommunizieren jedoch der Druckraum und die Druckkammer über wenigstens einen Verbindungs kanal miteinander, der sich im Innern des Anschlußkopfs befinden kann. Auf diese Weise wird ein einfacher Druckausgleich zwischen Druckkam mer und Druckraum erzielt. Dabei ist selbstverständlich darauf zu ach ten, daß die in der Druckkammer liegende, druckbeaufschlagte Fläche der Trägereinheit der Größe der druckbeaufschlagten Fläche der Fokussie rungsoptik entspricht, wenn die Drücke in Druckraum und Druckkammer gleich groß sind.In principle, it is possible to ge and the pressure chamber to supply separated lines with pressurized gas. After egg ner advantageous embodiment of the invention, however, communicate Pressure chamber and the pressure chamber via at least one connection channel with each other, which can be located inside the connection head. In this way, a simple pressure equalization between pressure came mer and pressure chamber achieved. Of course, care should be taken ten that the pressurized area of the Carrier unit of the size of the pressurized area of the focus ration optics corresponds when the pressures in the pressure chamber and pressure chamber are the same size.

Die Trägereinheit ist im wesentlichen hohlzylindrisch ausgebildet und nimmt koaxial zu ihr liegend die Fokussierungsoptik bzw. die die Fokus sierungsoptik aufnehmende Kassette auf. Insofern kann die Trägereinheit mit ihrem vom Strahlausgang wegweisenden Ende, das hohlzylindrisch ist, in eine entsprechend ausgebildete, ringförmige Druckkammer hinein fahren.The carrier unit is essentially hollow cylindrical and takes the focusing optics or the focus coaxial to it cassette. In this respect, the carrier unit with its end pointing away from the beam outlet, the hollow cylindrical one is into a suitably designed, annular pressure chamber drive.

Die Antriebseinrichtung selbst kann eine manuelle, eine pneumatische, eine elektromechanische oder irgendeine andere geeignete sein.The drive device itself can be manual, pneumatic, be an electromechanical or any other suitable.

Da sie nur schwach dimensioniert zu werden braucht, ergibt sich der große Vorteil, daß sie sich im Innern des Anschlußkopfs anordnen läßt, was zu einer kompakteren Ausführungsform des Anschlußkopfs führt. Im Falle einer elektromechanischen Antriebseinrichtung könnte zu diesem Zweck eine die Trägereinheit antreibende Spindel im Innern des Anschlußkopfs vorhanden sein, die durch einen ebenfalls im Innern des Anschlußkopfs vorhandenen Elektromotor bzw. Getriebemotor antreibbar ist.Since it only has to be dimensioned weakly, the big one results Advantage that it can be arranged inside the connection head, what to leads to a more compact embodiment of the connection head. In the event of an electromechanical drive device could be used for this purpose a spindle driving the carrier unit inside the connection head be present by one also inside the connection head existing electric motor or geared motor can be driven.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend unter Bezu gnahme auf die Zeichnung im einzelnen beschrieben. Es zeigen:An embodiment of the invention is described below with reference described in detail on the drawing. Show it:

Fig. 1 eine Draufsicht auf den Anschlußkopf nach der Erfindung; Figure 1 is a plan view of the connection head according to the invention.

Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie A-A von Fig. 1; und FIG. 2 shows a section along the line AA from FIG. 1; and

Fig. 3 einen Schnitt entlang der Linie B-B von Fig. 1. Fig. 3 is a section along the line BB of Fig. 1,.

Der Anschlußkopf nach der Erfindung ist in den Fig. 1 bis 3 mit dem Bezugszeichen 1 versehen und enthält in seinem Innern eine Fokussie rungsoptik 2, die entlang ihrer optischen Achse 3 verschiebbar ist. Die op tische Achse 3 Ist zugleich die Längsrichtung des Anschlußkopfs 1, In der ein nicht dargestellter Laserstrahl verläuft.The connection head according to the invention is provided in FIGS. 1 to 3 with the reference numeral 1 and contains in its interior a focusing optics 2 , which is displaceable along its optical axis 3 . The op table axis 3 is also the longitudinal direction of the connection head 1 , in which a laser beam, not shown, runs.

Die Fokussierungsoptik 2 kann aus einer oder mehreren Linsen bestehen und befindet sich in einer Kassette 4. Diese Kassette 4 ist hohlzylindrisch ausgebildet und weist ein Innengewinde 5 auf. In dieses Innengewinde 5 Ist ein erster Positionierungsring 6 mit Außengewinde eingeschraubt, ge gen den die Fokussierungsoptik 2 zu liegen kommt. Ferner ist in das Innengewinde 5 ein zweiter Positionierungsring 7 mit Außengewinde einge schraubt, der die Fokussierungsoptik 2 gegen den ersten Positionierungs ring 6 drückt. Dabei sind zwischen Fokussierungsoptik 2 und erstem Positionierungsring 6 einerseits sowie zwischen Fokussierungsoptik 2 und zweitem Positionierungsring 7 andererseits elastische Dichtungsringe vorhanden. Sie sind mit den Bezugszeichen 8 und 9 versehen. Mit Hilfe des ersten und des zweiten Positionierungsrings 6 bzw. 7 läßt sich die Fokus sierungsoptik 2 in der Kassette 4 In Axialrichtung bzw. In Längsrichtung der optischen Achse 3 voreinstellen. Nicht zuletzt sind auch die Bereiche zwischen den Außengewinden der Positionierungsringe 6, 7 einerseits und dem Innengewinde 5 andererseits abgedichtet.The focusing optics 2 can consist of one or more lenses and is located in a cassette 4 . This cassette 4 is hollow-cylindrical and has an internal thread 5 . In this internal thread 5 is a first positioning ring 6 is screwed with an external thread, ge against which the focusing optics 2 comes to rest. Furthermore, a second positioning ring 7 with an external thread is screwed into the internal thread 5 , which presses the focusing optics 2 against the first positioning ring 6 . There are elastic sealing rings between the focusing optics 2 and the first positioning ring 6 on the one hand and between the focusing optics 2 and the second positioning ring 7 on the other hand. They are provided with the reference numerals 8 and 9 . With the help of the first and second positioning rings 6 and 7 , the focusing optics 2 in the cassette 4 can be preset in the axial direction or in the longitudinal direction of the optical axis 3 . Last but not least, the areas between the external threads of the positioning rings 6 , 7 on the one hand and the internal thread 5 on the other hand are sealed.

Die Kassette 4 befindet sich in einer im wesentlichen hohlzylindrisch aus gebildeten Trägereinheit 10. Dabei läßt sich die Kassette 4 In einem Raum 11 der Trägereinheit 10 so positionieren, daß die Fokussierungsoptik 2 koaxial zur hohlzylindrischen Trägereinheit 10 zu liegen kommt. Innerhalb dieses Raums 1 1 Ist die Kassette 4 an der Strahleingangs- und Strahlausgangsseite geführt, so daß sie sich nicht in Längsrichtung der optischen Achse 3 bewegen kann. Allerdings läßt sich die Kassette 4 aus dem Raum 11 senkrecht zur optischen Achse 3 herausziehen, wozu der Raum 11 ka nalartig in Richtung zur Außenseite des Anschlußkopfs 1 verlängert ist. Dieser verlängerte Teil 11a des Raums 11 Ist durch eine Außenplatte 12 des Anschlußkopfs 1 abgedeckt, die mit Hilfe von Schrauben 13 an der Trägereinheit 10 befestigt werden kann. Ein an der Außenplatte 12 befestigter Handgriff 14 dient zum Halten der Außenplatte 12 sowie zum Herausneh men der Kassette 4 aus dem Anschlußkopf 1.The cassette 4 is located in a carrier unit 10 formed essentially in a hollow cylinder. The cassette 4 can be positioned in a space 11 of the carrier unit 10 such that the focusing optics 2 come to lie coaxially with the hollow cylindrical carrier unit 10 . Within this space 1 1, the cassette 4 is guided on the beam input and beam output side, so that it cannot move in the longitudinal direction of the optical axis 3 . However, the cassette 4 can be pulled out of the space 11 perpendicular to the optical axis 3 , for which purpose the space 11 is extended channel-like in the direction of the outside of the connection head 1 . This extended part 11 a of the space 11 is covered by an outer plate 12 of the connection head 1 , which can be fastened to the carrier unit 10 with the aid of screws 13 . A handle 14 fastened to the outer plate 12 serves to hold the outer plate 12 and to remove the cassette 4 from the connection head 1 .

Zu diesem Zweck befindet sich an der Innenseite der Außenplatte 12 ein Gehäuseteil 15, das mit der Außenplatte 12 fest verbunden ist. Dieses Ge häuseteil 15 weist in Längsrichtung zur optischen Achse 3 dieselbe Höhe auf wie die Kassette 4 und wird somit ebenfalls im verlängerten Teil 11a des Raums 11 geführt. Hierzu verlaufen obere und untere Wände 15a und 15b des Gehäuseteils 15 parallel bzw. gleitend auf den entsprechenden oberen und unteren Wänden des verlängerten Teils 11a des Raums 11. Ei ne Rückwand 15c des Gehäuseteils 15 ist gelenkig mit der Kassette 4 ge koppelt. Wird also das Gehäuseteil 15 nach Lösen der Schrauben 13 mit tels des Handgriffs 14 aus dem Anschlußkopf 1 herausgezogen, so gleitet das Gehäuseteil 15 aus dem verlängerten Teil 11a des Raums 11 heraus und nimmt die Kassette 4 entsprechend mit. Die Kassette 4 kann darüber hinaus durch geeignete Mittel in einer senkrecht zur optischen Achse 3 verlaufenden Ebene verschwenkt werden, nachdem sie in den Raum 11 hineingeschoben worden ist. Ferner ist auch eine leichte Radialverschie bung in diesem Zustand noch möglich, um durch die genannten Maßnah men eine Feinjustierung der Kassette 4 Im Raum 11 zu erzielen. Hierauf soll jedoch an dieser Stelle nicht weiter eingegangen werden.To this end, located on the inside of the outer plate 12, a housing part 15 which is fixedly connected to the outer panel 12th This Ge housing part 15 has in the longitudinal direction to the optical axis 3 at the same height as the cassette 4 and is thus also performed in the extended part 11 a of the room 11 . For this purpose, upper and lower walls 15 a and 15 b of the housing part 15 run parallel or sliding on the corresponding upper and lower walls of the extended part 11 a of the space 11 . Egg ne rear wall 15 c of the housing part 15 is articulated to the cassette 4 ge coupled. So if the housing part 15 is pulled out by means of the handle 14 from the connection head 1 after loosening the screws 13 , the housing part 15 slides out of the extended part 11a of the space 11 and takes the cassette 4 accordingly. The cassette 4 can also be pivoted by suitable means in a plane perpendicular to the optical axis 3 after it has been pushed into the space 11 . Furthermore, a slight radial displacement is still possible in this state, in order to achieve a fine adjustment of the cassette 4 in the space 11 by the measures mentioned. However, this will not be discussed further at this point.

Die Fokussierungsoptik 2 begrenzt einen sich in Richtung zum strahlaus gangsseitigen Ende des Anschlußkopfs 1 erstreckenden Druckraum 16, in den ein unter Überdruck stehendes Arbeitsgas geleitet wird. Am strahl ausgangsseitigen Ende des Druckraums 16 befindet sich eine Düsenelek trode 17 mit einem Auslaß für den Laserstrahl. Das Druckgas strömt über nicht näher dargestellte Kanäle in den Druckraum 16 ein und verläßt die sen über den Auslaß der Düsenelektrode 17. Unmittelbar oberhalb der Fo kussierungsoptik 2, also an ihrem strahleingangsseitigen Ende, befindet sich ein mit der Atmosphäre in Verbindung stehender Kanal 18, durch den hindurch der Laserstrahl auf die Fokussierungsoptik 2 auftrifft.The focusing optics 2 delimit a pressure chamber 16 , which extends in the direction of the beam-side end of the connection head 1 and into which a working gas under excess pressure is conducted. At the output end of the pressure chamber 16 there is a nozzle electrode 17 with an outlet for the laser beam. The pressurized gas flows into the pressure chamber 16 via channels, not shown, and leaves the sen via the outlet of the nozzle electrode 17th Immediately above the focusing optics 2 , that is to say at its beam input end, there is a channel 18 connected to the atmosphere, through which the laser beam impinges on the focusing optics 2 .

Wie bereits erwähnt, ist die Trägereinheit 10 im wesentlichen hohlzylin derförmig ausgebildet. Das strahleingangsseitige Ende 10a der Trägerein heit 10 Ist dabei in einem ringförmigen Kanal 19 geführt, der koaxial zur optischen Achse 3 liegt und sich in einem Gehäuseteil 20 des Anschluß kopfs 1 befindet. Mit Hilfe von Dichtungsringen 21 und 22 sind die Seiten wandbereiche zwischen dem hohlzylindrischen Teil 10a der Trägereinheit 10 und dem Gehäuseteil 20 abgedichtet. Wird also die Trägereinheit 10 in Richtung der optischen Achse 3 verschoben, so wird das strahleingangs seitige Ende 10a der Trägereinheit 10 mehr oder weniger weit in den ringförmigen Kanal 19 hinein- bzw. aus diesem herausgeführt. Dabei steht der ringförmige Kanal 19 über einen Verbindungskanal 23 mit dem Druck raum 16 in Verbindung. Dieser Verbindungskanal 23 verläuft zum Teil au ßerhalb der in Fig. 2 gezeigten Schnittebene und ist daher in seinem ge samten Verlauf nicht zu erkennen. Wie bereits erwähnt, wird jedoch der im Druckraum vorhandene Überdruck über den Verbindungskanal 23 in den Kanal 19 geleitet, so daß auf die Stirnfläche des strahleingangsseitigen Endes 10a der Trägereinheit 10 derselbe Druck wirkt wie auf die strahl ausgangsseitige Fläche der Fokussierungsoptik 2. Fokussierungsoptik 2 und Trägereinheit 10 befinden sich somit bei gleichgroßen druckbeauf schlagten Flächen im Druckgleichgewicht, so daß die Antriebseinrichtung nur relativ wenig Kraft für eine Verschiebung dieses Systems benötigt.As already mentioned, the carrier unit 10 is essentially in the form of a hollow cylinder. The beam input end 10 a of the Trägerein unit 10 is guided in an annular channel 19 which is coaxial to the optical axis 3 and is in a housing part 20 of the connection head 1 . With the help of sealing rings 21 and 22 , the side wall areas between the hollow cylindrical part 10 a of the carrier unit 10 and the housing part 20 are sealed. Thus, if the carrier unit 10 is displaced in the direction of the optical axis 3 , the end 10 a of the carrier unit 10 on the beam input side is guided more or less far into or out of the annular channel 19 . The annular channel 19 is connected via a connecting channel 23 to the pressure chamber 16 . This connecting channel 23 extends partially outside of the sectional plane shown in Fig. 2 and is therefore not to be seen in its entire course. As already mentioned, however, the overpressure present in the pressure chamber is passed via the connecting channel 23 into the channel 19 , so that the same pressure acts on the end face of the beam input end 10 a of the carrier unit 10 as on the beam output side of the focusing optics 2 . Focusing optics 2 and carrier unit 10 are thus in pressure equilibrium in areas of equal pressure, so that the drive device requires only relatively little force to displace this system.

Die Antriebseinrichtung für die Trägereinheit 10 ist im Innern des An schlußkopfs 1 fest montiert. Sie enthält u. a. einen elektrisch angetriebe nen Getriebemotor 24, dessen Motorwelle 25 parallel zur optischen Achse 3 verläuft. Auf der Motorwelle 25 sitzt ein Antriebsrad 26 für einen Zahn riemen 27, der um ein weiteres Antriebsrad 28 herumgelegt ist, das fest auf einer Spindel 29 sitzt, um diese zu drehen, wenn sich der Motor 24 dreht. Die Spindel 29 verläuft mit ihrer Längsrichtung parallel zur optischen Achse 3. Das freie bzw. in Richtung des Strahlausgangs weisende Ende der Spindel 29 Ist mit einem Außengewinde 30 versehen, mit dem die Spindel 29 in eine Spindelmutter 31 hineingeschraubt ist. Die Spindelmutter 31 Ist fest an der Seite der Trägereinheit 10 angebracht, so daß bei Drehung der Spindel 29 in der einen oder anderen Richtung die Trägereinheit 10 entlang der optischen Achse 3 vor- oder zurückgeschoben wird. Zur Ver stärkung der Verbindung zwischen Spindelmutter 31 und Trägereinheit 10 kann die Spindelmutter 31 noch in einer Hülse 32 gehalten sein, wobei Spindelmutter 31, Hülse 32 und Trägereinheit 10 miteinander ver schweißt sind. Die Hülse 32 kann die Spindel 29 aus Sicherheitsgründen aufnehmen.The drive device for the carrier unit 10 is permanently mounted in the interior of the circuit head 1 . It contains, inter alia, an electrically driven gear motor 24 , the motor shaft 25 of which runs parallel to the optical axis 3 . On the motor shaft 25 is a drive wheel 26 for a toothed belt 27 , which is placed around a further drive wheel 28 which is fixed on a spindle 29 to rotate it when the motor 24 rotates. The spindle 29 runs with its longitudinal direction parallel to the optical axis 3 . The free or in the direction of the beam outlet end of the spindle 29 is provided with an external thread 30 with which the spindle 29 is screwed into a spindle nut 31 . The spindle nut 31 is fixedly attached to the side of the carrier unit 10 , so that when the spindle 29 rotates in one direction or the other, the carrier unit 10 is pushed forward or backward along the optical axis 3 . To reinforce the connection between the spindle nut 31 and the carrier unit 10 , the spindle nut 31 can still be held in a sleeve 32 , with the spindle nut 31 , sleeve 32 and carrier unit 10 being welded to one another. The sleeve 32 can accommodate the spindle 29 for safety reasons.

Wird bei Drehung der Spindel 29 die Trägereinheit 10 entlang der opti schen Achse 3 bewegt, so verschiebt sich auch gleichzeitig derjenige Teil der Trägereinheit 10, durch den der verlängerte Teil 11a des Raums 11 ge bildet wird. Dieser Teil der Trägereinheit 10 kann in die Außenwand des Anschlußkopfs 1 hineinragen, so daß dort eine entsprechend große Öff nung 33 vorgesehen ist, die jede mögliche Verschiebung der Trägereinheit 10 entlang der optischen Achse 3 ermöglicht. Fluchtet die Außenplatte 12 mit der Außenwand des Anschlußkopfs 1, so muß in der Außenwand des Anschlußkopfs 1 auch eine entsprechend große Ausnehmung 34 vorhan den sein, in der sich die Außenwand 12 bei Verschiebung der Trägereinheit 10 hineinbewegen kann.If, when the spindle 29 rotates, the carrier unit 10 is moved along the optical axis 3 , that part of the carrier unit 10 is also simultaneously displaced by which the extended part 11 a of the space 11 is formed. This part of the carrier unit 10 can protrude into the outer wall of the connection head 1 , so that there is a correspondingly large opening 33 is provided which enables any possible displacement of the carrier unit 10 along the optical axis 3 . Aligns the outer plate 12 with the outer wall of the connection head 1 , it must also be a correspondingly large recess 34 in the outer wall of the connection head 1 , in which the outer wall 12 can move when the carrier unit 10 is displaced.

Claims

1. Connection head for machining a workpiece by means of a laser beam, with a focusing optics ( 2 ) receiving cassette ( 4 ), a cassette ( 4 ) receiving carrier unit ( 10 ) which is displaceable in the axial direction of the focusing optics ( 2 ), one Antriebsein direction ( 24-31 ) for displacing the carrier unit ( 10 ) in the axial direction of the focusing optics ( 2 ), and between the focusing optics ( 2 ) and a jet outlet of the connection head lying pressure chamber ( 16 ) into which a working gas under pressure can be introduced is characterized in that

- The carrier unit ( 10 ) protrudes with its end away from the beam exit into a pressure chamber ( 19 ), and
- In this pressure chamber ( 19 ) there is such a working pressure that the carrier unit ( 10 ) is kept in balance.

2. Connection head according to claim 1, characterized in that the pressure chamber ( 16 ) and the pressure chamber ( 19 ) via at least one connec tion channel ( 23 ) communicate with each other.

3. Connection head according to claim 1 or 2, characterized in that the carrier unit ( 10 ) at their away from the beam output En de hollow cylindrical and the pressure chamber ( 19 ) are annular.

4. Connection head according to one of claims 1 to 3, characterized records that the drive device is a manual.

5. Connection head according to one of claims 1 to 3, characterized records that the drive device is a pneumatic.

6. Connection head according to one of claims 1 to 3, characterized records that the drive device is an electromechanical.

7. Connection head according to one of claims 1 to 6, characterized records that the drive device is arranged in its interior.

8. Connection head according to claim 6 and 7, characterized in that the drive device has a drive unit ( 10 ) driving spin del ( 29 ) which can be driven by an electric motor ( 24 ).