DE19612713A1 - Einrichtung in einer Halbleiterfertigungsanlage, insbeosndere für integrierte Schaltungen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung in einer Halbleiter­ fertigungsanlage, insbesondere für integrierte Schaltungen, mit mindestens einer elektrischen und/oder mechanischen Prüf­ einrichtung, in welcher die Bauteile geprüft und nach dem Prüfvorgang in einer End- oder Zwischenverpackung abgelegt werden.

Am Ende von Fertigungslinien für elektrische Bauteile und insbesondere integrierte Schaltkreise werden häufig die be­ reits fertig im Gehäuse montierten elektrischen Bauteile auf­ gegriffen, einer Laserbeschriftungsstation zugeführt und an­ schließend in einer Verpackungsstation in eine geeignete Ver­ packung abgelegt. In der Beschriftungsstation wird das Gehäu­ se des elektrischen Bauteiles mittels Laser mit einer Typen­ bezeichnung, Chargennummer, Herstellerangabe etc. beschrif­ tet. In der Verpackungsstation wird das elektrische Bauteil nach Kundenwünschen in eine geeignete Verpackung gelegt. Als Verpackungseinheit können die fertig montierten und beschrif­ teten Bauteile wahlweise in sogenannten Plastiktapes, Pla­ stiktubes oder Plastiktrays abgelegt werden.

Unter Plastiktapes sind hierbei Kunststoffgurte mit eingear­ beiteten Taschen zu verstehen, in welche die elektrischen Bauelemente eingelegt werden. Die Taschen werden anschließend von einer durchsichtigen Deckfolie abgedeckt und mit dieser Deckfolie verschweißt. Diese Plastiktapes können sehr schnell gefüllt werden. Plastiktubes sind die hinlänglich bekannten Kunststoffrohre, in die die elektrischen Bauelemente nachein­ ander eingefüllt werden. Die Kunststoffrohre werden an ihren Endseiten mit geeigneten Abdeckkappen verschlossen. Nachtei­ lig bei diesen Plastiktubes ist, daß die elektrischen Bautei­ le und insbesondere hochempfindlichen integrierten Schalt­ kreise aufgrund ihres gegenseitigen Aneinanderstoßens leicht beschädigt werden können. Plastiktrays sind quaderförmige Kunststoffrahmen, die nach Art eines Schachbrettmusters mit Trennwänden versehen sind. In die einzelnen durch Trennwände gebildeten Kammern wird jeweils eines der elektrischen Bau­ teile eingesetzt. Mit solchen Plastiktrays sind die in die einzelnen Kammern eingesetzten elektrischen Bauteile bzw. in­ tegrierte Schaltkreise bestens vor Transportschäden ge­ schützt.

Die Qualitätskontrolle von elektrischen Bauteilen und die Prozeßkontrolle von Fertigungsmaschinen bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen ist von höchster Wichtigkeit, um sicherzustellen, daß die vom Hersteller ausgelieferten Bauteile den Kundenanforderungen genügen. Zu einer vernünfti­ gen Qualitätskontrolle der elektrischen Bauteile gehört neben einem Testen der elektrischen Eigenschaften, insbesondere der Geschwindigkeitszugriffszeiten bei Speicherbausteinen, auch die Überprüfung von sogenannten Marking- und Package-Defekten nach der erwähnten Laserbeschriftung. Unter Marking-Defekten sind hierbei Defekte in der Beschriftung des Bauteiles und unter Package-Defekten Gehäusefehler der Bauteile zu verste­ hen.

Es ist mittlerweile üblich, das Testen von elektrischen Ei­ genschaften der Bauteile in geeigneten Testeinrichtungen am Ende der Fertigungslinie vollautomatisch durchzuführen. Die Kontrolle nach Marking- und Package-Defekten erfolgt bisher weitgehend manuell, off-line- und stichprobenartig, indem nach der Lasermarkierung der Bauteile ein loses subjektives Betrachten der Bauteile durchgeführt wird. Dieses stichpro­ benartige lose Betrachten der Bauteile erfolgt entweder un­ mittelbar vor dem Verpacken der elektrischen Bauteile oder unmittelbar nach der Lasermarkierung des Bauteiles, wobei zur Lasermarkierung das Bauteil auf eine Platte abgelegt wird. Es ist grundsätzlich möglich, dieses stichprobenartige Überprü­ fen der Bauteile nach Marking- und Package-Defekten mit einer geeigneten Kamera zu unterstützen.

Es ist auch denkbar, daß, sofern man genügend technischen Aufwand betreibt, die gesamte Qualitätskontrolle, also das Überprüfen der elektrischen, mechanischen und optischen Ei­ genschaften des fertig produzierten Bauteiles vollautomati­ siert gehandhabt wird. Das vollautomatisierte Testen wird, was das Testen der elektrischen Eigenschaften von inte­ grierten Schaltungen anbelangt, bereits heute durchgeführt. Insbesondere beim Testen von Speicherbausteinen, wie z. B. DRAM- und Flash-Memory-Bausteinen werden hierbei immer zuneh­ mend kürzere Meßzeiten erreicht. Diese kürzeren Meßzeiten sind zwar grundsätzlich erwünscht, führen jedoch zu einem Problem. Bei Halbleiterfertigungsanlagen ist es häufig er­ wünscht, die getesteten elektrischen Bauteile nach Prüfklas­ sen sortiert in einer End- oder Zwischenverpackung abzulegen. Dies bedeutet, daß die elektrischen Bauteile nach dem eigent­ lichen Testvorgang, abhängig vom Testergebnis, sortiert in Verpackungen abgelegt werden müssen. Diese mechanische Hand­ habung der getesteten Bauteile erfordert eine Handlingszeit, die größer als die einzelnen Meßzeiten während der Prüfphase der Bauteile ist. Damit ergibt sich für die Testeinrichtung ein Konflikt zwischen der Meßzeit in der Prüfeinrichtung und der für das Sortieren in die einzelnen Prüfklassen benötigten Handlingszeit. Selbst wenn als Prüfklassen lediglich "gute" und "schlechte" und damit nur zwei Klassen vorgesehen werden, tritt dieser Konflikt aufgrund der erreichbaren kurzen Meß­ zeiten in der Prüfeinrichtung auf. Bereits bei zwei Prüfkate­ gorien übersteigt die Handlingszeit die zum Messen benötigte Zeitdauer, woraus eine zunehmend schlechtere Auslastung der Kapazität der Testeinrichtung resultiert.

Verschärft wird dieser Konflikt noch dadurch, daß derzeit weltweit Anstrengungen dahingehend unternommen werden, die Testzeiten durch Anwendung neuer Teststrategien beim Testen von integrierten Schaltungen in Halbleiterfertigungsanlagen zu reduzieren. Zudem wird in immer stärkerem Maße bei inte­ grierten Speicherbausteinen gefordert, Speicherbausteine nach unterschiedlichen Güteklassen, z. B. Geschwindigkeitsklassen, zu sortieren. Es besteht das Erfordernis, die Speicherbau­ steine nach sogenannten Anfalltypen mit eingeschränkter Funk­ tionalität schon beim Bauteilehersteller sortiert abzurufen. Eine Erweiterung der Prüfkategorien bzw. Sorting-Kategorien ist deshalb unerläßlich.

Ein weiteres Problem bei den bisherigen Halbleiter­ fertigungsanlagen besteht darin, daß die Ein- und Ausgabe, insbesondere der Plastiktrays auf den bekannten Testeinrich­ tungen, über sogenannte Traystacks erfolgt. Das damit verbun­ dene manuelle Handling gestapelter Einzeltrays kann neben Verwechslungen auch anderweitige mechanische oder ESD- Gefährdungen zur Folge haben. Ein serielles Handling gesta­ pelter Einzeltrays mit elektrischen Bauteilen, z. B. SOJ- oder TSOP-Bausteinen innerhalb der gleichen technologischen Fertigungslinie ist damit logistisch nicht mehr beherrschbar.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Ein­ richtung anzugeben, mit der die Handlingszeiten in Ferti­ gungslinien von elektrischen Bauteilen und insbesondere inte­ grierten Speicherbausteinen erheblich reduziert werden kann bei gleichzeitiger Erhöhung der Sorting-Kategorien.

Diese Aufgabe wird bei der eingangs genannten Einrichtung in einer Halbleiterfertigungsanlage, insbesondere für inte­ grierte Schaltkreise, dadurch gelöst, daß die Einrichtung ei­ ne von der Taktzeit der Prüfeinrichtung entkoppelte Sor­ tiereinrichtung aufweist, in welcher die Bauteile nacheinan­ der abgelegt werden, daß die Prüfeinrichtung jedem geprüften Bauteil einen Datensatz nach Maßgabe der Prüfergebnisse zu­ ordnet, und daß in der Sortiereinrichtung das Bauteil ent­ sprechend seines Datensatzes in einer ausgewählten End- oder Zwischenverpackung abgelegt wird.

Als bevorzugte End- oder Zwischenverpackung wird ein Kunst­ stofftray vorgesehen, in dessen Kammern die getesteten Bau­ teile nach Prüfklassen sortiert abgelegt werden.

Die Erfindung beruht also im wesentlichen darauf, auf der Testeinrichtung nur noch den eigentlichen Baustein-Test vor­ zusehen und anschließend die getesteten Bauteile unsortiert abzulegen.

In einer Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen werden, daß eine grobe Vorsortierung der Bauteile auf der Testein­ richtung durchgeführt wird. Die grobe Vorsortierung kann bei­ spielsweise eine Vorsortierung der Bauteile in zwei Katego­ rien, nämlich "gute" und "schlechte" Bauteile, vorsehen.

Erfindungsgemäß wird jedem Bauteil ein Datensatz zugeordnet, das dem individuellen Meßergebnis in der Prüfeinrichtung ent­ spricht. Dieses Bauteil wird in der Zwischenverpackung, z. B. dem erwähnten Plastiktray, abgelegt, wobei eine eindeutige Zuordnung zwischen dem abgelegten Bauteil und dem zugehören­ den Meßergebnis anhand des Datensatzes erreicht wird. Nachdem das Plastiktray nacheinander mit Bauteilen gefüllt wurde, die naturgemäß unterschiedliche Meßergebnisse aufweisen, steht in einer Steuereinrichtung der Einrichtung ein Datenmap zur Ver­ fügung, aus dem eindeutig die Information ableitbar ist, wel­ ches der Bauteile mit welchem Prüfergebnis in einer bestimm­ ten Kammer des Plastiktrays abgelegt ist. Dieses mit Bautei­ len gefüllte Plastiktray wird dann über eine geeignete Ein­ richtung oder manuell dem externen Sortiergerät zugeführt. In dem Sortiergerät werden dann die mit unterschiedlich "guten" oder "schlechten" Bauteilen gefüllten Plastiktrays so sor­ tiert, daß am Ausgang des Sortiergerätes verschiedene Pla­ stiktrays mit zuvor festgelegten Sorting-Kategorien zur Ver­ fügung stehen. In jedem Plastiktray befinden sich damit Bau­ teile gleicher Sorting-Kategorie.

Erfindungsgemäß wird also nach dem Testen der Bauteile ein Datenmap für jedes Plastiktray angelegt entsprechend der in­ dividuellen Meßergebnisse sowie der aktuellen Lage eines je­ den Bauteiles. Dieses Datenmap wird über eine Steuereinrich­ tung und geeignete Schnittstellen zu dem externen Sortierge­ rät übertragen.

Es ist ohne weiteres möglich, nicht nur die einzelnen Bautei­ le mit einem Datensatz zu versehen, sondern zusätzlich auch die Zwischenverpackung, hier also den Plastiktray, selbst mit einem geeigneten Code zu identifizieren. Sofern die Plastik­ trays selbst wieder in einem Sammelbehälter untergebracht sind, besteht auch die Möglichkeit, diesen Sammelbehälter mit einer geeigneten Identifikation zu versehen, so daß dieser eindeutig wiedererkennbar ist.

Erfindungsgemäß ist das externe Sortiergerät modular aufge­ baut, so daß eine hohe Flexibilität bzgl. der geforderten Sorting-Kategorien erreicht wird. Auf dem Sortiergerät werden unter Benutzung der übertragenen Datensätze bzw. Datenmaps und unabhängig von der Testeinrichtung die entsprechenden Baustein-Qualitäten zusammengefaßt.

Vorzugsweise werden für die Testeinrichtung und das externe Sortiergerät jeweils codierte Zwischenverpackungen, hier co­ dierte Plastiktrays, und als Sammelbehälter in allen Ein- und Ausgabestationen codierte Sammelbehälter verwendet. Durch das Vorsehen von geeigneten Codierungen an den Sammelbehältern und den Zwischenverpackungen ist eine Verfolgung des Loses und eine CIM (Computer-integrated-manufacturing) -Einbindung des Package-Handlings möglich. Damit werden gleichfalls Ver­ wechslungen von Einheiten (z. B. Bauelemente, Zwischenverpac­ kungen, Sammelbehälter) ausgeschlossen.

Die Erfindung wird nachfolgend im Zusammenhang mit einem Aus­ führungsbeispiel und zwei Figuren näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Draufsicht auf eine Prüfeinrich­ tung mit externer Sortiereinrichtung und

Fig. 2 einen beispielhaften Sammelbehälter zum Transpor­ tieren mehrerer sogenannter Plastiktrays.

In den nachfolgenden Figuren bezeichnen, sofern nicht anders angegeben, gleiche Bezugszeichen gleiche Teile mit gleicher Bedeutung.

In Fig. 1 ist die schematische Draufsicht auf eine innerhalb einer Fertigungslinie einer Halbleiterfertigungsanlage ange­ ordnete Prüfeinrichtung zum Testen von elektrischen Bautei­ len, insbesondere integrierten Schaltkreisen, dargestellt. Diese schematisch dargestellte Prüfeinrichtung ist mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnet und verfügt über eine eingangssei­ tig angeordnete Aufheizkammer 2, einen oder mehrere Testplät­ ze 4 und eine ausgangsseitige Abkühlkammer 5. im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der Eingang der Prüfeinrichtung 1 mit dem Bezugszeichen 6 und der Ausgang mit dem Bezugszeichen 7 bezeichnet. Am Eingang 6 werden die einzelnen elektrischen Bauteile, z. B. integrierte Speicherbausteine, in Sammelbe­ hältern vollautomatisch von der Fertigungslinie oder manuell angeliefert. Die Sammelbehälter sind mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnet. Im Ausführungsbeispiel von Fig. 1 werden dem Eingang 6 der Prüfeinrichtung 2 solche Sammelbehälter 10 zu­ geführt. Der Sammelbehälter 10 ist im vorliegenden Ausfüh­ rungsbeispiel dazu geeignet, mehrere übereinander gestapelte Plastiktrays 8 zu beinhalten. Über eine nicht näher in Fig. 1 dargestellte Entladeeinrichtung werden nacheinander die einzelnen Plastiktrays 8 aus dem Sammelbehälter 10 herausge­ nommen, in Fig. 1 paarweise. Um die einzelnen Bauteile für den eigentlichen Testvorgang vorzuwärmen, können die in Fig. 1 dargestellten beiden Sammelbehälter 10 gemeinsam in die Aufheizkammer 2 eingeschoben und für eine vorgegebene Zeit darin belassen werden. Anschließend werden, wie in Fig. 1 schematisch dargestellt, aus den Sammelbehältern 10 zwei Pla­ stiktrays herausgenommen und nebeneinander unterhalb des er­ sten Testplatzes 4 abgelegt. Über eine geeignete Transport­ vorrichtung, hier Laufschienen, kann sich dann, gesteuert von einer ebenfalls nicht dargestellten Steuereinrichtung, ein Vakuumkopf 3 über die Plastiktrays 8 bewegen und dort ein oder mehrere Bauteile ansaugen und zum Testplatz 4 zurückfüh­ ren. Dort wird dann der eigentliche Testvorgang zum elektri­ schen und/oder mechanischen und/oder optischen Testen des Bauteiles durchgeführt. Im Ausführungsbeispiel in Fig. 1 sind drei solcher Testplätze 4 dargestellt.

Am Ausgang der Prüfeinrichtung 1 befindet sich die bereits erwähnte Abkühlkammer 5, um die in den Plastiktrays 8 befind­ lichen Bauteile wieder auf Raumtemperatur abzukühlen. Die ge­ testeten Bauteile stehen am Ausgang der Prüfeinrichtung 1 wieder in den Plastiktrays 8, die im Sammelbehälter 10 gesta­ pelt sind, zur Verfügung.

Wesentlich bei der vorliegenden Prüfeinrichtung ist, daß die aus einer Kammer eines Plastiktrays 8 herausgenommenen Bau­ teile getestet werden und für jedes Meßergebnis ein Daten­ satz, der zu dem getesteten Bauteil gehört, innerhalb einer Steuereinrichtung, z. B. ein line-controller, angelegt wird. Das Bauteil wird nach dem Testvorgang unsortiert in dem Pla­ stiktray 8 zurückgelegt. Im einfachsten Fall wird das gete­ stete Bauteil genau in diejenige Kammer des Plastiktrays 8 zurückgelegt, in der es sich vorher befunden hat. Damit ist das Plastiktray 8 am Ende des Prüfvorganges in der Prüfein­ richtung 1 an den genau gleichen Stellen wieder mit den glei­ chen Bauteilen bestückt, wie vor dem Testvorgang. Allerdings steht in der Steuereinrichtung für jedes Bauteil und jeden Platz des Bauteiles innerhalb des Plastiktrays 8 ein Daten­ satz zur Verfügung, der es erlaubt, eindeutig ein im Plastik­ tray 8 abgelegtes Bauteil lokal und qualitativ zu identifi­ zieren. Bei der Verwendung von Sammelbehältern 10 und Pla­ stiktrays 8 ist es darüber hinaus möglich, den Sammelbehälter 10 und die Plastiktrays 8 selbst mit einer Codierung, z. B. einem Strichcode oder einem Buchstaben-/Zifferncode zu verse­ hen, um auch die Sammelbehälter 10 und die Plastiktrays 8 selbst jederzeit identifizieren zu können.

Es wird also bei der Prüfeinrichtung 1 gemäß Fig. 1 entspre­ chend der individuellen Meßergebnisse des jeweiligen Bauteils sowie der aktuellen Lage eines jeden Bauteiles zum jeweiligen Plastiktray 8 ein Datenmap angelegt, das es in sicherer Weise erlaubt, in der noch zu erläuterten Sortiereinrichtung die einzelnen Bauteile nach Sorting-Kategorien oder Prüf- Kategorien abzulegen.

Die am Ausgang 7 der Prüfeinrichtung 1 anstehenden Sammelbe­ hälter 10 werden über eine geeignete Einrichtung automatisch oder auch manuell an die Sortiereinrichtung 20 geliefert. Im Ausführungsbeispiel von Fig. 1 ist angenommen, daß die Sor­ tiereinrichtung 20 eingangsseitig einen sogenannten Trolley 21 aufweist, auf dem eine Vielzahl von Sammelbehältern 10 mit gestapelten Plastiktrays 8 anstehen. In einer Entladeeinheit 22 werden die Plastiktrays 8 aus den Sammelbehältern 10 her­ ausgenommen und im vorliegenden Ausführungsbeispiel zwei Sor­ tier-Stationen 23, 24 zugeführt. Die Sortier-Station 23 dient im vorliegenden Ausführungsbeispiel dazu, die elektrischen Bauteile in vier unterschiedliche Geschwindigkeitsklassen einzuteilen. Für jede Geschwindigkeitsklasse stehen - abhän­ gig von der Wahrscheinlichkeit, wie häufig eine bestimmte Ge­ schwindigkeitsklasse erwartet wird - ein oder mehrere Pla­ stiktrays 8 zur Verfügung. Beim vorliegenden Ausführungsbei­ spiel sind fünf Plastiktrays vorgesehen, von denen jeweils ein Plastiktray für die Sorting-Kategorie B1, B2 und B4 vor­ gesehen ist und zwei Plastiktrays 8 für die Sorting-Kategorie B3 bereitstehen.

Eine ähnliche Sortier-Station befindet sich rechts von der bereits erläuterten Sortier-Station 23. In dieser Sortier- Station 24 werden im vorliegenden Ausführungsbeispiel die in der Prüfeinrichtung 1 als fehlerhaft erkannten Bauteile sor­ tiert in Plastiktrays 8 abgelegt. Hierfür stehen vier neben­ einander angeordnete Plastiktrays 8 zur Verfügung, in denen jeweils eine Sorting-Kategorie B5, B6, B7 und B8 vorgesehen ist.

Damit die Sortiereinrichtung 20 nach Maßgabe der in der Prüf­ einrichtung 1 erhaltenen Prüfergebnisse die einzelnen Bautei­ le in die einzelnen Sorting-Kategorien B1 bis B8 ablegen kann, ist es notwendig, zwischen der Prüfeinrichtung 1 und der Sortiereinrichtung 20 eine geeignete Datenübertragung be­ reitzustellen. Hierfür ist sowohl die Prüfeinrichtung 1 als auch die Sortiereinrichtung 20 mit geeigneten Schnittstellen zu versehen. Zusätzlich ist eine Steuereinrichtung erforder­ lich, die den Datentransfer von der Prüfeinrichtung 1 zur Sortiereinrichtung 20 koordiniert. Durch das bereits erwähnte Codieren der Sammelbehälter 10 und/oder Plastiktrays 8 und der Zuordnung eines Datensatzes für jedes Bauteil entspre­ chend des in der Prüfeinrichtung 1 vorgenommenen Testes, ist es der Prüfeinrichtung 20 ohne weiteres möglich, die einzel­ nen Bauteile in den Sorting-Kategorien B1 bis B8 abzulegen. Da die Sortiereinrichtung 20 erfindungsgemäß - bis auf die Datenübertragung - von der Prüfeinrichtung 1 entkoppelt ist, entsteht auch kein Zeitkonflikt zwischen Prüfeinrichtung 1 und Sortiereinrichtung 20.

Die Sortiereinrichtung 20 ist erfindungsgemäß modular aufge­ baut, so daß eine sehr hohe Flexibilität bezüglich der gefor­ derten Sorting-Kategorien gewährleistet ist. Durch die vor­ zugsweise gleichzeitig an den Plastiktrays 8 und den Sammel­ behältern 10 angebrachten Codierungen ist eine Verfolgung der Lose und eine CIM-Einbindung des Package-Handlings möglich. Damit werden vorteilhafterweise Verwechslungen von Bauelemen­ ten, Plastiktrays, Sammelbehältern ausgeschlossen.

In Fig. 2 ist ein mögliches Ausführungsbeispiel für einen Sammelbehälter 10 zum Transportieren gestapelter Plastiktrays 8 dargestellt. Der Sammelbehälter 10 besteht im wesentlichen aus einem quaderförmigen Topf, in den die gestapelten Pla­ stiktrays von unten her einfüllbar sind. Im einzelnen ist der Sammelbehälter 10 mit vier L-förmigen Vertikalstreben 11 ver­ sehen, die an ihrem unteren Ende von einem rechteckförmigen Grundrahmen 12 umgeben sind. Die einzelnen Vertikalstreben 11 sind jeweils zueinander beabstandet angeordnet. Am oberen En­ de sind die Vertikalstreben 11 mit einer Art Spinne, die den oberen Deckel des Sammelbehälters bildet, verbunden. Diese Spinne wird durch vier an den Eckpunkten des Behälters begin­ nenden und in der Mitte des Behälters endenden Querstreben 13 gebildet. In der Mitte befindet sich an der Oberseite des Sammelbehälters 10 eine Platte 14. Zusätzlich verfügt der Sammelbehälter 10 über einen oder zwei Griffe 15, die an den Vertikalstreben 11 angeformt sind.

Eine derartige Bauweise ermöglicht einen leichten Aufbau des Sammelbehälters 11, da durchweg nur Streben zur Realisierung des Sammelbehälters 10 eingesetzt sind. Dank einer derartigen Bauweise entstehen zwischen den einzelnen Streben 11 Zwi­ schenräume, die es in einfacher Weise erlauben, an den Pla­ stiktrays, die in den Sammelbehälter 10 eingestapelt werden, angebrachte Codierungen optisch auch außerhalb des Sammelbe­ hälters 10 zu erfassen. Wie Fig. 2 zudem zeigt, ist der Sam­ melbehälter 10 mit mindestens einer Codierung 16, hier eine Strichcodierung nach einem Barcode, versehen. Diese Codierung 16 erlaubt eine eindeutige Identifizierung des Sammelbehäl­ ters 10. Im Ausführungsbeispiel von Fig. 2 sind auf jeder Seite des Sammelbehälters 10 diese Codierungen 16 angebracht.

Aufgrund der graphischen Darstellung des Sammelbehälters 10 in Fig. 2 sind jedoch nur an zwei Seiten diese Codierungen 16 erkennbar.

Bezugszeichenliste

1 Prüfeinrichtung
2 Aufheizkammer
3 Vakuumkopf
4 Testplatz
5 Abkühlkammer
6 Eingang
7 Ausgang
8 Plastiktray
10 Sammelbehälter
11 Vertikalstreben
12 Grundrahmen
13 Querstreben
14 Platte
15 Griff
16 Codierung
20 Sortiereinrichtung
21 Trolley
22 Entladeeinheit
23 Sortierstation
24 Sortierstation
B1 bis B8 Sorting-Kategorien

Claims (12)

1. Einrichtung in einer Halbleiterfertigungsanlage, insbe­ sondere für integrierte Schaltungen, mit mindestens ei­ ner elektrischen und/oder mechanischen Prüfeinrichtung (1), in welcher die Bauteile geprüft und nach dem Prüf­ vorgang in einer End- oder Zwischenverpackung (8) abge­ legt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung eine von der Taktzeit der Prüfeinrichtung (1) ent­ koppelte Sortiereinrichtung (20) aufweist, in welcher die Bauteile nacheinander abgelegt werden, daß die Prüf­ einrichtung (1) jedem geprüften Bauteil einen Datensatz nach Maßgabe der Prüfergebnisse zuordnet, und daß in der Sortiereinrichtung (20) das Bauteil entsprechend seines Datensatzes in einer zuvor ausgewählten End- oder Zwi­ schenverpackung (8) abgelegt wird.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die End- oder Zwischenverpackung (8) Kunststofftrays sind, in welchen die Bauteile abgelegt werden.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Sortiereinrichtung (20) Vorrichtungen aufweist zum Aufgreifen und Ablegen der Bauteile und/oder zum Aufgreifen und Ablegen der End- oder Zwi­ schenverpackungen (8).

4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Prüfeinrichtung (1) eine Vorsortierung der geprüften Bauteile derart erfolgt, daß die Bauteile in "Gut-Klassen" und "Schlecht-Klassen" ge­ trennt abgelegt werden.

5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die End- oder Zwischenverpackungen (8) Kunststofftrays sind, daß den von der Prüfeinrich­ tung (1) im Kunststofftray (8) abgelegten Bauteilen ein Datenmap zugeordnet ist, welches die in den einzelnen Kammern des Kunststofftrays abgelegten Bauteile nach Prüfergebnissen identifiziert, und daß dieses Datenmap der Sortiereinrichtung (20) über eine Steuereinrichtung übergeben wird.

6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung ein Line-Controller ist.

7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die End- oder Zwischenverpackung (8) ebenfalls mit einer Codierung (16) versehen ist.

8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Codierung (16) ein optisch erfaßbarer Strichcode und/oder Buchstaben/Ziffern-Code ist.

9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die End- oder Zwischenverpackung (8) für die Bauteile in Gruppen zusammengefaßt in einem Sam­ melbehälter ("Sleeve") (10) abgelegt werden.

10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Sammelbehälter (10) ebenfalls mit einer Codierung (16) versehen ist.

11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfeinrichtung (1) eingangssei­ tig eine Aufheizstation (2) und ausgangsseitig eine Ab­ kühlstation (5) aufweist, durch welche die Bauteile transportiert werden.

12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfeinrichtung (1) und die Sor­ tiereinrichtung (20) Schnittstellen aufweisen, über wel­ che eine Datenübertragung der Datensätze durchführbar ist, und daß diese schnittstellen mit der Steuereinrich­ tung gekoppelt sind.