DE19600896A1 - Regeleinrichtung mit stufenlos einstellbarem Dosierventil für kryogene verflüssigte Gase zur genauen Temperaturstabilisierung von gefrorenen Proben - Google Patents
Regeleinrichtung mit stufenlos einstellbarem Dosierventil für kryogene verflüssigte Gase zur genauen Temperaturstabilisierung von gefrorenen ProbenInfo
- Publication number
- DE19600896A1 DE19600896A1 DE1996100896 DE19600896A DE19600896A1 DE 19600896 A1 DE19600896 A1 DE 19600896A1 DE 1996100896 DE1996100896 DE 1996100896 DE 19600896 A DE19600896 A DE 19600896A DE 19600896 A1 DE19600896 A1 DE 19600896A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- control device
- ball
- switching ball
- servomotor
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/1919—Control of temperature characterised by the use of electric means characterised by the type of controller
- G05D23/192—Control of temperature characterised by the use of electric means characterised by the type of controller using a modification of the thermal impedance between a source and the load
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L7/00—Heating or cooling apparatus; Heat insulating devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/42—Low-temperature sample treatment, e.g. cryofixation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Temperature-Responsive Valves (AREA)
Description
Die Anmeldung handelt von einer Regeleinrichtung mit stufenlos einstellbarem
Dosierventil für kryogene verflüssigte Gase, wie z. B. für flüssigen Stickstoff, das zur
genauen Temperaturstabilisierung von gefrorenen Proben eingesetzt wird.
Die Dosierung, d. h. die stetige und genaue Regulierung des Durchflusses, von flüssigem
Stickstoff mit Ventilen bereitet erhebliche Schwierigkeiten. Üblicherweise wird mit
Ventilen für flüssigen Stickstoff eine Zweipunktregelung durchgeführt, d. h. solche
Ventile werden nur zwischen dem geöffnetem und geschlossenem Zustand
umgeschaltet.
Hierfür werden z. B. an großen Dewar-Vorratsbehältern, aus denen flüssiger Stickstoff in
kleinere Kannen abgefüllt werden soll, Kugelhähne verwendet, deren drehbare
Schaltkugeln aus Kunststoff wie z. B. Teflon bestehen. Auf Grund des starken
Temperaturschwankungen an solchen Ventilen sind solche Kugelhähne bei der
Temperatur des flüssigen Stickstoffs meist extrem schwergängig, insbesondere zeigen
sie hohe Haftreibung, da sie Materialien unterschiedlicher Wärmeausdehnung enthalten
und die Materialien sich unterschiedlich stark zusammenziehen oder aber solche
Ventile sind, wenn sie leichtgängig sind, bei kryogenen Temperaturen auch nach außen
hin undicht und lecken.
Andere Ventile benutzen das Prinzip eines Schiebers. Ein Schieber oder eine Membran
wird mit Hilfe eines Elektromagneten vom Ventilsitz abgehoben oder schließt die
Öffnung eines Ventilsitzes. Damit der Ventilteller oder die Membran eines Ventils nicht
durch Verunreinigungen von Eiskristallen, die sich immer im flüssigen Stickstoff
befinden können, festfrieren, oder aber Eiskristalle sich im Schieber auf dem Ventilsitz
oder der Membran ablagern und so ein dichter Verschluß des Ventils trotz starken
Anpreßdruckes auf Schieber oder Membran unmöglich wird, wird ein solches Ventil
z. B. mittelbar über die Schubstange kontinuierlich geheizt (Heizleistung kleiner Ventile
z. B. typisch 10 Watt). Dies hat natürlich einen merklichen Stickstoffverlust zur Folge.
Will man den Verbrauch an Flüssigkeit durch Verdampfen vermeiden, so darf keine
Wärme auf Ventilteller oder Membran übertragen werden und die Ventile sind
ungeeignet für eine kontinuierliche Regulierung und feine Dosierung des Durchflusses
flüssigen Stickstoffs. Zudem sind diese Ventile sehr teuer (Listenpreis 1995 ca. 15000
DM).
Im ungeheizten Zustand sind die beschriebenen Ventile ungeeignet für eine
kontinuierliche Regulierung und feine Dosierung des Durchflusses von flüssigem
Stickstoff. Eine solche Regulierung wird aber benötigt, wenn z. B. ein Objekt in der
Probenkammer eines Kryo-Röntgenmikroskops auf eine Temperatur von -150°C mit
einer Genauigkeit von besser 0.2°C geregelt werden soll. Solch geringe
Temperaturschwankungen müssen erzielt werden, damit thermische Driftbewegungen
der Objekte im Zeitraum von einigen Sekunden nicht zu Bewegungsunschärfen im Bild
der Objekte führen können. Je nach Wärmelast in der Probenkammer sind hierzu
Durchflußmengen von z. B. etwa 1-3 Liter pro Stunde nötig, und es ist klar, daß
demgegenüber der Verlust an Stickstoff, durch Wärmeübergang von Außen auf das
Dosierventil verursacht, vernachlässigbar gering sein soll.
Für den Temperaturbereich von 30°C bis zur Temperatur des flüssigen Heliums soll
eine Regeleinrichtung mit stufenlos einstellbarem, stets leichtgängigem und dicht
schließendem Dosierventil für kryogene verflüssigte Gase wie z. B. flüssigen Stickstoff
gefunden werden, das sich für feine Dosierung des Durchflusses einer kryogenen
Flüssigkeit in einer Zuleitung zu einer Kryo-Probenkammer eignet, eine geringe eigene
Wärmelast auf die kryogene Flüssigkeit ausübt und mit dem z. B. bei Durchflußmengen
von wenigen Litern pro Stunde die Temperatur einer in der Probenkammer befindlichen
gefrorenen Probe auf -150°C mit einer Genauigkeit von besser als 0.20 c einregelbar
ist.
Die Regeleinrichtung enthält ein Dosierventil aus einer Glaskeramik. Das Dosierventil
enthält als Regelelement eine mit optischer Genauigkeit geschliffene glaskeramische
Schaltkugel, die in einer angepaßten, ebenfalls optischer Genauigkeit geschliffenen
glaskeramischen kugelförmigen Lagerpfanne mit Ein- und Auslaßbohrung lagert. Die
Berührungsfläche der Schaltkugel in der Lagerpfanne ist auf jeden Fall deutlich geringer
ist als die Fläche der entsprechenden Halbkugel desselben Radius. Die Schaltkugel wird
von einem mikroprozessorgesteuerten Schrittmotor drehbar angetrieben. Schrittmotor
und Schaltkugel sind über eine wärmeisolierte Brücke und über einen als Andruckfeder
wirkenden Metallbalg drehsteif miteinander verbunden.
Für den Temperaturbereich von 30°C bis zur Temperatur des flüssigen Heliums wurde
eine Regeleinrichtung mit einem mikroprozessorgesteuerten Dosierventil gefunden, das
eine geringe Wärmelast erzeugt, stets leichtgängig und nach außen dicht abschließend
arbeitet, eine feine Dosierung des Durchflusses von flüssigem Stickstoff in einer
Zuleitung zu einer Kryo-Probenkammer erlaubt und mit dem z. B. bei Durchflußmengen
von wenigen Litern pro Stunde die Temperatur der Kryo-Probenkammer auf -150°C
mit einer Genauigkeit von besser 0.2°C einregelbar ist. Bei geeigneter Materialwahl
eignet sich das Dosierventil auch für andere, aggressive Flüssigkeiten oder verflüssigte
chemisch aggressive Gase.
Abb. 1 zeigt die vollständige Regeleinrichtung mit mikroprozessorgesteuertem
Dosierventil, mit dem sich ein gefrorenes Objekt in einer Probenkammer auf
Kryotemperatur abkühlen und temperaturstabil halten läßt.
Die dichtenden Teile des Dosierventils der Regeleinrichtung können aus Metall,
Kunststoff, Glas oder Glaskeramik gearbeitet sein. Metall, Kunststoff oder Glaskeramik
wie z. B. MACOR® lassen sich mit normalen Werkzeugen spanend rasch und
kostengünstig bearbeiten bzw. vorbearbeiten. Als Glas eignet sich am besten
ZERODUR®, da es einen extrem geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzt und
die Passung der Ventilbauteile damit für alle in Frage kommenden Temperaturen am
besten gewährleistet. Das Ventil enthält als Regelelement eine optischer Genauigkeit
geschliffene Schaltkugel (6), die in einer angepaßten, ebenfalls optischer Genauigkeit
geschliffenen kugelförmigen Lagerpfanne (7) mit Ein- (9) und Auslaßbohrung (8) lagert.
Die Schaltkugel (6) besitzt die Form einer Kugelkappe besitzen, da nur etwa eine
Viertelkugel als Berührungsfläche mit der Lagerpfanne (7) benötigt wird. Entscheidend
für die Leichtgängigkeit der Schaltkugel (6) in der kugelförmigen Lagerpfanne (7) ist,
daß die Berührungsfläche auf jeden Fall deutlich geringer als die Fläche einer
entsprechenden Halbkugel desselben Radius ist, da so vermieden wird, daß auf Grund
immer möglicher Fehlanpassungen, die insbesondere durch Temperaturgradienten an
Schaltkugel (6) und Lagerpfanne (7) erzeugt werden können, ein Klemmen der
Schaltkugel (6) auftreten kann. Zwischen Schaltkugel (6) und kugelförmige
Lagerpfanne (7) bildet sich während der Regelbewegungen ein Flüssigkeitsfilm oder
ggf. durch geringfügige Verdampfung des Filmes ein Gaspolster aus, wodurch ein
reibungsarmes Gleiten der Schaltkugel (6) in der kugelförmigen Lagerpfanne (7)
garantiert ist (vgl. unten). Dadurch reichen kleinste Antriebsdrehmomente zur
Betätigung der Schaltkugel (6) aus.
Ein Gaspolster kann entstehen, da das Ventil sich auf die Siedetemperatur des
verflüssigten Gases abkühlt und da der nie vermeidbare Wärmefluß in das Ventil, der
z. B. über den Metallbalg (5) stattfindet, zur einer geringfügigen Verdampfung des
Flüssigkeitsfilmes führt. Dieser Zustand stellt sich zwangsläufig von selbst ein, es sei
denn, das Ventil wird durch zusätzliche besondere Kühlmaßnahmen unter die
Siedetemperatur der zu regulierenden verflüssigten Gases abgekühlt; dann tritt die
Verdampfung des verflüssigten Gases natürlich nicht auf.
Da das Ventil im geschlossenen Zustand dicht schließend ist, kann es ständig mit
Flüssigkeit gefüllt sein. Daher kann auch das Vorratsgefäß der Flüssigkeit mit
untenliegendem Auslauf sich oberhalb des Ventils befinden und der statische Druck der
obenliegenden Flüssigkeitssäule stets auf das Ventil wirksam sein.
Die Schaltkugel (6) wird von einem Stellmotor (1), z. B. einem Schrittmotor drehbar
angetrieben. Der Stellmotor (1) und die Schaltkugel (6) sind für diesen Zweck über eine
oder zwei wärmeisolierte Brücken (4) und über einen Metallbalg (5) miteinander
verbunden. Der Metallbalg (5) ist in axialer Richtung wie eine Druckfeder gespannt,
so daß er als Andruckfeder wirkt, die die Schaltkugel (6) stets gegen die kugelförmige
Lagerpfanne (7) drückt.
Um die Regelgenauigkeit des Stellmotors (1) zu verbessern, ist dieser über ein
Untersetzungsgetriebe (2), das am besten einen spielfreien Friktionstrieb enthält, mit
dem Metallbalg (5) drehsteif verbunden. Auf diese Weise sind Drehwinkel von
Bogenminuten reproduzierbar und spielfrei einstellbar. Dies ist insbesondere auch
deswegen möglich, weil wegen der Leichtgängigkeit der Schaltkugel (6) nur geringste
Haftreibungskräfte zu überwinden sind. Als Stellmotor (1) kann daher ein
Mikroschrittmotor (mit einem Volumen von typischerweise einigen cm³) mit einer
typischen Antriebsleistung von unter einem halben Watt benutzt werden. Der
Stellmotor (1) selbst wird am besten über einen programmierbaren "ein-Chip"
Mikroprozessor angesteuert, die auf dem Markt mit Interpretercompiler für die
allereinfachste und bekannte Programmiersprache BASIC angeboten werden (z. B. der
STAMP®-Chip von Parallax Inc. USA) und die daher extrem einfach und schnell zu
programmieren sind. Der Mikroprozessor fragt verschiedene elektrische
Temperatursensoren ab, die z. B. aus Platin-Meßwiderständen bestehen. Solche Platin-
Meßwiderstände sind auch als "PT100" bekannt, wenn der Nominalwert des
Widerstandes 100 Ohm beträgt.
Die Probenkammer (16) enthält z. B. auf einer Metallzunge (17) das zu temperierenden
Objekt (11) und direkt daneben auf der Metallzunge (17) einen Temperatursensor als
Monitor (10). Zusätzlich kann sich noch ein Temperatursensor (13) freitragend unter
einem Überlaufkanal (12) außerhalb der Probenkammer (15) und ein weiterer
Temperatursensor (15) unterhalb der Auslaufhöhe des Überlaufkanals (12) freitragend
innerhalb der gekühlten Probenkammer (16) befinden. Diese freitragend angeordneten
Temperatursensoren fungieren als Überlaufsensor (13) bzw. Füllstandssensor (15), die
bei Berührung mit der Kühlflüssigkeit (14) schlagartig ihren Widerstandswert
verringern. Um diesen Effekt zu erhalten, muß man bedenken, daß derartige Platin-
Meßwiderstände immer von einem sehr kleinen Meßstrom durchflossen werden.
Erhöht man den Meßstrom auf einige Milliampere, so führt der Meßstrom dazu, daß die
Temperatur eines Platin-Meßwiderstands sich um einige Kelvin gegenüber der
Umgebungsluft erhöht. Bei Benetzung mit einem Tropfen Kühlflüssigkeit ändert sich
dann der Widerstandswert schlagartig.
Um eine Verstopfung der Regelspalte des Ventils z. B. durch Eisschlamm zu verhindern,
ist es möglich, den Stellmotor so zu programmieren, des er kleinste alternierende
Drehbewegungen ausführt. Eisschlammablagerungen an den Verengungen der
Ventilspalte werden auf diese Weise fortgeschoben und somit vermieden. Wegen der
kleinen möglichen Schrittwinkel arbeitet das Regelventil über einen sehr großen
Regelbereich bis hinab zu wenigen ml Durchfluß pro Minute.
Um die Wärmeübertragung aus der Umgebungsluft auf das Dosierventil so gering wie
möglich zu halten, befindet es sich in einem zweiteiligen wärmeisolierenden Gehäuse
(3) mit Halteflansch (18) zur Befestigung des Getriebes (2) unter dem Stellmotor (1).
Die Durchführung der Antriebswelle des Getriebes (2) in das wärmeisolierenden
Gehäuse (3) ist mit einer Wellendichtung (19) verschlossen, um ein Eindringen von
Luftfeuchtigkeit im das Innere des Gehäuse (3) und damit eine Vereisung im Inneren zu
vermeiden.
Bezugszeichenliste
1 Stellmotor
2 Untersetzungsgetriebe
3 Wärmeschutzgehäuse
4 wärmeisolierende Brücke
5 Metallbalg
6 Schaltkugel
7 kugelförmige Lagerpfanne
8 Ventilauslaß
9 Ventileinlaß
10 Temperaturfühler
11 zu kühlendes Objekt
12 Überlauf
13 Überlauffühler
14 Kühlflüssigkeit
15 Füllstandsfühler
16 gekühlte Probenkammer
17 Probenhalter
18 Halteflansch
19 Wellendichtung
2 Untersetzungsgetriebe
3 Wärmeschutzgehäuse
4 wärmeisolierende Brücke
5 Metallbalg
6 Schaltkugel
7 kugelförmige Lagerpfanne
8 Ventilauslaß
9 Ventileinlaß
10 Temperaturfühler
11 zu kühlendes Objekt
12 Überlauf
13 Überlauffühler
14 Kühlflüssigkeit
15 Füllstandsfühler
16 gekühlte Probenkammer
17 Probenhalter
18 Halteflansch
19 Wellendichtung
Claims (8)
1. Regeleinrichtung für den Temperaturbereich von Raumtemperatur bis zur Temperatur
von flüssigem Helium,
gekennzeichnet dadurch,
daß ein Dosierventil mit einer drehbaren Schaltkugel (6) und eine paßgenaue kugelförmige Lagerpfanne (7) als Ventilsitz vorhanden ist, wobei die Berührungsfläche der Schaltkugel (6) die Gestalt einer Kugelkappe besitzt, deren Fläche deutlich geringer ist als die Fläche einer Halbkugel,
daß die genannte Schaltkugel (6) und/oder die genannte Lagerpfanne (7) des Ventils aus spanend bearbeitbarer Glaskeramik besteht,
daß die genannte Schaltkugel (6) mittels eines elastischen Metallbalgs (5) drehsteif mit einem Stellmotor (1) verbunden ist,
daß der genannte Metallbalg (5) die Schaltkugel (6) in die kugelförmige Lagerpfanne (7) drückt,
daß der genannte Stellmotor (1) von einem Mikroprozessor gesteuert wird,
daß der genannte Mikroprozessor mit Temperatursensoren (10) verbunden ist und diese abfragt,
daß das Dosierventil sich in einem wärmeisolierendem Gehäuse (3) befindet.
daß ein Dosierventil mit einer drehbaren Schaltkugel (6) und eine paßgenaue kugelförmige Lagerpfanne (7) als Ventilsitz vorhanden ist, wobei die Berührungsfläche der Schaltkugel (6) die Gestalt einer Kugelkappe besitzt, deren Fläche deutlich geringer ist als die Fläche einer Halbkugel,
daß die genannte Schaltkugel (6) und/oder die genannte Lagerpfanne (7) des Ventils aus spanend bearbeitbarer Glaskeramik besteht,
daß die genannte Schaltkugel (6) mittels eines elastischen Metallbalgs (5) drehsteif mit einem Stellmotor (1) verbunden ist,
daß der genannte Metallbalg (5) die Schaltkugel (6) in die kugelförmige Lagerpfanne (7) drückt,
daß der genannte Stellmotor (1) von einem Mikroprozessor gesteuert wird,
daß der genannte Mikroprozessor mit Temperatursensoren (10) verbunden ist und diese abfragt,
daß das Dosierventil sich in einem wärmeisolierendem Gehäuse (3) befindet.
2. Regeleinrichtung nach Anspruch 1,
gekennzeichnet dadurch,
daß sich zwischen Metallbalg (5) und Schaltkugel (6) und/oder zwischen Metallbalg
(5) und Stellmotor (1) eine wärmeisolierende Brücke (4) befindet.
3. Regeleinrichtung einem der Ansprüche 2 bis 3,
gekennzeichnet dadurch,
daß der Stellmotor (1) ein Schrittmotor ist.
4. Regeleinrichtung einem der Ansprüche 2 bis 3,
gekennzeichnet dadurch,
daß der Stellmotor (1) ein spielfreies Untersetzungsgetriebe (2) enthält.
5. Regeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4.
gekennzeichnet dadurch,
daß sich mindestens ein freitragend angeordneter ungeheizter oder geringfügig geheizter
Temperatursensor unter einem Überlaufkanal (12) der Probenkammer (16) befindet und
als Überlauffühler (13) fungiert.
6. Regeleinrichtung einem der Ansprüche 1 bis 5,
gekennzeichnet dadurch,
daß sich mindestens ein freitragend angeordneter ungeheizter oder oder geringfügig
geheizter Temperatursensor in der zu Probenkammer (16) befindet und als als
Füllstandsfühler (15) fungiert.
7. Regeleinrichtung einem der Ansprüche 1 bis 6,
gekennzeichnet dadurch,
daß sich an dem Gehäuse (3) eine Wellendichtung (19) befindet.
8. Regeleinrichtung einem der Ansprüche 1 bis 7,
gekennzeichnet dadurch,
daß das Schaltkugel und Lagerpfanne des Dosierventils aus Glas, Metall oder Kunstoff
bestehen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996100896 DE19600896A1 (de) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | Regeleinrichtung mit stufenlos einstellbarem Dosierventil für kryogene verflüssigte Gase zur genauen Temperaturstabilisierung von gefrorenen Proben |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996100896 DE19600896A1 (de) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | Regeleinrichtung mit stufenlos einstellbarem Dosierventil für kryogene verflüssigte Gase zur genauen Temperaturstabilisierung von gefrorenen Proben |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19600896A1 true DE19600896A1 (de) | 1997-07-17 |
Family
ID=7782589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1996100896 Withdrawn DE19600896A1 (de) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | Regeleinrichtung mit stufenlos einstellbarem Dosierventil für kryogene verflüssigte Gase zur genauen Temperaturstabilisierung von gefrorenen Proben |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19600896A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004034827A1 (de) * | 2004-07-19 | 2006-03-16 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Kühleinrichtung für biologische Proben |
-
1996
- 1996-01-12 DE DE1996100896 patent/DE19600896A1/de not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004034827A1 (de) * | 2004-07-19 | 2006-03-16 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Kühleinrichtung für biologische Proben |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA1130587A (en) | Device for the cryosubstitution of small biological objects for microscopic research especially electron-microscopic investigations | |
EP1197776B1 (de) | Vorrichtung zum Temperaturausgleich für thermisch belastete Körper mit niederer Wärmeleitfähigkeit, insbesondere für Träger reflektierender Schichten oder Substrate in der Optik | |
US5237824A (en) | Apparatus and method for delivering supercritical fluid | |
US6071408A (en) | Apparatus and method for supercritical fluid extraction | |
DE2001713C2 (de) | Temperaturabhängiges Absperrorgan | |
CA2136217C (en) | Pivotal diaphragm, flow control valve | |
JPH1047504A (ja) | 流量計を有する流量調整弁 | |
DE19600896A1 (de) | Regeleinrichtung mit stufenlos einstellbarem Dosierventil für kryogene verflüssigte Gase zur genauen Temperaturstabilisierung von gefrorenen Proben | |
EP0215302A2 (de) | Einrichtung zur absoluten Dichtebestimmung nach der Auftriebsmethode | |
EP1787092A1 (de) | Thermische vorrichtung zur bestimmung und/oder überwachung des massedurchlaufs eines messmediums | |
US4172581A (en) | Vacuum metering valve construction | |
Herzog et al. | Low‐temperature two‐axis goniometer with accurate temperature control | |
US10481622B2 (en) | Electrohydraulic thermostatic control valve | |
DE69715757T2 (de) | Schnellansprechender Joule- Thomsom- Kryostat | |
Weilert et al. | Progress on a small multi-cycling cryogenic fluid flow valve | |
DE69714479T2 (de) | Temperaturkontrolle für die mikroskopie | |
DE102020123664B4 (de) | Vorrichtung zur variablen Temperatureinstellung in einem Durchflusskryostaten | |
DE2946654A1 (de) | Leckmengenmessgeraet fuer gase | |
DE19625748C2 (de) | Vorrichtung zur Kühlung elektronischer Bauteile, vorzugsweise Sensoren | |
DE910845C (de) | Verfahren fuer die Bestimmung der Kalorienzahl von stroemenden Medien, insbesondere von Fluessigkeiten, Daempfen, Gasen und Rauch, sowie Waermemessapparat zur Ausfuehrung des Verfahrens | |
DE3819114A1 (de) | Betaetigungsvorrichtung fuer eine verstellbare ventilspindel | |
DE19731157C2 (de) | Hochauflösendes Mikrokalorimeter | |
Hahn et al. | A new superfluid leak tight low temperature valve using a magnetostrictive actuator | |
DE2054054A1 (en) | Cryostat coolant supply - with facility for switching from evaporative to gas cooling | |
DE1564718C (de) | Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einer Tiefkühlvorrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G05D 7/00 |
|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |