DE1957286A1 - Polishing machine - Google Patents

Polishing machine

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DE1957286A1
DE1957286A1 DE19691957286 DE1957286A DE1957286A1 DE 1957286 A1 DE1957286 A1 DE 1957286A1 DE 19691957286 DE19691957286 DE 19691957286 DE 1957286 A DE1957286 A DE 1957286A DE 1957286 A1 DE1957286 A1 DE 1957286A1
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DE
Germany
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arrangement
opening
radial
loading plate
spindle
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Application number
DE19691957286
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German (de)
Inventor
Boettcher Stephen A
Simonetti Louis F
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Speedfam Corp
Original Assignee
Speedfam Corp
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
    • B24B37/102Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping the workpieces or work carriers being able to rotate freely due to a frictional contact with the lapping tool

Description

Unser Zeichen: S 2537Our reference: S 2537

SPBBDPAM CORPORATIONSPBBDPAM CORPORATION

509 North Third Avenue509 North Third Avenue

Des Piaines, Illinois 60016/V.St.A.Des Piaines, Illinois 60016 / V.St.A.

Poliermas chinePolishing machine

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf eine Poliermaschine mit einer drehbaren Polierscheibenanordnung und Mitteln, um die zu polierenden Werkstücke in Berührung mit der oberen Fläche der Polierscheibenanordnung zu drücken.The invention relates generally to a polishing machine having a rotatable polishing pad assembly and Means for bringing the workpieces to be polished into contact with the upper surface of the polishing pad assembly to press.

Eine Ausführung einer Poliermaschine weist eine horizontale drehbare G-egensoheibe, ein sich über die obere Fläche der G-egensoheibe erstreckendes Poliertuch, eine Belastungsplatteneinheit, die Werkstücke an ihrer unteren Pläohe aufnehmen kann und über der Gegenscheibe derart angeordnet werden kann, daß die Werkstücke das Poliertuch berühren, und Mittel auf, die eine vertikale Spindelanordnung einschließen, um die Belastungsplatteneinheit zu zentrieren und Druok auf sie auszuüben» üblicherweise wird eine Vielzahl von zu polierenden WerkstückenOne embodiment of a buffing machine has a horizontally rotatable base plate that extends across the top surface the same length polishing cloth, a loading plate unit, can accommodate the workpieces on their lower plane and over the counter disc in such a way can be arranged so that the workpieces contact the polishing cloth, and means on which a vertical spindle arrangement to center the loading plate assembly and apply pressure to it "usually becomes a variety of workpieces to be polished

St.St.

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-2--2-

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

beispielsweise mit Paraffin an der unteren Fläche der Belastungsplatteneinheit befestigt. Auf diese Weise werden die Werkstücke in ihrer Lage relativ zu der Belastungsplatteneinheit festgehalten und können sich während des Poliervorgangs mit ihr bewegen.for example with paraffin on the lower surface of the Load plate assembly attached. In this way the workpieces become in position relative to the loading plate assembly and can move with it during the polishing process.

Bei der oben genannten Ausführung ist die Ableitung der ^ in der Belastungsplatteneinheit während des Poliervor-™ gangs erzeugten Wärme nicht bei allen Anwendungen vollkommen zufriedenstellend gelöst, und die Befestigung der Werkstücke an der Belastungsplatteneinheit und das Entfernen derselben von ihr war verschiedentlich nicht so zweckmäßig, wie es erwünscht wäre.In the above embodiment, the derivation of the ^ in the loading plate unit is during the polishing process gangs generated heat is not completely satisfactorily solved in all applications, and the attachment of the Workpieces on the loading plate unit and removing them from it has not been so on various occasions expediently as it would be desired.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Belastungsplat-' teneinheit mit einer nach oben gerichteten Hlttelöffriung und mit Kanälen versehen, die mit der Öffnung in Verbindung stehen, um eine Zirkulation eines Kühlmittels im Inneren der Einheit zu ermöglichen.. Gleichzeitig ist die Spindelanordnung mit Strömungssittelübertragungseinri ..-■-' tungen versehen, um Kühlmittel gesondert zu der Öffnung zu leiten und das Kühlmittel, das Wärme aufgenommen hat, von der Öffnung abzuleiten. Auf diese Weise wird die Belastungeplatteneinheit gekühlt, um während des Poliervorgangs darin entwickelte Wärme auszugleichen*According to the present invention is the Belastungsplat- 'teneinheit provided with an upwardly directed Hlttelöffriung and with channels which communicate with the opening, in order to allow circulation of a coolant in the interior of the unit .. At the same time, the spindle arrangement having Strömungssittelübertragungseinri .. - ■ - 'provided to conduct coolant separately to the opening and the coolant, which has absorbed heat, to dissipate from the opening. This cools the load plate assembly to compensate for heat developed in it during the polishing process *

Außerdem 1st die Belastungsplatteneinheit von, der SpIndela&ortomg abnehmbar, und an einer von der Poliermaschine entfernt liegenden Stelle kasn eiü Strömungsmittel mit antapreohender Temperatur öurs.!i die Belastung^-» platteneiaheit hiadurohgeleitet werdsn* ^m. di«ae wahlweise zu erwärmen od®2" asu kühlen, um ein. ErweichenIn addition, the loading plate unit from, the SpIndela & ortomg detachable, and at a point remote from the polishing machine there is a fluid with an opposing temperature ours.! i the load ^ - » disk unit hiaduro will be routed * ^ m. di «ae optional to heat od®2 "asu cool to a. Soften

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"'■'■' ÖÄD ORIGINAL"'■' ■ 'ÖÄD ORIGINAL

Verfestigen des Befestigungsmittels hervorzurufen, je nachdem wie es erforderlich, ist, während die Werkstücke an der Belastungsplatteneinheit befestigt oder von dieser entfernt werden. Auf diese Weise wird das Befestigen der Werkstücke an der Belastungsplatteneinheit und das Lösen derselben von ihr weitgehend erleichtert.Solidify the fastener, as required, while the workpieces attached to or removed from the loading plate assembly. This is how the fastening is done of the workpieces on the loading plate unit and releasing the same from it largely facilitated.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand der Zeichnung beschrieben. Darin zeigen?The invention is described below with reference to the drawing. Show in it?

Pig. 1 eine teilweise geschnittene Ansicht einer Poliermaschine mit den Merkmalen der vorliegenden Erfindung jPig. 1 is a partially sectioned view of a polishing machine incorporating the features of the present invention j

Pig. 2 einen horizontalen Schnitt im wesentlichen entlang der Linie 2-2 in Pig. 1 jPig. 2 shows a horizontal section essentially along the line 2-2 in Pig. 1 y

Pig ο 3 einen vergrößerten vertikalen Mittelschnitt durch die Belastungsplatteneinheit und die Spindelanordnung gemäß der Erfindung und weitere damit verbundene Maschinenteile}Pig ο 3 an enlarged vertical center section through the loading plate unit and the spindle assembly according to the invention and others therewith connected machine parts}

Pig. 4 einen horizontalen Schnitt im wesentlichen entlang der Linie 4-4 in Pigο 3JPig. 4 shows a horizontal section essentially along the line 4-4 in Pigο 3J

Pig ο 5 einen verkleinerten horizontalen Schnitt im wesentliohen entlang der Linie 5-5 in Pig» 3»Pig ο 5 a reduced horizontal section essentially along line 5-5 in Pig »3»

Pig. 6 eine verkürzte Vorderansicht einer Werkstückbefestigungsvorrichtung, wobei Teile abgebrochen und Teile im Schnitt gezeigt sind|Pig. 6 is a shortened front view of a workpiece fastening device; with parts broken off and parts shown in section |

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ORKälNAL INSPECTEDORKälNAL INSPECTED

Figo 7 eine verkleinerte Seitenansicht der Vorrichtung gemäß Figo 6 und7 shows a reduced side view of the device according to Figo 6 and

Fig. 8 eine verkleinerte horizontale Ansicht im wesentlichen entlang der Linie 8-8 in Figo 6.FIG. 8 is a reduced horizontal view taken generally along line 8-8 in FIG.

In Figo 1 ist eine Poliermaschine 10 gezeigt, die die Merkmale der vorliegenden Erfindung aufweist. Die Poliermaschine 10 weist einen Rahmen mit einem im wesentlichen zylindrischen Gehäuse 12 auf, das von einem Fundamentring 14 getragen wird. An den gegenüberliegenden Seiten des Gehäuses 12 sind die unteren Enden von vertikalen Säulen 16 entsprechend befestigt. Zwischen den oberen Enden der Säulen 16 erstreckt sich ein horizontales Brückenteil 18, das mit gegenüberliegenden Paaren von seitlichen Armen 20 versehen ist. Am äußeren Ende jedes der vier Arme 20 ist eine vertikale Luftkolben- und -zylinderanordnung angebracht, die einen Zylinder 24» eine Stabilisierungshülse 26 und eine Kolbenstange 28 einschließt. In Figo 1, a polishing machine 10 is shown, the Has features of the present invention. The polishing machine 10 has a frame with a substantially cylindrical housing 12, which is supported by a foundation ring 14 is worn. On opposite sides of the housing 12 are the lower ends of vertical pillars 16 attached accordingly. A horizontal bridge part 18 extends between the upper ends of the pillars 16, which is provided with opposing pairs of side arms 20. At the outer end of each of the four arms 20 A vertical air piston and cylinder assembly is attached which includes a cylinder 24 », a stabilizing sleeve 26 and a piston rod 28.

Ein zylindrischer Ring 30 ist am oberen Ende des Gehäuses 12 mittels einer ringförmigen geneigten Wand 32 befestigt. Außerdem ist in dem Gehäuse 12 ein Hauptantriebemotor 34 befestigt, der mit einer üblichen Geschwindigkeitsreduziereinheit 36 verbunden ist, die in dem Ring 30 getragen wird. Die Ausgangswelle der Geschwindigkeit sreduziereinheit 36 ist in bekannter Weis« mit einer im wesentlichen horizontalen Poliersoheibenanordnung 38 verbunden, wie sie in Fig. 2 und 3 gezeigt ist, und dient dazu, deren Drehung hervorzurufen.A cylindrical ring 30 is attached to the upper end of the housing 12 by means of an annular inclined wall 32. In addition, a main drive motor 34 is mounted in the housing 12 and is connected to a conventional speed reduction unit 36 carried in the ring 30. The output shaft of the speed sreduziereinheit 36 is connected in a known Weis "with a substantially horizontal Poliersoheibenanordnung 38, as shown in FIGS. 2 and 3, and serves to cause the rotation thereof.

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Die Polierscheibenanordnung 38 bestellt aus einer ringförmigen Gegenscheine 40 und aus einem sich über deren obere Fläche erstreckenden Poliertuch 42. Die Gegenscheibe 40 ist vorzugsweise aus Metall, beispielsweise Messing, hergestellt, das eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist. Das Poliertuch 42, das beispielsweise Segeltuch oder ein synthetisches, nicht gewebtes Tuch sein kann, wird mittels eines Ringes oder Reifens 44 in seiner lage gehalten, der auf entsprechende Weise um den äußeren Umfang der Gegenscheibe 40 herum festgeklemmt ist. Anstelle des Tuches kann auch ein Pilzmaterial an der Gegenscheibe 40 entweder festgeklemmt oder angeklebt werden. Die Polierscheibenanordnung 38 ist von einem ringförmigen, dünnwandigen Mantel oder Schutz 46 umgeben, der normalerweise in der in Fig. 1 und 2 gezeigten lage gehalten wird, um das Beschicken und Entleeren der Poliermaschine zu ermöglichen, und er kann während der Poliervorgänge in die lage gemäß Pig ο 3 angehoben werden.The polishing pad assembly 38 is made up of an annular Counter bills 40 and from one out about theirs upper surface extending polishing cloth 42. The counter disk 40 is preferably made of metal, for example Brass, which has high thermal conductivity. The polishing cloth 42, for example canvas or a synthetic, non-woven cloth, is secured by means of a ring or tire 44 in its held position, which is clamped in a corresponding manner around the outer periphery of the counter disk 40 around is. Instead of the cloth, a mushroom material can either be clamped or glued to the counter-disk 40 will. The polishing pad assembly 38 is surrounded by an annular, thin-walled jacket or guard 46, which is normally held in the position shown in Figs. 1 and 2, the loading and unloading of the To enable polishing machine, and it can be lifted into the position according to Pig ο 3 during the polishing process.

Ein frei fließender Polierschlamm kann der Poliersoheibenanordnung 38 durch Rohre oder Tüllen 48 zugeführt werden, die sich von dem BrÜokenteil 18 nach unten erstreoken, wie es in Fig. 1 gezeigt ist. Der Sohlamm wird den Tüllen 48 durch leitungen 50 zugeführt, die mit einer Sumpf-Pumpen-Einheit.52 verbunden sind, die im unteren Teil des Gehäuses 12 angeordnet lsi. Der von der Poliersoheibenanoränung 38 abfließende Poliereohlamm wird von der geneigten Wand 32 gesammelt, die als Tropfwanne dient, und zu einem Ablauf geleitet. Der Polierschlamm kann beispielsweise aus einer Poliermisohung bestehen, wie z# B. einer mit einem Sohmirgelgrundbestand-A free flowing polishing slurry can add to the polishing pad assembly 38 fed through tubes or grommets 48 which extend downward from the bridge part 18, as shown in FIG. The sole lamb will the spouts 48 fed through lines 50, which are connected to a sump-pump unit.52, which in the lower Part of the housing 12 arranged lsi. The polishing slab flowing off the polishing pad surface 38 is collected by the inclined wall 32, which acts as a drip pan serves, and directed to a drain. The polishing slurry can for example consist of a polishing mixture, like, for example, one with a basic stock

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teil aus Eisenoxyd, Ceroxyd oder Zirkoniumoxid, die in Wasser fein verteilt oder mit ihm gemischt ist.Part of iron oxide, cerium oxide or zirconium oxide, which is used in Water is finely divided or mixed with it.

Im unteren Ende jeder der Kolbenstangen 28 ist eine vertikale Spindelanordnung 54 befestigt, die eine Spindel 56 umfaßt. Jede Spindel 56 ist mit einem ersten Axialkanal 58 und mit einem zweiten Axialkanal 60 versehen. Der erste Axialkanal 58 ist an seinem unteren Ende offen und steht an seinem oberen Ende mit einem radialen Einlaß 62 in Verbindung, der mit einer Quelle von unter Druck stehendem Strömungsmittel verbunden werden kann. Der zweite Axialkanal 60 ist an seinem unteren Ende durch einen Stopfen 64 verschlossen, mündet durch eine Radialbohrung 66 zwischen seinen Enden aus der Spindel 56 heraus naoh außen und steht an seinem oberen Ende mit einem radialen Auslaß 68 in Verbindung, der mit einem Strömungsmitteltank oder -ablauf verbunden werden kann. Der erste Axialkanal 58 und der Einlaß 62 bilden eine erste Kanalanordnung, der zweite Axialkanal 60 und die Eadialbohrung 66 und der Auslaß 68 bilden eine zweite Kanalanordnung, und die genannten ersten und zweiten Kanalanordnungen zusammen bilden eine Strömungsmittelübertragungseinrichtung mit einem Zweok, der nachfolgend beschrieben wird.In the lower end of each of the piston rods 28 is a vertical one Fixed spindle assembly 54, which includes a spindle 56. Each spindle 56 is provided with a first axial channel 58 and provided with a second axial channel 60. The first axial channel 58 is open at its lower end and communicates at its upper end with a radial inlet 62 which communicates with a source from below Pressurized fluid can be connected. The second axial channel 60 is through at its lower end a plug 64 closed, opens through a radial bore 66 between its ends from the spindle 56 out near the outside and stands at its upper end with a radial outlet 68 in communication which can be connected to a fluid tank or drain. The first Axial channel 58 and inlet 62 form a first channel arrangement, the second axial channel 60 and the radial bore 66 and outlet 68 form a second channel arrangement, and said first and second channel arrangements together form a fluid transfer device with a dual that is described below will.

Mit jeder der Spindeln 56 steht zwischen i&ren Baden eine im wesentlichen horizontale ringförmige Druoksoaale 70 in Verbindung, die an ihrer unteren litte}» Slagriff mittel in form eines ringförmigen Bandes ?2 aufweist. Zwischen dtir Spindel 56 und der Drucks ehalte TO ist eine schwimmende oder S chwenkver bindung in form einer TTniver-With each of the spindles 56 is a substantially horizontal ring-shaped Druoksoaale 70 connected between the baths, which has on its lower middle} » Slagriff middle in the form of an annular band? 2. Between the spindle 56 and the pressure regulator TO is a floating or swivel connection in the form of a TTniver-

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BADBATH

salkugellageranordnung 74 vorgesehen. Die Lageranordnung 74 wird von einem Sprengring 76, der auT die Spindel 56 aufgesetzt ist und von einem Springring 78 in ihrer Lage gehalten, der in die Druckschale 70 eingesetzt ist. Unmittelbar oberhalb der Drucksohale 70 ist an der Spindel 56 eine Einganordnung 80 befestigt, die dazu dient, die Lageranordnung 74 gegen das Poliergemisch und gegen Fremdkörper zu schützen.Ball bearing assembly 74 is provided. The bearing assembly 74 is supported by a snap ring 76 that attaches to the spindle 56 is placed and held in place by a spring ring 78 which is inserted into the pressure shell 70. Direct above the pressure collar 70 is on the spindle 56 an input assembly 80 is attached, which serves to protect the bearing assembly 74 against the polishing mixture and against foreign bodies to protect.

Mit jeder Druckschale 70 ist eine im wesentlichen horizontale kreisförmige Belastungsplatteneinheit 82 verbunden, die, wie es in Fig. 3, 4 und 5 gezeigt ist, aus oberen und unteren Plattenabschnitten 84 und 86 besteht, die mittels mehrerer Schrauben 88 aneinander befestigt sind. Der obere Plattenabschnitt 84 ist mit einer Mittelöffnung 90, mit mehreren Eadialkanälen 92, die zusammen mit dem unteren Plattenabschnitt 86 eine erste radiale Öffnungsanordnung bilden, mit mehreren geneigten radialen Öffnungen 94f die eine zweite radiale Öffnungsanordnung bilden, und mit einer ringförmigen Aussparung 96 ausgerüstet, die zusammen mit einer ringförmigen Aussparung in dem unteren Plattenabschnitt Θ6 eine Ringkammer bildet. Die Kanäle 92 und die öffnungen 94 und die Aussparung bilden zusammen eine Kanalanordnung in der Belaetungsplatteneinheit 82. In der Aussparung 96 ist eine ringförmige Trennplatte 98 angeordnet, um diese Aussparung in an ihren äußeren Umfangsbereichen in Verbindung stehende obere und untere Bereiche zu unterteilen. In der Trennplatte 98 sind mehrere nach oben bzw. naoh unten ragende Warzen 100 vorgesehen, die dazu dienen, die Platte in der Aussparung 96 zu zentrieren.With each pressure shell 70 has a substantially horizontal circular loading plate unit 82 is connected, which, as shown in Fig. 3, 4 and 5, consists of upper and lower plate portions 84 and 86 which are fixed to each other by means of several screws 88th The upper plate section 84 is provided with a central opening 90, with multiple Eadialkanälen 92, which together with the lower plate portion 86 of a first radial opening arrangement, for forming a second radial opening arrangement with a plurality of inclined radial holes 94, and equipped with an annular recess 96, which, together with an annular recess in the lower plate section Θ6, forms an annular chamber. The channels 92 and the openings 94 and the recess together form a channel arrangement in the loading plate unit 82. An annular separating plate 98 is arranged in the recess 96 in order to subdivide this recess into upper and lower regions which are connected at their outer circumferential regions. In the separating plate 98 a plurality of upwardly projecting down or NaOH warts 100 are provided, which serve to center the plate in the recess 96th

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-8--8th-

In der Mittelöffnung 90 der Belastungsplatteneinheit sind ein Paar vertikal im Abstand voneinander liegende Dichtungsanordnungen 102 angebracht. Jede Dichtungsanordnung 102 besteht aus einem äußeren Körperabschnitt 104 und einem biegsamen inneren Lippenabschnitt 106, der durch eine Ringfeder 108 radial nach innen gedruckt wird. Der untere Endabschnitt der Spindel 56 kann in der Mittelöffnung 90 der Belastungsplatteneinheit 82 aufgenommen werden. In dieser zusammenarbeitenden lage steht der erste Axialkänal 58 in der Spindel 56 mit dem unteren feil der Mittelöffnung 90 und den Radialkanälen 92 in Verbindung, während die Radialbohrung 66 in der Spindel 56 mit der Mittelöffnung 90 und mit den radialen öffnungen 94 zwischen den Dichtungsanordnungen 102 in Verbindung steht. Die Ringfedern 108 dienen dazu, den biegsamen Iiippenabschnitt 106 der Dichtungsanordnungen 102 mit dem benachbarten Umfang der Spindel 56 in Berührung zu halten, und die Dichtungsanordnungen 102 und die zugehörigen Ringfedern 108 dienen als Rotationsdruckdichtungen. Die obere Fläche des oberen Plattenabschnitts 84 ist mit Eingriffsmitteln in Form einer ringförmigen Aussparung 110 versehen, die den ringförmigen Rand 72 der Druckschale 70 aufnehmen kann, während an der unteren Fläche des unteren Plattenabschnitts 86 Werkstücke 112 befestigt werden können.In the center opening 90 of the loading plate assembly are a pair vertically spaced from one another Seal assemblies 102 attached. Each seal assembly 102 consists of an outer body portion 104 and a flexible inner lip portion 106 which is urged radially inward by an annular spring 108. The lower end portion of the spindle 56 can be received in the central opening 90 of the load plate assembly 82 will. In this cooperative situation stands the first axial channel 58 in the spindle 56 with the lower part of the central opening 90 and the radial channels 92 in Connection, while the radial bore 66 in the spindle 56 with the central opening 90 and with the radial openings 94 is in communication between the seal assemblies 102. The ring springs 108 are used to make the flexible Lip portion 106 of the seal assemblies 102 with the adjacent periphery of the spindle 56, and the seal assemblies 102 and their associated Annular springs 108 serve as rotary pressure seals. The top surface of the top plate portion 84 is provided with engagement means in the form of an annular recess 110 which the annular edge 72 of the Pressure shell 70 can accommodate workpieces 112 while on the lower surface of the lower plate section 86 can be attached.

In Fig. 6 und 7 ist eine Werkstückbefestigungsvorrichtung 120 gezeigt, die auf einer Werkbank an einer von der Poliermaschine 10 entfernt liegenden Stelle angeordnet werden kann. Die Werkstückbefestigungsvorrichtung 120 weist ein im wesentlichen horizontales Gehäuse 122In Figs. 6 and 7 is a workpiece fastening device 120, which are arranged on a workbench at a location remote from the polishing machine 10 can be. The workpiece fastening device 120 has a substantially horizontal housing 122

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and einen von diesem getragenen rechtwinkligen Rahmen 124 auf. An dem unteren Schenkel des Rahmens 124 ist eine kreisrunde Tragplattenanordnung 126 mit einem mittleren nach oben stehenden Uasenabschnitt 128 befestigt. Die Plattenanordnung 126 ist mit einer ersten Kanalanordnung 130 versehen, die mit ihrem einen Ende ain oberen Ende des Uasenabschnitts ,128 mündet und mit ihrem anderen Ende mit einer Einlaßöffnung 132 in Verbindung steht, die an eine Quelle von unter Druck stehendem Strömungsmittel angeschlossen werden kann. Die Plattenanordnung 126 ist auch mit einer zweiten Kanalanordnung 134 versehen, die mit ihrem einen Ende an der Seite des Nasenabschnitts 128 mündet und mit ihrem anderen Ende mit einer Auslaßöffnung 136 in Verbindung steht, die an einen Strömungsmitteltank oder -ablauf angeschlossen werden kann. Der Hasenabschnitt 128 hat im wesentlichen dieselbe Abmessung wie die unteren Endabschnitte der Spindel 56 und kann in der Mittelöffnung 90 der BeIastungsplatteneinheit 82 aufgenommen werden* An dem oberen Schenkel des Rahmens 124 ist eine vertikal*© luftkolben- und rzylinaeranordnung 138 befestigt, die einen Zylinder 140 und eine Kolbenstange 142 einsehließt, an deren unterem Ende eine Druckplatte 144 angebraoht ist.and a rectangular frame 124 supported thereby. On the lower leg of the frame 124 is a circular support plate assembly 126 with a central upstanding Uasenabschnitt 128 attached. The plate assembly 126 is provided with a first channel assembly 130, one end of which is at the top End of the Uasenabschnitts 128 opens and at its other end with an inlet opening 132 in connection that can be connected to a source of pressurized fluid. The plate arrangement 126 is also provided with a second channel arrangement 134, one end of which is attached to the side of the Nose section 128 opens and at its other end communicates with an outlet port 136 connected to a fluid tank or drain can be. The rabbit portion 128 has essentially the same dimension as the lower end portions of the spindle 56 and can be inserted into the central opening 90 of the load plate unit 82 * On the upper leg of the frame 124 is a vertical * © air piston and rzylinaeranordnung 138 attached, the one Cylinder 140 and a piston rod 142 includes the lower end of which is a pressure plate 144 attached.

Bei dtr Vorbereitung zum Polieren wird eine Belaetunge-Platteneinheit 82 auf der Tragplattenanordnung 126 der WerlcBtUclcbefeatigiingevorrichtung 120 angeordnet, wie e· in fig· 6 und 7 ge as β igt iet. Kin heißes 8trömung»m*diua, wie z* B. Waaeer oder Dampf, wird dann durch die Einlaß-Öffnung 132, die erete Kanalanordnung 1?0f die Kanalanordnung de? Belaetungsplatteneinheit 82, die In preparation for polishing, a loading plate unit 82 is placed on the support plate assembly 126 of the tool attachment device 120, as shown in FIGS. 6 and 7. A hot flow of water, such as water or steam, is then passed through the inlet opening 132, the first channel arrangement 1? 0 for the channel arrangement de? Loading plate unit 82, the

831/0141831/0141

BAD ORIGIMAtBATHROOM ORIGIMATE

Kanalanordnung 134 und durch die Auslaßöffnung 136 geleitet. Danach wird eine dünne Schicht aus Paraffin oder einem anderen geeigneten Befestigungsmaterial, das einen Schmelzpunkt unter der Temperatur des durch die Belastungsplatteneinheit geleiteten Strömungsmittels aufweist, gleichmäßig auf die freiliegende Oberfläche der Belastungsplatteneinheit aufgebracht. Dann werden Werkstücke 112 in das erweichte, verflüssigte Paraffin eingesetzt, wobei die zu polierenden Seiten der Werkstücke nach oben weisen (Pig. 8). Um einen gleichmäßigen Paraffinüberzug zwisohen den Werkstücken 112 und der Belastungsplatteneinheit 82 zu erzielen, kann die Kolbenstange 142 ausgefahren werden, um die Druckplatte 144 aus der in ausgezogenen linien in Fig. β und 7 gezeigten Lage in die in un~ terbroohenen Linien in Pig. 6 gazeigte Lage nach unten zu drücken, um auf die Werkstücke 112 einen Brück auszuüben. Während auf die Werkstücke 112 der Druck aufgebracht wird, wird der Umlauf von heißem Strömungsmittel durch die Iragplattenanordnung 126 und die Belastungsp"1 atteneinheit 82 unterbrochen, und ein, Kühlmittel, wie z, B. kaltes Wasser wird duroh die Anordnung 126 und die Einheit. 82 geleitet, um das Paraffin zvl verfestigen und die Werkstücke 112 an der Einheit 82 zu befestigen» Schließlich wird die Druckplatte 144 nach oben zurückgezogen, der lühlaiittelumlauf unterbrochen und die Belaatungsplatteneinheit mit den daran bef«*tigt*n Werkstücken von der B*-. ftitigungBTorriühtung 120 *bgeno»m*ja und xur au der Polieraaechin· 10 uagekehrt, . Channel arrangement 134 and passed through the outlet opening 136. Thereafter, a thin layer of paraffin or other suitable fastening material having a melting point below the temperature of the fluid passed through the loading plate assembly is applied evenly to the exposed surface of the loading plate assembly. Workpieces 112 are then inserted into the softened, liquefied paraffin, with the sides of the workpieces to be polished facing upwards (Pig. 8). In order to achieve a uniform paraffin coating between the workpieces 112 and the loading plate unit 82, the piston rod 142 can be extended to move the pressure plate 144 from the position shown in solid lines in FIGS. 6 and 7 to the position shown in unbroken lines in Pig. 6 to press the gauze position down to exert a bridge on the workpieces 112. While the pressure is applied to the workpieces 112, the circulation of hot fluid through the Iragplattenanordnung 126 and the Belastungsp "1 atteneinheit 82 is interrupted, and cold water one, cooling means, such, as the assembly 126 and the unit is duroh. 82 in order to solidify the paraffin and fix the workpieces 112 to the unit 82. Finally, the pressure plate 144 is withdrawn upwards, the circulation of the cooling medium is interrupted and the loading plate unit with the workpieces attached to it is removed from the B * -. ftitigungBTorriärtung 120 * bgeno »m * yes and xur au der Polieraaechin · 10 ua reversed,.

An d»r Polierataiohint 10 wtrden di# heiten 82 ait dsn an ihatn b«f»atigt»n WtrkstüskenAt the polierataiohint 10 the # hits 82 ait dsn an ihatn b «f» atigt »n works

0ÖJ831/0941 .tt-0ÖJ831 / 0941 .tt-

BAPORiGWALBAPORiGWAL

auf die Polierscheibenanordnung 38 "bewegt und unter den entsprechenden Druckschalen 70 angeordnet. Die Luftkolben- und -zylinderanordnungen 22 werden "betätigt, um die Kolbenstangen 28 und die Spindelanordnungen 54 nach unten auszufahren, bis die Ränder 72 der Druckschalen 70 unter dem gewünschten Druck in|die Aussparungen 110 der Belastungsplatteneinheiten 82 eingreifen. Gleichzeitig werden die unteren Endabschnitte der Spindeln 56 in den Mittelöffnungen 90 der Belastungsplatteneinheiten 82 aufgenommen. moved onto the pad assembly 38 "and below the corresponding pressure shells 70 arranged. The air piston and cylinder assemblies 22 are "actuated" about piston rods 28 and spindle assemblies 54 downward extend until the edges 72 of the pressure shells 70 under the desired pressure into the recesses 110 of the Load plate assemblies 82 engage. Simultaneously The lower end portions of the spindles 56 are received in the central openings 90 of the loading plate assemblies 82.

Dann wird die Polierscheibenanordnung- 38 in Drehung versetzt und Poliermaterial von den Tüllen 48 der Oberfläche der Scheibe zugeführt. Außerdem wird ein Kühlmittel, wie z. B. kaltes Wasser? unter Druck in den Einlaß 62 der Spindel eingeführt und durch den ersten Axialkanal 58 zum unteren Teil der Mittelöffnung 90 in der Belastungsplatteneinheit 82 gefördert. Ton der Mittelöffnung 90 aus gelangt das Kühlmittel durch die Radialkanäle 92, um die Trennplatte 98 in der Aussparung 96 herum, durch die radialen Öffnungen 94 hindurch und wird zu der Mittelöffnung 90 zwischen den Dichtungsanordnungen 102 zurückgeführt. Von dieser Stelle wird das Strömungsmittel durch die Hadialbohrung 66 und den zweiten Axialkanal 60 gefördert und am radialen Auslaß 68 der Spindel abgegeben. Auf diese Weise nimmt das Kühlmittel Wärme durch Leitung von der Belastungsplatteneinheit 82 auf, und die Belastungsplatteneinheit wird dadurch gekühlt, um die in ihr während des Poliervorgangs entwickelte Wärme abzusetzen. Während die Werkstücke poliert werden, dienen die Spindeln 56 und die Druckschalen 70 dazu, die BeIa-The polishing pad assembly 38 is then rotated and polishing material is supplied from the nozzles 48 to the surface of the pad. In addition, a coolant, such as. B. cold water ? introduced under pressure into the inlet 62 of the spindle and conveyed through the first axial channel 58 to the lower part of the central opening 90 in the loading plate assembly 82. From the central opening 90, the coolant passes through the radial channels 92, around the partition plate 98 in the recess 96, through the radial openings 94 and is returned to the central opening 90 between the sealing assemblies 102. From this point the fluid is conveyed through the hadial bore 66 and the second axial channel 60 and discharged at the radial outlet 68 of the spindle. In this way, the coolant absorbs heat by conduction from the loading plate unit 82, and the loading plate unit is thereby cooled to dissipate the heat developed in it during the polishing process. While the workpieces are being polished, the spindles 56 and the pressure shells 70 serve to

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stungsplatteneinheiten 82 zu zentrieren, und die lageranordnungen 74 und die Diohtungsanordnungen 102 ermögliohen eine freie Drehung· und ein Schwimmen oder Schwenken der Belastungsplatteneinheiten 82.center support plate assemblies 82 and the bearing assemblies 74 and dial assemblies 102 allow free rotation and floating or pivoting of the loading plate units 82.

Nach Beendigung des Poliervorgangs werden der Antrieb der Polierscheibenanordnung 38 und die Zufuhr von Poliermaterial zu ihr unterbrochen, die Einleitung von unter Druck stehendem Strömungsmittel in den Einlaß 62 der Spindel wird unterbrochen, und die Spindelanordnungen werden zurückgezogen und die Druckschalen 70 außer Eingriff mit den Belastungsplatteneinheiten 82 gebracht. Dann werden die Belastungsplatteneinheiten 82 und die an ihnen befestigten Werkstücke von der Polierscheibenanordnung abgenommen, umgekehrt und wieder zu der Werkstückbefestigungsvorrichtung 120 überführt. Dann wird heißes Strömungsmittel durch die Belastungsplatteneinheit 82 geleitet, um das Paraffin zu erweichen, woraufhin die Werkstücke gelöst werden und leicht abgenommen werden können.After completion of the polishing process, the drive of the polishing wheel assembly 38 and the supply of polishing material to her interrupted the introduction of pressurized fluid into inlet 62 of the Spindle is interrupted and the spindle assemblies are withdrawn and the pressure cups 70 disengaged brought with the loading plate units 82. Then the loading plate units 82 and workpieces attached to them removed from the polishing wheel assembly, vice versa and back to the workpiece fastening device 120 transferred. Then hot fluid is passed through the loading plate assembly 82 to soften the paraffin, whereupon the work pieces are loosened and easily removed can be.

Der Durchmesser jeder Belastungsplatteneinheit 82 kann im wesentlichen derselbe, kleiner oder größer als die radiale Weite der Ringfläche der G-egenscheibe sein. Es wird auch verständlich sein, daß in der Zeichnung einige Elemente, beispielsweise das Tuch 42 und die Werkstücke 112, aus Gründen der Deutlichkeit in anderem Maßstab dargestellt sind.The diameter of each loading plate assembly 82 can be be substantially the same, smaller or larger than the radial width of the annular surface of the washer. It it will also be understood that in the drawing some elements, such as the cloth 42 and the workpieces 112, shown on a different scale for the sake of clarity are.

009831/0941 .,,009831/0941. ,,

Claims (4)

Patentanspruch ii e s Claim ii it ( 1 .JPoliermaschine mit einem Rahmen, einer Polierscheibenanordnung, die an dem Rahmen auf einer vertikalen Achse angebracht ist, Mitteln zum Drehen der Polierscheibenanordnung, wenigstens einer von dem Rahmen oberhalb der Poliersoheibenanordnung getragenen vertikalen Spindelanbrdnung, einer im wesentlichen horizontalen kreisrunden Belastungsplatteneinheit, an deren unterer Fläche Werkstücke zur Berührung mit der Polierscheibenanordnung befestigt werden können, und Mitteln zum wahlweisen Herstellen eines Eingriffs zwischen der Spindelanordnung und der Belastungsplatteneinheit, dadurch gekennzeichnet, daß die Belastungsplatteneinheit eine Mittelöffnung aufweist, daß die Belastungsplatteneinheit eine Kanalanordnung aufweist, die mit der öffnung in Verbindung steht, um einen Strömungsmittelumlauf im Inneren der Einheit zum Kühlen derselben zu ermöglichen, und daß die Spindelanordnung eine Strömungsmittelübertraguhgseinrichtung aufweist, um gesondert Strömungsmittel zu der öffnung zu leiten und von ihr aufzunehmen. ( 1 .JPolishing machine with a frame, a polishing pad assembly which is attached to the frame on a vertical axis, means for rotating the polishing pad assembly, at least one vertical spindle attachment carried by the frame above the polishing pad assembly, a substantially horizontal circular loading plate unit, on the lower Surface workpieces for contact with the polishing pad assembly, and means for selectively establishing engagement between the spindle assembly and the loading plate unit, characterized in that the loading plate unit has a central opening, that the loading plate unit has a channel arrangement which is in communication with the opening, in order to enable a fluid circulation inside the unit for cooling the same, and in that the spindle arrangement has a fluid transfer device in order to conduct fluid separately to the opening en and to receive from it. 2. Poliermaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanalanordnung aus einer Ringkammer, einer ersten radialen Öffnungsanordnung zwischen der Mittelöffnung und der Ringkammer zum Leiten von Strömungsmittel zu dieser Kammer und aus einer zweiten radialen Öffnungsanordnung zwischen der Ringkammer und der Mittelöffnung zum Aufnehmen von Strömungsmittel von dieser Kammer besteht.2. Polishing machine according to claim 1, characterized in that the channel arrangement consists of an annular chamber, a first radial opening arrangement between the central opening and the annular chamber for conducting of fluid to this chamber and from a second radial port arrangement between the Annular chamber and the central opening for receiving There is fluid from this chamber. 009831/0941009831/0941 BAD .ORIGINALBATH ORIGINAL -H--H- 3. Poliermaschine nach Anspruch. 2f dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind zum Unterteilen der Kammer in obere und untere Bereiche, die an ihren äußeren Umfangen miteinander in Verbindung stehenf daß die erste radiale Öffnungsanordnung sich zwischen der Mittelöffnung und dem inneren Umfang des unteren Kammerbej'eiohes erstreckt und daß die zweite radiale öffnungsanOrdnung sich zwischen dem inneren Umfang des oberen Kammerbereiches und der Mittelöffnung erstreckt.3. Polishing machine according to claim. 2 f characterized in that means are provided for dividing the chamber into upper and lower regions which are in communication with one another at their outer circumferences f that the first radial opening arrangement extends between the central opening and the inner circumference of the lower chamber bej'eiohes and that the second radial opening arrangement extends between the inner periphery of the upper chamber region and the central opening. 4. Poliermaschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Spindelanordnung einen unteren Abschnitt aufweist, der in die Mittelöffnung hineinragt, daß die Strcaitagömxttelüberteagungseinrlühtung eine erste Kanalanordnung in der Spindelanördnung aufweist, die an eine Quelle von unter Brack stehendem Strömungsmittel angeschlossen werden kann und mit der Mittelöffnung in der Eähe der ersten radialen Öffnuiigsanordnimg in Verbindung stent, und daß die Strömungsmittellibertragungseinrichtung eine zweite Kanalanordnung in der Spindelanördnung aufweist j dis mit der Mittelöffnuiig in der SFäliö der zweitan radialen öffnungsanordnung in Terbindung steht imÄ an einen Strcmungsmitteltank angeschlossen wsrfei kann.4. Polishing machine according to claim 2, characterized in that the spindle arrangement has a lower portion which protrudes into the central opening, that the Strcaitagömxttelüberteagungseinrlühung has a first channel arrangement in the Spindelanördnung which can be connected to a source of brackish fluid and with the central opening of the stent in the first radial Eähe Öffnuiigsanordnimg in connection, and that the Strömungsmittellibertragungseinrichtung having a second channel arrangement in the Spindelanördnung j dis communicates with the Mittelöffnuiig in the SFäliö zweitan the radial opening arrangement in Terbindung Imae can wsrfei connected to a Strcmungsmitteltank. 5* Pölie::iL£;aoMne nach Anspruch 4j dadurch göj£enn net, isJ die Eingriffsmittel aus einer biMmag feststehen und in axialem Äbstaiid vorgesQiicna Diehtungsanordnangen la άνν Öffnung zwisohen dem unteren AVsohnitt dar Spindalaiiordnung und der Belastungeplatteneinheit an gagaaiiberliegenden Seiten der zweiten radialen Öffnungsanordnung einsohließen. Q ο 9 8 3 1 / 0 9 4 15 * Pölie :: iL £; aoMne according to claim 4j thereby göj £ enn net, isJ the engaging means from a biMmag are fixed and provided in an axial directional arrangement la άνννν opening between the lower part of the spindle arrangement and the second radial loading plate arrangement on the opposite sides of the radial loading plate unit solitary. Q ο 9 8 3 1/0 9 4 1 . BAD ORIGINAL.. BATH ORIGINAL.
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