DE19543133A1 - Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober Polymerschichten - Google Patents
Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober PolymerschichtenInfo
- Publication number
- DE19543133A1 DE19543133A1 DE1995143133 DE19543133A DE19543133A1 DE 19543133 A1 DE19543133 A1 DE 19543133A1 DE 1995143133 DE1995143133 DE 1995143133 DE 19543133 A DE19543133 A DE 19543133A DE 19543133 A1 DE19543133 A1 DE 19543133A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- plasma
- pressure
- gas
- highly hydrophobic
- hydrophobic layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
- C08F2/52—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by electric discharge, e.g. voltolisation
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung dünner stark hydrophober Polymerschichten
mittels Plasmapolymerisation dazu geeigneter Monomere unter Ausbildung dreidimensionaler
Netzwerkstrukturen.
Vielfach sind für technische Prozesse und Gegenstände hydrophobe Oberflächen erforderlich. Der
Grund hierfür kann die wasserabweisende Wirkung bei z. B. Textilien, Papieren,
korrosionsempfindlichen Metallen, Sichtfenstern oder Dichtungsmaterialien sein. Aber es kann
auch das Erfordernis nach einer Antihaftung von z. B. Lebensmitteln, Farben, Tinten und
Klebstoffen sein. Daraus ergeben sich zusätzliche Anforderungen an die Beschichtung. Sie muß
z. B. selbst gut haften, so weit wie möglich mechanisch stabil sein, optisch transparent, flexibel und
dicht.
Die Plasmapolymerisation als ein Niederdruckbeschichtungsverfahren eignet sich um sowohl
zweidimensionale bahnförmige, als auch dreidimensionale Bauteile mit in vielen Fällen
ausreichender Homogenität zu beschichten. Es ist auch bekannt, daß sich mit diesem Verfahren im
Prinzip stark hydrophobe Schichten herstellen lassen. Die dazu verwendeten Gase sind
Fluorkohlenwasserstoffe (z. B. Octafluorcyclobutan) oder Syloxane (z. B. Hexamethyldisiloxan) wie in
der Offenlegungsschrift DE-OS 39 21 652 A1 beschrieben. Beide Stoffgruppen weisen
entscheidende Nachteile auf. Aus den Fluorkohlenwasserstoffen lassen sich zwar im Vergleich zu
den Siloxanen mechanisch stabile teflonähnliche Schichten herstellen, jedoch ist die Verwendung
aus Gründen der Umweltschonung zu vermeiden und die Beschaffung solcher Gase aus den
gleichen Gründen auf Dauer nicht sicherzustellen. Für die Bereiche Medizin- und
Lebensmitteltechnik sind diese Stoffe grundsätzlich auszuschließen. Die aus Siloxanen hergestellten
Schichten sind zwar hydrophob, aber weder dicht noch mechanisch stabil. Sie sind außerdem noch
weiteren chemischen Reaktionen zugänglich. Erst beim Übergang zu Schichten, die z. B. dem
Dimethylsiloxan ähnlich sind, werden stabile Schichten erzeugt, die jedoch nicht stark hydrophob
sind.
Eine weitere Lösung besteht darin, Silikonöle gleicher oder unterschiedlicher Kettenlänge auf die
zu beschichtende Oberfläche aufzubringen (unvernetzt: Wasserrandwinkel max. 110°) und diese
Öle anschließend mit einem sauerstoffhaltigen Plasma zu vernetzen. Hiermit lassen sich leicht
vernetzte Schichten mit Wasserrandwinkeln von 90° herstellen DE-OS 40 19 539.
Die Trennwirkung von Silikonen beruht im wesentlichen darauf, daß an das Silizium Gruppen
gebunden sind, wie z. B. Methyl, welches nur eine sehr geringe Affinität zu Wasser aufweist. Diese
Gruppen müssen zudem so ausgerichtet sein, daß sie zur Oberfläche zeigen.
Damit sind Dünnschichtverfahren bekannt, die in der Lage sind, hydrophobe Oberflächen
herzustellen, die jedoch in ihrer Wirkung (Wasserrandwinkel 110°) nicht besser sind, als
konventionell naßchemisch aufgebrachte Schichten (vgl. Silicontrennpapier). In beiden Fällen
reichen die Oberflächenspannungen nicht aus um z. B. Materialien mit besonders hohem
Spreitungsvermögen wie Öle und Tenside, hinreichend abzuweisen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Erzeugung stark vernetzter, flexibler,
chemisch stabilisierter stark hydrophober Schichten (Wasserrandwinkel <120°) anzugeben, wobei
die eingesetzten Materialien umweltverträglich sein sollten.
Die Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Bevorzugte
Ausführungsformen dieses Verfahrens sind Gegenstand der Unteransprüche.
Bei dem Verfahren wird ein Monomer eingesetzt, das mindestens eine Gruppe mit eine geringen
Affinität zu Sauerstoff aufweist und das sich zweitens unter weitgehendem Strukturerhalt
plasmapolymerisieren läßt und der Prozeß weiterhin so geführt wird, daß der Energieeintrag in das
Plasma den Reaktionsweg der Fragmentpolymerisation deutlich benachteiligt. Beispiele für
Monomere, die im erfindungsgemäßen Verfahren zur Anwendung kommen, sind Vinylmethylsilan
und Vinyltrimethoxysilan. Hier ist das Silicium von drei großen Methylgruppen, die eine geringe
Affinität zu Sauerstoff aufweisen und von einer Vinylgruppe, die ausgesprochen reaktiv ist,
umgeben. Dadurch lassen sich diese Substanzen unter weitgehendem Strukturerhalt
plasmapolymerisieren, da die Vinylgruppe in der Plasmazone sehr schnell reagiert und die
Methylgruppen, die für den hydrophoben Charakter verantwortlich sind, weitgehend erhalten
bleiben. Dieses Vorgehen führt zur Vernetzung der Schicht über die sich öffnende Vinylgruppe
unter Beibehaltung der Methylgruppen. Die Vernetzung sorgt für die mechanische Stabilität der
Schichten, ebenso wie für die chemische Stabilisierung. Der Erhalt der Methylgruppen sorgt für
den stark hydrophoben Charakter. Insbesondere der Erhalt von drei Methylgruppen, die das
Siliciumatom räumlich umgeben, führt dazu, daß immer solche Gruppen zur
Beschichtungsoberfläche weisen. Damit stellt sich eine wohldefinierte Oberfläche ein, obwohl die
plasmapolymere Beschichtung von Natur aus amorph ist. Die Stärke des hydrophoben Charakters
läßt sich durch die Veränderung des Energieeintrages variieren.
Für bestimmte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es vorteilhaft, zusätzlich ein
nicht polymerisierbares Gas als Hilfs- oder Trägergas zuzusetzen, beispielsweise um die
Homogenität des Plasmas zu verbessern und um den Druck in der Gasphase zu erhöhen.
Durch die Veränderung der Abscheideparameter läßt sich zudem noch der hydrophobe Charakter
der Schicht in seiner Stärke steuern dadurch, daß sich durch die Erhöhung des Energieeintrages
der Fragmentierungsgrad erhöhen läßt und somit der Anteil der Gruppen mit geringer Affinität zu
Wasser gesenkt wird.
Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren abgeschiedene Schichten sind, ebenso wie andere
Plasmapolymere, flexibel, transparent und dicht. Außerdem lassen sie sich gut haftend auftragen.
Die Schichtdicke liegt im Bereich 1 nm bis 10 µm. Als besonders vorteilhaft haben sich
Schichtdicken von 50 nm bis 500 nm erwiesen.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird vorzugsweise unter den Bedingungen eines
Niedertemperatur-Plasmas durchgeführt, das die Steuerung der Polymerisationsbedingungen in
besonders guter Weise ermöglicht. Das Niedertemperatur-Plasma kann durch verschiedene Formen
der elektrischen Entladung erzeugt werden:
- 1. Gleichspannungs- und Niederfrequenz-Glimmentladung,
- 2. Hochfrequenz-Glimmentladung,
- 3. Mikrowellenentladung/ECR-Plasmen,
- 4. Corona-Entladung,
- 5. Unselbständige Glimmentladung.
Besonders bevorzugt ist die Erzeugung eines Niedertemperatur-Plasmas durch
Mikrowellenentladung, wobei der Druck im Bereich von 10-3 bis 10 mbar, vorzugsweise von 10-2
bis 1 mbar liegen sollte.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles und der Fig. 1 und 2 nä
her erläutert.
Zur Beschichtung wurde ein Gasfluß von 35 sccm VTMS und ein Gasfluß von 50 sccm Argon (Ar)
bei einem konstanten Druck von 0,25 mbar verwendet. Die Verfahrensdauer betrug 45 sec bei
einer Leistung von 400 W. Beide Abbildungen (Fig. 2) wurden mit einer solchen Schicht erstellt.
Die statischen Kontaktwinkel wurden mit zwei Flüssigkeiten (Wasser und Glycerin) bestimmt. Sie
betrugen: für Wasser 139° und für Glycerin 134°.
Die dadurch entstandene Schicht wies einen Wasserrandwinkel von < 130° auf. Diese Schichten
eignen sich insbesondere zu einer anschließenden konventionellen naßchemischen Silikonisierung
mit Polydimethylsiloxan. Das Verfahren wurde in einer Niederdruckplasmapolymerisationsanlage
mit einer Mikrowellenkanone und einer Druck- und Gasflußregelung durchgeführt.
In Fig. 1 ist ein FTIR-Absorptionsspektrum gezeigt. Es ist daraus ersichtlich, daß die C=C-Bindung
der Vinylgruppe im Bereich 3000 bis 3100 cm-1, vollständig verschwunden ist, die Methylgruppen
bei 2930, 2850 und 1260 cm-1, die der Fragmentpolymerisation zugänglich sind, weitgehend
erhalten geblieben sind. Weiterhin ist noch das Si-O-Si-Gerüst bei 1025 cm-1 und verschiedene Si-
C-Bindungen im Wellenzahlbereich von 700-900 cm-1 erkennbar.
In Fig. 2 sind zwei rasterelektronenmikroskopische Aufnahmen unterschiedlicher Vergrößerung
wiedergegeben. Sie zeigen, daß die Schichtbreite so weit polymerisiert ist, daß erste Partikel
(Größe ca. 100 nm), die in der Gasphase bebildet werden, in die plasmapolymere Beschichtung
eingebaut werden. Diese Schicht ist so dicht und haftet so gut, daß sie sich bei einer dreiwöchigen
Lagerung in Leitungswasser weder ablöst, auflöst, noch das darüber liegende trockene Substrat
durchnäßt wird.
Claims (9)
1. Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober Polymerschichten mittels Plasmapolymerisation
dazu geeigneter Monomere unter Ausbildung dreidimensionaler Netzwerkstrukturen,
dadurch gekennzeichnet, daß Monomere verarbeitet werden, die Gruppen mit geringer
Affinität zu Sauerstoff enthalten und sich unter weitgehendem Strukturerhalt
plasmapolymerisieren lassen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als plasmabildendes Gas
monomeres Vinyltrimethylsilan eingesetzt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß dem Vinyltrimethylsilan nicht
polymerisierbare Gase wie z. B. Edelgas, Stickstoff oder Wasserstoff zugesetzt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasdruck
oder Gasgemischdruck in dem das Niederdruckplasma erzeugt wird 0,0013 bis 13,3 mbar
beträgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasdruck
oder Gasgemischdruck in dem das Niederdruckplasma erzeugt wird 0, 13 bis 1,33 mbar be
trägt.
6. Hydrophobe Schicht hergestellt im Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß sie einen Wasserrandwinkel <120° und eine Festkörperenergie mN/m
aufweist.
7. Hydrophobe Schicht hergestellt im Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß sie einen Wasserrandwinkel <90° und eine Festkörperenergie <26 mN/m
aufweist.
8. Substrat mit einer stark hydrophoben Polymerschicht, hergestellt im Verfahren nach einem
der Ansprüche 1 bis 5.
9. Substrat nach Anspruch 8, mit einer Dicke der hydrophoben Schicht von 1 bis 10000 nm.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995143133 DE19543133C2 (de) | 1995-11-18 | 1995-11-18 | Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober Polymerschichten mittels Plasmapolymerisation |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995143133 DE19543133C2 (de) | 1995-11-18 | 1995-11-18 | Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober Polymerschichten mittels Plasmapolymerisation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19543133A1 true DE19543133A1 (de) | 1997-05-22 |
DE19543133C2 DE19543133C2 (de) | 1999-05-06 |
Family
ID=7777862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995143133 Expired - Fee Related DE19543133C2 (de) | 1995-11-18 | 1995-11-18 | Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober Polymerschichten mittels Plasmapolymerisation |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19543133C2 (de) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19835883A1 (de) * | 1998-08-07 | 2000-02-17 | Siemens Ag | Herstellungsverfahren für einen elektrischen Isolator |
DE19944954A1 (de) * | 1999-09-20 | 2001-03-22 | Abb Hochspannungstechnik Ag | Isolator |
WO2001070416A2 (de) * | 2000-03-20 | 2001-09-27 | Induflex Sondermaschinenbau | Oberfläche, verfahren zu ihrer herstellung sowie gegenstand mit der oberfläche |
DE10131156A1 (de) * | 2001-06-29 | 2003-01-16 | Fraunhofer Ges Forschung | Arikel mit plasmapolymerer Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE10320297A1 (de) * | 2003-05-07 | 2004-12-02 | Abb Patent Gmbh | Artikel mit plasmapolymerer Beschichtung |
DE102005020145A1 (de) * | 2005-04-29 | 2006-11-09 | Siemens Ag | Vorrichtung enthaltend eine Zusammensetzung und Verwendung der Zusammensetzung |
WO2007051806A1 (de) * | 2005-10-31 | 2007-05-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtungsverfahren und beschichtete körper |
WO2008071458A1 (de) | 2006-12-12 | 2008-06-19 | Schott Ag | Behälter mit verbesserter restenleerbarkeit und verfahren zu dessen herstellung |
DE102005059706B4 (de) * | 2005-12-12 | 2011-08-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 | Verfahren zum Herstellen einer Trennschicht sowie Substratoberfläche mit Trennschicht |
US8003023B2 (en) * | 2005-12-30 | 2011-08-23 | Lg Display Co., Ltd. | Master mold, master mold fabrication method, and method for fabricating liquid crystal display device using the same |
US9299470B2 (en) | 2012-09-27 | 2016-03-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Arrangement and method for modifying the local intensity of x-ray radiation |
DE102015115167A1 (de) | 2015-09-09 | 2017-03-09 | Lisa Dräxlmaier GmbH | Formkörper aufweisend eine Funktionsschicht, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10034737C2 (de) * | 2000-07-17 | 2002-07-11 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Herstellung einer permanenten Entformungsschicht durch Plasmapolymerisation auf der Oberfläche eines Formteilwerkzeugs, ein nach dem Verfahren herstellbares Formteilwerkzeug und dessen Verwendung |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5355832A (en) * | 1992-12-15 | 1994-10-18 | Advanced Surface Technology, Inc. | Polymerization reactor |
-
1995
- 1995-11-18 DE DE1995143133 patent/DE19543133C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5355832A (en) * | 1992-12-15 | 1994-10-18 | Advanced Surface Technology, Inc. | Polymerization reactor |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Derwent-Referat, Nr.94-054168/07 zu JP 06010132 A2 * |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19835883A1 (de) * | 1998-08-07 | 2000-02-17 | Siemens Ag | Herstellungsverfahren für einen elektrischen Isolator |
DE19944954A1 (de) * | 1999-09-20 | 2001-03-22 | Abb Hochspannungstechnik Ag | Isolator |
WO2001070416A2 (de) * | 2000-03-20 | 2001-09-27 | Induflex Sondermaschinenbau | Oberfläche, verfahren zu ihrer herstellung sowie gegenstand mit der oberfläche |
WO2001070416A3 (de) * | 2000-03-20 | 2002-03-07 | Induflex Sondermaschb | Oberfläche, verfahren zu ihrer herstellung sowie gegenstand mit der oberfläche |
EP1997565A2 (de) | 2001-06-29 | 2008-12-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Artikel mit plasmapolymerer Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE10131156A1 (de) * | 2001-06-29 | 2003-01-16 | Fraunhofer Ges Forschung | Arikel mit plasmapolymerer Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung |
US7157145B2 (en) | 2001-06-29 | 2007-01-02 | Fraunhofer Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Article having a plasmapolymer coating and method for producing the same |
DE10320297A1 (de) * | 2003-05-07 | 2004-12-02 | Abb Patent Gmbh | Artikel mit plasmapolymerer Beschichtung |
DE102005020145A1 (de) * | 2005-04-29 | 2006-11-09 | Siemens Ag | Vorrichtung enthaltend eine Zusammensetzung und Verwendung der Zusammensetzung |
WO2007051806A1 (de) * | 2005-10-31 | 2007-05-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtungsverfahren und beschichtete körper |
DE102005059706B4 (de) * | 2005-12-12 | 2011-08-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 | Verfahren zum Herstellen einer Trennschicht sowie Substratoberfläche mit Trennschicht |
US8003023B2 (en) * | 2005-12-30 | 2011-08-23 | Lg Display Co., Ltd. | Master mold, master mold fabrication method, and method for fabricating liquid crystal display device using the same |
US8440118B2 (en) | 2005-12-30 | 2013-05-14 | Lg Display Co., Ltd. | Master mold, master mold fabrication method, and method for fabricating liquid crystal display device using the same |
WO2008071458A1 (de) | 2006-12-12 | 2008-06-19 | Schott Ag | Behälter mit verbesserter restenleerbarkeit und verfahren zu dessen herstellung |
US8592015B2 (en) | 2006-12-12 | 2013-11-26 | Schott Ag | Container having improved ease of discharge product residue, and method for the production thereof |
US9299470B2 (en) | 2012-09-27 | 2016-03-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Arrangement and method for modifying the local intensity of x-ray radiation |
DE102015115167A1 (de) | 2015-09-09 | 2017-03-09 | Lisa Dräxlmaier GmbH | Formkörper aufweisend eine Funktionsschicht, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung |
DE102015115167B4 (de) | 2015-09-09 | 2017-03-30 | Lisa Dräxlmaier GmbH | Formkörper aufweisend eine Funktionsschicht, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19543133C2 (de) | 1999-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69738218T2 (de) | Cvd-aufbringung von fruorcarbonpolymer-dünnschichten | |
DE19543133C2 (de) | Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober Polymerschichten mittels Plasmapolymerisation | |
DE19954335B4 (de) | Fluorierte Harze mit einer Oberfläche mit hoher Benetzbarkeit und deren Verwendung | |
DE69814683T2 (de) | Auftragen eines fluoropolymer-films auf einen körper | |
DE3908418C2 (de) | Verfahren zum Innenbeschichten von Kunststoff-Behältern und Vorrichtung zum Beschichten | |
EP0177517B1 (de) | Verfahren zum aufbringen einer dünnen, transparenten schicht auf der oberfläche optischer elemente | |
DE69531394T2 (de) | Oberflächenbehandlung von polymeren | |
DE102005034764B4 (de) | Verfahren zur Herstellung von funktionalen Fluor-Kohlenstoff-Polymerschichten mittels Plasmapolymerisation von Perfluorocycloalkanen und damit beschichtete Substrate | |
DE69918173T2 (de) | Verfahren zum herstellen von polymeren mit nichtlinearen optischen eigenschaften | |
CA1120345A (en) | Deposition of thin film organic coatings by ion implantation | |
EP1132195A2 (de) | Oberflächenbehandlung oder Beschichtung bahnförmiger Werkstoffe mittels eines indirekten atmosphärischen Plasmatrons | |
WO2004024805A1 (de) | Verfahren zur reduzierung der grenzflächenreflexion von kunststoffsubstraten sowie derart modifiziertes substrat und dessen verwendung | |
DE19912737A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von porösen SiO¶x¶-Schichten und poröse SiO¶x¶-Schichten | |
DE19548160C1 (de) | Verfahren zur Herstellung organisch modifizierter Oxid-, Oxinitrid- oder Nitridschichten durch Vakuumbeschichtung und danach beschichtetes Substrat | |
EP1132492A2 (de) | Plasmabehandelte bahnförmige Werkstoffe | |
DE3026614A1 (de) | Verfahren zur herstellung polarisierender flaechenerzeugnisse | |
DE2446250A1 (de) | Verfahren zum herstellen eines festhaftenden organischen ueberzuges auf einem metallischen substrat | |
EP0739655B1 (de) | Verfahren zu plasmagestützten Herstellung multifunktionaler Schichten auf Kunststoffteilen | |
EP0625588A1 (de) | Plasmapolymer-Schichtenfolge als Hartstoffschicht mit definiert einstellbarem Adhäsionsverhalten | |
EP0756616B1 (de) | Wachs erhältlich durch niedertemperatur-plasmabehandlung, verfahren zu seiner herstellung und verwendungen | |
EP0376141A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Kunststoffbeschichtung von Strangprofilen | |
DE4417235A1 (de) | Plasmapolymer-Schichtenfolge als Hartstoffschicht mit definiert einstellbarem Adhäsionsverhalten | |
EP0282827A2 (de) | Verfahren zur Plasmapolymerisation von Polymeren unter Verwendung polymerer Ausgangsprodukte | |
EP0593988A1 (de) | Verfahren zur Hydrophilisierung von Festkörper-Oberflächen | |
DE10017846C2 (de) | Verfahren zum Abscheiden einer Polymerschicht und Verwendung derselben |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8365 | Fully valid after opposition proceedings | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |