DE19523853A1 - Abtasteinheit - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abtastein
heit, die sich insbesondere zum Einsatz in Verbin
dung mit einer magnetischen Maßverkörperung eignet,
um die Relativposition zweier zueinander bewegli
cher Objekte zu erfassen. Die erfindungsgemäße Ab
tasteinheit kann hierbei sowohl zur Längen- als
aber auch zur Winkelmessung verwendet werden.
Eine Positionsmeßeinrichtung zur Bestimmung der
Relativlage zweier zueinander beweglicher Objekte,
bei der eine magnetische, periodische Maßverkörpe
rung von einer Abtasteinheit mittels magnetore
sistiver Elemente zur Erzeugung positionsabhängiger
Ausgangssignale abgetastet wird, ist etwa aus der
DE 42 03 073 bekannt.
Derartige Positionsmeßein
richtungen können beispielsweise in einer Bearbei
tungsmaschine zur Messung der Relativlage eines
Werkzeuges bezüglich eines zu bearbeitenden Werk
stückes vorteilhaft eingesetzt werden.
Der Einsatz magnetoresistiver Sensorelemente in
einer derartigen Positionsmeßeinrichtung führt auf
grund der magnetischen Eigenschaften der Sensorele
mente jedoch zu Nachteilen. So treten mitunter Off
setschwankungen der an die magnetoresistiven Sen
sorelemente angeschlossenen Auswerte-Elektronik
auf, was zu einem minimalen Meßschritt von ca. 1 µm
bei einer Teilungsperiode von 400 µm und einer Si
gnalperiode von 200 µm führt.
Zur Meßsignal-Optimierung ist nunmehr bekannt, dem
Maßstabsfeld ein trägerfrequentes Magnetfeld zu
überlagern. Zum Erzeugen des trägerfrequenten Ma
gnetfeldes wird üblicherweise eine Spule einge
setzt, die über einen Wechselstrom definierter Fre
quenz gespeist wird. Eine derartige Anordnung mit
magnetoresistivem Sensorelement und Spule in einer
Abtasteinheit ist beispielsweise aus der JP
3-131717 bekannt. Die darin vorgeschlagene Relativ
anordnung von Spule und magnetoresistivem Sensor
element innerhalb der Abtasteinheit erweist sich
jedoch als nicht optimal im Hinblick auf eine ein
fache Fertigung und Montage bzw. hinsichtlich eines
zuverlässigen Betriebes des Meßsystemes.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher,
eine Abtasteinheit zu schaffen, welche möglichst
einfach zu fertigen und zu montieren ist und zudem
eine stets definierte Relativanordnung von Abtast
einheit und magnetischer Maßverkörperung sicher
stellt.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Abtasteinheit
mit den Merkmalen des Anspruches 1. Ein Meßsystem
mit magnetischer Maßverkörperung und erfindungsge
mäßer Abtasteinheit ist Gegenstand des Anspruches
15.
Weitere Möglichkeiten zur vorteilhaften bzw. alter
nativen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Abtast
einheit ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Die erfindungsgemäße Abtasteinheit gewährleistet
nunmehr eine einfache Fertigung bzw. Montage. So
kann das Trägerelement der Abtasteinheit etwa auf
einer bekannten Wickelmaschine fixiert und mit ei
ner geeigneten Spulenwicklung versehen werden. An
schließend lassen sich ein oder mehrere magnetore
sistive Sensorelemente problemlos montieren bzw.
justieren.
Zur Montage auf herkömmlichen Wickelmaschinen kann
das Trägerelement beispielsweise mit ein oder meh
reren geeigneten Befestigungs-Elementen versehen
werden.
Neben einer Spule können jederzeit auch anders aus
geführte Magnetfeld-Erzeugungsmittel, wie z. B. ein
flexibles Leiterband, in Verbindung mit der erfin
dungsgemäßen Abtasteinheit eingesetzt werden.
Ferner existieren verschiedene Möglichkeiten das
Trägerelement derart geeignet auszugestalten, daß
eine einfache Zuführung von Signal- und/oder Ver
sorgungsleitungen zum Sensorelement gewährleistet
wird.
Als vorteilhaft erweist sich desweiteren, daß die
erfindungsgemäße Abtasteinheit in Verbindung mit
einer magnetischen Maßverkörperung zuverlässig be
trieben werden kann, wobei insbesondere stets der
erforderliche geringe Abstand zwischen Sensorfläche
und Maßverkörperung eingehalten wird. Dies wird
durch die freitragende Ausführung der Magnet
feld-Erzeugungsmittel in der zur magnetischen Maßverkör
perung orientierten Richtung sichergestellt.
Weitere Vorteile sowie Einzelheiten der erfindungs
gemäßen Abtasteinheit ergeben sich aus der nachfol
genden Beschreibung von Ausführungsbeispielen an
hand der beiliegenden Figuren.
Hierbei zeigt
Fig. 1a und 1b eine Seiten- und Quer
schnitts-Ansicht einer er
sten Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Abtast
einheit in Verbindung mit
einer magnetischen Maßver
körperung;
Fig. 2a und 2b eine Seiten- und Quer
schnitts-Ansicht einer zwei
ten Ausführungsform der er
findungsgemäßen Abtastein
heit in Verbindung mit einer
magnetischen Maßverkörpe
rung;
Fig. 3a und 3b eine Seiten- und Quer
schnitts-Ansicht einer drit
ten Ausführungsform der er
findungsgemäßen Abtastein
heit in Verbindung mit einer
magnetischen Maßverkörpe
rung;
Fig. 4a und 4b eine Seiten- und Quer
schnitts-Ansicht einer vier
ten Ausführungsform der er
findungsgemäßen Abtastein
heit in Verbindung mit einer
magnetischen Maßverkörpe
rung;
Fig. 5 eine Querschnitts-Ansicht
einer fünften Ausführungs
form der erfindungsgemäßen
Abtasteinheit in Verbindung
mit einer magnetischen Maß
verkörperung.
Das in den Fig. 1a und 1b dargestellte Ausfüh
rungsbeispiel stellt eine erste Möglichkeit zur
erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Abtasteinheit
(1) dar. In schematisierter Form ist hierbei unter
halb der Abtasteinheit (1) die magnetische Maßver
körperung (2) dargestellt, welche in Meßrichtung x
eine periodische Meßteilung aufweist. Im darge
stellten Ausführungsbeispiel sind hierbei jeweils
gegenpolig magnetisierte Bereiche aufeinanderfol
gend angeordnet. Der Abstand zwischen den Mitten
gleichsinnig gepolter Magnetbereiche (Teilungsperi
ode) liegt in einer möglichen Ausführungsform bei
ca. 400 µm.
Die magnetische Maßverkörperung (2) kann etwa aus
ferromagnetischem Material mit alternierend gepol
ten Bereichen bestehen. Alternativ hierzu ist es
jedoch auch prinzipiell möglich, über eine geeig
nete Spulenanordnung das erforderliche magnetische
Maßverkörperungs-Feld zu realisieren. Ferner kann
auch die Magnetisierung der Maßverkörperung anders
orientiert sein als im dargestellten Ausführungs
beispiel, etwa senkrecht zum Maßstab, etc.
Im Abstand d über der magnetischen Maßverkörperung
(2) ist die in X-Richtung linear verschiebbare Ab
tasteinheit (1) angeordnet, das heißt dargestellt
ist ein Längen-Meßsystem. Alternativ zum darge
stellten Ausführungsbeispiel kann die erfindungs
gemäße Abtasteinheit selbstverständlich auch zur
Winkelmessung verwendet werden. In diesem Fall wäre
eine kreisförmige magnetische Maßverkörperung zu
realisieren.
Die erfindungsgemäße Abtasteinheit (1) umfaßt min
destens ein magnetoresistives Sensorelement (3),
welches in Darstellung der Fig. 1a und 1b ledig
lich schematisiert angedeutet ist. Mehrere magneto
resistive Sensorelemente können beispielsweise der
art angeordnet werden, wie in der DE 4 20 373 be
schrieben. Das bzw. die Sensorelemente (3) weisen
jeweils eine Sensorfläche (3.1) auf, welche in
Richtung der abzutastenden magnetischen Maßverkör
perung (2) orientiert ist. Das Sensorelement (3)
wird nunmehr erfindungsgemäß von einem Trägerele
ment (4) der Abtasteinheit (1) in einer definierten
Relativorientierung zur Maßverkörperung (2) fi
xiert. Definiert in Richtung der magnetischen Maß
verkörperung (2) ist demzufolge auch die Sensor
fläche (3.1) des Sensorelementes (3) ausgerichtet.
Zur Anordnung bzw. Befestigung des Sensorelementes
(3) weist das Trägerelement (4) mindestens eine
erste Montagefläche (4.1) auf. Um das Trägerelement
(4) wiederum sind in Längsrichtung die Magnetfeld-
Erzeugungsmittel (5) angeordnet, die das träger
frequente Magnetfeld liefern, mit dem die vorab
erwähnten Probleme minimiert werden können. Als
Magnetfeld-Erzeugungsmittel (5) ist im darge
stellten Ausführungsbeispiel eine um das Trägerele
ment (4) gewickelte Spule vorgesehen, die von einem
Wechselstrom mit einer Frequenz von ca. 10 kHz ge
speist wird. Als alternatives Magnetfeld-Erzeu
gungsmittel kommt etwa ein flexibles Leiterband in
Betracht, welches das Trägerelement umgibt und
ebenfalls von einem geeigneten Wechselstrom durch
flossen wird.
Das im dargestellten Ausführungsbeispiel der
Fig. 1a und 1b verwendete Trägerelement (4) weist
im Querschnitt einen etwa brückenförmigen Aufbau
auf. An der der Maßverkörperung (2) zugewandten
offenen Querschnitts-Seite ist eine Aussparung mit
der erwähnten ersten Montagefläche (4.1) vorgese
hen, die das eigentliche Sensorelement (3) auf
nimmt. In Richtung der Maßverkörperung (2) ist die
Spule bei nicht-montiertem Sensorelement (3) dem
nach freitragend ausgeführt.
Die erfindungsgemäße Anordnung gestattet nunmehr,
daß auf einer herkömmlichen Wickelmaschine das Trä
gerelement (4) mit der entsprechenden Spulenwick
lung versehen und anschließend das geeignete Sen
sorelement (3) montiert werden kann.
Das Material des Trägerelementes (4) weist vorzugs
weise eine magnetische Permeabilitätszahl µR nahe 1
auf. Desweiteren ist das verwendete Material des
Trägerelementes vorzugsweise als elektrischer Isolator
ausgeführt. Als geeignete Materialen hierfür
erweisen sich etwa Kunststoffe wie z. B. Polyamid
oder aber Keramiken wie etwa z. B. Steatit. Eine
derartige Materialwahl gewährleistet, daß das Maß
stab-Feld und das über die Magnetfeld-Erzeugungs
mittel generierte Feld nicht verfälschend beein
flußt werden.
Desweiteren kann das Trägerelement-Material einen
thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, der
nahezu identisch mit dem thermischen Ausdehnungs
koeffizienten der umgebenden Bauteile des komplet
ten Meßsystemes ist. Dadurch lassen sich Ungenauig
keiten bei der Längenmessung minimieren, die in
erster Linie auf unterschiedliches thermisches Aus
dehnungsverhalten der verschiedenen verwendeten
Materialien zurückzuführen sind.
Ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsge
mäßen Abtasteinheit (21) inclusive magnetischer
Maßverkörperung (22) ist in den Fig. 2a und 2b
dargestellt. Die Grundkonfiguration entspricht
hierbei im wesentlichen dem des vorab beschriebenen
Ausführungsbeispieles; zusätzlich hierzu umfaßt
nunmehr das Trägerelement (24) an seinen Längssei
ten jeweils Befestigungselemente (26a, 26b), von
denen eines mit ein oder mehreren Längsöffnungen
(27) versehen ist, durch die der Spulendraht (28a,
28b) gewickelt und eingefädelt wird. Desweiteren
dienen die Befestigungselemente (26a, 26b) zur Mon
tage des Trägerelementes (24) in bekannten Wickel
maschinen. Dort kann das Trägerelement (24) in her
kömmlicher Art und Weise eingespannt und mit der
erforderlichen Spulenwicklung versehen werden. Als
geeignet erweist sich hierbei etwa ein Drahtdurch
messer von ca. 50 µm und eine Windungszahl von ca.
700. Nach erfolgter Spulenwicklung können die Be
festigungselemente (26a, 26b) zur Montage und
Justage der Abtasteinheit (21) wieder abgenommen
werden. Dementsprechend sind die Befestigungsele
mente (26a, 26b) in einer möglichen Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit lösbar am Trä
gerelement (24) angeordnet. Die lösbare Anordnung
kann hierbei z. B. durch Sollbruchstellen, Schraub-
oder Steckverbindungen etc. gewährleistet werden.
Daneben können die Befestigungselemente (26a, 26b)
im Fall der nicht-lösbaren Anordnung am Trägerele
ment (24) auch als weitere Montageflächen des Trä
gerelementes (24) innerhalb eines Meßsystemes die
nen.
Eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Abtasteinheit zeigen die Fig. 3a und 3b. Wiede
rum ist die Grundkonfiguration der Abtasteinheit
mit Trägerelement (34), Magnetfeld-Erzeugungsmittel
(35) und in definierter Relativorientierung hierzu
angeordnetem Sensorelement (33) identisch mit der
Konfiguration der vorab beschriebenen Ausführungs
formen. Ebenso sind wie im vorab beschriebenen Aus
führungsbeispiel der Fig. 2a und 2b Befesti
gungselemente (36a, 36b) an den Enden des Träger
elementes (34) vorgesehen. Diese dienen zum Be
festigen des Trägerelementes (34) in der Wickel
maschine. Im Unterschied zu den vorab beschriebenen
Ausführungsformen ist nunmehr jedoch der Quer
schnitt des Trägerelementes (34) so ausgeführt, daß
das Sensorelement (33) derart im Inneren des Trä
gerelementes (34) positioniert wird, daß über ent
sprechende Anschläge ein Abstand bzw. ein schmaler
Zwischenraum (39) zwischen dem Trägerelement (34)
und dem Sensorelement (33) gewährleistet wird. Der
resultierende Zwischenraum (39) kann in vorteilhaf
ter Weise etwa für die erforderlichen Signal- und/
oder Versorgungsleitungen des Sensorelementes (33)
verwendet werden, die in Fig. 3a und 3b jedoch
nicht dargestellt sind. Hierfür können z. B. geeig
nete Litzen oder flexible Leiterbänder eingesetzt
werden, die im Zwischenraum (39) angeordnet sind.
Alternativ hierzu können diese Leitungen jedoch
auch im Trägerelement integriert verlaufen.
Eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Abtasteinheit zeigen die Fig. 4a und 4b. Die
Konfiguration mit ebenfalls vorgesehenem Zwischen
raum (49) entspricht hierbei im wesentlichen der
des vorab beschriebenen Ausführungsbeispieles. Zu
sätzlich ist jedoch nunmehr an der Unterseite der
Abtasteinheit (41) eine Schutzschicht (40) über der
Spule vorgesehen. Die Schutzschicht (40) gewähr
leistet, daß weder die Magnetfeld-Erzeugungsmittel
(45) noch die Sensorfläche (43.1) des verwendeten
Sensorelementes (43) verschmutzt oder aber beschä
digt wird. Als geeignete Schutzschichten kommen
etwa Lacke, Vergußmassen oder aber Folien bzw. me
tallische Glasschichten in Betracht. Wesentlich ist
hierbei die gewünschte Resistenz der Schutzschicht
gegenüber mechanischen Belastungen, Chemikalien,
Kühlmitteln, Ölen etc., um derart eine hohe Be
triebssicherheit in einem Meßsystem zu gewährlei
sten.
Neben der Anordnung der Schutzschicht lediglich auf
der jeweiligen Sensorfläche bzw. auf der Seite der
Abtasteinheit, die der magnetischen Maßverkörperung
zugewandt ist, kann desweiteren eine geeignete
Schutzschicht auch andere Teile bzw. die gesamte
Abtasteinheit ummanteln.
Eine weitere mögliche Ausführungsform der erfin
dungsgemäßen Abtasteinheit zeigt Fig. 5. Hierbei
wurde das Trägerelement (54) kreissegment-förmig
dimensioniert. Nach wie vor ist jedoch die freitra
gende Anordnung der als Spule ausgeführten Magnet
feld-Erzeugungsmittel (55) auf der der Maßverkörpe
rung (52) zugewandten Seite der Abtasteinheit (51)
sichergestellt.
Die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Abtastein
heit gestattet ein einfaches Aufbringen der Spulen
wicklungen auf dem Trägerelement über bekannte Wic
kelmaschinen. Anschließend kann bei geeigneter Di
mensionierung des Querschnittes des Trägerelementes
das Sensorelement einfach in Längsrichtung in die
vorgesehene Aussparung hineingeschoben werden. Fer
ner ist durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung
des Trägerelementes sichergestellt, daß auf der dem
Maßstab zugewandten Seite der Abtasteinheit die
Spulenwicklung nur einen definierten Raum von ca.
50 µm über der Sensorfläche einnimmt. Dadurch kann
der gewünschte geringe Abstand zwischen der magne
tischen Maßverkörperung und der Sensorfläche des
Sensorelementes von etwa 50-100 µm innerhalb des
Meßsystemes sichergestellt werden.
Claims (15)
1. Abtasteinheit, insbesondere für eine magneti
sche Maßverkörperung (3; 22; 32; 42; 52), zur
Messung der Relativposition zweier zueinander
beweglicher Objekte, bestehend aus mindestens
einem magnetoresistiven Sensorelement (3; 23;
33; 43; 53) mit einer Sensorfläche (3.1; 23.1;
33.1; 43.1; 53.1) sowie Mitteln (5; 25; 35; 45;
55) zur Erzeugung eines trägerfrequenten Ma
gnetfeldes, wobei das Sensorelement (2; 23; 33;
43; 53) sowie die Magnetfeld-Erzeugungsmittel
(5; 25; 35; 45; 55) derart in einer definierten
Relativposition zueinander an einem Trägerele
ment (4; 24; 34; 44; 54) angeordnet sind, daß
die Sensorfläche (3.1; 23.1; 33.1; 43.1; 53.1)
des Sensorelementes (3; 23; 33; 43; 53) in
Richtung der Maßverkörperung (2; 22; 32; 42;
52) orientiert ist.
2. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei als Ma
gnetfeld-Erzeugungsmittel (5; 25; 35; 45; 55)
mindestens eine Spule vorgesehen ist, welche um
das Trägerelement (4; 24; 34; 44; 54) gewickelt
und in Richtung der magnetischen Maßverkörpe
rung (2; 22; 32; 42; 52) freitragend ausgeführt
ist.
3. Abtasteinheit nach Anspruch 1 oder 2, wobei an
der Abtasteinheit mindestens in Richtung der
magnetischen Maßverkörperung (2; 22; 32; 42;
52) eine Schutzschicht (40) aufgebracht ist.
4. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei das Trä
gerelement (4; 24; 34; 44) im Längsquerschnitt
im wesentlichen brückenförmig ausgebildet ist
und an die offene Querschnittsseite das magne
toresistive Sensorelement (3; 23; 33; 43) mon
tierbar ist.
5. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei das Trä
gerelement (54) im Längsquerschnitt kreisseg
ment-förmig ausgeführt ist und an der offenen
Querschnittsseite das magnetoresistive Sensor
element (53) montierbar ist.
6. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei das Mate
rial des Trägerelementes (4; 24; 34; 44; 54)
eine magnetische Permeabilität µR nahe 1 auf
weist.
7. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei das Mate
rial des Trägerelementes (4; 24; 34; 44; 54)
ein elektrischer Isolator ist.
8. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei das Mate
rial des Trägerelementes (4; 24; 34; 44; 54)
einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf
weist, der nahezu identisch mit dem thermischen
Ausdehnungskoeffizienten der umgebenden Bautei
le ist.
9. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei das Trä
gerelement (24; 34; 44; 54) an seinen Längs
enden Befestigungs-Elemente (26a, 26b; 36a; 36b; 47a; 47b)
aufweist, an denen das Träger
element (24; 34; 44; 54) in einer Wickelmaschi
ne fixierbar ist.
10. Abtasteinheit nach Anspruch 9, wobei die Be
festigungs-Elemente (26a, 26b; 36a; 36b; 47a;
47b) lösbar mit dem Trägerelement (24; 54; 44;
54) verbunden sind.
11. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei das Trä
gerelement (4; 24; 34; 44; 54) mindestens eine
erste Montagefläche (4.1; 24.1; 34.1; 44.1;
54.1) aufweist, an der das magnetoresistive
Sensorelement (3; 23; 33; 43; 53) befestigbar
ist.
12. Abtasteinheit nach Anspruch 11, wobei das Trä
gerelement (4; 24; 34; 44; 54) mindestens eine
zweite Montagefläche aufweist, an der es in
einem Meßsystem befestigbar ist.
13. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei die elek
trischen Signal- und/oder Versorgungsleitungen
des magnetoresistiven Sensorelementes (3; 33;
43) zwischen dem Trägerelement in einem Zwi
schenraum (34; 44) und dem magnetoresistiven
Sensorelement (33; 43) angeordnet sind.
14. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei die elek
trischen Signal- und/oder Versorgungsleitungen
des magnetoresistiven Sensorelementes in das
Trägerelement integriert sind.
15. Magnetisches Meßsystem zur Messung der Relativ
lage zweier zueinander beweglicher Objekte, bei
der eine periodische, magnetische Maßverkörpe
rung (2; 22; 32; 42; 52) in Meßrichtung zur
Erzeugung von positionsabhängigen Ausgangssi
gnalen mit einer Abtasteinheit (1; 21; 31; 41;
51) nach mindestens einem der vorangehenden
Ansprüche abgetastet wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995123853 DE19523853C2 (de) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Abtasteinheit |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
DE1995123853 DE19523853C2 (de) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Abtasteinheit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE19523853A1 true DE19523853A1 (de) | 1997-01-02 |
DE19523853C2 DE19523853C2 (de) | 2000-02-24 |
Family
ID=7765671
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995123853 Expired - Fee Related DE19523853C2 (de) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Abtasteinheit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19523853C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005058597A1 (de) * | 2005-12-07 | 2007-06-28 | Sick Stegmann Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Justierung einer Positions- und/oder Geschwindigkeitsmesseinrichtung |
DE202008013715U1 (de) | 2008-10-16 | 2009-01-08 | Sick Stegmann Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Position zweier zueinander bewegbarer Objekte |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10162849B4 (de) * | 2001-12-20 | 2007-11-29 | Sensitec Gmbh | Längenmesssystem, bei dem ein Massstab relativ zur Position von beabstandeten Längensensoren bewegt wird |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3704729A1 (de) * | 1987-02-14 | 1988-08-25 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Anordnung zur bestimmung der position und der bewegung von gegenstaenden |
JPH03131717A (ja) * | 1989-10-17 | 1991-06-05 | Komatsu Ltd | 直線位置検出装置 |
DE4129259A1 (de) * | 1991-08-30 | 1993-03-04 | Bernd Schneider | Einrichtung zur ermittlung der materialbeschaffenheit elektrisch leitfaehiger koerper |
DE4203073A1 (de) * | 1992-02-04 | 1993-08-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
DE4411808A1 (de) * | 1993-04-10 | 1994-10-13 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Magnetisches Meßsystem |
-
1995
- 1995-06-30 DE DE1995123853 patent/DE19523853C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3704729A1 (de) * | 1987-02-14 | 1988-08-25 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Anordnung zur bestimmung der position und der bewegung von gegenstaenden |
JPH03131717A (ja) * | 1989-10-17 | 1991-06-05 | Komatsu Ltd | 直線位置検出装置 |
DE4129259A1 (de) * | 1991-08-30 | 1993-03-04 | Bernd Schneider | Einrichtung zur ermittlung der materialbeschaffenheit elektrisch leitfaehiger koerper |
DE4203073A1 (de) * | 1992-02-04 | 1993-08-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
DE4411808A1 (de) * | 1993-04-10 | 1994-10-13 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Magnetisches Meßsystem |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005058597A1 (de) * | 2005-12-07 | 2007-06-28 | Sick Stegmann Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Justierung einer Positions- und/oder Geschwindigkeitsmesseinrichtung |
DE202008013715U1 (de) | 2008-10-16 | 2009-01-08 | Sick Stegmann Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Position zweier zueinander bewegbarer Objekte |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19523853C2 (de) | 2000-02-24 |
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