DE10351650A1 - Vollwellenleiter (VWL) Basic - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft Positionssensoren, insbesondere deren Detektoreinheit. Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Positions-Sensor dieses Bauprinzips so zu vereinfachen, dass trotz deutlich geringerem Fertigungsaufwand die Funktion mit ausreichender Genauigkeit gewährleistet wird. Bei Verwendung eines elektrisch leitfähigen Wellenleiters, der gleichzeitig als elektrischer Leiter dient, bei koaxialer Anordnung der Detektorspule direkt auf dem elektrischen Leiter und insbesondere Anordnung einer entsprechenden Abschirmung um die Detektorspule herum, insbesondere in Form eines Flussleitstückes, lässt sich das Nutzsignal ausreichend stark von den vorhandenen Störsignalen unterscheiden, insbesondere wenn die Abschirmung die Detektorspule möglichst dicht umschließt. Der Positions-Sensor nach dem Laufzeitprinzip einer mechanisch-elastischen Welle weist einen Wellenleiter (3), eine am Wellenleiter (3) angeordnete Detektorspule (5) sowie ein Positionselement, z. B. einen Positionsmagneten (28), welcher entlang des Wellenleiters (3) bewegbar ist, bewirkt dadurch, dass der Wellenleiter (3) aus elektrisch leitendem Material besteht und die Detektorspule (5) im Detektorbereich koaxial auf dem Wellenleiter (3) angeordnet ist.

Description

  • I. Anwendungsgebiet
  • Die Erfindung betrifft Positionssensoren, insbesondere deren Detektoreinheit, basierend auf dem Prinzip der Laufzeitmessung von mechanisch-elastischen Impulsen in einem Wellenleiter, die außer diesem Wellenleiter ein relativ hierzu bewegliches, die mechanisch-elastische Welle erzeugendes oder detektierendes, Positionselement umfassen.
  • II. Technischer Hintergrund
  • Der Wellenleiter besteht in der Regel aus einem Rohr, einem Draht oder einem Band, und kann auch als elektrischer Leiter dienen. Der Wellenleiter kann weiterhin in einem formgebenden, linearen oder kreisförmigen, Körper aus nicht-magnetischem Material, z. B. Kunststoff oder Metall zur Aufnahme und Lagerung des Wellenleiters angeordnet sein.
  • Basierend auf dem Wiedemann-Effekt erzeugt ein in den Wellenleiter eingespeister Strom bei seiner Überlagerung mit einem lateral auf den magnetostriktiven Wellenleiter gerichteten externen Magnetfeld, welches vom Positionselement, insbesondere einem Positionsmagneten herrührt, einen Torsionsimpuls einer mechanisch-elastischen Welle, der sich mit etwa 2.500 m/s – 6.000 m/s vom Ort der Entstehung, also z.B. der Position des Positionselementes, in beide Richtungen entlang des Wellenleiters ausbreitet.
  • An einer Stelle, üblicherweise an einem Ende des Wellenleiters, wird insbesondere der Torsionsanteil dieses mechanisch-elastischen Impulses von einer Detektoreinheit, die sich meist in fester Position bezüglich des Wellenleiters befindet, erfaßt. Die Zeitdauer zwischen der Auslösung des Erregerstromimpulses und dem Empfang des mechanischen Impulses ist dabei ein Maß für den Abstand des verschiebbaren Positionselementes, z. B. des Positionsmagneten von der Detektoreinrichtung oder auch der Spule bzw. des Elektromagneten.
  • Ein typischer solcher Sensor ist im US-Patent 896 714 beschrieben.
  • Das Hauptaugenmerk der vorliegenden Erfindung liegt auf der Detektoreinrichtung. Diese umfaßt eine Detektor-Spule, die entweder um den Wellenleiter herum angeordnet ist oder als sogenannter Villary-Detektor um ein Villary-Bändchen herum angeordnet ist, welches quer, insbesondere im 90°-Winkel, vom Wellenleiter abstrebt und mit diesem so verbunden, insbesondere mechanisch fixiert, z. B. verschweißt ist, daß der entlang des Wellenleiters laufende Torsionsimpuls im Villary-Bändchen in eine longitudinale Welle transformiert wird. Eine solche longitudinale Welle staucht bzw. dehnt das Villary-Bändchen elastisch im kristallinen Bereich, und verändert daher dessen Permeabilität μ. Das Villary-Bändchen besteht zu diesem Zweck aus Material mit möglichst hoher magnetischer Permeabilität Δμr, z. B. aus Nickel oder einer Nickel-Legierung.
  • Die ein magnetoelastisches Element, z.B. das Villary-Bändchen, durchlaufende Dichtewelle äußert sich somit in einer Spannungsänderung ΔU, die als Nutzsignal an der Detektorspule abgegriffen werden kann.
  • Wie ersichtlich, ist das Nutzsignal ΔU umso größer, je größer die Änderung der magnetischen Permeabilität Δμr ausfällt.
  • Zusätzlich ist als Arbeitspunkt bzw. Arbeitsbereich ein solcher Bereich der Kurve Δμr(H), also der magnetischen Permeabilität aufgetragen über der magnetischen Feldstärke, erwünscht, in dem sich die magnetischen Permeabilität Δμr möglichst linear, relativ zur Ursache aber möglichst stark verändert, weshalb versucht wird, die Funktion Δμr(H) in der Anstiegsflanke möglichst steil auszubilden und den Arbeitsbereich dort, im annähernd linearen Bereich, zu etablieren.
  • Im Stand der Technik wird zum Einstellen des Arbeitspunktes ein sogenannter Bias-Magnet in Form eines Dauermagneten in räumlicher Nähe zur Detektorspule, z.B. parallel zum Villary-Bändchen, angeordnet.
  • Der Arbeitspunkt der magneto-elastischen Detektoreinheit hängt neben den magnetischen Parametern des Bias-Magneten hauptsächlich von dessen Positionierung relativ zur Detektor-Spule ab.
  • Dies ist in mehrfacher Hinsicht nachteilig, beispielsweise beim Einsatz des Positions-Sensors an Stellen, die mechanische, insbesondere dynamischen mechanischen, Belastungen unterworfen sind oder auch thermischen Belastungen, welche die magnetischen Parameter des Bias-Magneten verändern und insbesondere dessen Alterungsprozess, die ebenfalls eine Änderung der magnetischen Parameter zur Folge haben, beschleunigen.
  • Zusätzlich sind alle bei der Herstellung des Bias-Magneten auftretenden Formabweichungen von der Sollform in gleicher Weise nachteilig. Gleiches gilt für die herstellungsbedingten Streuungen der magnetischen Parameter bei der Herstellung des Bias-Magneten.
  • Ein weiterer Nachteil bestand darin, dass bei zu starker Annäherung des Positionsmagneten an die Detektorspule der Arbeitspunkt negativ verändert wird. Bei der Detektoreinrichtung gemäß dem Stand der Technik musste daher der Wellenleiter über den Messbereich, innerhalb dessen sich der Positionsmagnet hin und her bewegen konnte, hinaus so weit verlängert werden, dass sich die Detektoreinheit mit der Detektorspule ausreichend weit vom Messbereich entfernt befand, um Störbeeinflussungen auf ein beherrschbares Maß zu reduzieren. Dadurch ergab sich jedoch immer eine Gesamtlänge des Positionssensors, die deutlich größer war als sein Messbereich.
  • Während in der Vergangenheit hauptsächlich die Bauformen mit dem quer vom Wellenleiter abstehenden Villary-Bändchen, welches von der Detektorspule umschlossen wurde, verbreitet waren aufgrund der dabei erzielbaren hohen Amplitude, hat dies den Nachteil eines aufwendigen Herstellungsprozesses.
  • In der Vergangenheit war es bereits bekannt, den Wellenleiters selbst entweder mit einem massiven Querschnitt, also als Draht, oder auch mit einem hohlen Querschnitt, also als Rohr, zu verwenden. Bei Verwendung des Wellenleiters auch als elektrischer Leiter wurde dabei die Vorform bevorzugt, da hierdurch im Inneren des rohrförmigen elektrischen Leiters kein vom elektrischen Strom erzeugtes Magnetfeld vorhanden war.
  • III. Darstellung der Erfindung
  • a) Technische Aufgabe
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Positions-Sensor dieses Bauprinzips so zu vereinfachen, dass trotz deutlich geringerem Fertigungsaufwand die Funktion mit ausreichender Genauigkeit gewährleistet ist.
  • b) Lösung der Aufgabe
  • Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
  • Es hat sich wider Erwarten herausgestellt, dass bei Verwendung eines elektrisch leitfähigen Wellenleiters, der gleichzeitig als elektrischer Leiter dient, bei koaxialer Anordnung der Detektorspule direkt auf dem elektrischen Leiter und insbesondere Anordnung einer entsprechenden Abschirmung um die Detektorspule herum, insbesondere in Form eines Flussleitstückes, sich das Nutzsignal ausreichend stark von den vorhandenen Störsignalen unterscheiden lässt, insbesondere wenn die Abschirmung die Detektorspule möglichst dicht umschließt.
  • Dabei kann auf eine Strombeaufschlagung der Detektorspule nicht nur verzichtet werden, sondern diese wirkt sich unter Umständen sogar negativ aus, und auch auf eine Kompensation der sich nach in Betrieb setzen des Sensors verändernden Temperatur innerhalb der Detektoranordnung kann ebenfalls verzichtet werden.
  • Somit wird die Detektorspule in einem Endbereich koaxial auf dem drahtförmigen Wellenleiter angeordnet und – vorher oder nachher – mit der Abschirmung, insbesondere mittels eines ebenfalls zylindrischen Flussleitkörpers versehen. Nach Anschließen der Detektorspule an eine Detektorschaltung ist – nach geeigneter Lagerung des Wellenleiters – der Sensor funktionstüchtig.
  • Die Form und Anordnung des Flussleitkörpers relativ zur Detektorspule wird dabei so gewählt, dass der durch das Flussleitstück ermöglichte magnetische Flussweg die Windungen der Wicklungen der Detektorspule wenigstens an einer Stelle umschließt, insbesondere die gesamte Detektorspule in wenigstens einer Ebene, z. B. der axialen Ebene, umschließt. Vorzugsweise umschließt der Flussweg die Detektorspule dabei lückenlos.
  • Dementsprechend kann die Form des Flussleitstückes unterschiedlich ausgebildet sein:
    In einer einfachen Ausführungsform übergreift ein C-förmiges Flussleitstück die koaxial auf dem Wellenleiter aufgebrachte Detektorspule so, dass das C-Teil mit seinen freien Enden beidseits der Spule mit geringem Abstand gegen den Wellenleiter gerichtet ist. Dadurch wird aus dem C-förmigen Flussleitstück und dem entsprechenden Teil des Wellenleiters über den geringen Luftspalt zwischen Wellenleiter und Flussleitstück hinweg ein magnetischer Kreis geschlossen, der den magnetischen Flussweg darstellt, welcher mittels des Flussleitstückes ermöglicht wird.
  • Obwohl dabei der Großteil der Detektorspule außerhalb dieses magnetischen Kreises liegt, wird die Signalqualität des von der Detektorspule gelieferten elektrischen Signals dadurch bereits stark positiv beeinflusst.
  • Weiter verbessern lässt sich das Ergebnis, in dem die Detektorspule in immer stärkeren Maß von dem magnetischen Flussweg eingehüllt wird, beispielsweise durch Anordnen von zwei einander gegenüberliegenden C-förmigen Flussleitstücken oder auch mehreren solcher C-förmigen Flussleitstücke über den Umfang des Wellenleiters verteilt.
  • Im Idealfall umschließt ein entsprechend geformter Flussleitkörper die Detektorspule – bis auf die benötigten Ein- und Auslässe – möglichst vollständig, und wird dabei in der Regel aus zwei sich ergänzenden Formkörpern bestehen.
  • Ebenso kann eine Verbesserung des Nutzsignals relativ zu den Störsignalen erreicht werden, wenn stattdessen und/oder ergänzend zu den vorgenannten Maßnahmen wengistens im Bereich der Detektorspule der für den Positionssensor notwendigen elektrische Rückleiter koaxial um die Detektorspule herum angeordnet wird, also insbesondere rohrförmig, jedenfalls vorzugsweise umfänglich geschlossen.
  • Diese Wirkung tritt besonders dann ein, wenn das Material nicht nur elektrisch leitfähig, sondern auch noch magnetisch abschirmend ist, also eine Permeabilität von μ > 1 aufweist.
  • c) Ausführungsbeispiele
  • Ausführungsformen gemäß der Erfindung sind im Folgenden beispielhaft näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1: Eine Prinzipdarstellung des erfindungsgemäßen Positionssensors,
  • 2: einen Querschnitt durch den Wellenleiter 3,
  • 36: weitere Bauformen des Flussleitkörpers.
  • 1 zeigt den gesamten Positionssensor, bestehend aus dem in Messrichtung verlaufenden Wellenleiter 3 und auf dessen einem Ende befestigten Detektoranordnung 105 sowie der mit der Detektoranordnung 105 verbundenen Detektorschaltung 50.
  • Die Detektorschaltung 50 kann dabei örtlich getrennt von der Wellenleitereinheit angeordnet sein, und muss lediglich über zwei elektrische Leiter mit der Detektorspule 5 verbunden sein.
  • Der Positionssensor misst die Position des in Messrichtung 10 kontaktlos entlang der Wellenleitereinheit verschiebbaren Positionsmagneten 28 relativ zum Sensorkopf des Wellenleiters 3, also zur Detektorspule 5.
  • Der Wellenleiter 3 weist wenigstens abschnittsweise, insbesondere über seine gesamte Länge einen massiven Querschnitt von vorzugsweise kreisrunder Außenkontur auf, wie in 2 dargestellt.
  • In seinem Verlauf ist der Wellenleiter 3 z. B. in einem Stützrohr 4 aufgenommen, welches beispielsweise einen deutlich größeren Innendurchmesser besitzt als der Außendurchmesser des Wellenleiters 3, und in dem der Wellenleiter 3 koaxial positioniert ist durch Anordnung eines schlauchförmigen Abstandshalters 2 aus elektrisch nicht leitendem und nicht magnetischem Material, insbesondere einem Kunststoffmaterial, welches koaxial um den Wellenleiter 3 herum und innerhalb des Stützrohres 4 angeordnet ist.
  • Das vom Detektorkopf und damit der Detektorspule 5 abgewandte freie Ende des Wellenleiters 3 ist in einer speziellen Dämpfungsanordnung 7 aufgenommen.
  • Die Detektorspule 5 ist koaxial auf dem Wellenleiter 3 angeordnet, berührt diesen jedoch nicht, so dass dazwischen eine Distanzhülse aus elektrisch nicht leitendem Material angeordnet ist.
  • Bei der Detektorspule 5 können die Wicklungen in Ebenen quer zur Längsrichtung 10 angeordnet sein, oder auch – bei Ausbildung der Detektorspule 5 als Toroid-Spule – in Ebenen entlang der Längsrichtung 10.
  • Der Wellenleiter 3 kann nur auf einer Stirnseite die Detektorspule 5 verlassen, wie in der 1a dargestellt, oder die Detektorspule 5 auch in Längsrichtung komplett durchdringen, wie in 1b dargestellt.
  • Abhängig davon weist der Flussleitkörper 30 nur eine einzige oder zwei gegenüberliegende stirnseitige Öffnungen 5a, 5a' für das Ein- und ggf. auch Austreten des Wellenleiters 3 und ggf. dessen Isolierhülse gegenüber der Detektorspule 5 auf, und darüber hinaus wenigstens eine Öffnung 5b zum Hindurchführen der elektrischen Anschlüsse von der Detektorspule 5 zur Auswerteschaltung 50.
  • Dabei kann der Flussleitkörper 30 – wie in 1a dargestellt – aus zwei Halbschalen mit Trennebene parallel zur Längsrichtung 10 bestehen oder auch aus einem topfförmigen Gehäuse mit stirnseitigem Abschlussdeckel, wie in der 1b dargestellt.
  • Auch eine Bauform aus zwei mit der offenen Seite gegeneinander gerichteten schalenförmigen Flussleitkörpern 30c, wie in 6 im Längsschnitt und in einer Stirnansicht dargestellt ist möglich, in der der Wellenleiter die schalenförmigen Teile 30c durch zentrale Wellenleiter-Öffnungen 5a bzw. 5a' in den ansonsten geschlossenen Boden der schalenförmigen Teile durchdringt, während die elektrischen Anschlüsse der Spule 5 durch wenigstens eine hier nicht zeichenbare Öffnung vorzugsweise auf die Berührungsebene der beiden schalenförmigen Teile 30c den Innenraum des Flussleitkörper verlassen.
  • Im Gegensatz zu den vorbeschriebenen Varianten, in denen der Flussleitkörper 30 die Detektorspule 5 bis auf die benötigten Durchtrittsöffnungen für elektrische Anschlüsse und den Wellenleiter 3 weitestgehend vollständig umschließt, zeigen die 35 jeweils in Seitenansicht und Stirnansicht Lösungen, bei denen der Flussleitkörper aus einem oder mehreren C-förmigen Flussleitstücken 30a bzw. 30b besteht, die somit die Detektorspule 5 nicht vollständig einschließen.
  • In der einfachsten Lösung gemäß 3 ist ein solches C-förmiges Flussleitstück 30a mit seinem verbindenden Längsschenkel in Längsrichtung 10 ausgerichtet, also parallel zum Wellenleiter 3, so dass die beiden freien Enden des C-Teiles 30a beidseits der stirnseitigen Enden der Detektorspule 5 gegen den Wellenleiter 3 gerichtet sind, mit einem möglichst geringem Luftspalt zwischen dem Wellenleiter 3 und dem C-förmigen Flussleitstück 30a.
  • Gemäß den 4 sind zwei solcher C-Teile 30a auf einander gegenüberliegenden Seiten des Wellenleiters 3 gegeneinander gerichtet entsprechend angeordnet, so dass hierdurch bereits die gesamte Detektorspule 5 innerhalb des Flussleitstückes 30 liegt, jedoch von diesem wiederum nicht vollständig dicht eingeschlossen wird.
  • Durch steigende Anzahl von über den Umfang verteilt angeordneten solchen C-Teilen 30a, beispielsweise drei C-Teile 30a wie in den 5 dargestellt, oder einer höheren Anzahl von C-Teilen, werden die nicht von Flussleitstücken abgedeckten Umfangsbereiche der Detektorspule 5 immer geringer und damit die Qualität des von der Detektorspule 5 gelieferten Signals immer besser.
  • 4c zeigt eine Abwandlung zweier C-förmiger Flussleitstücke 30b, die in diesem Fall nicht jeweils auf einer der beiden Seiten des Wellenleiters angeordnet sind, sondern die beide auf den Wellenleiter 3 aufgefädelt sind mittels in dem verbindenden Schenkel der C-Teile 30b vorhandener Wellenleiter-Öffnungen 5a, während die frei endenden Schenkel der Flussleitstücke gegeneinander gerichtet sind und sich auch gegenseitig berühren sollen.
  • In der Seitenansicht gemäß 4d dieser Lösung ist zu erkennen, dass die Detektorspule 5 auf in der Seitenansicht oder auch im Querschnitt z. B. H-förmigen Spulengrundkörper 1 aufgewickelt sein kann, an Stelle der in den übrigen Zeichnungen dargestellten Grundkörper-freien, selbsttragenden, Detektorspulen 5.
  • 4c zeigt in der perspektivischen Ansicht die zu den zwei gegenüberliegenden Seiten hin offenen, nicht vom Flussleitkörper 30 abgedeckten Seiten einer solchen Detektorspule 5, aus denen die entsprechenden Anschlüsse für die Detektorspule 5 herausgeführt werden können.
  • Darüber hinaus zeigt 1 c eine Lösung, bei der die ebenfalls koaxial auf dem Wellenleiter 3 angeordnete Detektorspule 5 nicht von einem Flussleitkörper sondern von einem koaxial um die Detektorspule 5 herum angeordneten, rohrförmigen elektrischen Rückleiter 6 umgeben ist. Diese Wirkung tritt besonders dann ein, wenn dessen Material nicht nur elektrisch leitfähig, sondern auch noch magnetisch abschirmend ist, also eine Permeabilität von μ > 1 aufweist.
  • Auch hierdurch werden von außen auf die Detektorspule 5 einwirkende Magnetfelder abgehalten.
  • Auch eine Kombination beider Möglichkeiten, also die Anordnung eines Flussleitkörpers zusätzlich zu einem koaxialen Rückleiter 6 mit den beschriebenen Eigenschaften, ist möglich.
  • 1
    Grundkörper
    2
    Stützschlauch
    3
    Wellenleiter
    4
    Stützrohr
    5
    Detektorspule
    5a, 5a'
    Wellenleiter-Öffnung
    5b
    Anschluss-Öffnung
    6
    Rückleiter
    7
    Dämpfungsanordnung
    10
    Längsrichtung
    28
    Positionsmagnet
    30
    Flussleitkörper
    30a
    C-förmiges Flussleitstück
    30b
    C-förmiges Flussleitstück
    30c
    schalenförmiges Flussleitstücke
    50
    Auswerteschaltung
    105
    Detektoranordnung

Claims (26)

  1. Positions-Sensor nach dem Laufzeitprinzip einer mechanisch-elastischen Welle mit – einem Wellenleiter (3), – einer am Wellenleiter (3) angeordneten Detektorspule (5), – einem Positionselement, z. B. einem Positionsmagneten (28), welcher entlang des Wellenleiters (3) bewegbar ist dadurch gekennzeichnet, dass – der Wellenleiter (3) aus elektrisch leitendem Material besteht, – die Detektorspule (5) im Detektorbereich koaxial auf dem Wellenleiter (3) angeordnet ist.
  2. Positionssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektorspule (5) ein Flussleitkörper (30) zugeordnet ist.
  3. Positions-Sensor nach dem Laufzeitprinzip einer mechanisch-elastischen Welle mit – einem Wellenleiter (3), – einer am Wellenleiter (3) angeordneten Detektorspule (5), – einem Positionselement, z. B. einem Positionsmagneten (28), welcher entlang des Wellenleiters (3) bewegbar ist dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens im axialen Bereich der Detektorspule (5) der Rückleiter (6) koaxial außen um die Detektorspule (5) herum angeordnet ist.
  4. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Wellenleiter (3) einen massiven Querschnitt besitzt.
  5. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt des Wellenleiters (3) insbesondere über den gesamten Messbereich massiv ist.
  6. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektorspule (5) ebenso wie eine Detektorschaltung (50) Teil einer Detektoranordnung (105) ist.
  7. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Flussleitkörper (30) der Detektorspule (5) so zugeordnet ist, dass er gleichzeitig die Detektorspule (5) gegen unerwünschte äußere Magnetfelder abschirmt.
  8. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der magnetische Flussweg des durch den Flussleitkörper (30) ermöglichten magnetischen Flusses die Windungen der Spule wenigstens einmal einschließt, insbesondere unter Einbeziehung des Wellenleiters (3) in den Flussweg.
  9. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der durch den Flussleitkörper (30) ermöglichte Flussweg die gesamte Spule umgibt, insbesondere in wenigstens einer Ebene, insbesondere wenigstens einer Axialebene, insbesondere die Spule vollständig umgibt.
  10. Positionssensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Rückleiter (6) aus elektrisch leitfähigem sowie insbesondere auch magnetisch abschirmendem Material mit einer Permeabilität von μ>1 besteht.
  11. Positionssensor nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Rückleiter (6) einen umfänglich weitestgehend, insbesondere vollständig, geschlossenen Querschnitt aufweist.
  12. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Abschirmung, insbesondere der Flussleitkörper (30), die Detektorspule (5) wenigstens teilweise, insbesondere entlang einer Ebene, insbesondere einer Axialebene der Detektorspule (5) umgibt, insbesondere koaxial umgibt.
  13. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektorspule (5) als selbsttragende Spule ohne Spulenkörper ausgebildet ist.
  14. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektorspule (5) auf einem Spulenkörper, insbesondere einem im Längsschnitt H-förmigen Spulenkörper gewickelt ist.
  15. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung, insbesondere der Flussleitkörper (30), die Detektorspule (5) bis auf die Öffnung (5a) für den Wellenleiter (3) sowie wenigstens eine Leiteröffnung (5b) für die an die Detektorspule (5) angeschlossenen elektrischen Leiter vollständig umschließt.
  16. Positions-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Flussleitkörper (30c) im Wesentlichen schalenförmig, insbesondere zylindrisch geformt ist mit zwei einander in den geschlossenen Stirnseiten gegenüberliegenden Öffnungen (5a, 5a') für Ein- und Austritt des Wellenleiters (3) und einer Leiteröffnung (5b) zum Durchtritt der elektrischen Leiter zur Detektor-Spule (5) hin, wobei sich die Leiteröffnung (5b) insbesondere in der zylindrischen Mantelfläche des Flussleitkörpers (30) befindet.
  17. Positions-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zylindrische Flussleitkörper (30) aus einem topfförmigen Korpus mit einer offenen Stirnseite und einem auf dieser stirnseitigen Öffnung passenden Deckel besteht.
  18. Positions-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zylindrische Gehäuse aus zwei halbzylindrischen Schalen besteht.
  19. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Flussleitstück (30) aus einem ferromagnetischen Material mit einer Permeabilität von μ > 10, insbesondere μ > 1.000, insbesondere μ > 10.000 besteht.
  20. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Flussleitstück (30) aus einer hochpermeablen Legierung, insbesondere aus Ferrit, besteht.
  21. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Wellenleiter (3) von Gleichstrom durchflossen ist.
  22. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoranordnung (105) keinen Magneten, insbesondere keine Biasmagneten, umfasst.
  23. Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Axialrichtung der Detektorspule (5) mit der Längsrichtung des Wellenleiters (3) übereinstimmt.
  24. Positions-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektor-Spule (5) eine Toroid-Spule ist.
  25. Positions-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass axiale Länge der Toroid-Spule mindestens dem Durchmessers ihres freien zentralen Durchganges (5a) entspricht, vorzugsweise mindestens doppelt so groß ist.
  26. Positions-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Toroid-Spule von einem Flussleitkörper (30) umgeben ist, der eine etwa zylindrische Form besitzt und vorzugsweise aus zwei Halbschalen besteht, die auf jeweils einer Stirnseite geschlossen sind bis auf eine zentrale Durchgangsöffnung (5a) analog zur Durchgangsöffnung der Toroid-Spule und deren Kontaktebene quer zur Längsachse der Toroid-Spule und des Flussleitkörpers (30) verläuft.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010076330A3 (de) * 2009-01-02 2010-12-23 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Magnetostriktiver positionssensor nach dem laufzeitprinzip mit einer magnetoresistiven detektoreinheit für mechanisch-elastische dichte-wellen
DE102012002204B4 (de) * 2012-01-27 2019-06-13 Avago Technologies International Sales Pte. Limited Magnetfeldsensor

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10234960A1 (de) * 2002-07-31 2004-02-19 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Sensor nach dem Laufzeitprinzip mit einer Detektoreinheit für mechanisch-elastische Wellen

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10234960A1 (de) * 2002-07-31 2004-02-19 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Sensor nach dem Laufzeitprinzip mit einer Detektoreinheit für mechanisch-elastische Wellen

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010076330A3 (de) * 2009-01-02 2010-12-23 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Magnetostriktiver positionssensor nach dem laufzeitprinzip mit einer magnetoresistiven detektoreinheit für mechanisch-elastische dichte-wellen
US9816843B2 (en) 2009-01-02 2017-11-14 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Magnetorestrictive position sensor according to the propagation time principle having a magnetorestrictive detector unit for mechanical-elastic density waves
DE102012002204B4 (de) * 2012-01-27 2019-06-13 Avago Technologies International Sales Pte. Limited Magnetfeldsensor

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