DE19523373A1 - Magnetischer Resonanzsensor - Google Patents
Magnetischer ResonanzsensorInfo
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Description
Die Erfindung beeinhaltet einen magnetfeldempfindlichen Sensor, aus dessen Aus
gangssignal mit drehzahlunabhängiger Amplitude gleichzeitig Informationen über den
Abstand, die Rotationsgeschwindigkeit (Drehzahl) und die Rotationsrichtung
(Drehrichtung) eines Magnetfeldes gewonnen werden können.
Bisher eingesetzte magnetische Sensoren mit drehzahlunabhängiger Ausgangs
spannung beruhen auf dem großen Barkhausen-Effekt (engl. large Barkhausen ef
fect; Abkürzung in der englischsprachigen Literatur: LBE).
Beim LBE handelt es sich um eine impulsartige vollständige Ummagnetisierung spe
zieller magnetischer Werkstoffe, die aufgrund ihrer Zusammensetzung und des Her
stellungsverfahrens eine Vorzugsausrichtung der magnetischen Domänen besitzen.
Da für die Vorzugsausrichtung der magnetischen Domänen zwei stabile Zustände
existieren, werden Bauteile aus LBE-Materialien auch als bistabiles magnetisches
Element (nachfolgend BME abgekürzt) bezeichnet.
Die Ummagnetisierung läuft in einer Zeitspanne von etwa 50 µs ab, woraus sich für
den LBE eine Grenzfrequenz von fGr ≈ 20 kHz ergibt. Oberhalb von fGr generieren
bisher gebräuchliche Sensoren kein technisch verwertbares Signal.
Da die Ummagnetisierung in LBE-Werkstoffen immer impulsartig stattfindet, wenn ein
äußeres Magnetfeld eine Frequenz f < fGr besitzt, ist dieser Effekt für die Nutzung in
magnetischen Sensoren geeignet. Bisher gebräuchliche Sensoren mit LBE-
Werkstoffen lassen sich in zwei Klassen einteilen: Sensoren ohne magnetisches Er
regerfeld und Sensoren mit magnetischem Erregerfeld.
Sensoren ohne magnetisches Erregerfeld werden auch als Impulsdrahtsensoren (DE Pat.-Nr. 37 29 949,
DE 41 07 847, DE 38 24 075, DE 34 06 871) bezeichnet.
Durch die Kopplung von Impulsdrahtsensoren mit Auswerteelektronik können Dreh
zahlmeßeinrichtungen (DE 90 14 753, DE 31 12 709) realisiert werden.
Durch die Verbindung des LBE mit anderen physikalischen Wirkprinzipien ist eine
größere Anzahl von Sensoren bzw. Vorrichtungen zum Patent angemeldet worden
(DE 38 17 704, DE 30 08 581, DE 30 08 582, DE 30 46 804, DE 30 08 526, DE 30 08 527,
DE 30 08 560, DE 30 08 561, DE 30 08 562, DE 30 08 581, DE 30 08 582, DE 30 08 583,
DE 32 25 499, DE 32 25 500, DE 3 42 419, DE 34 27 582, DE 36 37 320, DE 35 38 514).
Alle patentierten Lösungen weisen jedoch die Gemeinsamkeit auf, daß sie auf dem
vollständigen Ablauf des LBE, d. h. der vollständigen Ummagnetisierung beruhen und
damit nur bis zur Grenzfrequenz fGr des LBE einsatzfähig sind.
In Sensoren mit magnetischem Erregerfeld erfolgt eine ständige Ummagnetisierung
der BME durch das Magnetfeld einer Erregerspule mit der Erregerfrequenz fErr, wo
bei für die Erregerfrequenz wiederum die Bedingung für das Auftreten des LBE fErr <
fGr einzuhalten ist. Sensoren mit magnetischem Erregerfeld enthalten eine Sensor
spule. Die in dieser Sensorspule induzierte Spannung US besitzt Spannungsspitzen
infolge der Ummagnetisierung der BME in jeder Halbwelle. Durch ein äußeres Ma
gnetfeld können die Spannungsspitzen in jeder Halbwelle des Sensorsignals je nach
Orientierung des äußeren Magnetfeldes entweder verstärkt oder abgeschwächt wer
den. Durch die Überlagerung eines konstanten Magnetfeldes einer Arbeitspunktspule
kann der Arbeitspunkt der Sensoren eingestellt werden (DE 32 41 018, DE 37 18 857,
DE 40 37 052, DE 4 21 358).
Der magnetische Resonanzsensor unterscheidet sich in seiner Funktion von anderen
magnetfeldempfindlichen Sensoren, die ebenfalls einen Schwingkreis einsetzen (DE 82 27 446,
DE 83 16 996, DE 85 17 733, DE 90 10 779, DE 94 12 765), durch die Nutzung
eines BME als Kern der Sensorspule und die Möglichkeit, gleichzeitig Drehzahl so
wie Drehrichtung und Abstand des Magnetfeldes zum Sensor zu messen.
Ziel der Erfindung ist es, einen Sensor zu entwickeln, dessen Arbeitsfrequenz die im
Stand der Technik ausgewiesene Grenzfrequenz fGr der magnetischen Sensoren mit
BME als Kern deutlich überschreitet und dessen Ausgangssignal gleichzeitig Infor
mationen über Abstand, Drehzahl und Drehrichtung des Magnetfeldes enthält. Da
die Grenzfrequenz fGr des LBE durch objektive physikalische Prozesse festgelegt ist,
muß für die Sensorfunktion ein anderes physikalisches Prinzip genutzt werden.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch den magnetischen Resonanzsensor und
ein Verfahren zur Detektion der Lage und Lageänderung von mit Magnetfeldern
wechselwirkenden Objekten realisiert (Fig. 1).
Das Resonatorsystem (Sensor) besteht aus
- - einem bistabilen magnetischen Kern (1),
- - mindestens je einer Erreger- und Arbeitspunktspule (3, 4),
- - einem Hochfrequenzschwingkreis, aufgebaut aus mindestens einer Sensorspule (5) und mindestens einem Kondensator (6).
Zum Betreiben des Sensors sind außerdem erforderlich
- - ein Hochfrequenzgenerator (2),
- - eine Gleichspannungsquelle (8),
- - eine Auswerteelektronik (7).
Der Hochfrequenzgenerator (2) speist eine vorteilhaft sinusförmige Wechselspan
nung der konstanten Amplitude UErr und der konstanten Resonanzfrequenz fRes des
Hochfrequenzschwingkreises in die Erregerspule (3) ein. Solange ein äußeres Ma
gnetfeld am Sensorort eine für den Sensor charakteristische Schwellwertfeldstärke
HSchw nicht überschritten hat, induziert die Erregerspule über den bistabilen magneti
schen Kern (1) in der Sensorspule eine sinusförmige Spannungkonstanter Amplitude
und gleicher Frequenz. Über dem Hochfrequenzschwingkreis wird eine sinusförmige
Spannung der Resonanzfrequenz f mit konstanter Amplitude US als Sensoraus
gangsspannung abgenommen. Die Amplitude der Sensorausgangsspannung wird
durch die Amplitude UErr des Hochfrequenzgenerators (2) und die an der Ar
beitspunktspule (4) an liegende Gleichspannung UDC der Gleichspannungsquelle (8)
festgelegt. Überschreitet ein äußeres Magnetfeld den Wert HSchw, verschiebt sich der
Arbeitspunkt des Sensors in den steileren Bereich der Induk
tions-Feldstärke-Kennlinie (B=f(H)-Kennlinie) des bistabilen magnetischen Kerns,
ohne eine magnetische Sättigung oder Ummagnetisierung des Kernes zu bewirken.
In der Sensorspule (5) wird eine höhere Spannung induziert, was zu einem Anstieg
der Amplitude der Sensorausgangsspannung US führt. Unterschreitet das Magnet
feld den Wert HSchw wieder, kehrt der Sensor in den durch die Arbeitspunktspule (4)
festgelegten Arbeitspunkt zurück. Der Sensor gibt somit für die Dauer der Über
schreitung des Wertes HSchw ein impulsförmiges Signal ab, welches mit der Auswer
teelektronik (7) bewertet wird. Die Peakamplitude des Impulses UP ist unabhängig
von der zeitlichen Änderung des Magnetfeldes und nur abhängig von der maxima
len magnetischen Feldstärke Hmax am Sensorort, die Impulsbreite ist der Zeitdauer
der Überschreitung des Wertes HSchw proportional.
Die Sensorfunktion beruht auf folgenden physikalischen Vorgängen:
Die magnetischen Domänen der LBE-Werkstoffe sind auch bei hochfrequenten äu ßeren Erregermagnetfeldern mit fErr < fGr der Kraftwirkung des Erregermagnetfeldes ausgesetzt. Da jedoch die Periodendauer des hochfrequenten Erregerfeldes TErr < (1/fGr) ist, können die Domänen ihre Ausrichtung nicht vollständig ändern, sondern be ginnen aufgrund ihrer Vorzugsausrichtung mit der Frequenz fErr zu schwingen. Dieser kollektive Effekt ist auch bei fErr < 1 MHz noch beobachtbar. Bei magnetischen Werk stoffen mit ungeordneter Lage der Domänen ist das Schwingungsverhalten deutlich schlechter, da sich die Domänen gegenseitig behindern. Das kollektive Schwingen der magnetischen Domänen in LBE-Werkstoffen führt zu einer Schwingung der ma gnetischen Flußdichte B mit der Frequenz fErr. Aufgrund des Induktionsgesetzes wird in einer Sensorspule eine sinusförmige Spannung der Erregerfrequenz fErr indu ziert. Wird am Sensorort ein zusätzliches äußeres Magnetfeld dem Erregermagnet feld überlagert, kann sich je nach Orientierung des zusätzlichen Magnetfeldes auf grund der dadurch bedingten Verschiebung des Arbeitspunktes des Sensors in der B = f(H)-Kennlinie des LBE-Werkstoffes die Sensorausgangsspannung US erhöhen oder verringern. Die Änderung der Sensorausgangsspannung ist jedoch bei einem Sensor, der nur aus Erregerspule, Kern aus einem LBE-Werkstoff und Sensorspule besteht zu gering, um technisch genutzt werden zu können. Um einen meßtechnisch nutzbaren Effekt zu erzielen, muß deshalb die Sensorspule mit einem Kondensator C einen Schwingkreis bilden, dessen Resonanzfrequenz fRes = fErr ist. Durch die Nut zung der Resonanz werden die Änderungen des Signals der Sensorspule so ver stärkt, daß diese meßtechnisch auswertbar werden. Gestaltet man den Schwingkreis mit hoher Güte, was gleichbedeutend mit einer geringen Bandbreite ist, ist der Effekt der Signalverstärkung besonders ausgeprägt. Außerdem ist die Empfindlichkeit des Sensors gegen Störfelder aufgrund der geringen Bandbreite des Schwingkreises sehr klein.
Die magnetischen Domänen der LBE-Werkstoffe sind auch bei hochfrequenten äu ßeren Erregermagnetfeldern mit fErr < fGr der Kraftwirkung des Erregermagnetfeldes ausgesetzt. Da jedoch die Periodendauer des hochfrequenten Erregerfeldes TErr < (1/fGr) ist, können die Domänen ihre Ausrichtung nicht vollständig ändern, sondern be ginnen aufgrund ihrer Vorzugsausrichtung mit der Frequenz fErr zu schwingen. Dieser kollektive Effekt ist auch bei fErr < 1 MHz noch beobachtbar. Bei magnetischen Werk stoffen mit ungeordneter Lage der Domänen ist das Schwingungsverhalten deutlich schlechter, da sich die Domänen gegenseitig behindern. Das kollektive Schwingen der magnetischen Domänen in LBE-Werkstoffen führt zu einer Schwingung der ma gnetischen Flußdichte B mit der Frequenz fErr. Aufgrund des Induktionsgesetzes wird in einer Sensorspule eine sinusförmige Spannung der Erregerfrequenz fErr indu ziert. Wird am Sensorort ein zusätzliches äußeres Magnetfeld dem Erregermagnet feld überlagert, kann sich je nach Orientierung des zusätzlichen Magnetfeldes auf grund der dadurch bedingten Verschiebung des Arbeitspunktes des Sensors in der B = f(H)-Kennlinie des LBE-Werkstoffes die Sensorausgangsspannung US erhöhen oder verringern. Die Änderung der Sensorausgangsspannung ist jedoch bei einem Sensor, der nur aus Erregerspule, Kern aus einem LBE-Werkstoff und Sensorspule besteht zu gering, um technisch genutzt werden zu können. Um einen meßtechnisch nutzbaren Effekt zu erzielen, muß deshalb die Sensorspule mit einem Kondensator C einen Schwingkreis bilden, dessen Resonanzfrequenz fRes = fErr ist. Durch die Nut zung der Resonanz werden die Änderungen des Signals der Sensorspule so ver stärkt, daß diese meßtechnisch auswertbar werden. Gestaltet man den Schwingkreis mit hoher Güte, was gleichbedeutend mit einer geringen Bandbreite ist, ist der Effekt der Signalverstärkung besonders ausgeprägt. Außerdem ist die Empfindlichkeit des Sensors gegen Störfelder aufgrund der geringen Bandbreite des Schwingkreises sehr klein.
Wirkt kein äußeres Magnetfeld auf den Sensor ein, liefert er ein sinusförmiges Aus
gangssignal konstanter Grundamplitude UG mit der Resonanzfrequenz fRes des im
Sensor integrierten Schwingkreises. Bei Einwirkung eines Magnetfeldes mit der
Feldstärke H am Sensorort, wobei H größer sein muß als eine für den Sensorkern
charakteristische Schwellwertfeldstärke HSchw, liefert der Sensor für die Dauer der
Einwirkung des Magnetfeldes ein Impulssignal mit exponentiellen Flanken und der
Peakamplitude UP.
Aus der Breite der Hüllkurve des Impulssignals kann die Drehzahl, aus der Peak
amplitude der Abstand des Sensors zum Zentrum des Magnetfeldes ermittelt wer
den.
Der magnetische Resonanzsensor ist als Sensor für berührungslose Drehzahl-,
Drehrichtungs- und Abstandsmessungen sowie für die gleichzeitige Messung von
Drehzahl, Drehrichtung und Abstand einsetzbar. Abstands-, Drehrichtungs- und
Drehzahlmessungen können durch nichtmagnetische Werkstoffe mit einer Gesamt
dicke bis zu 5 cm ausgeführt werden. Die Gesamtdicke der nichtmagnetischen
Werkstoffe kann sich aus mehreren Komponenten zusammensetzen (z. B. Alumini
umgehäuse und Ölbad). Im Maschinen- und Motorenbau übliche Drehzahlen bis n≈10⁴/min
können gemessen werden. Der Sensor ist auch unter rauhen Umweltbedin
gungen einsetzbar (z. B. Verschmutzung der Oberflächen), bei denen optische Sen
soren nicht mehr funktionsfähig sind. Durch geeignete konstruktive Maßnahmen bei
der Gestaltung des Ansteuermagnetfeldes sind auch Drehwinkel meßbar.
Vorteilhafte Eigenschaften des Sensors liegen gegenüber Impulsdrahtsensoren in
der wesentlich höheren Arbeitsfrequenz des Sensors, die nicht durch den LBE be
grenzt wird. Der Sensor benötigt im Gegensatz zu den Impulsdrahtsensoren kein
Rücksetzmagnetfeld. Seine Ansprechzeit auf ein äußeres Magnetfeld kann abhängig
von der Güte des Resonanzschwingkreises deutlich unter der für den LBE charakte
ristischen Zeit von 50 µs liegen. Gegenüber Sensoren mit magnetischem Erregerfeld
zeichnet sich die Erfindung ebenfalls durch die höhere Arbeitsfrequenz und eine
einfachere Signalstruktur aus. Das mit der Erregerfrequenz modulierte Ausgangs
signal läßt sich elektronisch einfach verarbeiten. Wählt man z. B. die Erregerfrequenz
fErr = 1 MHz, kann man die die für die Drehzahlmessung erforderliche Zeitmessung
auf eine Auszählung der Periodenanzahl der Erregerfrequenz innerhalb der Einhül
lenden des Peaksignals des Sensors zurückführen.
Bei konstantem Abstand zwischen Sensor und Zentrum des Magnetfeldes ist die
Breite des Peaksignals der Drehzahl umgekehrt proportional. Deshalb kann aus der
Breite des Peaksignals die Momentandrehzahl ermittelt werden, während bei Senso
ren, die auf dem LBE beruhen, die Drehzahl nur aus der zeitlichen Abfolge von zwei
Peaks gemessen werden kann, was einer Mittelung entspricht.
Die Erfindung wird nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher beschrieben.
Fig. 1 zeigt dabei das Schaltbild der erfindungsgemäßen Anordnung.
Der magnetische Resonanzsensor besteht hierbei aus einer Erregerspule, einer
Sensorspule und einem gemeinsamen Kern, der ein mechanisch fixiertes BME ent
hält.
Die Erreger- und Sensorspule sind so auf dem gemeinsamen Kern angeordnet, daß
die Erregerspule in der Sensorspule ein Signal mit einer Grundamplitude von etwa
3 V-5 V induziert.
Der Arbeitspunkt des Sensors kann durch eine ebenfalls auf dem gemeinsamen Kern
angeordnete Arbeitspunktspule festgelegt werden, jedoch ist der Sensor auch ohne
Arbeitspunktspule funktionsfähig.
Die Induktivität LS der Sensorspule wird durch den Spulenaufbau festgelegt. Eine
mögliche Gestaltungsvariante der Sensorspule ist eine zylindrische Spule mit 1000
Wicklungen eines Kupferdrahtes mit 0,1 mm Durchmesser. Für Resonanzfrequen
zen fRes zwischen 500 kHz und 1 MHz sollte die Induktivität der Sensorspule zwischen
1 mH und 10 mH betragen.
Die Kapazität des Kondensators im Schwingkreis hängt von der gewünschten Reso
nanzfrequenz fRes des Sensors ab und ist nach der Schwingkreisformel von W.
Thomson
zu dimensionieren.
Die Gestaltung der Erregerspule richtet sich nach der gewünschten Ausgangsspan
nung des Sensors. Diese wird durch das Windungsverhältnis nErr/nS von Erreger
spule und Sensorspule festgelegt.
Zum Schutz des Sensors muß dieser von einem Gehäuse aus einem nichtmagneti
schen Werkstoff umgeben sein.
Die sinusförmige Erregerspannung UErr mit der Erregerfrequenz fErr, für die gilt: fErr =
fRes des Schwingkreises, wird durch einen Hochfrequenzgenerator erzeugt. Die zeit
lich konstante Amplitude der Erregerspannung sollte im Bereich 5 V-12 V liegen.
Das Ausgangssignal des Sensors muß elektronisch verarbeitet werden. Möglich sind
Demodulation, Peakdetektion und die Auswertung eines Schwellwertes oder mehre
rer Schwellwerte.
Bezugszeichenliste
1 bistabiler magnetischer Kern
2 Hochfrequenzgenerator
3 Erregerspule
4 der Erzeugung eines Magnetfeldes dienendes Mittel
4.1 Arbeitspunktspule
5 Sensorspule
6 Kondensator
7 Auswerteelektronik
8 Gleichspannungsquelle
2 Hochfrequenzgenerator
3 Erregerspule
4 der Erzeugung eines Magnetfeldes dienendes Mittel
4.1 Arbeitspunktspule
5 Sensorspule
6 Kondensator
7 Auswerteelektronik
8 Gleichspannungsquelle
Claims (3)
1. Magnetischer Resonanzsensor, gekennzeichnet dadurch, daß bei einem mit der
Resonanzfrequenz eines aus mindestens einer Sensorspule (5) und mindestens
einem Kondensator (6) bestehenden Hochfrequenzschwingkreises betriebenen
Erreger- und Resonatorsystem vorzugsweise mit einem der Erzeugung eines
Magnetfeldes dienenden Mittel (4) mindestens eine Erregerspule (3) und
mindestens eine Sensorspule (5) um einen gemeinsamen, ein- oder mehrteiligen,
bistabilen magnetischen Kern (1) vorzugsweise koaxial angeordnet sind.
2. Magnetischer Resonanzsensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß
das der Erzeugung eines Magnetfeldes dienende Mittel (4) vorzugsweise als
mindestens eine Arbeitspunktspule (4.1) ausgebildet ist.
3. Verfahren zur Detektion der Lage und Lageänderung von mit Magnetfeldern
wechselwirkenden Objekten, gekennzeichnet dadurch, daß
- a) ein Hochfrequenzgenerator eine vorzugsweise sinusförmige Wechselspannung einer konstanten Amplitude UHF und einer konstanten Resonanzfrequenz f eines aus mindestens einer Sensorspule (5) und mindestens einem Kondensator (6) bestehenden Hochfrequenzschwingkreises in eine Erregerspule (3) einspeist;
- b) der Arbeitspunkt eines Sensors nach den Ansprüchen 1. und 2. auf der Induktions-Feldstärke-Kennlinie (B = f(H)-Kennlinie) durch ein auf den Sensor einwirkendes Magnetfeld festgelegt wird;
- c) die Erregerspule (3) über einen bistabilen magnetischen Kern (1) in der Sensorspule (5) eine sinusförmige Spannung konstanter Amplitude UErr und der konstanten Resonanzfrequenz fRes des Hochfrequenzschwingkreises induziert, solange das äußere Magnetfeld am Sensorort eine für den Sensor charakteristische Schwellwertfeldstärke HSchw nicht überschreitet;
- d) der Sensor sich vor Überschreitung einer für den Sensor charakteristischen Feldstärke HSchw im Arbeitspunkt A auf der B = f(H)-Kennlinie befindet;
- e) der Sensor bei Überschreitung einer für den Sensor charakteristischen Feldstärke HSchw in den Arbeitspunkt B auf der B = f(H)-Kennlinie übergeht und sich dadurch die Amplitude UErr der Sensorspannung vergrößert;
- f) der Sensor bei erneuter Unterschreitung der für den Sensor charakteristischen Feldstärke HSchw wieder in den Arbeitspunkt A auf der B = f(H)-Kennlinie übergeht und sich dadurch die Amplitude UErr der Sensorspannung verkleinert;
- g) in einer Auswerteelektronik (7) die zur Detektion der Lage und Lageänderung von mit Magnetfeldern wechselwirkenden Objekten notwendigen Informationen aus der Sensorspannung gewonnen werden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995123373 DE19523373C2 (de) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | Magnetischer Resonanzsensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995123373 DE19523373C2 (de) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | Magnetischer Resonanzsensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE19523373A1 true DE19523373A1 (de) | 1997-01-09 |
DE19523373C2 DE19523373C2 (de) | 1999-08-26 |
Family
ID=7765382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995123373 Expired - Fee Related DE19523373C2 (de) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | Magnetischer Resonanzsensor |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE19523373C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19738841A1 (de) * | 1997-09-05 | 1999-03-11 | Hella Kg Hueck & Co | Induktiver Winkelsensor |
DE10160904A1 (de) * | 2001-12-12 | 2003-07-03 | Conti Temic Microelectronic | Sensorsystem zur Erfassung der Position von beweglichen Hydraulikelementen |
Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
EP1007909A1 (de) | 1996-12-27 | 2000-06-14 | Bic-Neisse GmbH | Magnetischer resonanzsensor |
Citations (2)
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---|---|---|---|---|
DE9412381U1 (de) * | 1994-08-01 | 1994-09-22 | Siemens AG, 80333 München | Magnetischer Näherungsdetektor |
DE19510519A1 (de) * | 1994-03-07 | 1995-10-05 | K Michel Sensorik Dr | Anordnung sowie Schaltungsanordnung zur Diagnose, Überwachung und/oder Steuerung von Energiewandlungssystemen |
-
1995
- 1995-06-29 DE DE1995123373 patent/DE19523373C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
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US6255810B1 (en) | 1997-09-05 | 2001-07-03 | Hella Kg Hueck & Co. | Inductive angle sensor having coupled oscillators with similar inductive response |
DE10160904A1 (de) * | 2001-12-12 | 2003-07-03 | Conti Temic Microelectronic | Sensorsystem zur Erfassung der Position von beweglichen Hydraulikelementen |
DE10160904B4 (de) * | 2001-12-12 | 2005-03-31 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Sensorsystem zur Erfassung der Position von beweglichen Hydraulikelementen |
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Publication number | Publication date |
---|---|
DE19523373C2 (de) | 1999-08-26 |
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Legal Events
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