DE19515172C1

DE19515172C1 - Verfahren zur Abscheidung von farbigen Schichten auf Substrate und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Info

Publication number: DE19515172C1
Application number: DE1995115172
Authority: DE
Inventors: Steffen Dr Jaeger; Guido Schultz
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 1995-04-25
Filing date: 1995-04-25
Publication date: 1996-06-13
Anticipated expiration: 2015-04-26

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Regelung/Steuerung der Abscheidung von farbigen Schichten auf Substraten, mit dem automatisch vorgegebene Farbwerte eingestellt werden können, und eine entsprechende Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Optische Meßverfahren werden in den letzten Jahren in zunehmendem Maße zur Steuerung und Regelung von Be schichtungsprozessen genutzt. Dabei konzentrieren sich die Meßverfahren auf eine "passive Prozeßüber wachung bzw. Qualitätskontrolle". Diese Verfahren haben bei der Abscheidung von dielektrischen Viel schichtsystemen in der Dünnschichtoptik (interfer renzbasierte optische Funktionsschichten, Filter, Spiegel, Strahlteile etc.) Verbreitung gefunden (H. H. Bauer und E. Nüssler, SPIE Vol. 2253 (1994) 423).

Bei diesen bekannten Verfahren werden die Transmis sions- und/oder Reflektionswerte der Schichten on- line ermittelt und mit einem vorgegebenen Muster (z. B. aus Modellrechnungen) verglichen. Die eigentli che Prozeßregelung beschränkt sich dabei auf die Ein haltung der vorgegebenen optischen Dicke der jeweilig abzuscheidenden Einzelschichten des Vielschichtpake tes. Das Funktionieren dieses Regelungskonzeptes setzt aber voraus, daß nahezu keine Änderung der op tischen Eigenschaften der jeweiligen Schichtmateria lien während des gesamten Abscheidungsprozesses auf treten. Dies ist jedoch mit einem erheblichen techno logischen und somit auch finanziellen Aufwand verbun den.

Ein weiteres Anwendungsgebiet für on-line-Meßverfah ren ist die optische Emissionsspektroskopie. Sie wird vorwiegend bei reaktiv geführten Beschichtungsverfah ren (z. B. Sputterverfahren) oder auch Plasma-Ätzpro zessen eingesetzt und dient dabei meist der Arbeits punktstabilisierung bzw. der Endpunktbestimmung (S. Schiller, U. Heisig, Chr. Korndörfer, J. Strümp fel und V. Kirchhoff; Progress in the application of Plasma Emission Monitor in Web Coating. Pres. at 2nd Int. Conf. on Vac. Web Coating, Oct. 1988, Fort Lauder dale, Florida, USA).

Insbesondere bei der Herstellung von farbigen Schich ten auf Substraten z. B. durch Aufdampfen von zwei Farbstoffen oder eines Farbstoffes und eines Dielek trikums ist zusätzlich zu beachten, daß die optischen Eigenschaften und somit die Farbkoordinaten von orga nischen Farbstoff/Dielektrikum/Komposit-Schichten in komplexer Weise von verschiedenen Prozeß- und vor allem Schichtparametern beeinflußt wird.

Siehe hierzu S. Jäger, F. Neumann and C.-P. Klages, "Investigation on the Preparation and Properties of Organic Dye/Metal Oxide Composite Thin Films "SPIE Vol. 2253 (1994) 512 sowie die DE 43 41 162, "Farbige Schichten", S. Jäger, F. Neumann and C.-P. Klages. So führen unterschiedliche Farbstoffkonzentrationen im Composit aufgrund des "Dye-Size-Effektes" zu einer Modifizierung der Absorption im sichtbaren Spektral bereich. Ähnliche Erscheinungen sind auch bei der gleichzeitigen Mischung verschiedener Farbstoffpig mente untereinander und im Composit zu beobachten. Die selektive Absorption bei derartigen Schichten wird zusätzlich von Interferenzerscheinungen überla gert. Zwar sind ihre Auswirkungen gering, so daß kei ne grundlegende Änderung der Farbe eintritt, aber dennoch sind sie im direkten visuellen Vergleich sichtbar und deshalb nicht zu vernachlässigen. Daher ist es bei der Herstellung von derartigen farbigen Schichten nahezu unmöglich, einerseits die exakten optischen Schichteigenschaften bzw. Farbwerte auf der Grundlage von Modellrechnungen vorherzusagen, und an dererseits einen mathematisch ausformulierten und hinreichend genauen Regelalgorithmus zu generieren.

Ausgehend hiervon, ist es deshalb die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, für ein Herstellungsverfahren von vorstehend beschriebenen farbigen Schichten auf Substraten ein Regelkonzept und eine entsprechende Vorrichtung anzugeben, mit dem es möglich ist, ein fach, schnell und kostengünstig vorgegebene Farben zu realisieren.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß in bezug auf das Verfahren durch die kennzeichnenden Merkmale des An spruches 1 und in bezug auf die Vorrichtung durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 8 gelöst. Die Unteransprüche zeigen vorteilhafte Weiterbildungen auf.

Erfindungsgemäß wird demnach so vorgegangen, daß die gewünschte Farbe in Form von einem anvisierten Farb wert (Soll-Farbwert) durch ein on-line-geregeltes Schichtwachstum realisiert wird. Beim erfindungsgemä ßen Regelkonzept wird dabei so vorgegangen, daß wäh rend des Schichtwachstums laufend die Intensität ge messen und in einem Rechner in Farbwerte umgewandelt wird. Mit diesen Farb-Ist-Werten wird dann ein Ver gleich mit dem in den Rechner eingegebenen Soll-Farb wert vorgenommen. Der Rechner steuert dann in Abhän gigkeit der gemessenen Ist-Farbwerte von den Soll-Farbwerten die Verdampfereinheiten. Durch ein exakt geregeltes an- und abschalten wird somit eine Annähe rung an den Soll-Farbwert realisiert, bis dieser er reicht ist. Das erfindungsgemäße Verfahren bietet dabei folgende Vorteile:

1. Sicherstellung einer hohen Reproduzierbarkeit des Beschichtungsprozesses und somit der Schichteigenschaften (Farbwerte)
2. Allgemeingültiges Regelungskonzept; prinzipiell anwendbar auf alle selektiv absorbierenden Schichtmaterialien bzw. entsprechende Kombina tionen mit transparenten anorganischen Materia lien, bei denen die Farbwerte die eigentliche Zielgröße darstellen,
3. praktische Realisierung einer großen Variabili tät der erreichbaren Farbtöne,
4. On-line-Meßwerterfassung der eigentlich inter essierenden Größe (Zielgröße),
5. intelligentes System; das Regelungs- und Steue rungssystem ist selbständig und ohne Vorgabe eines definierten Prozeßablaufes in der Lage, die Zielgröße zu realisieren,
6. ein aufwendiges und kostenintensives Screening der anvisierten Farbwerte in Vorversuchen ent fällt,
7. das Verfahren benötigt keine weiteren aufwendi gen Meßsysteme und gestattet darüber hinaus, Prozeßschwankungen bzw. Toleranzen auszuglei chen,
8. es erlaubt die Realisierung einer homogenen, großflächigen Beschichtung durch die Implemen tierung gleichzeitig mehrerer optischer Meßstel len sowie entsprechend geformter Abschirmbleche.

Der Anwendungsbereich des erfindungsgemäßen Regelkon zeptes erstreckt sich dabei auf alle Verfahren und Prozesse, bei denen die Farbkoordinaten in Kombina tion mit selektiv absorbierenden Materialien relevant sind, wie z. B. bei der dekorativen Oberflächenverede lung hochwertiger Konsumgüter von Uhren, Schmuckarti keln, Brillenteilen, Lampen, Reflektoren oder Fil tern.

Bevorzugt wird dabei das Verfahren so betrieben, daß dem Rechner, außer den Sollwerten für die anzustre bende Farbe, auch für jede abzuscheidende Farbe ein Farbraum (Trajektoren), dessen Schranken durch empi risch ermittelte Farbwerte festgelegt sind, vorgege ben wird. Es hat sich nämlich gezeigt, daß es anson sten zu unkorrigierbar falschen Farben kommen kann. Die Ist-Farbwerte können sich dabei beliebig in dem von den empirisch ermittelten Schranken aufgespannten Farbgebiet bewegen. Bei dieser Ausführungsform dienen einerseits die in kurzen Zeitabständen (wenigen Se kunden) gemessenen Farbwerte vorerst der laufenden Positionsbestimmung im Farbraum. Andererseits stellen sie sicher, daß die genannten Trajektorien nicht überschritten werden. Durch die laufende Positions bestimmung kann man sich nun schrittweise an bzw. zwischen diesen Grenzen bis zum Soll-Wert hintasten. Dies ist günstiger, weil mit zunehmender Annäherung an die Zielfarbe die Korrigierbarkeit immer kleiner wird, also die Schranken immer enger werden, bis sie sich in der Soll-Farbe treffen.

Wie vorstehend bereits ausgeführt, kann das erfin dungsgemäße Regelungskonzept auf der Auswertung der Transmission oder der Reflektionswerte basieren. Be vorzugt ist es jedoch, wegen der einfachen Justage die Transmissionswerte zu verwenden. Das erfindungsgemäße Verfahren sieht auch bei Verwendung kompliziert ge stalteter Bauteile bzw. lichtundurchlässiger Substra te (z. B. metallische Substrate) vor, die Messung ent weder auf einem Referenzsubstrat oder auch in Reflexion vorzunehmen. Durch den Einsatz eines Referenzsy stems ist es möglich, parasitäre Lichtschwankungen der Lichtquelle sowie mitunter zeitlich veränderli ches Störlicht innerhalb des Rezipienten (Strahlung der Elektronenstrahlverdampfer, Streustrahlung, Un tergrund) zuverlässig zu messen und für eine numeri sche Korrektur der eigentlichen Transmissions- bzw. Reflektionswerte bereitzustellen.

Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich vor allem zur Herstellung von organischen Farbstoff-Dielektrik-Composit-Schichten, wobei gleichzeitig mehrere ver schiedene Farbstoffe in die dielektrische Matrix ein gelagert werden können. Ein derartiges Verfahren ist z. B. in der DE 43 41 162 beschrieben.

Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens. Die Vorrichtung besteht aus mindestens einem Rezi pienten, einer externen Lichtquelle, einem Detektor und einem Rechner, wobei sowohl der Detektor wie auch die Lichtquelle über Lichtleitkabel mit dem Rezipien ten verbunden sind. Der Rechner seinerseits steht so mit dem Rezipienten in Verbindung, daß die Verdamp fereinheiten regelbar sind. Der Aufbau des Rezipien ten als solches ist bereits aus dem Stand der Technik bekannt. Bevorzugt wird bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung als Lichtquelle eine Kombination aus Deu terium- und einer Halogenlampe eingesetzt. Es hat sich weiterhin als günstig erwiesen, wenn das in den Rezipienten der Vakuumsbeschichtungsanlage eingeführ te Licht aus annähernd parallelen Lichtbündeln be steht, die dann in einem Winkel von 0 bis 45° auf das Substrat geführt sind. Besonders bevorzugt ist hier bei ein Winkel < 10°. Das transmittierte bzw. re flektierte Licht wird aus dem Rezipienten mittels einer fokussierenden Optik auf den detektorseitigen Lichtleiter abgebildet und in ein Detektorsystem, bestehend aus Gittermonochromator und CCD-Array, ein gekoppelt. Die Ansteuerung des Detektorsystems sowie das Auslesen der Intensitätswerte kann über einen Controller und eine entsprechende Software erfolgen.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorzüge der Erfin dung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung anhand der Zeichnungen sowie eines Ausführungsbei spieles. Hierbei zeigen:

Fig. 1 den schematischen Aufbau einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens,

Fig. 2a die Anordnung des optischen Meßsysteminre zipienten und

Fig. 2b eine Anordnung nach Fig. 2a, jedoch mit ei nem Referenzmeßkanal,

Fig. 3 das allgemeine Regelkonzept,

Fig. 4 den Nachweis der Wegeunabhängigkeit des Regelungskonzeptes, und

Fig. 5 den Ablauf der Regelung im XY-Farbraum am Beispiel der Abscheidung zweier Farbstoffe.

Fig. 1 zeigt den schematischen Aufbau einer Ausfüh rungsform in bezug auf die Vorrichtung zur Durchfüh rung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Die externe Lichtquelle 1 und der Detektor 3 sind über Lichtleit kabel 4, 5 mit dem Rezipienten 2 verbunden, indem die Verdampfereinheiten 7 angeordnet sind. Bevorzugt wer den dabei als externe Lichtquelle 3 eine Kombination aus einer Deuterium- und Halogenlampe eingesetzt. Der Aufbau des Rezipienten 2 entspricht dabei im wesent lichen den bereits aus dem Stand der Technik bekann ten Hochvakuumanlagen. Die Schichten werden dabei mittels thermischer oder Elektronenstrahlverdampfung aufgebracht. Ein zusätzlicher Ionenbeschuß während des Schichtwachstums ist ebenfalls möglich.

Als Schichtmaterialien werden organische Farbstoffe (z. B. Phthalocyanine, Perinone, Chinacridone, Pery lenfarbstoffe etc.) sowie im sichtbaren Spektralbe reich transparente anorganische Matrixmaterialien (z. B. SiO₂, Al₂O₃, ZrO₂ sowie weitere Oxide, Nitride, Oxynitride etc.) verwendet.

Die Verdampfer sind dabei so am Rezipienten 2 ange ordnet, daß am Substrat 20 über einen Durchmesser von 5′′ . . . 6′′ eine homogene Beschichtung realisiert wird. Über den Verdampfereinheiten können zusätzliche Abdeckblenden (nicht abgebildet) angebracht werden, um einer seits vor dem Verdampfungsprozeß stabile und reprodu zierbare Bedingungen einstellen und andererseits eine alternierende Beschichtung realisieren zu können. Durch spezielle Schutzbleche werden die Quellen ge geneinander abgeschirmt. Darüber hinaus sind mehrere Sensorköpfe zur Überwachung und Regelung der Abscheideraten der verschiedenen Verdampfungsmaterialien, deren Schichtzusammensetzung sowie der entsprechenden Schichtdicken installierbar.

Als Standardsubstrate eignen sich besonders Quarz, Corning-Glas sowie verschiedene Metallunterlagen (prinzipiell ist jedes Substrat verwendbar). Die Sub strattemperatur läßt sich dabei in Abhängigkeit vom verwendeten Substratmaterial von Zimmertemperatur bis ca. 350°C variieren.

Der Detektor 3 in Fig. 1 steht dann seinerseits mit dem Rechner 6, der hier aus einem Controller 8 und einer entsprechenden Software 9 besteht, in Verbin dung.

Fig. 2a und 2b zeigen zwei Ausführungsformen, wie das optische Meßsystem im Rezipienten 2 angeordnet sein kann. In der Ausführungsform nach Fig. 2a besteht der Rezipient 2 aus einer Verdampfereinheit 7 und einem Substrathalter 11 mit Substrat. Das von der externen Lichtquelle 1 (nicht abgebildet) kommende Licht wird über ein Lichtleitkabel 5 und eine Durchführung 13 in den Rezipienten 2 eingekoppelt. Es ist hierbei bevor zugt, wenn mehrere verschiedene Quarzlichtleitfasern verwendet werden. Durch eine spezielle Optik 10 wird ein nahezu paralleles Strahlenbündel erzeugt und in einem Winkel von ca. 8° auf das zu beschichtende Sub strat 11 geführt. Das während des Schichtwachstums vom Substrat 11 transmittierte Licht wird in einen Meßkanal 15 geleitet, der seinerseits über eine Durchführung 14 über das Lichtleitkabel 4 mit dem Detektor 3 (nicht abgebildet) verbunden ist.

Fig. 2b zeigt nun eine Ausführungsform analog Fig. 2a, jedoch mit einem zusätzlichen Referenzkanal 16. Der Referenzkanal 16 steht seinerseits über eine Durch führung 17 ebenfalls mit dem Detektor 3 in Verbin dung. Dadurch ist es möglich, parasitäre Lichtschwan kungen der Lichtquelle sowie mitunter zeitlich ver änderliches Störlicht innerhalb des Rezipienten 2 zu verlässig zu messen und für eine numerische Korrektur der eigentlichen Transmissionswerte bereitzustellen. Die Referenzquarzfaser 19 ist dabei ähnlich dem Meß kanal 15 innerhalb des Rezipienten 2 positioniert.

Fig. 3 zeigt nun das allgemeine Regelkonzept mit den entsprechenden organisatorischen und zeitlichen Zu sammenhängen. Dabei bedeuten: SM Schichtmaterial (z. B. organischer Farbstoff auch in Kombination mit transparenten Metalloxyden) und XYZ-Lab die Farbmaß zahlen, nach dem CIELab-Farbsystem. Die Realisierung eines derartigen Regelkonzeptes ist des halb möglich, weil die farbliche Auswirkung einer aufzubringenden Schicht in hinreichend kleinen Gren zen gut abschätzbar ist und durch die Kombination zweier oder mehrerer Schichtkomponenten (z. B. ver schiedene Farbstoffe, unterschiedliche Composite), in einem bestimmten Bereich der Farbtafel, nahezu jede Farbe erreichbar ist. Es hat sich weiter gezeigt, daß eine Farbe innerhalb dieses Bereiches auch auf ver schiedenen Wegen zu erreichen ist (vgl. Fig. 4). Auch kann in gewissen Schranken eine bereits erzielte Far be in eine andere korrigiert werden. Voraussetzung hierbei ist allerdings ein häufiger Soll-Ist-Ver gleich und somit eine hohe Dynamik des Meßsystems.

Fig. 5 zeigt den Ablauf der Regelung im XY-Farbraum am Beispiel der Abscheidung zweier Farbstoffe. Hier bei wurde als konkretes Ziel vorgegeben, durch die Mischung zweier beliebiger Farbstoffe (hier blau und gelb) einen definiert vorgegebenen Farbeindruck (grün) in der abgeschiedenen Schicht zu realisieren (Soll-Wert).

Es wurde dabei wie folgt vorgegangen:

1. Evakuieren des Rezipienten
2. Vorheizen der beiden thermischen Verdampferschiff chen bei geschlossener Abdeckblende bis zur Sublima tion der Pigmente
3. Inbetriebnahme des optischen Meßsystems
4. Eingabe der Farbkoordinaten der anzustrebenden Schichtfarbe, d. h. der zu realisierenden Farbe grün sowie des zulässigen Farbgebietes (Lage der Schranken, Trajektorien)
5. Beginn der Beschichtung (Öffnung der Abdeckblenden und der optischen in-situ-Messung
6. Beginn der automatischen Prozeßregelung entspre chend dem Regelkonzept nach Fig. 3.

Die eingegebenen Farbwerte in bezug auf die Zielfarbe sowie die Schranken der Trajektorien sind aus Fig. 5 zu erkennen. Die Zielfarbe (Soll-Wert) ist durch den Pfeil mit der Bezeichnung "Ziel" markiert. Die jewei ligen Trajektorien für die Einzelfarben sind durch entsprechende Geraden symbolisiert. Erfindungsgemäß werden dabei unter den Farbwerten Farbmaßzahlen im XYZ- oder CIELab-Farbraum nach DIN 5033 verstanden.

Wie Fig. 5 zeigt, bewegt man sich durch die gleichzei tige Abscheidung der beiden Farbstoffe ungefähr auf die Zielfarbe zu. Dabei ist es nicht erforderlich, ein festes Konzentrationsverhältnis für die beiden Materialien technologisch einzuhalten. Die Farbwerte können sich dabei beliebig in dem von den empirisch ermittelten Schranken aufgespannten Farbgebiet bewe gen. Einerseits dienen die in kurzen Zeitabständen gemessenen Farbwerte vorerst der laufenden Positions bestimmung im Farbraum. Andererseits stellen sie si cher, daß die genannten Trajektorien nicht über schritten werden, da die Farbe sonst unkorrigierbar falsch werden könnte. Durch die laufende Positions bestimmung kann man sich nun schrittweise an bzw. zwischen diese Grenzen bis zum Soll hintasten. Soll te, wie in Fig. 5 dargestellt, sich der Farbwert der Schicht zu stark den Trajektorien (in diesem Beispiel zu viel gelb) nähern, wird die thermische Verdampfung des Gelbfarbstoffes vorerst mittels Abdeckblenden oder vor übergehendem Abschalten des Verdampfers unterbunden (Schaltpunkt). Die Farbwerte bewegen sich nun bis zum Erreichen der Zielgröße auf oder parallel zu der Tra jektorie. Sollte sich nun durch unvorhergesehene technische Störungen der Farbwert von der Schranke wegbewegen, so würde die Regelung von vorne beginnen. Mit Erreichen des Trajektorienschnittpunktes ist dann die Vorgabe erfüllt und der Prozeß wird beendet. Das Ende der Beschichtung ist dann erreicht.

Für das vorstehend beschriebene Beispiel wurden fol gende Werte erhalten.

In zahlreichen Versuchen hat es sich gezeigt, daß die Sollwerte ohne weitere Optimierung des Prozesses durch Einsatz des vorstehend beschriebenen Regelungs konzeptes gut reproduziert werden. Es konnten im vi suellen Vergleich keine Unterschiede beobachtet wer den. Die nach DIN 6175 berechnete Genauigkeit der Farbreduzierbarkeit E_a,b erreicht dabei einen Wert von 1,1 und ist mit industriellen Reparaturlackierungen vergleichbar.

Claims

1. Verfahren zur Abscheidung von farbigen Schichten auf Substraten mit einem Rezipienten im Vakuum durch gleichzeitiges Aufdampfen mindestens zwei er organischer, verdampfbarer bzw. sublimierba rer Farbstoffe oder eines Dielektrikums und min destens eines Farbstoffes, aus getrennten Auf dampfquellen (Verdampfungseinheiten), dadurch gekennzeichnet,

a) daß Licht aus einer externen Lichtquelle in den Rezipienten eingekoppelt und auf das Substrat geführt wird,
b) daß während des Schichtaufbaus das trans mittierte und/oder reflektierte Licht aus dem Rezipienten in einen Detektor geführt wird,
c) daß der Detektor mit einem Rechner ver knüpft wird, in den die Intensitätswerte in Farb-Ist-Werte umgewandelt werden,
d) daß der Rechner die Verdampfereinheiten in Abhängigkeit der Farb-Ist-Werte von einem dem Rechner eingegebenen Farb-Soll-Wert regelt, bis dieser erreicht ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die aufzubrin genden Farbstoffe über empirisch ermittelte Schranken, in Form von Farbwerten, zulässige Farbbereiche dem Rechner vorgegeben werden, die von den Farb-Ist-Werten nicht überschritten wer den dürfen.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelung über das transmittierte Licht erfolgt.

4. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich ein Re ferenzsystem eingesetzt wird.

5. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Licht beim Ver fahrensschritt A ein nahezu paralleles Strahlen bündel eingesetzt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das parallele Strah lenbündel in einem Winkel von 0 bis ca. 45° auf das Substrat geführt wird.

7. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das transmittierte und/oder reflektierte Licht mittels einer fokus sierenden Optik aus dem Rezipienten geführt wird.

8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 7, bestehend aus einem Rezipienten (2), einer ex ternen Lichtquelle (1), einem Detektor (3) und einem Rechner (6).

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle eine Kombination aus einer Deuterium- und Halogenlam pe ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampferein heit (7) im Rezipienten (2) vom Rechner (6) regelbar/steuerbar ist.

11. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die parallele Aus richtung des Strahlenbündels mittels einer Optik erfolgt.

12. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das transmittierte und/oder reflektierte Licht mittels einer fokus sierenden Optik auf den detektorseitigen Lichtleiter abbildbar und in den Detektor (3) einkoppelbar ist.

13. Vorrichtung nach mindestens einem oder Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (3) aus einem Gittermonochromator und einem CCD-Ar ray besteht.