DE1942921B2 - Verfahren zur herstellung einer elektrodeneinheit fuer funkerosion - Google Patents

Description

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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Elektrodeneinheit für Funkenerosion aus mehreren, übereinandergeschichteten Lagen von Tantal mit metallischen Zwischenschichten, die den Abstand der Tantal-Lagen bestimmen und abschließend am Elektrodenarbeitsende bis zu einer bestimmten Tiefe durch Ätzen entfernt werden.

Zur funkenerosiven Herstellung einer Anzahl von in genau bestimmten Abständen nebeneinander liegenden öffnungen genau bestimmte." Abmessungen, beispielsweise paralleler Schlitze in einer Metallplatte benutzt man mit Erfolg Elektrodeneinheiten, wobei die einzelnen Elektroden mit abstandbestimmenden Zwischenschichten zu einem Paket vereinigt sind.

So ist es bekannt (»Neues aus der Technik« vom 1.9.1966, S. 4), einen versilberten Wolframdraht auf einen Kern zu wickeln, wobei die Dicke der Silberschicht den Elektrodenabstand bestimmt, dann das Ganze in einer reduzierenden Atmosphäre auf 800¹ C zu erhitzen, bis die Silberschichten durch Diffusion miteinander verbunden sind und schließlich das Ganze durchzusagen und das Silber durch Ätzen über einen bestimmten Abstand zu entfernen. Die vorspringenden Wolframenden eines so hergestellten Paketes bilden dann die Elektroden, durch die gleichzeitig eine große Anzahl von Löchern durch Funkenerosion in einer Metallplatte angebracht werden kann.

Noch besser als Wolfram ist jedoch Tantal als Funkenerosionselektrode geeignet. Das beschriebene, bekannte Verfahren läßt sich aber nicht ohne weiteres zur Herstellung von Tantal-Elektroden anwenden, da die Silberzwischenschichten im Tantal gelöst werden würden und sich damit der Abstand zwischen den Elektroden ändern würde.

Es ist bekannt (GB-PS 10 32 470) Tantal-Elektroden für Funkenerosion zu verwenden, bestehend aus mehreren übereinandergeschichteten Lagen von Tantal mit metallischen Zwischenschichten, die den Abstand der Tantal-Lagen bestimmen und die bis zu einer bestimmten Tiefe durch Ätzen entfernt werden. Die übereinandergeschichteten Tantal-Lagen bestehen aus einem Wickel und die Zwischenschichten aus einem geeigneten Material, vorzugsweise Kupfer. Der Wickel

wird durch einen Klemmring zusammengehalten.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer Elektrodeneinheit für Funkenerosion der eingangs genannten Art zu schaffen, die kompakt aufgebaut ist bei der der Abstand zwischen den Elektroden durch die Dicke der Zwischenschichten bestimmt wird, und für die kein Klemmring erforderlich

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Zwischenschichten aus Molybdän bestehen, daß zwischen den Tantal-Lagen und den Molybdänschichten Silberschichten eingefügt werden, und daß das fertige Paket in einer inerten Atmosphäre unter Druck erhitzt wird, bis das Silber schmilzt und ganz in die Poren der Elektroden- und der Zwischenschichten eindringt und diese miteinandei verbindet.

Die Erhitzung muß in einer inerten Atmosphäre erfolgen, da bei Erhitzung in Wasserstoff Tantal pulverisiert wird. Die Silberschicht wird in Form einer Folie angebracht. Das überschüssige Silber wird während der Erhitzung seitlich zwischen den Elektroden aus dem Paket herausgedrückt. Man kann auch von Tantal-Stäben oder -Streifen ausgehen, die durch versilberte Molybdänstreifen in einem Abstand voneinander gehalten werden. Da das Silber bei Erhitzung in die Poren der Tantal-Elektroden und der Molybdänstreifen eindringt und das überschüssige Silber seitlich aus dem Paket herausgedrückt wird, muß die Dicke der Molybdänschichten dem richtigen gegenseitigen Abstand zwischen den Tantal-Elektroden entsprechen. Die Silberschichten dienen dazu, die Elektroden, d. h. die Tantal-Lagen und die Zwischenschichten, d. h. die Molybdänschichten durch Löten miteinander zu verbinden. Das Silber wird beim Ätzen aus der silberhaltigen Tantaloberfläche entfernt, so daß es die Eigenschaften des Tantals als Funkenelektrode nicht beeinträchtigen kann.

Nach dem Löten wird das Paket gefräst oder gesägt, und da·; Molybdän der Zwischenschichten durch Ätzen mit einem Salpetersäure-Schwefelsäure-Gemisch, wie es zum Lösen von Molybdän üblich ist, über einen bestimmten Abstand entfernt. Es zeigt sich, daß dabei auch das Silber aus der Tantaloberfläche gelöst wird.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert.

Die Figur der Zeichnung zeigt in perspektivischer Ansicht die Elektrodeneinheit, bei der die Zwischenschichten bereits teilweise weggeätzt sind.

In der Figur sind mit 1 die Tantalelektroden in Form von Streifen und mit 2 die Molybdänzwischenschichten bezeichnet. Die Silberschichten 3 sind vollständig in die Poren der Elektroden 1 und der Zwischenschichten 2 eingedrungen und somit als solche nicht mehr vorhanden. Der Abstand zwischen den Elektroden 1 wird somit lediglich durch die Dicke der Molybdänzwischenschichten 2 bestimmt.

Mit Hilfe der dargestellten und beschriebenen Elektrodeneinheit kann z. B. durch Funkenerosion in einer Metallplatte ein Schlitzgitter angebracht werden. Es sei noch bemerkt, daß die Abmessungen jeder so hergestellten öffnung in der Metallplatte in jeder Richtung etwa 5 μιη größer sind als der Querschnitt jeder Elektrode 1.

Hierzu 1 Blatt Zeichniaigen

Claims (1)

1. Patentanspruch:

   Verfahren zur Herstellung einer Elektrodeneinheit für Funkenerosion aus mehreren, übereinander geschichteten Lagen von Tantal mit metallischen Zwischenschichten, die den Abstand der Tantal-Lagen bestimmen und abschließend am Elektrodenarbeitsende bis zu einer bestimmten Tiefe durch Ätzen entfernt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschichten aus Molybdän bestehen, daß zwischen den Tantal-Lagen und den Molybdänschichten Silberschichten eingefügt werden, und daß das fertige Paket in einer inerten Atmosphäre unter Druck erhitzt wird, bis das Silber schmilzt und ganz in die Poren der Elektroden- und der Zwischenschichten eindringt und diese miteinander verbindet.