DE1915150A1 - Fluid seal - Google Patents

Fluid seal

Info

Publication number
DE1915150A1
DE1915150A1 DE19691915150 DE1915150A DE1915150A1 DE 1915150 A1 DE1915150 A1 DE 1915150A1 DE 19691915150 DE19691915150 DE 19691915150 DE 1915150 A DE1915150 A DE 1915150A DE 1915150 A1 DE1915150 A1 DE 1915150A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chamber
oil
packing member
packing
vacuum chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19691915150
Other languages
German (de)
Inventor
Yoshihio Shimula
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rigaku Denki Co Ltd
Original Assignee
Rigaku Denki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rigaku Denki Co Ltd filed Critical Rigaku Denki Co Ltd
Publication of DE1915150A1 publication Critical patent/DE1915150A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/16Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/40Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)
  • Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
  • Sealing Of Bearings (AREA)

Description

DR.-ING. H. FlNCKSDR.-ING. H. FlNCKS

DIPL.-ING.H.BOHR « .DIPL.-ING.H.BOHR «.

DlPL.-lVlG. S. STAEGER L α DlPL.-lVlG. S. STAEGER L α Beschreibung M 7943Description M 7943

zum Patentgesuchto the patent application

dtr Firma RIGAKTJ DEHKI COMPANY LIMITSD, Tokio/Japandtr company RIGAKTJ DEHKI COMPANY LIMITSD, Tokyo / Japan

betreffendconcerning

FLUIBDICHTUHGFLUIBDICHTUHG

#»*
PRIORITÄT: 25. März 1968 - JAPAH
# »*
PRIORITY: Mar 25, 1968 - JAPAH

Die Erfindung betrifft eine yiuiddiobtung für eine mit hoher Drehzahl rotierende,, durch eine Wandung einer Vakuumkammer verlaufende Welle.The invention relates to a yiuiddiobtung for one with high speed rotating ,, through a wall of a Vacuum chamber extending shaft.

O-Ringe oder dynamische Dichtungen werden allgemein verwendet, um Lecketeilen für Luft längs der Welle zu der Yakuuokamaer zu vermeiden, was jedoch sehr schwierig iat. Pur dynamische Dichtungen werden Natürgummi und Synthetlkguomi alö Packungesaterial verwendet. Ic solchen Dichtungen ist kein Schmiermittel vorgesehen, was au dea Nachteil einer starken gleitenden Reibung swischen der Packung und der rotierenden Welle führt.O-rings or dynamic seals are commonly used to lick parts for air along the shaft to the Yakuuokamaer to avoid, but this is very difficult. Pure dynamic seals are made of natural rubber and synthetlkguomi alö packing material used. Ic such seals is no lubricant provided, which also has the disadvantage of strong sliding friction between the packing and the rotating one Wave leads.

Se Bind Dichtungen bekannt, bei denen Schnieraittel ursprünglich in das Lager eingebracht und über die geaaste Lageratandzeit dort gehalten wird, während gleichzeitig der Eintritt von Luft in die Vakuumkammer durch die Dichtungen verhindert wird. Bei solchen Anordnungen wird allgemein Fett als Schmiermittel verwendet. Be ergab sich, dass bei Verwendung vofi Fett als Schmiermittel für solche Dichtungen beiSe bind seals are known in which Schnieraittel originally brought into the camp and over the geaaste storage time is held there while at the same time preventing air from entering the vacuum chamber through the seals will. Such arrangements generally become fat used as a lubricant. It was found that when using grease as a lubricant for such seals

S09843/1 181S09843 / 1 181

BAD ORJGtNAL BAD ORJGtNAL

Drehung der Welle mit hoher Drehzahl Lufträume oder Spiel in dem Fett hervorgerufen werden, und dieee Zwischenr&uee ermöglichen den Eintritt von Luft in die Vakuumkammer.Rotation of the shaft at high speed. Air spaces or play in which fat is produced, and the intermediate space allow air to enter the vacuum chamber.

Hauptzweck der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung einer verbesserten Dichtung zur Vermeidung der erwähnten Nachteile. Erreicht wird dies bei einer Dichtung für eine oit hoher Drehzahl rotierende, durch die Wandung einer Vakuumkammer verlaufende Welle durch ein erstes und zweites Packungeglied, welche zwischen sich eine erste Kammer bilden, die mit Öl von niedriger Viskosität unter Atmosphärendruck gefüllt ist, und ein drittes Packungaglied, welches sswischen dem zweiten*und dem dritten Packungeglied eine zweite Kammer bildet, welche an die Vakuumkammer angeschlossen ist.The main purpose of the present invention is to provide a improved seal to avoid the disadvantages mentioned. This is achieved with a seal for an oit higher Rotating speed shaft running through the wall of a vacuum chamber through a first and second packing member, which between them form a first chamber filled with oil of low viscosity under atmospheric pressure is, and a third package member, which sswischen the second * and the third packing member forms a second chamber which is connected to the vacuum chamber.

Die Erfindung ist nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert, welche ein Ausführungsbeispiel einer erfindungageoäasen Dichtung im Axialschnitt zeigt.The invention is explained in more detail below with reference to the drawing, which shows an exemplary embodiment of a invention Shows seal in axial section.

Eine Vakuumkammer 1 kann an eine geeignete (nicht gezeigte) Vakuumpumpe angeschlossen sein. Ein Körper 2 ist auf einer Welle 3 in der Kammer angebracht. Die Welle 3 verläuft durch eine Kammerwandung und kann durch geeignete Mittel gedreht werden, beispielsweise durch ein Riemenrad 4 nebst einer Kraftübertragungseinrichtung.A vacuum chamber 1 can be connected to a suitable vacuum pump (not shown). A body 2 is on top of one Shaft 3 mounted in the chamber. The shaft 3 extends through a chamber wall and can be rotated by suitable means are, for example, by a belt wheel 4 together with a power transmission device.

Die Welle 3 ist durch Lager 5, 6 gelagert» die mit der erfindungsgeasässen Dichtung vereinigt sind. «The shaft 3 is supported by bearings 5, 6 »those with the invention Seal are united. «

Die erfindungsgemässe Dichtung umfasst drei ringförmige Pakkungaglieder 7, 8, 9, welche in einem Gehäuse eingeschlossen und voneinander getrennt sind, so dass zwei Kammern zwischen den Packungen 7, 8 bzw. Θ, 9 gebildet werden. Es kann unterschiedliches Material als Packungsmaterial verwendet werden, wobei Naturgummi oder Gynthetikgummi vorzuziehen sind. Eine ümfangsfeder 10 presst die Lippe eins Packungsgliedes jeweils gegen die Welle 3.The seal according to the invention comprises three annular package members 7, 8, 9, which are enclosed in a housing and separated from one another so that two chambers between the packs 7, 8 or Θ, 9 are formed. Different materials can be used as packing material, natural rubber or synthetic rubber are preferable. One Umfangsfeder 10 presses the lip of one packing member at a time against the shaft 3.

909843/11S*909843 / 11S *

Die Kammer zwischen den Packungsgliedern 7» 8 ist Über eine Leitung 12 an einen ölvorratsbehälter 11 angeschlossen, welcher oben zur Atmosphäre hin offen ist." In dem Behälter 11 befindet sich Öl 13 niedriger Viskosität, beispielsweise von 157 Centistokes bei 50° C. Die Kammer zwischen den Packungsgliedern 8, 9 steh 5 mit der Vakuumkammer 1 über einen Kanal 14 in Verbindung und ist auch an einen ölsumpf 17 angeschloesen, welcher abnehmbar an einem Durchtritt 15 angebracht ist. Auf diese Weise ist der Raum zwischen den Packungsgliedern 7, 8 mit dem niedrigviskosen öl gefüllt, wogegen der Saum zwischen den Packungsgiiedern 8, 9 unter Vakuum steht, so dass es möglich ist, das öl 13 nach Ansammlung in dem Sumpf 17 durch dessen Entfernung von der Öffnung 15 abzulassen.The chamber between the packing members 7 »8 is about a Line 12 is connected to an oil storage container 11, which is open to the atmosphere at the top. "In the container 11 there is oil 13 of low viscosity, for example of 157 centistokes at 50 ° C. The chamber between the packing members 8, 9 stands 5 with the vacuum chamber 1 via a channel 14 in connection and is also connected to an oil sump 17, which is detachably attached to a passage 15. This is how there is space between the packing members 7, 8 filled with the low-viscosity oil, whereas the seam between the packing members 8, 9 is under vacuum, see above that it is possible to remove the oil 13 after accumulation in the sump 17 by removing it from the opening 15.

Das in den Raum zwischen den Packungsgliedern 7, 8 eingefüllte niedrigviskose Öl steht mit der Atmosphäre in Verbindung. Eine hohe Drehzahl der Welle bewirkt keine Luftzwischenräume zwischen dem öl und der Welle 3. Dies bedeutet, dass die Welle völlig von dem niedrigviekosen öl umgeben ist.The low-viscosity oil filled into the space between the packing members 7, 8 is in contact with the atmosphere. A high speed of the shaft does not create any air gaps between the oil and the shaft 3. This means that the shaft is completely surrounded by the low-viscosity oil.

Selbst wenn Luft in das öl innerhalb des Raumes zwischen den Packungsgliedern 7, 8 infolge der niedrigen Viskosität des Öls eindringen sollte, steigen in dem Öl gebildete Luftblasen leicht nach oben auf und werden aus dem oberen Teil des Behälters 11 an die Atmosphäre abgegeben. Da beide Seiten des Packungegliedes 7 dem Atmoephärendruck ausgesetzt sind, selbst wenn der Druck des Packungsgliedes 7 niedrig genug ist, um dessen Gleitfläche zu schmieren, besteht keine Möglichkeit einer Leckbildung seitens des niedrigviskosen Ölo zu der Auseenseite. Wenn der Druck dee Packungsgiiedee 8 auch niedrig genug ist, um das öl der Gleitfläche zuzuführen, wird das in den unter Vakuum stehenden Raum quer zu der Gleitfläche eingezogene Lecköl durch den Durchtritt 15 in dem Ölsumpf 17 gesammelt.Even if air should penetrate into the oil within the space between the packing members 7, 8 due to the low viscosity of the oil, air bubbles formed in the oil easily rise up and are released from the upper part of the container 11 to the atmosphere. Since both sides of the packing member 7 are exposed to atmospheric pressure, even if the pressure of the packing member 7 is low enough to lubricate its sliding surface, there is no possibility of the low viscosity oil leaking to the outside. If the pressure of the packing material 8 is also low enough to supply the oil to the sliding surface, the leakage oil drawn into the space under vacuum across the sliding surface is collected through the passage 15 in the oil sump 17.

909843/118*909843/118 *

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

Da beide Seiten des. Packungsgliedes 9 dem Vakuum ausgesetzt aind , kann verhindert werden, dass das öl 19 in dem Raum zwischen den Packungsgliedern 8; 9 in die Vakuumkammer 1 mit dem reduzierten Berührungsdruck des Packungsgliedes 9 eintritt. Since both sides of the packing member 9 are exposed to the vacuum , the oil 19 in the space between the packing members 8 ; 9 enters the vacuum chamber 1 with the reduced contact pressure of the packing member 9.

3/11613/1161

Claims (1)

PatentansprücheClaims Fluiddichfcung für eine mit hoher Drehzahl rotierende, durch eine Wandung einer Vakuumkammer verlaufende Welle, gekennzeichnet durch ein eratee und zweites Packungeglied (7, 8), welche zwischen sich eine erste Kammer bilden, die mit niedrigviekoöem Öl 03) unter Atmosphärendruok gefüllt ist, und ein drittes Packungeglied (9), welches zwischen dem zweiten und dem dritten Packungeglied eine zweite Kaamer bildet, welche an die Vakuumkammer (1) angeschlossen ist.Fluid seal for a high-speed rotating, Shaft extending through a wall of a vacuum chamber, characterized by an eratee and a second packing member (7, 8), which form a first chamber between them, the one with low-viscosity oil 03) under atmospheric pressure is filled, and a third packing member (9) which is between the second and the third packing member a second Kaamer forms, which is attached to the vacuum chamber (1) is connected. 2» Dichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jedes Packungsglied (7-9) aus einem Ring gefertigt ist, der aus natürlichem oder synthetischem Gummi besteht.2 »Seal according to claim 1, characterized in that each packing member (7-9) is made from a ring, made of natural or synthetic rubber. 3. Dichtung nach einem der Ansprüche 1-2, dadurch gekennzeichnet, dase die erste Kammer an einen ölvorratsbehälter {11) über eine Leitung (12) angeschlossen ist.3. Seal according to one of claims 1-2, characterized in that that the first chamber is connected to an oil reservoir {11) via a line (12). ^. Dichtung nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Kammer an einen ölsumpf (17) angeschlossen ist.^. Seal according to one of Claims 1-3, characterized in that that the second chamber is connected to an oil sump (17) connected. Firma RIGAKU DEHKI CO.:Company RIGAKU DEHKI CO .: MlMTMfWXLHMlMTMfWXLH BAD ORIGINALBATH ORIGINAL LeerseiteBlank page
DE19691915150 1968-03-25 1969-03-25 Fluid seal Pending DE1915150A1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1895168 1968-03-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1915150A1 true DE1915150A1 (en) 1969-10-23

Family

ID=11985939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19691915150 Pending DE1915150A1 (en) 1968-03-25 1969-03-25 Fluid seal

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE1915150A1 (en)
GB (1) GB1263805A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3125642A1 (en) * 1981-06-30 1983-01-13 Hochtemperatur-Reaktorbau GmbH, 5000 Köln Sealing device
DE4105746A1 (en) * 1990-02-26 1991-08-29 Zahnradfabrik Friedrichshafen Seal unit with wiper - has corrugated sealing ring in sleeve, and has two spring-loaded sealing lips, with annular space between filled with lubricant
DE4125498A1 (en) * 1991-08-01 1993-02-04 Leybold Ag Shaft seal for through passage in vacuum plants - has sealing part forming ring gap containing locking fluid
DE102013000143A1 (en) * 2013-01-05 2014-07-10 Volkswagen Aktiengesellschaft Sealing system for sealing clean area from dirt area in internal combustion engine of motor vehicle, has opening formed in separating wall, and lubrication chamber limited by sealing element, where inner area of chamber contains lubricant
DE102013000126A1 (en) * 2013-01-04 2014-07-10 Volkswagen Aktiengesellschaft System for sealing clean space from dirt environment in combustion engine of motor car, has sealing element arranged at wheel body surface or partition wall surface such that lubrication chamber is partially limited by sealing element
DE102013109882A1 (en) * 2013-09-10 2015-03-12 Von Ardenne Gmbh Sealing structure for sealing a process space, process space with such a sealing structure and method for sealing a process space using the sealing structure

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2140102A (en) * 1983-05-06 1984-11-21 Boc Group Plc Improvements in shaft seals
CN101761635B (en) * 2009-12-23 2012-09-05 东莞宏威数码机械有限公司 Vacuum transmission device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3125642A1 (en) * 1981-06-30 1983-01-13 Hochtemperatur-Reaktorbau GmbH, 5000 Köln Sealing device
DE4105746A1 (en) * 1990-02-26 1991-08-29 Zahnradfabrik Friedrichshafen Seal unit with wiper - has corrugated sealing ring in sleeve, and has two spring-loaded sealing lips, with annular space between filled with lubricant
DE4125498A1 (en) * 1991-08-01 1993-02-04 Leybold Ag Shaft seal for through passage in vacuum plants - has sealing part forming ring gap containing locking fluid
US5348313A (en) * 1991-08-01 1994-09-20 Leybold Ag Radial shaft sealing ring
DE102013000126A1 (en) * 2013-01-04 2014-07-10 Volkswagen Aktiengesellschaft System for sealing clean space from dirt environment in combustion engine of motor car, has sealing element arranged at wheel body surface or partition wall surface such that lubrication chamber is partially limited by sealing element
DE102013000143A1 (en) * 2013-01-05 2014-07-10 Volkswagen Aktiengesellschaft Sealing system for sealing clean area from dirt area in internal combustion engine of motor vehicle, has opening formed in separating wall, and lubrication chamber limited by sealing element, where inner area of chamber contains lubricant
DE102013109882A1 (en) * 2013-09-10 2015-03-12 Von Ardenne Gmbh Sealing structure for sealing a process space, process space with such a sealing structure and method for sealing a process space using the sealing structure
DE102013109882B4 (en) 2013-09-10 2020-07-16 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Sealing structure for sealing a vacuum process room, vacuum process room with such a sealing structure and method for sealing a vacuum process room using the sealing structure

Also Published As

Publication number Publication date
GB1263805A (en) 1972-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1915934A1 (en) Device for sealing shafts
DE3223265A1 (en) GEARBOX GEARBOX FOR AN INTERNAL COMBUSTION ENGINE
DE3331038C2 (en)
DE1915150A1 (en) Fluid seal
EP0317867A1 (en) Labyrinth seal arrangement
DE3406411A1 (en) OIL-TIGHT BEARING FOR AN AXIAL FLOATING SHAFT
DE2030117C3 (en) Sealing arrangement for bearing housings of countersunk drill drives
DE3714087A1 (en) Drive assembly with individual lubricating oil circuits for engine and transmission
DE3324160C2 (en)
DE818286C (en) Journal bearings, especially for railway rolling stock
DE596413C (en) Lubricating device for plain bearings with lubrication holes distributed around the circumference of the bearing shell for lubrication with liquid lubricant
DE495495C (en) Fluid transmission
DE1906977A1 (en) Hydraulic pump with pneumatic drive
DE839429C (en) Circulating lubrication arrangement for a high-speed machine, especially for the gearbox of a grinding machine
DE3005194A1 (en) HYDRAULIC MACHINE, ESPECIALLY HYDROCYLINDERS, AND METHOD FOR THE SERIAL PRODUCTION OF SUCH HYDRAULIC MACHINES
DE1168185B (en) Device for relubricating grease-lubricated rolling bearings
DE2108449A1 (en) Lubricator for roller bearings
DE595397C (en) Lubricating device for the storage of long belt rolls, which are supported at both ends on a fixed axle with a bearing each, which is provided with an annular space that receives the lubricant
DE2840657C3 (en) Bearing for the spinning rotor of an open-end rotor spinning machine
DE683454C (en) Sealing ring to prevent the escape of oil at the exit points of rotating shafts from bearings, housings or the like.
DE873937C (en) Flow transmission, especially for vehicle drives
DE936271C (en) Circulating lubrication for sprocket bearings for electric rail motors or the like.
DE1217716B (en) Self-lubricating packing
DE656046C (en) Lubricator for sewing machines
DE832062C (en) Encapsulated log winch