DE1904602A1 - Manually operated push button vacuum valve and associated vacuum system - Google Patents

Manually operated push button vacuum valve and associated vacuum system

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    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
    • F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
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    • Y10T137/86919—Sequentially closing and opening alternately seating flow controllers

Description

durch den Abzugskanal im Druckknopf plunger eingesetzt wird. Eine Einstellung der Lage dieses Anschlages liefert die Bestimmung der Gasleitfähigkeit zwischen der geöffneten Vakuumöffnung und der Ausgangsöffnung des Ventils, um die Rate einzustellen,, mit der das Vakuum an das Steuergerät gegeben wird, das von dem Tentil gesteuert wird. Der Ventilkörper kann durch eine evakuierte Kammer eingesetzt werden und ist an seinen Enden dicht an die Kammer angesetzt, so daß die evakuierte Kammer eine Vakuumverteilung für das Ventil bildet, und daß mehrere solcher DruckknopiYentile in eine einzige evakuierte Kammer eingesetzt werden könne, so daß eine gemeinsame Vakuumverteilung für die verschiedenen Ventile geschaffen wird. Die Druckknopf-Steuerventile sind besonders in Vakuumanlagen brauchbar, in denen mit Unterdruckleistung unterstützte Betägigungselemente verwendet werden, weil der Ausgang des Vakuums zur Erregung der Vakuumbetätiger selektiv durch die Druckknopf-Steuerventile gesteuert werden kann»is inserted through the flue duct in the push-button plunger. One Setting the location of this stop provides the determination of the Gas conductivity between the opened vacuum port and the outlet port of the valve to adjust the rate at which the Vacuum is given to the control device, which is controlled by the valve. The valve body can pass through an evacuated chamber are used and is attached at its ends tightly to the chamber, so that the evacuated chamber for a vacuum distribution forms the valve, and that several such push button valves in a single evacuated chamber could be used, so that one common vacuum distribution is created for the various valves. The push button control valves are particularly useful in vacuum systems in which actuation elements are assisted with vacuum power be used because the output of the vacuum is used to energize the vacuum actuator selectively through the push button control valves can be controlled »

Stand der Technik»State of the art"

Es sind bereits druokknopfartige Vakuumsteuerventile und damit ausgestattete Anlagen gebaut worden. Diese bekannten Vakuumsteuer» ventile wiesen eine Vakuumöffnung, eine Ausgangsöffnung und eine Luftabzugeöffnung auf. Ein verschiebbarer druckknopfartiger Plunger ist dazu verwendet worden, die öffnungen zu bedecken und frei» zulegen und um die Gasverbindung zwischen den öffnungen festzulegen, um den Ausgang des Ventils von Vakuum auf Atmosphäre und umgekehrt umzuschalten. Typischerweise arbeitet ein bekanntes Druckknopf-Steuerventil mit einem druckknopfartigen Plunger mit einer Anzahl dichter Kammern in Längsrichtung, um die Gasverbindungskanäle zwischen den drei öffnungen im Ventilkörper festzulegen. Eine solche Ventilkonstruktion ist relativ kompliziert durch die ziemlich auf« wendige mechanische Bearbeitung für den Plunger und die öffnungenPush-button vacuum control valves and systems equipped with them have already been built. This well-known vacuum tax » valves had a vacuum port, an exit port, and an air vent. A slidable push-button type plunger has been used to cover the openings and clear them. and to fix the gas connection between the openings, around the outlet of the valve from vacuum to atmosphere and vice versa to switch. Typically a well known push button control valve operates with a push-button type plunger with a number tight chambers in the longitudinal direction in order to define the gas connection channels between the three openings in the valve body. Such Valve construction is relatively complicated due to the rather complex mechanical processing for the plunger and the openings

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im Ventilkörper. Darüber hinaus weist ein bekanntes Druckknopf-Steuerventil keine einfache Möglichkeit auf, »it der die Gasleifcfähigkeit swischen der Auegangsöffnung des Ventils und der Vakuum«= öffnung eingestellt werden kann, um die Rate zu steuern, mit der das Vakuum an das zu steuernde Gerät durch das Ventil gegeben wurde. Darüber hinaus waren die bekannten Ventile relativ kompliziert, weil jedes Ventil getrennte Fittings aufwies, um das Vakuum an die Vakuumöffnungen der Ventile von einer Vakuumverteilung zu geben.in the valve body. It also has a known push button control valve there is no simple possibility of gas conductivity between the outlet opening of the valve and the vacuum «= orifice can be adjusted to control the rate at which the vacuum was applied to the device being controlled through the valve. In addition, the known valves were relatively complicated because each valve had separate fittings to apply the vacuum to the To give vacuum openings of the valves from a vacuum distributor.

Zusätzlich haben bekannte Hochvakuumanlagen der Art, bei der eine Vakuumglocke oder dergleichen mittels einer Vakuumpumpe durch eine Leitung evakuiert worden ist, mit Drosselklappen-Steuerventilen oder dergleichen sub Abschalten der Kammer gearbeitet. Diese Bros» selklappenventile wurden jedoch entweder mechanisch oder mit Elektromotoren betrieben, die mechanische Antriebsmechanismen aufwiesen. In addition, known high vacuum systems of the type in which one Bell jar or the like has been evacuated through a line by means of a vacuum pump, with throttle control valves or the like sub shutdown of the chamber worked. These bros » However, butterfly valves have been operated either mechanically or with electric motors that have mechanical drive mechanisms.

Zusammenfassung der Erfindung«Summary of the invention

Durch die Erfindung soll ein verbessertes Druckknopf-Vakuum-Steuerventil und eins damit ausgestattete Anlage verfügbar gemacht werden. The invention seeks to provide an improved push button vacuum control valve and a system equipped with it can be made available.

Erfindungsgemass wird in einem Druckknopf-Vakuum«Steuerventil ein beweglicher Plunger vorgesehen, mit des der Vakuumfluse zwischen der Ausgangsöffnung des Ventils und der Vakuumöffnung des Ventils ein- und ausgeschaltet werden kann. Der Plunger ist länglich ausgeführt und reicht aus dem eigentlichen Ventil heraus, so daß ein Druckknopf gebildet wird. Der länglich· Plunger weist einen Gaskanal auf, der eine Verbindung zwischen der Ausgangsöffnung des Ventile und der Aussenseite des Druokknopfes herstellt. Das offene Ende des Caskanals an der Aussenselte des Druckknopfes bildet dieAccording to the invention, a control valve is used in a push-button vacuum movable plunger provided with the vacuum fluff between the outlet port of the valve and the vacuum port of the valve can be switched on and off. The plunger is elongated and extends out of the actual valve, so that a Push button is formed. The elongated plunger has a gas channel on, which establishes a connection between the outlet opening of the valve and the outside of the push button. The open one The end of the Caskanal on the outer ring of the push button forms the

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Luftabzugsöffnung, so daß die Luftabzugsöffnung dicht abgeschlossen wird, wenn ein Finger auf die Abzugsöffnung in Druckknopf gelegt wird, uo den Druckknopf niederzudrücken, während der Plunger niedergedrückt wird, um die Vakuumöffnung im Ventil freizugeben, so daß der Aufbau des ganzen Ventile vereinfacht wird.Air vent so that the air vent is tightly sealed is when a finger is placed on the trigger opening in push button uo depressing the push button while depressing the plunger is to release the vacuum opening in the valve, so that the structure of the entire valve is simplified.

Gemäss einer Weiterbildung der Erfindung weist das Ventil einen .Ventilkörper auf, der den beweglichen Plunger enthält, reicht der Ventilkörper über ein evakuiertes OefKse und let an seinen Enden an die Wände dieses Oefässes dicht angesetzt, so daß eine Vakuumverteilung in dem Gefäss in dem um den Ventilkörper herumliegenden Bereich gebildet wird, so daß eine Vielzahl solcher Ventile in ähnlicher Weise in das Vakuumgefäß eingesetzt werden kann, um eine gemeinsame Verteilung für die verschiedenen Ventile zu bilden.According to a development of the invention, the valve has a .Valve body containing the movable plunger, the Valve body via an evacuated OefKse and let at its ends attached tightly to the walls of this vessel, so that a vacuum distribution in the vessel in the one around the valve body Area is formed so that a plurality of such valves can be inserted in the vacuum vessel in a similar manner to a to form common distribution for the various valves.

Oemä·· einer anderen Weiterbildung der Erfindung weist der Luftkanal durch den beweglichen Plunger «ine axial einstellbare Hülse auf, die ein einstellbares Begrenzungs-Auslaesrohr bildet, mit dem die ma-, ximale Kinwärtsbewegung des Plunger· begrenzt wird, um dit maximale Qasleitfähigkeit dta Gaekanala atflachen der AuegangsBffnung und der Vakuumöffnung des Ventile einzustellen, ao daß dl· Rat« kontrolliert wird, alt der da· Vakuum an das Ausgabegerät weitergegeben wird, das durch da· Druökknopfventil gesteuert wird.According to another development of the invention, the air duct through the movable plunger on an axially adjustable sleeve which forms an adjustable limiting outlet pipe with which the ma-, ximal backward movement of the plunger · is limited to the maximum Qasconductivity dta Gaekanala atflachen the exit opening and to adjust the vacuum opening of the valve, ao that the "Council" controls The age of the vacuum passed on to the output device controlled by the push button valve.

GemäM einer anderen Weiterbildung der Srfindunf let in «int* LeI-tung svieohen einer evakuierbaren Kaaaer und «liier au deren Ivakuierunf an dl··· angeeehloeaeaen Pempe «In Ventil angeordoet» Uli dam die Kamm·* von dar Pomp· abfeeohaltet werden kann. Hn mit Vakuum betriebenes Betätigunf»etem«nt let vorg«*«h«nv tu dl···· Ventil au betätig·», und 41···· Befcltlgungeelement wird vom Aueganf d·· Druckknopf-Steuerventil« ma«fm«rt. Daa Steuerventil «rhält sein Vakuum von der Vakuumpump·.According to another further development of the Srfindunf let in "int * line" including an evacuable Kaaaer and "liier au whose evacuation at dl · ·· angeeehloeaeaen Pempe" in valve arranged "Uli that the comb · * from the Pomp · can be held off. Hn vacuum-operated actuation »etem« nt let vorg «*« h «n v tu dl · ··· valve au actuated ·», and 41 ···· filling element is controlled by the Aueganf d ·· pushbutton control valve «ma« fm «Rt. The control valve maintains its vacuum from the vacuum pump.

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Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung} es zeigen:Further features and advantages of the invention emerge from the following description in conjunction with the drawing} it shows:

Fig. 1 einen Längsschnitt durch ein Druckknopf-Vakuum-Steuerventil mit Merkmalen der Erfindung! undFig. 1 is a longitudinal section through a push button vacuum control valve with features of the invention! and

Fig. 2 soheaatisch, teilweise in Form eines Blockschaltbildes, eine Hochvakuumanlage alt Druckknopf-Steuerventilen nach der Erfindung. Fig. 2 soheaatically, partly in the form of a block diagram, a High vacuum system old push button control valves according to the invention.

In Fig. 1 ist ein erfindungsgemässes Druckknopf-Vakuum-SteuerventilIn Fig. 1 is a push button vacuum control valve according to the invention

1 dargestellt. Das Ventil 1 weist einen zylindrischen Ventilkörper 2, beispielsweise aus Aluminium, auf« Der zylindrische Ventilkörper1 shown. The valve 1 has a cylindrical valve body 2, for example made of aluminum, on «The cylindrical valve body

2 führt durch eine evakuierte reohteokige Kammer 3» beispielsweise aus Aluminium, und zwar von einer Breitseite 4 zur gegenüberliegen-2 leads through an evacuated reohteokige chamber 3 »for example made of aluminum, from one broad side 4 to the opposite

. den Breitseite 5 der Kammer 3· Ber Ventilkörper 2 besteht aus zwei Teilen, einem oberen Teil 6 und einem unteren Teil 7· Ber obere Teil 6 weist einen oberen Plansch 8 auf, der an der Aussenseite der oberen Wand 4 der Kammer 3 anliegt und einen nachgiebigen Uafangs-Diohtungsring 9, beispielsweise aus Gummi, aufweist, alt den die Randkante der öffnung in der Beoke 4 der Kammer 3 gegen den oberen Teil 6 des Ventilkörpers 2 abgedichtet wird. Ber Oberteil des Ventilkörpers 6 weist eine axiale Bohrung 11 auf, die von oben nach unten hindurchführt, wobei der Bodenteil der Bohrung 11 bei 11' eingesenkt ist und bei 12 ein Gewinde aufweist, in das ein Endstopfen 7 eingeschraubt ist, der den unteren Teil 7 des Ventilkörpers 2 bildet. Ber untere Stopfen 7 weist einen Dichtring 13 auf, dessen Durchmesser gleich dem Durchmesser der öffnung in Boden 5 der Kammer 3 ist.. The broad side 5 of the chamber 3 · Via valve body 2 consists of two Parts, an upper part 6 and a lower part 7 · About upper Part 6 has an upper surface 8 on the outside the upper wall 4 of the chamber 3 rests and a resilient Uafangs-Diohtungsring 9, for example made of rubber, the old the edge of the opening in the Beoke 4 of the chamber 3 against the upper part 6 of the valve body 2 is sealed. About the upper part of the valve body 6 has an axial bore 11, which is from above passes downwards, the bottom part of the bore 11 being countersunk at 11 'and having a thread at 12 into which an end plug 7, which forms the lower part 7 of the valve body 2. About the lower plug 7 has a sealing ring 13, the diameter of which is equal to the diameter of the opening in the bottom 5 of the chamber 3.

Ein Plunger 14 ist axial in der Bohrung 11 verschiebbar und iet as oberen Ende der Bohrung 11 alt einer VuI!ringdichtung 15 abge-A plunger 14 is axially displaceable in the bore 11 and iet The upper end of the bore 11 was sealed off with a VUI ring seal 15.

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dichtet, die in einer Uafangsnut ie Plunger I4 sitzt. Bas untere Ende des verschiebbaren Pinngers 14 ist nach aussen erweitert und ist in der weiteren Blnsenkung 11* des Tentilkörpere 2 angeordnet. Bine Druckfeder 16 ist «wischen des 8 topfen 7 vnd des Plunger 14 angeordnet* u» den sieh naoh auesen erweiternden Teil des Plungers 14 dicht an eine Innensohulter 17 *■ übergang ▼<>» der Einsenkung 11» sur Bohrung 11 anzudrücken. Bin nachgiebiger Diehtring 18 ist in einer uafangsnut la nach aussen erweiterten Teil des Plungers angeordnet, um eine gasdichte Abdichtung »wischen de« Plunger 14 und der Schulter 17 an erhalten.which sits in a Uafangsnut ie plunger I4. Bas lower The end of the displaceable pinnger 14 is expanded to the outside and is arranged in the further recess 11 * of the valve body 2. A compression spring 16 is wiped between the 8 pot 7 and the plunger 14 arranged * u »the near outer widening part of the plunger 14 close to an inner shoulder 17 * ■ transition ▼ <> »of the depression 11 »on hole 11 to be pressed. Am compliant Diehtring 18 is in a uafangsnut la outwardly widened part of the plunger arranged to obtain a gas-tight seal "wipe de" plunger 14 and shoulder 17 on.

t Der Plunger 14 iat auf eines Teil seiner Länge abgesetzt, so da8 eine ringföraige Kassier 19 la dea Raua zwischen dea Plunger 14 und der Innenwand der Bohrung 11 gebildet wird. .Zwei Bohrungen 21, von beispielsweise 1,6 am (1/16 Zoll) Durchmesser führen radial durch die Wand des Oberteils 6 des YentilkUrpers 2 und dienen dazu, die Vakuuakaaaer 3 «it der Innenkaaaer 19 su verbinden.The plunger 14 t iat on a part of its length subsided, DA8 a ringföraige cashier 19 la dea Raua dea between plunger 14 and the inner wall of the bore is formed. 11 .Two bores 21, for example 1.6 am (1/16 inch) diameter lead radially through the wall of the upper part 6 of the YentilkUrpers 2 and serve to connect the Vakuuakaaaer 3 "it the Innenkaaaer 19 su.

( Der Stopfen 7 weist eine Zentralbohrung 22 auf. Biese Bohrung 22 weist eine Uafangs-Auasparang 23 auf, die dasu dient, einen nach· giebigen Sohlauch 24t beispielsweise aus Tygon, zu ergreifen, der . in den Stopfen 7 eingesetet ist und bis zu einea nicht dargestellten r Yakuuagerat führt, das alt dea Bruokknopf.-Vakuua-Steuerventil 1 ge« . steuert werden soll· Das innere Ende des Stopfens 7 weist eine Querbohrung 25 auf« die einen 8tift 26 enthalt, der diaaetral fiber das . offene Ende des Sohlauebes 24 führt. Der .Stift 26 dient als Anschlag, ua den Vef de« Plungers 14"» begrenzen, indea der Stift aa inneren Bnde einer hohlen Binstellschraube 27 ansohllgt, die in eine Hohlbohrung 28, die axial in den Plunger 14 führt« eingeschraubt iat. ( The plug 7 has a central bore 22. This bore 22 has a Uafangs-Auasparang 23, which is used to grasp a flexible sole 24t, for example made of Tygon, which is inserted into the plug 7 and up to a unillustrated r Yakuuagerat leads, the old dea Bruokknopf.-Vakuua control valve 1 ge. "is to be controlled · the inner end of the plug 7 has a transverse bore 25 'which contains a 8tift 26 diaaetral fiber that. open end of the Sohlauebes 24. The pin 26 serves as a stop, inter alia, limiting the plunger 14, while the pin attaches to the inner band of a hollow locking screw 27 which is screwed into a hollow bore 28 which leads axially into the plunger 14 .

Da« Inner· Ende 29 de« Bhaohea 24 bildet die AusgangsSffnung des Tentils 1, Di· ßingschult« 17· die alt dea Plunger 14 abgedichtetThe "Inner End 29 de" Bhaohea 24 forms the exit opening of the Tentils 1, Dißingschult «17 · the old dea plunger 14 is sealed

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iat, bildet dia Takuuaeinlaeeöffnung für das Ventil 1. Das Aussenend· dee Plungers I4 bildet einen Druckknopf, und der Eingang der axialen Bohrung 26 an der Oberfläche des Druckknopfes bildet die AbsugaBffnung oder LuftabcugsSffnung des Ventile 1.iat, forms the Takuua inlet opening for valve 1. The outer end · dee Plungers I4 forms a push button, and the entrance of the Axial bore 26 on the surface of the push button forms the suction opening or air suction opening of the valve 1.

I« Betrieb wird daa Gehäuse 3 auf einen Druok kleiner ala Atnoaphärendruok alt einer aeehaniachen Puape evakuiert, vie aue Fig. 2 er-, aiohtlioh iat. Bar Schlauch 24 ist an ein »it Takuua betriebene· Gerät angeaohloaien, beiaplelaweiae ein Betätigungaele»ent, das noch näher in Verbindung «it Fig. 2 beaohrieben wird, f he der Druckknopf plunger 14 aenuall niedergedrückt vird, entlüftet der Oaekanal 28 die Auafangeleitung 24 aur Ataoephäre, ao daß aa Betätigunga-. gerät Uagebungaluftdruok ateht. Wenn Takuua an daa Betätigungegerät gegeben verdau aoll» wird ein Pinger auf den Druckknopf aufgelaft» ao dai die AbsugaBffnung auf der Oberaeite daa Druckknopfaa abge-, aohloaaen vird· Wattn dar Druckknopf 14 ·*(·& die Federkraft niedergedrückt wird, vird dia TakuuaBffnung freigelegt, ac dal eine Oaaverbindung aviaohen dar AuegangeBffnung 29 und de» Takuua in der t Takttttarertallung 9 geaohaffen vird. Auf dleae Welae vird Takuua an daa Betltigungagerät gegeben, indea hatt το» Betätigungaeleaent durch dan (Schlauch 24· dia AuagangaOffnung 29* die TakuuaSffnung und duroh dia Takuttsrartailung 3 aur TakuuMpuape geaaugt vird. Die Unterdmoklalatung ataht aolange aa Betätigungeeleaent, via der Druckknopfplunger I4 niedergedrückt iat und aolange der Finger Über daa Inde dar AbaugeOffnung gehalten vird, ao daB'dieae abgeeohloeeenIn operation, the housing 3 is evacuated to a pressure smaller ala Atnoaphärendruok old an aeehaniachen Puape, see also Fig. 2, aiohtlioh iat. Bar hose 24 is attached to a device operated by Takuua, and at aplelaweiae to an actuating element which is driven in more detail in connection with FIG aur Ataoephare, ao that aa activity-. device Uagebungaluftdruok ateht. When Takuua is given to the actuating device, a pinger is released on the push button, ao that the suction opening on the top of the push button is removed, aohloaen is wowed on the push button 14 · * (· & the spring force is depressed, the Takuua opening is exposed , dal ac a Oaaverbindung aviaohen represents AuegangeBffnung 29 and de »Takuua vird geaohaffen in the t Takttttarertallung. 9 on dleae Welae vird Takuua to daa Betltigungagerät given Indea t το" Betätigungaeleaent has dan (hose 24 · dia AuagangaOffnung 29 * the TakuuaSffnung and While the Takuttsrartailung 3 aur TakuuMpuape vird. The Unterdmoklalatung ataht aa long aa actuation element, via the push-button plunger I4 iat and as long as the finger over the Inde the eye opening is held, ao daBloeedieae removed

, vird· Dia late» »it dar daa Takuua au» Betätlgungaglied durohgaaohaltet vird, vird duroh dae AuaaaB beatlaat» au da» dar Druckknopfplunger 14 niedergedrückt vorden let. Dia aaxiaale Rate« ait der daa Taktttt« voa latätigungaftaaant gesogen vird» iat duroh dan amxiaalea Betrag dea Niederdrücken· dee Plunger· 14 feetgelegt. Die··· »axi-■ale liederdrfioken vird duroh die Eineteilung der einstellbaren Einsteileohraube 27 kontrolliert. Der Anschlag 27 iat laicht durch, is · Dia late »» it dar daa Takuua au »actuation member durohgaao halted vird, vird duroh dae AuaaaB beatlaat »au da» dar push button plunger 14 depressed in front of let. The aaxial rate «ait der daa Taktttt "voa lattaturaftaaant sucked vird" iat duroh dan amxiaalea Amount of depression · dee plunger · 14 feet set. The ··· »axi- ■ ale liederdrfioken virdoh the division of the adjustable One-piece cube 27 controlled. The stop 27 iat spawns through

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ein einstellbares Schraubenwerkzeug eineteilbar, das durch den Gas» kanal eingeschoben wird, um die Einstellschraube 27 zu drehen.an adjustable screw tool divisible, which by the gas » Channel is inserted to turn the adjusting screw 27.

1 In vielen Anwendungefällen von Betätigungsgliedern ist es erwünscht, daß das mit den Betätigungsglied zu steuernde Gerät, beispielsweise ein Drosselklappenventil in einer Vakuumanlage, relativ langsam betätigt wird, und in diesem Falle wird die Einstellschraube 27 auf den Anschlagstift 26 eu herabgeeohraubt, so daß der Druckknopf 14 sich nur um einen kleinen Betrag axial bewegen kann. Auf dieee Weise iBt die Gasieitfahigkeit von der Vakuumöffnung 17 eur Auegangsöffnung 29 erheblich beengt, eo daB da« Vakuum langsam an das Betätigungeglied gegeben wird, um eine relativ langsame Bewegung des zu eteu-φ ernden Geräte· su erhalten. 1 In many applications of actuators it is desirable that the device to be controlled by the actuator, for example a throttle valve in a vacuum system, is actuated relatively slowly, and in this case the adjusting screw 27 is screwed down on the stop pin 26 so that the push button 14 can only move axially by a small amount. In this way, the gas conductivity from the vacuum opening 17 to the outlet opening 29 is considerably narrowed, so that the vacuum is slowly applied to the actuating member in order to obtain a relatively slow movement of the device to be operated.

Venn das gesteuerte Gerät die gewünschte Stellung erreicht hat, wird der Finger von der AbEugeöffnung und den Druckknopf 14 weggenommen,When the controlled device has reached the desired position, will the finger removed from the eye opening and the push button 14,

too daB die Feder 16 den Plunger 14 in die Auegangeβteilung eurüokführt und die Vakuum»ffnung 17 schlieset, und die Ausgangeleitung 24 und das Betätigungselement auf Uagebungeluftdruck entlüftet werden, so daß die Vakuumleistung vom Betatigungsgerät weggenommen wird»too that the spring 16 guides the plunger 14 into the outer joint division and the vacuum opening 17 closes, and the output line 24 and the actuating element is vented to ambient air pressure, so that the vacuum power is removed from the actuating device »

In Fig* 2 ist eine Hoohvakuumanlage mit Druckknopf-Vakuum-Steuerventilen 1 nach der Erfindung dargestellt. !Di· Ablag· weist eine Vakuumglocke 55 e,uf, die Bit einer Grundplatte $6 susamaen ein· Kammer bildet» die auf einen relativ niedrigen Drubk von beleplels-" «eise 10"" Tor* evakuiert werden soll· Sin» Oasleitung JT führt durch die Grundplatte 56 hinduroh, um die Vakuumglooke 55 *u evakuieren, line Vorvakuumleitung 58 i»t »it der ersten Leitung 57 verbunden und verbindet die Leitung 37 «it einer mechanischen Vakuumpumpe 59 fiber ein Vorvakuumdrossslklappenventil 41« "it dem der Gasstrom durch die Leitung 56 abgeschaltet werden kann. line öldlffusions-In Fig * 2 is a high vacuum system with push button vacuum control valves 1 shown according to the invention. ! The file has a Vacuum bell 55 e, uf, the bit of a base plate $ 6 susamaen a · Chamber forms »which at a relatively low level by beleplels-" «Eis 10" "Tor * should be evacuated · Sin» Oasleitung JT carries out the base plate 56 hinduoh to evacuate the vacuum glooke 55 * u, line forevacuum line 58 is connected to the first line 57 and connects the line 37 ″ with a mechanical vacuum pump 59 Via a forevacuum throttle valve 41 «" with which the gas flow can be switched off through line 56. line oil fusions

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pumpe 42 ist über die relativ gross θ Leitung 37 «it der Vakuumglocke 35 verbunden. Bin Hochvakuuu-Drosse!.klappenventil 43 ist in die Lei·» tung 37 eingeschaltet, um den Gasfluss von der Vakuumglocke 35 zur Diffusionspumpe 42 zu steuern und un die Vakuumglocke 35 von der Diffusionspumpe 42 abzuschalten. Bine Kühlfalle 44 ist in der Leitung zwischen der Diffusionspumpe 42 und dem Hochvakuumventil 43 vorgesehen, um einen Rückstrom von Öl von der Diffusionspumpe in die evakuierte Vakuumglocke 35 zu verhindern. Eine Leitung 45 verbindet di· Diffusionspumpe mit der mechanischen !Pumpe, um die Diffusionspumpe zu evakuieren. Ein Rückschlag-Steuer-Drosselventil 46 (backing control butterfly valve) ist in der Leitung 45 zwischen der Diffusions^ pumpe 42 und der mechanischen Pumpe 39 angeordnet.Pump 42 is via the relatively large θ line 37 ″ it of the vacuum bell jar 35 connected. Am high vacuum throttle valve 43 is in the line device 37 switched on to the gas flow from the bell jar 35 to Control diffusion pump 42 and un the bell jar 35 from the diffusion pump 42 switch off. A cold trap 44 is provided in the line between the diffusion pump 42 and the high vacuum valve 43, in order to prevent a back flow of oil from the diffusion pump into the evacuated vacuum bell jar 35. A line 45 connects the Diffusion pump with the mechanical! Pump to evacuate the diffusion pump. A check control throttle valve 46 (backing control butterfly valve) is arranged in line 45 between diffusion pump 42 and mechanical pump 39.

Die mechanische Pumpe 39 weist einen Vakuumballasttank 47 auf, der mit den Vakuumleitungen der mechanischen Vakuumpumpe verbunden ist, um einen Vakuumballast zu erhalten. Eine Leitung 48 verbindet den Vakuumballasttank 47 nit der Vakuumvertellerkammer 3 der Druckknopf-Vakuum-Steuerventile 1.The mechanical pump 39 has a vacuum ballast tank 47 with the vacuum lines of the mechanical vacuum pump is connected to a To obtain vacuum ballast. A line 48 connects the vacuum ballast tank 47 with the vacuum distribution chamber 3 of the push-button vacuum control valves 1.

Drei mit Vakuum betriebene Betätigungselemente 49 sind mit den Ausgangswellen der Drosselklappenventile 43, 41 bzw. 46 verbunden, um diese zu betätigen. Jedes dieser Betätigungselemente 49 weist ein Gehäuse mit einer Kammer auf, in die zwei axial verschiebbare Kolben dicht eingesetzt sind, so da8 die Kammer in zwei kleinere gasdichte Kammern unterteilt wird, die an den beiden Enden der grosseren Kammer liegen. Zwischen den beiden Kolben liegt quer zur Kammer eine drehbare Ausgangswelle. Diese drehbare Ausgangswelle ist raumfest und drehbar gelagert· Zwei Vakuumleitungen stehen mit den beiden kleineren Kammern in Verbindung, so daß wahlweise an eine von ihnen Vakuum gegeben werden kann und jeweils die andere mit der Umgebungaluft verbunden wird, um die Kolben wahlweise in der Kammer hin und her zu treiben. Eine flexible Antriebsstruktur, beispielsweise ein SeilThree vacuum operated actuators 49 are associated with the output shafts of the throttle valves 43, 41 and 46, respectively, in order to actuate them. Each of these actuating elements 49 has a housing with a chamber into which two axially displaceable pistons are tightly inserted, so that the chamber is divided into two smaller gas-tight ones Chambers is divided at the two ends of the larger chamber lie. A rotatable output shaft is located between the two pistons across the chamber. This rotatable output shaft is fixed in space and rotatably mounted · Two vacuum lines are connected to the two smaller chambers, so that either of them can be used Vacuum can be given and each of the other with the surrounding air is connected to selectively drive the pistons back and forth in the chamber. A flexible drive structure, such as a rope

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oder eine Kette, verbindet die Kolben und ist tut die Ausgangswelle herumgewickelt, tut diese duroh die Bewegung der Kolben la Drehsinn anzutreiben. Bei der bevorzugten Ausführungaform weist die Ausgangswelle einen Nocken auf, über dem das flexible Antriebsseil oder die Kette gewiokelt isto Der Hocken ist exzentrisch zur Welle angeordnet, so daß in gewissen Stellungen je nach Wunsch mehr oder weniger Drehmoment von den aich bewegenden Kolben auf die Ausgangs-Abtriebswelle übertragen wird. Ein Leck 51 zurück zur Luft ist mit der Grundplatte 36 in der 7akuunglooke 35 verbunden, um die Vakuumglocke duroh ein Leck mit Umgebungsluftdruck zu verbinden, wenn die Vakuumglooke geöffnet werden soll.or a chain that connects the pistons and is doing the output shaft wrapped around, this does duroh the movement of the pistons to drive the direction of rotation. In the preferred embodiment, the output shaft a cam over which the flexible drive rope or chain is twisted o The crouch is arranged eccentrically to the shaft, so that in certain positions more or less torque as required from the piston moving on the output drive shaft is transmitted. A leak 51 back to air is with the base plate 36 in the 7akuunglooke 35 connected to the vacuum bell duroh one Connect leak with ambient air pressure when vacuumglooke should be opened.

Zur Erläuterung des Betriebes der Anlage nach Fig· 2 soll angeaonmen werden, daß die Anlage im Betrieb gewesen ist und die Vakuumglocke 35 unter Umgebungsluftdruok steht, dann ist das Hochvakuumventil 43 geschlossen, das Rückschlagventil 46 offen, das Vorvakuumventil geschlossen und der Vakuumballasttank 47 steht unter etwa IO Torr.To explain the operation of the system according to FIG be that the system has been in operation and the bell jar 35 is under ambient air pressure, then the high vacuum valve 43 is closed, the check valve 46 open, the fore-vacuum valve closed and the vacuum ballast tank 47 is below about 10 Torr.

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Um die Vakuumglocke 35 auf 10 Torr zu evakuieren, wird das Luftleckventil 51 geschlossen, das Vorvakuumventil 4I geöffnet und das Rückschlagventil 46 geschlossen. TTm das Vorvakuumventil 41 zu Öffnen und das Vakuumventil 46 zu sohllessen,werden die betreffenden Druckknopfe I4 der Druckknopf-Steuerventile 1 manuell niedergedrückt. Dadurch wird das Vakuum in der Verteilung 3 und dem Ballasttank 47 über die betreffenden Ausgangsleitungen 24 an die richtige Seite der Vakuum-Betätigungselemente 49 gegeben, so daS die Ventile so betrieben werden, wie es duroh die Druckknopfe I4 festgelegt ist. Die Knöpfe werden ausreichend lange niedergedrückt, um die Ventile 4I bzw. 46 vollständig zu öffnen bzw. zu schliessen. Nach Freigabe der Druckknopfe I4 werden die mit Vakuum erregten Betätigungsglieder 49 duroh die Leitungen 24 und die Druckknopf plunger 14 auf Umge bungs luftdruck entlüftet. Die Ventile 4I und 46 können dann manuell über manuelle Steuerknöpfe 52 betätigt werden, die an den Ventilwellen der Ventile befestigt sind, wenn das gewünscht wird.To evacuate the bell jar 35 to 10 torr, the air leak valve is used 51 closed, the fore-vacuum valve 4I opened and the Check valve 46 closed. TTm the fore-vacuum valve 41 closed Open and solelessen the vacuum valve 46, the relevant Push button I4 of push button control valves 1 depressed manually. This creates the vacuum in the distributor 3 and the ballast tank 47 via the relevant output lines 24 to the correct side of the vacuum actuating elements 49, so that the valves operate in this way as it is determined by the push buttons I4. the Buttons are depressed long enough to fully open and close valves 4I and 46, respectively. After approval of the Pushbuttons I4 become the actuating members 49 excited with a vacuum Through the lines 24 and the push button plunger 14 to ambient air pressure vented. The valves 4I and 46 can then manually over manual control buttons 52 are operated on the valve shafts of the Valves are attached if so desired.

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Venn ein Druck in der Vakuuaglocke 35 auf etwa 100 Mikron herabgesetzt ist, wae durch ein nicht dargestelltes Yakuunaeter festgestellt wird« wird das Yorvakwwrentil 41 geschlossen, indes der sugehBrige tt8ohliessenH-Druckknopf I4 aanuell gedrückt wird. Das Rüoksohlagrentil 46 und das Hoohrakuuanrentil 43 werden dann geöffnet, indes die "Offnezft-Druokknopfplunger I4 gedrückt werden. Dann puapt die Diffusionspumpe 42 die Yakuusglooke 35 auf den gewünsohten Druck von beispielsweise 10 * Torr nieder.Venn is decreased, a pressure in the Vakuuaglocke 35 to about 100 microns, wae by an unillustrated Yakuunaeter it is determined "the Yorvakwwrentil 41 is closed, while the sugehBrige tt 8ohliessen H push button is pressed I4 aanuell. The Rüoksohlagrentil 46 and the Hoohrakuuanrentil 43 are then opened while the "Offnezft push button plungers I4 are pressed. Then the diffusion pump 42 pumps the Yakuusglooke 35 down to the desired pressure of, for example, 10 * Torr.

Der Torteil von Yakuue-Druckknopf-Steuerrentilen 1 bei der Anlage nach Fig. 2 besteht darin, daß das Yakut» eur Erregung der Yakuuabet&tigungsglieder 49 i» Ballasttank 47 der sieohanisohen Vakuu·- puape 49 ohne weiteres eur Terfügung steht« Die Terwendung der rerfügbaren Takuualeietung wird leicht über die Druckknopf-Takuup-8teuerrentile 1 kontrolliert, so dai die Koapliaierung duroh elektrische Antriebeso tore und 8 teuer sehalt er suesmen alt den sugehSrigen Stroanrersorgungen Yemieden wird.The gate part of Yakuue push-button control valves 1 in the system according to FIG. 2 consists in the fact that the Yakut "excites the Yakuu-active members 49 i" Ballast tank 47 of the Sieohanisohen Vacuu-puape 49 "The use of the available Takuuuuap 49 is readily available is easily controlled via the push-button control valve 1, so that the co-operation of the electric drive gates and 8 sehalt is expensive.

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Claims (6)

Pa tentaneprüßhePatent proof V1 P199 DV1 P199 D Manuell betätigtes Druckknopf-Vakuumventil mit drei öffnungen, Ton denen die erste eine Auegangsöffnung zum Anschluss an ein Gerät bildet, das von Umgebungsluftdruck auf Vakuum geschaltet werden soll, die zweite eine Vakuumöffnung zum Anschluss an eine Vakuuvquelle bildet* und die dritte eine Abzugsöffnung bildet, mit der das Ventil auf Umgebungsluftdruck entlüftet werden kann, einem Plunger, der im Ventil bewegbar iet, um den Luftstrom zwischen der Ausgangsöffnung und den Vakuum- und Abzugsöffnungen W zu kontrollieren und der zum Äueseren des Ventile zur manuellen Betätigung reicht, und einer Feder, mit der der Plunger in eine Stellung gedrängt wird, in der der Vakuumflues von der Vakuumöffnung durch die Ausgangsöffnung abgeschlossen wird und die Auegangeöffnung mit der Abzugsöffnung verbunden wird, um die Auegangeöffnung in der Ruhelage auf Umgebungeluftdruck zu entlüften, dadurch gekennzeichnet, daß die Abzugsöffnung am äueseren Ende dee Plungers angeordnet ist, um daduroh abgeschlossen werden zu können, daß sie mit einem Finger bedeckt wird, der dazu dient, den Plunger manuell zu bewegen, um den Vakuumkanal zwischen der Vakuumöffnung und der Auegangeöffnung zu Öffnen, ao daß das Vakuum zur Auegangsöffnung geschaltet wird..Manually operated push-button vacuum valve with three openings, the first of which forms an outlet opening for connection to a device that is to be switched from ambient air pressure to vacuum, the second forms a vacuum opening for connection to a vacuum source * and the third forms an exhaust opening with which the valve can be vented to ambient air pressure, a plunger which is movable in the valve to control the flow of air between the outlet opening and the vacuum and exhaust openings W and which extends to the exterior of the valve for manual operation, and a spring with which the plunger is pushed into a position in which the vacuum flue is closed from the vacuum opening through the outlet opening and the outlet opening is connected to the outlet opening in order to vent the outlet opening to ambient air pressure in the rest position, characterized in that the outlet opening at the outer end dee Plungers are arranged to complete daduroh That it is covered with a finger, which is used to move the plunger manually in order to open the vacuum channel between the vacuum opening and the outlet opening, ao that the vacuum is switched to the outlet opening .. 2. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es »inen Ventilkörper aufweist, der eine Axialbohrung enthält, der bewegbare Plunger gasdicht gegen die Innenwand der Bohrung dichtet und axial in dieser Bohrung verschiebbar ist, der Ventilkörper durch eine evakuierte Kammer hindurohftthrt, gaedichte Abdichtungen zwischen den Wänden der Kammer und dem Ventilkörper gebildet sind, um eine Vakuumverteilung in der evakuierten Kammer in dem Bereich um den Ventilkörper herum zu bilden, und ein Vakuumkanal im Ventilkörper2. Valve according to claim 1, characterized in that it »inen valve body which contains an axial bore, the movable plunger seals gas-tight against the inner wall of the bore and axially is displaceable in this bore, the valve body by a In the evacuated chamber, tight seals are formed between the walls of the chamber and the valve body to ensure a Vacuum distribution in the evacuated chamber in the area around the Valve body around to form, and a vacuum channel in the valve body - A2 -- A2 - 909848/0503909848/0503 gebildet ist und die Vakuumöffnung und die Vakuumverteilung verbindet« is formed and connects the vacuum opening and the vacuum distribution « 3. Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ventilkörper in ähnlioher Weise dicht in die evakuierte Kammer eingesetzt sind) um eine gemeinsame Vakuumverteilung für die verschiedenen Ventilkörper zu erhalten.3. Valve according to claim 2, characterized in that a plurality of valve bodies are inserted in a similar way tightly in the evacuated chamber) to a common vacuum distribution for the different To obtain valve body. 4. Ventil nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der manuell betätigte Plunger einen axial gerichteten Luftkanal auf= weist, der durch den Plunger hindurchführt, um die Abzugsöffnung mit der Ausgangsöffnung zu verbinden.4. Valve according to claim 1, 2 or 3, characterized in that the manually operated plunger has an axially directed air duct that passes through the plunger to the vent to connect to the outlet opening. 5. Ventil nach Anspruch 4» dadurch gekennzeichnet, daß der Luftkanal durch den bewegbaren Plunger eine axial bewegbare Hülse aufweist, die einen einstellbaren Grenzanschlag bildet,, der die maximale Einwärtsbewegung des Plungers begrenzt und damit die maximale Gasleitfähigkeit des Vakuumkanals zwischen der Ausgangsöffnung und der Vakuumöffnung einstellt.5. Valve according to claim 4 »characterized in that the air duct has an axially movable sleeve through the movable plunger, which forms an adjustable limit stop, which is the maximum Inward movement of the plunger is limited and thus the maximum gas conductivity of the vacuum channel between the outlet opening and the vacuum port adjusts. 6.Ventil nach Anspruch 3t dadurch gekennzeichnet, daß die bewegbare Hülse eine hohle Schraube ist, deren Kopf zur Abzugsöffnung weist, um die Einstellung der Schraube durch Einschieben eines Werkzeuges durch die Entlüftungsöffnung und den Luftkanal im bewegbaren Plunger zu erleichtern.6.Ventil according to claim 3t, characterized in that the movable Sleeve is a hollow screw, the head of which faces the trigger opening to allow the adjustment of the screw by inserting a Tool through the vent opening and the air duct in the movable plunger. 7· Ventil nach einem der Ansprüche 1 = 6, gekennzeichnet durch seine Kombination mit einer zu evakuierenden Kammer, einer Vakuumpumpe, die mit einer Gasleitung mit dieser Kammer verbunden ist/ einem7 · valve according to one of claims 1 = 6, characterized by its Combination with a chamber to be evacuated, a vacuum pump that is connected to this chamber by a gas line / a -AJ--AJ- 909848/0503909848/0503 Ventil in der Gasleitung swisohen der Kammer und der Pumpe, mit dem die Kammer von der Pumpe abgeschaltet werden kann, einem zur Betätigung des Ventils dienenden, mit Vakuum erregten Betätigungsglied, das mit der Auegangeöffnung des Druckknopf-Vakuumventile verbunden ist, und ferner dadurch gekennzeichnet, daS die Vakuumöffnung des Druckknopf-Vakuumventils vakuummässig mit der Vakuumpumpe verbunden ist, um Vakuum an die Vakuumöffnung zu legen.Valve in the gas line swisohen the chamber and the pump, with which the chamber can be switched off by the pump, an actuating element which is used to actuate the valve and is excited by a vacuum, the one with the outlet opening of the push button vacuum valve is connected, and further characterized in that the vacuum port of the push-button vacuum valve is vacuum-wise with the vacuum pump connected to apply vacuum to the vacuum port. 909848/0503909848/0503
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