DE1904602C

DE1904602C - Manually operated push button vacuum valve

Info

Publication number: DE1904602C
Authority: DE
Inventors: Daniel F. Hillsboro Oreg. Rohrer (V.StA.)
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc

Description

Es ist ein Vorsteuerventil mit drei öffnungen, von denen die erste eine Ausgangsölinung zum Anscli'.uß Kii ein Gerät bildet, das von Umgebungsluftdruck auf den Überdruck einer Druckluftquelle geschaltet werden soll, die zweite eine Druckluftöffnung zum An-Schluß an die Druckluftquelle bildet, und die dritte eine AbzugsölTnung bildet, mit der das Ventil auf Unigebungsluftdruck entlüftet werden kann, einem Plunger, der im Ventil bewegbar ist, um den Luftstrom zwischen der AusgangsölTnung einerseits und der Druckluft- und der Abzugsöffnung andererseits zu kontrollieren und der zum Äußeren des Ventils zur manuellen Betätigung reicht, und einer Feder, mit der der Plunger in eine Stellung gedrängt wird, in der der Druckluftfluß von der Druckluftöffnung durch die A".sgangsö(Tnung abgeschlossen wird und die AusgangsöfTnung mit der Abzugsöffnung verbunden wird, um die Ausgangsöffnung in der Ruhelage auf Umgebungsluftdruck zu entlüften, bekannt (deutsches Gebrauchsmuster 1 977 271). »oIt is a pilot valve with three openings, the first of which is an output oil line to the connection Kii forms a device that is based on ambient air pressure the overpressure of a compressed air source is to be switched, the second a compressed air opening for connection to the compressed air source, and the third forms a drainage oil, with which the valve opens Unigebungsluftdruck can be vented, a plunger that is movable in the valve to the air flow between the outlet oil opening on the one hand and the compressed air and exhaust opening on the other hand to control and which extends to the outside of the valve for manual operation, and a spring, with which the plunger is urged into a position in which the flow of compressed air from the compressed air port through the exit opening is closed and the exit opening is connected to the exhaust opening is known to vent the outlet opening in the rest position to ambient air pressure (German Utility model 1 977 271). "O

Dieses bekannte Vorsteuerventil ist als fußbetätig- |es Ventil ausgeführt, es kann jedoch auch als manuell betätigtes Druckknopfventil ausgeführt sein.This known pilot valve is designed as a foot-operated valve, but it can also be used as a manual one operated push button valve.

Bei diesem bekannten Ventil ist der Plunger als Ventilschieber ausgebildet, mit dem die Ausgangsöffnung wahlweise mit der Druckluftöffnung oder der Abzugsoffnung verbunden werden kann, es ist also die für Ventile erforderliche präzise Bearbeitung für ein Drriwegevenl.'. erforderlich.In this known valve, the plunger is designed as a valve slide with which the outlet opening can optionally be connected to the compressed air opening or the extraction opening, so it is the precise machining required for valves for a Drriwegevenl. '. necessary.

Durch die Erfindung soll demp.egenübcr ein Ventil der genannten Art, welches zur Verwendung in einer Vakuumanlage vorgesehen ist, > irfügbar gemacht werden, das mit einem Minimum an präzise bearbeiteten Teilen und Flächen auskommt. Diese Aufgabe wird crfindunpsgemäß dadurch gelöst, daß die Abzugsöffnung am äußeren Ende des Plungers angeordnet ist, um dadurch abgeschlossen werden zu können, daß sie mit einem Finger bedeckt wird, der da/u dient, den Plunger manuell zu bewegen, um den Vakuumkanal zwischen der VakuumöfFnung und ait AusgangsölTnung zu öffnen, so daß das Vakuum zur AiisgunpsöiTnung geschaltet wird. Dadurch, daß der Finger dazu benutzt wird, die Abzugsöffnung bei Betätigung des Ventils abzuschließen oder abzudichten, wird tin Ventilsitz, d. h. zwei präzise zu bearbeitende Flächen eingespart, so daß sich bei der Herstellung erhebliche Vereinfachungen ergeben.By contrast, the invention is intended to make a valve of the type mentioned, which is intended for use in a vacuum system, available, which valve requires a minimum of precisely machined parts and surfaces. This object is achieved according to the invention in that the vent opening is arranged at the outer end of the plunger so that it can be closed by covering it with a finger which serves to move the plunger manually in order to open the vacuum channel between the to open vacuum aperture and ait AusgangsölTnung, so that the vacuum is switched to AiisgunpsöiTnung. The fact that the finger is used to close or seal the vent opening when the valve is actuated saves the valve seat, ie two surfaces to be machined precisely, so that considerable simplifications result in manufacture.

Merkmale von Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich uus den Unteransprüchen und der folgenden BcNchreibung in Verbindung mit der Zeichnung. Es zeigtFeatures of further developments of the invention emerge from the subclaims and the following Description in connection with the drawing. It shows

Fig. 1 einen Längsschnitt durch ein Druckknopf-Viikuiim-Sleuerventil mit Merkmalen der Erfindung und1 shows a longitudinal section through a push-button Viikuiim Sleuerventil with features of the invention and

F 1 n. 2 vchematisch, teilweise in Form eines Block-Schaltbildes, eine Hochvakuumanlage mit Druckknopf-Steuerventilen nach der Erfindung.F 1 n. 2 vchematically, partly in the form of a block diagram, a high vacuum system with push button control valves according to the invention.

In Fig. I ist ein crfindtingsgcmäßes Druckknopf-Vakuum-Slcuervenlil 1 dargestellt. Das Ventil 1 weist einen zylindrischen Ventilkörper 6, 7, beispielsweise aus Aluminium, auf. Der zylindrische Ventilkörper führt durch eine evakuierte rechteckige Kammer 3, beispielsweise aus Aluminium, und zwai von einer Breitseite 4 zur gegenüberliegenden Breitseite 5 der Kammer 3. Der Ventilkörper besteht aus zwei Teilen, einem oberen Teil 6 und einem unteren Teil 7. Der obere Teil 6 weist einen oberen Flansch 8 auf, der an <lcr Außenseite der oberen Wand 4 der Kammer 3 anliegt und einen nachgiebigen Umfangs-Dicbtungsring 9, beispielsweise aus Gummi, aufweist, mit dem die Randkante der öffnung in der Decke 4 der Kammer 3 gegen den oberen Teil 6 des Ventilkörpers abgedichtet wird. Der Oberteil des Ventilkörpers 6 weist eine axiale Bohrung Il auf, die von oben nach unten hindurchführt, wobei der Bodenteil der Bohrung 11 bei Ii' eingesenkt ist und bei 12 ein Gewinde aufweist, in das ein Endstopfen 7 eingeschraubt ist, der den unteren Teil 7 des Ventilkörpers bildet. Der untere Stopfen 7 weist einen Dichtring 13 auf, dessen Durchmesser gleich dem Durchmesser der öffnung im Boden 5 der Kammer 3 ist.In Fig. I a crfindtingsgcäßes push button vacuum valve 1 is shown. The valve 1 has a cylindrical valve body 6, 7, for example made of aluminum. The cylindrical valve body leads through an evacuated rectangular chamber 3, for example made of aluminum, and two from one broad side 4 to the opposite broad side 5 of the chamber 3. The valve body consists of two parts, an upper part 6 and a lower part 7 has an upper flange 8, which rests on the outside of the upper wall 4 of the chamber 3 and has a flexible circumferential sealing ring 9, for example made of rubber, with which the edge of the opening in the ceiling 4 of the chamber 3 against the upper Part 6 of the valve body is sealed. The upper part of the valve body 6 has an axial bore II which passes through it from top to bottom, the bottom part of the bore 11 being countersunk at Ii 'and at 12 having a thread into which an end plug 7 is screwed, which the lower part 7 of the valve body forms. The lower stopper 7 has a sealing ring 13, the diameter of which is equal to the diameter of the opening in the bottom 5 of the chamber 3.

Ein Plunger 14 ist axial in der Bohrung 11 verschiebbar und ist am oberen Ende der Bohrung 11 mit einem Runddichtring 15 abgedichtet, der in einer Umfangsnut im Plunger 14 sitzt. Das untere Ende des verschiebbaren Plungers 14 ist nach außen erweitert und ist in der weiteren Einsenkung 11' des Ventilkörpers angeordnet. Eine Druckfeder 16 ist zwischen dem Stopfen 7 und dem Plunger 14 angeordnet, um den sich nach außen erweiternden Teil des Plungers 14 dirbt an eine Innenschulter 17 am Übergang von der Einsenkung 1Γ zur Bohrung II anzudrücken. Ein nachgiebiger Dichtring 18 ist in einer Umfangsnut im nach außen erweiterten Teil des Plungers 14 angeordnet, um eine gasdichte Abdichtung zwischen dem Plunger 14 und der Schulter 17 zu erhalten.A plunger 14 is axially displaceable in the bore 11 and is at the upper end of the bore 11 sealed with an O-ring 15 which is seated in a circumferential groove in the plunger 14. The lower end of the displaceable plunger 14 is widened outwards and is in the further recess 11 'of the valve body arranged. A compression spring 16 is arranged between the plug 7 and the plunger 14, around the outwardly widening part of the plunger 14 directly on an inner shoulder 17 at the transition from the recess 1Γ to the hole II. A resilient sealing ring 18 is in a circumferential groove in the outwardly widened part of the plunger 14 arranged to obtain a gas-tight seal between the plunger 14 and the shoulder 17.

Der Plunger i4 ist auf einem Teil seiner Länge abgesetzt, so daß eine ringförmige Kammer 19 in dem Raum zwischen dem Plunger 14 und der Innenwand der Bohrung 11 gebildet wird. Zwei Bohrungen 21, von beispielsweise 1,6 mm (¹Zn Zoll) Durchmesser führen radial durch die Wand des Oberteils 6 des Ventilkörpers und dienen dazu, die Vakuumkummer 3 mit der Innenkammer 19 zu verbinden.The plunger i4 is stepped down over part of its length so that an annular chamber 19 is formed in the space between the plunger 14 and the inner wall of the bore 11. Two bores 21, for example 1.6 mm ( ¹ Zn inch) in diameter, lead radially through the wall of the upper part 6 of the valve body and serve to connect the vacuum chamber 3 to the inner chamber 19.

Der Stopfen 7 weist cine Z .ntralhohrung 22 auf. Diese Bohrung 22 weist eine Umfangs-AussparungThe stopper 7 has a central hole 22. This bore 22 has a circumferential recess

23 auf, die dazu dient, einen nachgiebigen Schlauch23, which is used to create a flexible hose

24 zu ergreifen, der in den Stopfen 7 eingesetzt ist und bis zu einem nicht dargestellten Vakuumgerät führt, das nvt dem Druckknopf-Vakuum-Steucrventil 1 gesteuert werden soll. Das innere Ende des Stopfens 7 weist eine Querhohrung 25 auf, die einen Stift 26 enthält, der diametral über das offene Ende des Schlauches 24 führt Der Stift 26 dient als Anschlag, um den Weg des Plungers 14 zu begrenzen, indem der Stift am inneren FmIe einer hohlen Einstellschraube 27 anschlägt, die in eine Hohlbohrung 28, die axial in den Plunger 14 führt, eingeschraubt ist.24, which is inserted into the plug 7 and leads to a vacuum device, not shown, which nvt the push-button vacuum control valve 1 should be controlled. The inner end of the plug 7 has a Querhohrung 25, the one Contains pin 26, which leads diametrically over the open end of the hose 24 The pin 26 serves as a stop, to limit the travel of the plunger 14 by turning the pin on the inner surface of a hollow adjusting screw 27 strikes, which is screwed into a hollow bore 28 which leads axially into the plunger 14 is.

Das innere Fnde 29 des Schlauches 24 bildet die Aiisfiangsoffnnn^ des Ventils 1. Die Ringschulter 17, die mit dem Plunger 14 abgedichtet ist, bildet die VakiiumcinlaBolfnunp fiir Jas Ventil 1. Das Außeni'tidi. des Plungers 14 bildet einen Druckknopf, und der Eingang der axialen Bohrung 28 an der Oberfläche des Druckknopfcs bildet die Abzugsöffnung oder Luftabzugsöffnung 2 des Ventils 1.The inner end 29 of the hose 24 forms the Aiisfiangsoffnnn ^ of the valve 1. The annular shoulder 17, which is sealed with the plunger 14, forms the VakiiumcinlaBolfnunp for Jas Ventil 1. The external idihti. of the plunger 14 forms a push button, and the entrance of the axial bore 28 on the surface of the push button forms the vent or air vent 2 of the valve 1.

Im Betrieb wird das Gehäuse 3 auf einen Druck kleiner als Atmosphärendruck mit einer mechanischen Pumpe evakuiert, wie aus F i g. 2 ersichtlich ist. Der Schlauch 24 ist an ein mit Vakuum betriebenes Gerät angeschlossen, beispielsweise ein Betätigungselement, das noch näher in Verbindung mit F i g, 2 beschrieben wird. Ehe der Druckknopfplunger 14 manuell niedergedrückt wird, entlüftet der Gaskanal 28 die Ausgangslcitung 24 zur Atmosphäre, so daß During operation, the housing 3 is evacuated to a pressure less than atmospheric pressure with a mechanical pump, as shown in FIG. 2 can be seen. The hose 24 is connected to a device operated with a vacuum, for example an actuating element, which will be described in more detail in connection with FIG . Before the push button plunger 14 is manually depressed, the gas passage 28 vents the outlet line 24 to atmosphere so that

I 904 602 ( I 904 602 (

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em Betätigungsgerät Umgebungsluftdruck steht. Wenn die Leitung 37 eingeschaltet, um de» Ciasduli von der Vakuum an das Betätigungsgerät gegeben werden Vakuumglocke 35 zur Diffusionspumpe 42 zu steuern soll, wird ein Finger auf den Druckknopf aufgelegt, und um die Vakuumglocke 35 vor. der Diffusionsso daß die AbzugsöfTnung auf der Oberseite des pumpe 42 abzuschalten. Eine Kühlfalle 44 ist in der Druckknopfes abgeschlossen wird. Wenn der Druck- 5 Leitung 37 zwischen der Diffusionspumpe 42 und knopf 14 gegen die Federkraft niedergedrückt wird, dem Hochvakuumventil 43 vorgesehen, um einen wird die Vakuumöffnung freigelegt, so daß eine Gas- Rückstrom von öl von der Diffusionspumpe in die verbindung zwischen der Ausgangsötfnung 29 und evakuierte Vakuumglocke 35 zu verhindern. Ein»: dem Vakuum in der Vakuumverteilung 3 geschaffen Leitung 45 verbindet die Diffusionspumpe mit der wird. Auf diese Weise wird Vakuum an das Betäti- io mechanischen Pumpe, um die Diffusionspumpe zu gungsgerät gegeben, indem Luft vom Betätigungs- evakuieren. Ein Rückschlag-Steuer-Drosselventil 46 element durch den Schlauch 24, die Ausgangsöffnung ist in der Leitung 45 zwischen der Diffusionspumpe 29, die Vakuumöffnung 17 und durch die Vakuum- 42 und der mechanischen Pumpe 39 angeordnet,
verteilung 3 zur Vakuumpumpe gesaugt wird. Die Die mechanische Pumpe 39 weist einen Vakuum-Untcrdruckleistung steht so lange am Betätigungs- 15 ballasttank 47 auf, der mit den Vakuumleitungen der element, wie der Druckknopf plunger 14 niederge- mechanischen Vakuumpumpe verbunden ist, um drückt ist und solange der Finger über das Ende der einen Vakuumballast zu erhalten. Eine Leitung 48 Abzugsöffnung gehalten wird, so daß diese abge- verbindet den Vakuumballasttank 47 mit der Vakuschlossen wird. Die Rate, mit der das Vakuum zum umv^rteilerkammer 3 der Druckknopf-Vakuum-Betätigungsglied durchgeschaltet wird, wird durch 10 Steuerventile 1.The operating device has ambient air pressure. When the line 37 is switched on, in order to control the vacuum bell 35 to the diffusion pump 42, a finger is placed on the push button, and the vacuum bell 35 is forwarded to the actuating device. the diffusion so that the vent on the top of the pump 42 shut off. A cold trap 44 is locked in the push button. When the pressure 5 line 37 between the diffusion pump 42 and button 14 is depressed against the spring force, the high vacuum valve 43 is provided to expose the vacuum opening, so that a gas return flow of oil from the diffusion pump into the connection between the output port 29 and to prevent evacuated bell jar 35. A »: the vacuum created in the vacuum distribution 3 Line 45 connects the diffusion pump with the. In this way, vacuum is given to the actuation mechanical pump in order to supply the diffusion pump by evacuating air from the actuation. A non-return control throttle valve 46 element through the hose 24, the outlet opening is arranged in the line 45 between the diffusion pump 29, the vacuum opening 17 and through the vacuum 42 and the mechanical pump 39,
distribution 3 is sucked to the vacuum pump. The mechanical pump 39 has a vacuum underpressure output as long as the actuating ballast tank 47 is connected to the vacuum lines of the element, such as the push-button plunger 14, which is connected to the mechanical vacuum pump, and for as long as the finger over the end to get a vacuum ballast. A line 48 vent opening is held so that it connects the vacuum ballast tank 47 to the vacuum. The rate at which the vacuum is switched through to divider chamber 3 of the push button vacuum actuator is controlled by 10 control valves 1.

das Ausmaß bestimmt, zu dem der D'uckknopfplun- Drei mit Vakuum betriebene Betätigungselemente ger 14 niedergedrückt worden ist. Die maximale Rate, 49 sind mit den Ausgangswellen der Drosselklappenmit der das Vakuum vom Betätigungselen .int ge- ventile 43, 41 bzw. 46 verbunden, um diese zu bezogen wird, ist durch den maximalen Betrag des tätigen. Jedes dieser Betätigungselemente 49 weist Niederdrückens des Plungers 14 festgelegt. Dieses 25 ein Gehäuse mit einer Kammer auf, in die zwei axial maximale Niederdrücken wird durch die Einstellung verschiebbare Kolben dicht eingesetzt sind, so daß der einstellbaren Einstellschraube 27 kontrolliert. Der die Kammer in zwei kleinere gasdichte Kammern Anschlag 27 ist leicht durch ein einstellbares Schrau- unterteilt wird, die an den beiden Enden der größebenwerkzeug einstellbar, das durch den Gaskanal ren Kammer liegen. Zwischen den beiden Kolben eingeschoben wird, um die Einstellschraube 27 zu 30 liegt quer zur Kammer eine drehbare Ausgangswelle, drehen. Diese drehbare Ausgangswelle ist raumfest und dreh-determines the extent to which the push button button is three vacuum operated actuators ger 14 has been depressed. The maximum rate, 49 are with the output shafts of the throttle valves which connects the vacuum from the actuating elements .int to valves 43, 41 and 46 in order to obtain them is made by the maximum amount of the business. Each of these actuating elements 49 has Depression of the plunger 14 set. This 25 a housing with a chamber in which two axially Maximum depression is used by setting slidable pistons so that they are tight the adjustable adjusting screw 27 is checked. That divides the chamber into two smaller gas-tight chambers Stop 27 is easily divided by an adjustable screw that is attached to the two ends of the sizing tool adjustable, which lie through the gas channel ren chamber. Between the two pistons is pushed in, the adjusting screw 27 to 30 is transversely to the chamber a rotatable output shaft, rotate. This rotatable output shaft is spatially fixed and rotatable

In vielen Anwendungsfällen von Betätigungsglie- bar gelagert. Zwei Vakuumleitungen stehen mit den dem ist es erwünscht, daß mit dem Betätigungsglied beiden kleineren Kammern in Verbindung, so daß zu steuernde Gerät, beispielsweise ein Drosselklap- wahlweise an eine von ihnen Vakuum gegeben werpementil in einer Vakuumanlage, relativ langsam be- 35 kann und jeweils die andere mit der IJmgebungsluft tätigt wird, und in diesem Falle wird die Einstell- verbunden wird, um die Kolben wahlweise in der schraube 27 auf den Anschlagstift 26 zu herabge- Kammer hin und her zu treiben. Line flexible Anschraubt, so daß der Druckknopf 14 sich nur um triebsstruktur, beispielsweise ein Seil oder eine Kette, einen kleinen Betrag axial bewegen kann. Auf diese verbindet die Kolben und ist um die Ausgangswelle Weise ist die Gasleitfähigkeit von der Vakuum- 40 herumgewickelt, um diese durch die Bewegung der öffnung 17 zur Ausgangsöffnung 29 erheblich beengt, Kolben im Drehsinn anzutreiben. Bei der bevorzugso daß das Vakuum langsam an das Betätigungsglied ten Ausführungsform weist die Ausgangswelle einen gegeben wird, um eine relativ langsame Bewegung Nocken auf, über dem das flexible Anlriebsseil oder des ?u steuernden Gerätes zu erhalten. die Kette gewickelt ist. Der Nocken ist exzentrischIn many cases of application, it is supported by actuators. Two vacuum lines are available with the it is desirable that with the actuator two smaller chambers in communication, so that Device to be controlled, for example a throttle valve, optionally given a vacuum to one of them in a vacuum system, can be loaded relatively slowly and the other with the ambient air is actuated, and in this case the adjustment is connected to the piston selectively in the screw 27 on the stop pin 26 to drive down the chamber back and forth. Line flexible screwed on, so that the push button 14 is only about drive structure, for example a rope or a chain, can move axially a small amount. This connects the piston and is around the output shaft Way is the gas conductivity of the vacuum 40 wrapped around this by the movement of the Opening 17 to the outlet opening 29 is considerably narrowed to drive the piston in the direction of rotation. In the preferred way that the vacuum slowly to the actuator th embodiment, the output shaft has a is given to a relatively slow movement cam over which the flexible drive rope or of the? u controlling device. the chain is wound. The cam is eccentric

Wenn das gesteuerte Gerät die gewünschte Stellung 45 zur Welle angeordnet, so daß in gewissen StellungenWhen the controlled device is arranged in the desired position 45 to the shaft, so that in certain positions

erreicht hat, wird der Finger von der Abzugsöffnung je na^h Wunsch mehr oder weniger Drehmoment vonreached, the finger of the trigger opening depending on the desire more or less torque of

und dem Druckknopf 14 weggenommen, so daß die den sich bewegenden Kolben auf die Ausgangs-Ab-and the push button 14 removed so that the moving piston on the output Ab-

Feder 16 den Plunger 14 in die Ausgangsstellung zu- triebswelle übertragen wird. Ein Leck 51 zurück zurSpring 16 the plunger 14 is transferred to the initial position of the drive shaft. A leak 51 back to the

rück'ührt und die Vakuumöffnung 17 schließt und Luft ist mit der Grundplatte 36 in der Vakuumglockereturned and the vacuum opening 17 closes and air is with the base plate 36 in the vacuum bell jar

die Alisgangsleitung 24 und das Betätigungselement 50 35 verbunden, um die Vakuumgloeke dutch ein Leckthe output line 24 and the actuator 50 35 connected to leak the vacuum cover

auf Umgebungsluftdruck entlüftet werden, so daß ('ic mit Umgebungsluftdruck zu verbinden, wenn diebe vented to ambient air pressure, so that ('ic to connect to ambient air pressure when the

Vakuumleistung vom Betätigungsgerät weggenommen Vabmmglocke geöffnet werden soll,Vacuum power removed from the actuating device Vabmmglocke is to be opened,

wird. Zur Erläuterung des Betriebes de» Anlage nachwill. For an explanation of the operation of the »Annex

In F i g. 2 ist eine Hochvakuumanlage mit Druck- Fig. 2 soll angenommen werden, daß die Anlage im knopf-Vakuum-SteiiLTventili-n 1 nach der Erfindung 55 Betrieb gewesen ist und die Vakuumgloeke 35 unter dargestellt Die Anlage weist eine Vakuumgloeke 35 Umpcbu"gsluftdruck steht, dann ist das Hechauf, die mit einer Grundplatte 36 /usammcn eine vakuumventil 43 geschlossen, das Rückschlagventil Kammer bildet, die auf einen relativ niedrigen Druck 46 offen, das Vorvakuumvenlil geschlossen und der von beispielsweise 10~^BTorr evakuiert werden soll. Vakuumballasttank 47 steht untet etwa 10~^:J Torr. Eine Gasleitung 37 führt durch die Grundplatte 36 60 Um die Vakuumgloeke 35 auf K)-'· Torr ?u evakuhindurch, um die Vakuumgloeke 35 zu evakuieren. ieren, wird das Luftleckventil 51 geschlossen, das Eine Vorvakuumtcitung 38 verbindet die Leitung 37 Vorvakumnventil 41 geöffnet und das Rückschlagmit einer mechanischen Vakuumpumpe 39 über ein ventil 46 geschlossen. Um das Vorvakuumvenül 41 Vorvakuumdrossclkiappcnventil 41, mit dem der zu öffnen und das Vakuumventil 46 zu schließen, Öasstrom durch die Leitung 38 abgeschaltet werden 65 werden die betreffenden Druckknöpfe 14 der Druckkann. Eine öldilii'sionspumpe 42 ist Über die relativ knopf-Steuerventile 1 manuell niedergedrückt. Dagroße Leitung 37 mit der Vakuumgloeke 35 verbun- durch wird das Vakuum in der Verteilung 3 und dem rf Ein Hochvakuum-Dfosselklappenventil 43 ist in Ballasttank 47 über die betreffenden Ausgangsleitun-In Fig. 2 is a high vacuum system with pressure. Fig. 2 it should be assumed that the system in the button-vacuum-SteiiLTventili-n 1 according to the invention has been 55 operation and the vacuum cover 35 is shown under The system has a vacuum cover 35 Umpcbu "gsluftdruck is, Then the vacuum valve is closed, with a base plate 36 / usammcn a vacuum valve 43, the check valve chamber, which is open to a relatively low pressure 46, the fore-vacuum valve is closed and which is to be ^{evacuated from 10 ~ B} Torr, for example. Vacuum ballast tank 47 is below about 10 ~ ^{: J} Torr. A gas line 37 runs through the base plate 36 60 To evacuate the vacuum cover 35 to K) - 'Torr? u, in order to evacuate the vacuum cover 35, the air leak valve 51 is closed, the pre-vacuum line 38 connects the line 37 with the prevacuum valve 41 open and the non-return valve closed with a mechanical vacuum pump 39 via a valve 46. To the forevacuum valve 41 prevacuum throttle valve Valve 41, with which the to open and close the vacuum valve 46, the gas flow through the line 38 can be switched off 65 the relevant pushbuttons 14 of the pressure can. An oil dilution pump 42 is manually depressed via the relatively button control valves 1. The large line 37 is connected to the vacuum cover 35, the vacuum in the distribution 3 and the rf.

gen 24 an die richtige Seite der Vakuum-Betätigungselcmcnte 49 gegeben, so daß die Ventile so betrieben werden, wie es durch die Druckknöpfe 14 festgelegt ist. Die Knöpfe werden ausreichend lange niedergedrückt, um die Ventile 41 bzw. 46 vollständig zu öffnen bzw. zu schließen. Nach Freigabe der Druckknöpfe 14 werden die mit Vakuum erregten Betätigungsglieder 49 durch die Leitungen 24 und die DruckkSiopfplunger 14 auf Umgebungsluftdruck entlüftet. Die Ventile 41 und 46 können dann manuell über it> manuelle Steuerknöpfe 52 betätigt werden, die an den Ventilwcllcn der Ventile befestigt sind, wenn das gewünscht wird.gen 24 on the right side of the vacuum actuation button 49 given so that the valves are operated as determined by the push buttons 14 is. The buttons are depressed long enough to completely close the valves 41 and 46, respectively open or close. After releasing the pushbuttons 14, the actuators are excited with a vacuum 49 through the lines 24 and the DruckkSiopfplunger 14 vented to ambient air pressure. The valves 41 and 46 can then be operated manually via it> manual control buttons 52 attached to the valve shafts of the valves can be operated if so desired will.

Wenn ein Druck in der Vakuumglocke 35 auf etwa 100 Mikron herabgesetzt ist, was durch ein nicht dargestelltes Vakuummeter festgestellt wird, wird das Vorvakiiumventil 41 geschlossen, indem der zugehörige »SchließenÄ-Druckknopf 14 manuell gedrückt wird. Das Rückschlagventil 46 und das Hochvakuumventil 43 werden dann geöffnet, indem die »Öffnen«- Druckknopfplunger 14 gedrückt werden. Dann pumpt die Diffusionspumpe 42 die Vakuumglocke 35 auf den gewünschten Druck von beispielsweise 10~⁹Torr nieder.When a pressure in the vacuum bell jar 35 is reduced to about 100 microns, which is determined by a vacuum meter (not shown), the pre-vacuum valve 41 is closed by manually pressing the associated "Close" button 14. The check valve 46 and the high vacuum valve 43 are then opened by pressing the "open" push button plungers 14. Then the diffusion pump 42 pumps the bell jar 35 down to the desired pressure of, for example, 10 ~ ⁹ Torr.

Der Vorteil von Vakuum-Druckknopf-Steuerventilen 1 bei der Anlage nach F i g. 2 besteht darin, daß das Vakuum zur Erregung der Vakuumbclätigungsglicdcr 49 im Ballasttank 47 der mechanischen Vakuumpumpe 49 ohne weiteres zur Verfügung steht. Die Verwendung der verfügbaren Vakuumleistung wird leicht über die Druckknopf-Vakuum-Steuerventile 1 kontrolliert, so daß die Komplizierung durch elektrische Antriebsmotore und Steuerschalter zusammen mit den zugehörigen Stromversorgungen vermieden wird.The advantage of vacuum push button control valves 1 in the system according to FIG. 2 is that the vacuum for exciting the vacuum actuators 49 in the ballast tank 47 of the mechanical vacuum pump 49 is readily available. The use of the available vacuum power is easily controlled via the push-button vacuum control valves 1, thus complicating the electric drive motors and control switches together with the associated power supplies avoided will.

Claims

Patent claims:

I. Manually operated push button vacuum valve with three openings, of which the first forms an outlet opening for connection to a device that is to be switched from ambient air pressure to vacuum, the second forms a vacuum oil port for connection to a vacuum source and the third forms an outlet opening, with which the valve can be vented to ambient air pressure, a plunger that can be moved in the valve. to control the flow of air between the outlet port on the one hand and the vacuum and exhaust oil outlet on the other hand and that to the outside of the valve? rich for manual actuation !, and a spring, with the plunger in ^c: ne position is urged in the Vakuumfluß \ on the vacuum port algeschlossen by the Ausgangsolfnung and AusgangsöfTnung is connected to the exhaust port to the exit port in the rest position on Uniüi-hunusluftdruck to ventilate, characterized in that the discharge opening (2) is arranged on the outer F.ndc of the plunger (14). in order to be able to be closed by covering it with a finger which serves to move the plunger (14) manually in order to open the vacuum channel between the vacuum opening (17) and the exit opening (22, 24) so that the vacuum to the outlet opening (22,24) is switched.

2. Valve according to claim 1, characterized in that it has a valve body (6, 7), which contains an axial bore (11), the movable plunger gas-tight against the inner wall this bore (11) seals and is axially displaceable in this bore (11), the valve body passes through an evacuated chamber (3), gas-tight seals (9, 13) between the Walls (4, 5) of the chamber (3) and the valve body (6, 7) are formed to distribute a vacuum to form in the evacuated chamber (3) in the area around the valve body (6), and a vacuum channel (21) is formed in the valve body (6) and the vacuum opening (17) and the Vacuum distribution (3) connects.

3. Valve according to claim 2, characterized in that a plurality of valve bodies (6, 7) in a similar manner Way tightly inserted into the evacuated chamber (3) to a common vacuum distribution for the different valve bodies.

j. Valve according to claim 1, 2 or 3, characterized in that the manually operated plunger (14) has an axially directed air duct (28) which passes through the plunger (14) in order to connect the outlet opening (2) to the outlet opening (22, 24) to connect.

5. Valve according to claim 4, characterized in that the air duct through the movable Plunger has an axially movable sleeve (27) which has an adjustable limit stop that forms the maximum inward movement de? Plungers (14) limited and thus the maximum Gas conductivity of the vacuum channel between the Adjusts the outlet opening (22, 24) and the vacuum opening (17).

6 Valve according to claim 5, characterized in that the movable sleeve (27) is hollow Screw is. the head of which points towards the trigger opening to allow the screw to be adjusted Insertion of a tool through the extraction opening (2) and the air duct (28) in the movable To facilitate plunger.

7. Valve according to one of claims 1 to 6, characterized by its combination mil a chamber to be evacuated (35). a vacuum pump (39). those with a gas pipe (38 ' is connected to this chamber (35). a valve (41) in the gas line between the chamber (35) and the pump (39). with which the chamber can be switched off by the pump a vacuum-excited actuator (49) serving to actuate the valve. that with tier outlet opening (22. 24) of the push button vacuum valve connected is. and further characterized in that the vacuum opening (17) dos Push-button vacuum valve is vacuum-connected to the vacuum pump (39). to vacuum to the vacuum opening to lecc.n.

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