DE1802932B2 - Method for producing an electrical switch contact - Google Patents

Method for producing an electrical switch contact

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Description

8 Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 65 Otm^^'f^ 8 The method according to claim 1, characterized in that 6 5 O t m ^^ 'f ^

kennzeichnet, daß die Dicke der auf dem Träger verformbar sind, so daß ?£^2^5^Α^indicates that the thickness of the are deformable on the support, so that? £ ^ 2 ^ 5 ^ Α ^

Α!KontaktscWcht etwa 5 αjariryÄSSS^^Α! KontaktscWcht about 5 αjariryÄSSS ^^

3 43 4

Kontaktwerkstoff plattierten Trägerplatten oder stellung von Schaltkontaktplättchen oder -federn in -bändern mit erheblichen Schwierigkeiten wie Dicken- den benötigten hohen Stückzahlen ausscheidet
Schwankungen und Walztexturen verbunden ist Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Außerdem genügt die Kontaktoberfläche, die gerade Verfahren zu finden, welches ohne großen technibei den vorbeschriebenen Kontakten eine sehr ent- 5 sehen Aufwand zu realisieren ist und es gestattet, scheidende Rolle spielt, nicht den gestellten hohen eine relativ dicke Kontaktschicht auf einem metalli-Anforderungen. Da auch galvanische Plattierverfah- sehen Träger in wirtschaftlich vertretbarer Weise re im vorliegenden Fall nicht zum Ziele führten, herzustellen. Solche Schaltkontaktplättchen oder wurden auch Versuche unternommen, um die Kon- -federn werden in außerordentlich großen Stücktaktschicht auf dem metallischen Träger durch Kon- io zahlen benötigt, so daß die Herstellung mit möglichst densation ais der Gasphase herzustellen. niederen Kosten seit langem ein echtes Problem
Contact material clad carrier plates or setting of switching contact plates or springs in strips with considerable difficulties such as thicknesses, the required high numbers of pieces are eliminated
Fluctuations and rolling textures is connected. The invention is based on the task of finding a contact surface is not sufficient to find the straight process, which can be implemented without a great deal of technical effort in the contacts described above and which allows it to play a decisive role The high demands placed on a relatively thick contact layer on a metalli. Since also galvanic plating processes see carriers in an economically justifiable manner did not lead to the goal of producing in the present case. Such switching contact platelets or attempts have also been made to number the cones in an extraordinarily large piece clock layer on the metallic carrier, so that the production can be made with densation as possible as the gas phase. low cost has long been a real problem

Daher wurde schon vorgeschlagen, die Kontakt- darstelltTherefore it has already been suggested that the contact represents

schicht auf dem Träger dadurch herzustellen, daß der Gelöst wird diese Aufgabe bei einem Verfahren Kontaktwerkstoff in einem gasdicht abgeschlossenen zur Herstellung eines elektrischen Schaltkontaktplätt-Gehäuse, in welchem ein Hochvakuum aufrechterhal- 15 chens oder einer Schaltkontaktfeder für die Schwächten wird, mittels Elektronenstrahlen verdampft und Stromtechnik, bestehend aus einem metallischen auf dem Träger kondensiert wird. Es hat sich aber ge- Träger, welcher wenigstens auf einer Oberflächenseite zeigt, daß die Kontrolle der Temperatur der Konden- teilweise mit einem Kontaktwerkstoff in einem gassationsfläche ein außerordentlich schwer lösbares dicht abgeschlossenen Gehäuse mit einer Gasatmo-Problem darstellt, wenn relativ dicke, beispielsweise ao sphäre unter reduziertem Druck durch Zerstäuben 10 μΐη und mehr dicke Schichten aus schwer ver- beschichtet wird, durch die Vereinigung folgender dampfbarem Werkstoff wie beispielsweise Wolfram, Merkmale:To produce a layer on the carrier by the fact that this object is achieved in a process Contact material in a gas-tight sealed for the production of an electrical switch contact plate housing, in which a high vacuum is maintained or a switch contact spring for the weak is evaporated by means of electron beams and electricity technology, consisting of a metallic is condensed on the carrier. However, it has been found that the carrier is at least on one surface side shows that the control of the temperature of the condensate partly with a contact material in a gassation surface an extremely difficult to solve tightly sealed housing with a gas atmosphere problem represents when relatively thick, for example ao sphere under reduced pressure by atomization 10 μΐη and more thick layers are coated from heavy, by the union of the following steamable material such as tungsten, features:

Molybdän oder Rhenium auf dem Träger erzeugt dje Gasatmowhäre mtmt merte und/oder Molybdenum or rhenium on the carrier generated DJE Gasatmowhäre MTMT merte and / or

werden sollen. Um den durch Elektronenstrahl- solche reaktivere, die mit dem Kontaktwerk-should be. In order to avoid the electron beam - those more reactive ones that interact with the contact

beschuß erzeugten Dampf günstig ausnutzen zu kon- a5 stoff m ^ Verbi'nd ^6 Karbid Borid bombardment vapor produced exploit low to a con- 5 material Verbi m ^ '^ nd 6 carbide boride

nen, muß die Entfernung zwischen Dampf quelle und Qder Nitrfd reagieren.The distance between the steam source and the nitride must react .

Träger möglichst klein sein. Hierdurch wird aber die der Druck'liegfim Bereich von 10-2 mm Hg Wirkung der von der auf wenigstens 3600° C befind- b· ■, γ, b b liehen Metallschmelze ausgehenden Wärmestrahlung die Kontakfs'chicht wird Μηα& Hochfrequenzauf den Trager extrem hoch, so daß besondere Vor- 30 plasmaentladung auf den Träger in einer Dicke kehrungen getroffen werden müssen, um die dem £on χ feis WQ m ab schiedeJ weIche m einem Trager zugestrahUe Warme abzuführen. Außerdem geschlitzten Hohlzylinder erzeugt wird, innerwirkt die starke Temperaturstrahlung an al en Stel- g ,b dessen eine Elektrode angeo S rdnet ^.
len des Gehauseinneren die von der Strahlung ge- wenigstens die innere Mantelfläche des Hohltroffen werden gasdesorbierend, so daß riesige Va- 35 Unders besteht aus dem zu zerstäubenden kuumpumpensatze notwendig sind, um das Hoch- Kontaktwerkstoff·
Carrier should be as small as possible. In this way 'of of the at least 3600 ° C befind- b · ■, γ, bb loan molten metal outgoing heat radiation f contactless m lie GFIM range of 10-2 mm H g effect s' but the pressure is chicht Μηα & Hochfrequenzauf the exchanger extremely high, so that special advantages must be taken precautions 30 plasma discharge onto the substrate to a thickness to the £ on χ feis WQ m m from differences J soft one exchanger to dissipate heat zugestrahUe. Moreover, slotted hollow cylinder is generated, inner affects the strong temperature radiation at al en STEL g, b whose one electrode angeo RDnet S ^.
The inside of the housing, at least the inner surface of the hollow surface, is gas-desorbing, so that huge quantities of the pump sets to be atomized are necessary to ensure the high-contact material.

vakuum aufrechtzuerhalten Ein zu hoher Druck der m beschicht;nde OberflächenteU des Trä-Maintain vacuum Too high a pressure of the m coating ; nde surface area of the wearer

fuhrt insbesondere bei Wolfram oder Molybdän zu wW m dnem bestimmten Abstand außer.especially with tungsten or molybdenum leads to wW m dn a certain distance except .

mangelhaften, spröden Schichten. Zudem machen galb des Hohlzvlinders dem Schlitz zugekehrtdefective, brittle layers. In addition, make the hollow cylinder facing the slot

sich starke Ströme von Streuelektronen ziemlich stö- 40 angeordnet 'strong currents of scattered electrons are arranged in a rather disruptive manner

rend bemerkbar. Auch die Verdampfungsrate dieser s rend noticeable. The evaporation rate of these s

Metalle ist selbst bei hohen Elektronenstrahlleistungen Aus der französischen Patentschrift 1502 647 sindMetals is even at high electron beam powers. From French patent specification 1502 647 are

sehr gering, weil die Wärmeverluste, einerseits durch bei einem Verfahren und Vorrichtung zum Aufbrin-very low, because the heat losses, on the one hand due to a method and device for applying

die Wärmeableitung an den wassergekühlten Ver- gen dünner Schichten, wie Schutzschichten, Verbin-the heat dissipation at the water-cooled connections of thin layers, such as protective layers, connec-

dampfungstiegel, andererseits durch die Wärmestrah- 45 dungsschichten oder Verkleidungsschichten, mittelssteam crucible, on the other hand through the heat radiation layers or cladding layers, by means of

lung von der Schmelzbadoberfläche, extrem hoch Zerstäubung spezielle Elektrodenformen bekannt, diement of the molten bath surface, extremely high atomization special electrode shapes known that

sind. Ferner bereitet die Herstellung von Kontakt- als Mittel zur Erzeugung des Hochfrequenzfeldesare. It also prepares the production of contact as a means for generating the high-frequency field

schichten aus Legierungen mittels des Elektronen- auch kapazitiv wirken. Diese Elektrodenformen sindlayers of alloys by means of the electron also act capacitively. These electrode shapes are

strahl-Verdampfungsverfahrens erhebliche Schwierig- jedoch mit Verlusten behaftet, die aufzuwendendejet evaporation process is considerably difficult, however, with losses that have to be expended

keiten in bezug auf die einheitliche Legierungszusam- 50 Energie ist groß und der Wirkungsgrad der Zerstäu-50 energy is great and the efficiency of the atomization

mensetzung innerhalb der gesamten Kontaktschicht. bung gering.composition within the entire contact layer. exercise low.

Auch das Verdampfen von Platin, Palladium, Aus der deutschen Patentschrift 1131484 ist ein Rhodium oder einer Basislegierung eines Metalls die- Verfahren und eine Vorrichtung zum Bedampfen von ser Gruppe unter reduziertem Druck zum Zwecke Metallen auf einen Träger bekannt, welcher bandförder Herstellung von Kontaktschichten ist mit erheb- 55 mig ausgebildet ist und auf einen Zylinder, sich teillichen Schwierigkeiteen verbunden, weil diese Me- weise überdeckend, aufgewickelt ist.
talle im schmelzflüssigen, überhitzten Zustand, wie er Besonders bewährt hat sich das erfindungsgemäße bei der Verdampfung vorliegt, mit den üblichen Verfahren für hochschmelzende, schwerverformbare Tiegelmaterialien reagieren. Metalle aus der Gruppe Molybdän, Wolfram, Rhe-
Also the evaporation of platinum, palladium, from the German patent 1131484 a rhodium or a base alloy of a metal die-process and a device for the vapor deposition of this group under reduced pressure for the purpose of metals on a carrier known, which is belt conveyor production of contact layers with is of considerable design and is connected to a cylinder, with some difficulties, because this way is coiled, wound up.
talle in the molten, overheated state, as it has proven particularly useful, the present invention is present in the evaporation, react with the usual methods for high-melting, difficult to deform crucible materials. Metals from the group molybdenum, tungsten, rhe-

Versuche, Kontaktschichten unter Anwendung der 60 nium, Ruthenium, Iridium oder für eine Basislegie-Attempts to make contact layers using the 60 nium, ruthenium, iridium or for a base alloy

unter dem Namen Kathodenzerstäubung an sich rung eines Metalls dieser Gruppe oder für eineunder the name cathode sputtering in itself a metal of this group or for a

bekannten, aber für andere Zwecke benutzten Ver- Legierung aus wenigstens zwei Metallen dieserknown, but used for other purposes, alloy of at least two metals of these

fahren herzustellen — gleichgültig, ob es sich dabei Gruppe. Mit Vorteil kann das erfindungsgemäße Ver-drive to establish - regardless of whether it is a group. The inventive method can advantageously

um Dioden-, Trioden- oder Tetrodenverfahren han- fahren auch für Metalle aus der Gruppe Platin,Diode, triode or tetrode processes are also available for metals from the platinum group,

delt —, haben ergeben, daß für die Herstellung einer 65 Palladium, Rhodium oder für eine Basislegierungdelt -, have shown that for the production of a 65 palladium, rhodium or for a base alloy

ausreichend dicken Kontaktschicht auf dem Träger eines Metalls dieser Gruppe verwendet werden, weilsufficiently thick contact layer on the support of a metal of this group can be used because

eine so lange Zeit erforderlich ist, daß das Verfahren bei diesem Verfahren kein Tiegel zur Aufnahme dessuch a long time is required that the process does not use a crucible for receiving the

allein schon wegen Unwirtschaftlichkeit für die Her- Metalls erforderlich ist und somit nachteilige Reak-alone because of inefficiency for the Her- Metalls is necessary and thus disadvantageous reac-

5 65 6

tionen mit dem Tiegelwerkstoff, wie sie beim Ver- lung guter Ergebnisse hinsichtlich Kontaktwiderstand dampfen dieser Metalle unter reduziertem Druck und Lebensdauer als zweckmäßig erwiesen, auf die beobachtet wurden, vermieden werden. Für die Her- Kontaktschicht aus hochschmelzendem, schwer verstellung von Kontaktschichten aus einer Basislegie- formbarem Metall eine zusätzliche Schicht aus einem rung des Goldes oder Silbers hat sich das erfindungs- 5 Metall aus der Gruppe Gold, Silber, Platin, Palladium gemäße Verfahren ebenfalls sehr bewährt. oder aus einer Basislegierung aus einem Metall dieser Das in dem Hohlzylinder durch Hochfrequenz Gruppe oder aus einer Legierung aus wenigstens zwei erzeugte Plasma kann in vorteilhafter Weise noch Metallen dieser Gruppe aufzutragen. Diese zusätzdurch ein Magnetfeld verdichtet werden, wodurch liehe Edelmetallschicht, deren Dicke man kleiner als sich besonders hohe Zerstäubungsraten erzielen las- io die Dicke der Kontaktschicht aus hochschmelzensen. Erfindungsgemäß hergestellte Kontaktschichten dem, schwer verformbaren Metall wählt, vielfach beweisen eine sehr gute Haftfähigkeit auf dem Träger trägt sie etwa V™ der Dicke der Kontaktwerkstoffauf. Selbst bei einer Biegeprobe von 90° zeigten schicht, wird vorteilhafterweise direkt im Anschluß solche Kontaktschichten keine Risse und platzten an das Auftragen der Kontaktschicht dadurch erauch nicht von dem Träger ab. Die Mikrohärte- 15 zeugt, daß in dem gleichen gasdicht abgeschlossenen Werte von aufgestäubten Kontaktschichten aus hoch- Gehäuse, in welchem ein Druck im Bereich von schmelzenden, schwer verformbaren Metallen sind 10-zmm Hg bis lmm Hg aufrechterhalten wird, ebenfalls sehr günstig. Beispielsweise wurden folgende das Edelmetall oder die Edelmetall-Legierung eben-Mikrohärte-Werte (Vickers mit 25 g Belastung) ge- falls durch Hochfrequenz-Plasma-Entladung zermessen: Wolfram 380, Molybdän 230, Ruthenium 30 stäubt und auf der Kontaktschicht niedergeschlagen 320. wird.Functions with the crucible material, which have been shown to be useful when producing good results with regard to contact resistance, vaporization of these metals under reduced pressure and service life, which have been observed, can be avoided. The method according to the invention from the group of gold, silver, platinum, palladium has also proven to be very useful for the contact layer made of high-melting, difficult-to-adjust contact layers made of a base alloy that can be formed into an additional layer of gold or silver . or from a base alloy made from a metal of this group. The plasma generated in the hollow cylinder by a high-frequency group or from an alloy of at least two can advantageously also apply metals from this group. These are additionally compressed by a magnetic field, whereby the noble metal layer, the thickness of which is smaller than particularly high sputtering rates, can be achieved by melting the thickness of the contact layer from high melting points. Contact layers produced according to the invention are selected for the metal that is difficult to deform, and in many cases they demonstrate very good adhesion to the carrier, they apply approximately V ™ the thickness of the contact material. Even in the case of a bending test of 90 °, such contact layers will advantageously not have any cracks immediately afterwards and will not flake off the carrier when the contact layer is applied. The microhardness 15 demonstrates that, in the same gas-tight sealed values of sputtered contact layers of high-housing, in which a pressure in the range of melting, heavy metals are deformable 10- z mm Hg is maintained until lmm Hg, also very low. For example, the following noble metal or noble metal alloy even micro-hardness values (Vickers with 25 g load) were measured by high-frequency plasma discharge if necessary: Tungsten 380, molybdenum 230, ruthenium 30 dusted and deposited 320 on the contact layer .

Auch für die Beschichtung des Trägers mit einer An Hand des in der Fig. 1 schematisch darge-Kontaktschicht, welche aus einer Legierung besteht, stellten Ausführungsbeispiels einer Vorrichtung zur hat sich das erfindungsgemäße Verfahren sehr be- Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens währt. Die Legierungs-Kontaktschichten wiesen die 25 wird das Verfahren kurz beschrieben, gleichen Eigenschaften wie die zu zerstäubende Aus- Die Fig. 2 und 3 zeigen je einen Vertikalschnitt gangslegierung auf und sie entsprachen, wie durch durch erfindungsgemäß hergestellte Schaltkontakt-Analysen festgestellt wurde, in ihrer Zusammen- plättchen.Also for the coating of the carrier with a contact layer shown schematically in FIG. 1, which consists of an alloy, provided an embodiment of a device the method according to the invention has proven to be very useful. Implementation of the method according to the invention lasts. The alloy contact layers had the 25 the method is briefly described, the same properties as the atomized form. Figs. 2 and 3 each show a vertical section transition alloy and they corresponded, as by switching contact analyzes produced according to the invention was found in their joint platelets.

setzung der Zusammensetzung der Ausgangslegierung. In dem gasdicht abgeschlossenen Gehäuse 1 ist ein Auch wurde nach längerer Abtragungszeit trotz 30 Hohlzylinder 2, der einen Schlitz 3 aufweist, angeordunterschiedlicher Verdampfungswärmen der Legie- net. Wenigstens die Innenfläche des Hohlzylinders rungskomponentcn keine Änderung der Zusammen- besteht aus dem zu zerstäubenden Werkstoff; selbstsetzung der zu zerstäubenden Ausgangslegierung fest- verständlich kann auch der ganze Hohlzylinder aus gestellt. zu zerstäubendem Werkstoff bestehen. In der Achse Kontaktschichten aus einem Metallkarbid, -bond 35 des Hohlzylinders ist die Elektrode 4 angeordnet. Die oder -nitrid lassen sich mit dem erfindungsgemäßen Elektrode und der Hohlzylinder sind an den Hoch-Verfahren ebenfalls in vorteilhafter Weise herstellen. frequenzgenerator 5 angeschlossen. Über die mit Hierzu fügt man beispielsweise dem in dem gasdicht einem Nadelventil 6 versehene Leitung 7 wird Edelabgeschiossenen Gehäuse befindlichen Edelgas einen gas, beispielsweise reines Argon, in das Gehäuse einan sich bekannten gasförmigen Zusatz bei, welcher 40 geleitet. Mittels des Vakuumpumpenaggregates 8 wiid mit dem zerstäubten metallischen Werkstoff unter BiI- in dem Gehäuse 1 ein Druck im Bereich von 10~z mm dung eines Karbids, Borids oder Nitrids reagiert. Das Hg bis 1 mm Hg aufrechterhalten. Oberhalb des Reaktionsprodukt wird dann auf dem Träger als Hohlzylinders 2, in nicht zu großem Abstand vom Kontaktschicht kondensiert. Schute 3, ist ein kegelstumpfförmiger Körper 9 dreh-Zur Herstellung großer Stückzahlen von erfin- 45 bar angeordnet. Auf diesen Körper ist ein bandfördungsgemäß beschichteten Schaltkontaktplättchen miger Träger 10 aufgewickelt welcher mit der Konoder -federn hat es sich als besonders vorteilhaft er- taktschicht erfindungsgemäß beschichtet werden soll, wiesen, platten- oder bandförmige Träger zu ver- Die Wicklung des Trägers 10 ist im Ausführungsbeiwenden, bei denen die nicht zu beschichtende Ober- spiel so gewählt, daß von links nach rechts gesehen fläehenteile abgedeckt sind. Diese Träger werden 50 jede nachfolgende Trägerbandwindung einen Teil der dann während der Beschichtung langsam durch den Oberfläche der vorangehenden Trägerbandwindung Strom aus zerstäubten Metallpartikelchen hindurch- abdeckt so daß nur der frei bleibende Oberflächenteil bewegt beispielsweise in nicht zu großem Abstand einer Trägerbandwindung mit der Kontaktschicht bean dem Schlitz des in dem gasdicht abgeschlossenen schichtet wird. Innerhalb des Hohlzylinders 2 wird Gehäuse angeordneten Hohlzylinders. Nachdem die 55 bei Erregung des Hochfrequenzgenerators 5 eine platten- oder bandförmigen Träger beschichtet sind, Hochfrequenz - Plasma - Entladung erzeugt durch werden aus ihnen außerhalb des Gehäuses der Be- welche Metallpartikelchen von dem Hohlzylinder 2 Schichtungsvorrichtung die Schaltkontaktplättchen und der Elektrode 4 abgetragen werden. Diese Me- oder -federn ausgestanzt Ein Ausfransen der Schnitt- tallpartikelchen treten als Partikelchenstrom 11 durch kanten wurde nicht beobachtet 60 den Schlitz 3 hindurch und werden auf der Träger-Ais Trägerwerkstoffe haben sich übliche metalli- bandoberfläche niedergeschlagen. Während dieser ersehe Trägerwerkstoffe bewährt, insbesondere ferro- findungsgemäßen Beschichtung des Trägers 10 wird magnetische Werkstoffe, wie beispielsweise Eisen- der Körper 9, wie in Pfeilrichtung angegeben, lang-Nickel-Legierungen, aber auch Neusilber, Messing, sam gedreht, so daß nach und nach alle freien Ober-Bronze oder reine Metalle wie Kupfer, Silber oder 65 flächentefle des Trägers 10 durch den Partikelchenifickel. strom 11 hindurchgefühlt und somit mit der Kontakt-Auch bei erfindungsgemäß hergestellten Schalt- schicht beschichtet werden. Wenn das gesamte Trälcontaktplättehen oder -federn hat es sich zur Erzie- gerband beschichtet ist wird der Körper 9 aus demsetting the composition of the base alloy. In the housing 1, which is sealed in a gastight manner, there is also, after a long removal time, despite 30 hollow cylinders 2, which have a slot 3, different heats of vaporization of the alloy. At least the inner surface of the hollow cylinder does not change the composition of the material to be atomized; self-determination of the starting alloy to be atomized, of course, the entire hollow cylinder can also be made. to be atomized material exist. The electrode 4 is arranged in the axis of contact layers made of a metal carbide, metal bond 35 of the hollow cylinder. The or nitride can also be produced in an advantageous manner with the electrode according to the invention and the hollow cylinder using the Hoch process. frequency generator 5 connected. Via the noble gas, for example pure argon, a gas, for example pure argon, which is known per se, is added to the housing via the noble gas located in the gas-tight needle valve 6, which is provided with a gas-tight needle valve 6. Wiid by means of the vacuum pump unit 8 is a pressure in the range of 10 ~ z mm dung of a carbide, boride or nitride reacts with the sputtered metallic material under BiI- in the housing. 1 Maintain Hg to 1 mm Hg. Above the reaction product, condensation is then carried out on the support as a hollow cylinder 2, not too far from the contact layer. Schute 3, a frustoconical body 9 is rotatably arranged for the production of large quantities of inventively 45 bar. A switching contact plate coated in accordance with the belt conveyor 10 is wound onto this body, which has been found to be particularly advantageous to be coated according to the invention with the Konoder -federn , in which the upper game that is not to be coated is selected in such a way that surface parts are covered when viewed from left to right. These carriers will cover part of the flow of atomized metal particles slowly through the surface of the preceding carrier tape turn during the coating, so that only the surface part that remains free moves, for example, in a not too great distance of a carrier tape turn with the contact layer next to the slot is layered in the gas-tight sealed. Inside the hollow cylinder 2 there is a hollow cylinder housing arranged. After the 55 is coated with a plate or band-shaped carrier when the high-frequency generator 5 is excited, high-frequency plasma discharge is generated by the metal particles from the hollow cylinder 2 layering device, the switching contact plates and the electrode 4 are removed from them outside the housing. These metal or springs are punched out A fraying of the cut metal particles emerge as a stream of particles 11 through the edges was not observed 60 through the slot 3 and if the carrier materials are deposited on the carrier material, the usual metal strip surface has been deposited. During this see support materials proven, in particular ferro-inventive coating of the support 10, magnetic materials such as iron, the body 9, as indicated in the direction of the arrow, long nickel alloys, but also nickel silver, brass, sam rotated so that after and after all free upper bronze or pure metals such as copper, silver or 65 flat surface of the carrier 10 through the particle filing. current 11 is sensed through it and thus coated with the contact layer also in the case of the switching layer produced according to the invention. When the entire Trälcontaktplättehen or -federn has been coated to educate the body 9 from the

Gehäuse 1 herausgenommen, das Trägerband 10 von ihm abgewickelt, und anschließend werden in normaler Atmosphäre aus dem Trägerband die Schaltkontaktplättchen oder -federn ausgestanzt.Housing 1 removed, the carrier tape 10 unwound from it, and then in normal Atmosphere from the carrier tape punched the switching contact plates or springs.

Die Fig. 2 und 3 zeigen einen Vertikalschnitt durch erfindungsgemäß beschichtete Schaltkontaktplättchen. In Fig. 2 ist der Träger 10 auf seiner Oberfläche teilweise mit der Kontaktschicht 12, bei-2 and 3 show a vertical section through switching contact plates coated according to the invention. In Fig. 2, the carrier 10 is partially on its surface with the contact layer 12, both

spielsweise aus hochschmelzendem, schwer verformbarem Metall belegt. Bei dem in F i g. 3 dargestellten Schaltkontaktplättchen ist zusätzlich auf die Kontaktschicht 12, deren Dicke beispielsweise größenordnungsmäßig etwa 10 μπι beträgt, noch eine Edelmetallschicht 13 niedergeschlagen. Die Dicke dei Edelmetallschicht 13 beträgt für dieses Beispiel etwa 1 μπι bis einige μπι.for example, made of high-melting, difficult-to-deform metal. In the case of the FIG. 3 shown Switching contact plate is also on the contact layer 12, the thickness of which, for example, is of the order of magnitude is about 10 μπι, nor a noble metal layer 13 dejected. The thickness of the noble metal layer 13 is approximately for this example 1 μπι to a few μπι.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (7)

Patentansprüche:Patent claims: ! 2 ! 2 9 Verfahren nach einem der vorhergehenden9 Method according to one of the preceding I.Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Neusilbej M^gI. Process for the production of an electric Neusilbej M ^ g Schaltkontaktplättchens oder einer Schaltkontakt- 5 Sdber oder Nickel, v feder für die Schwachstromtechnik, bestehend aus
einem metallischen Träger, welcher wenigstens
auf einer Oberflächenseite teilweise mit einem
Kontaktwerkstoff in einem gasdicht abgeschlossenen Gehäuse mit einer Gasatmosphäre unter io
Switching contact plate or a switching contact 5 Sdber or nickel, v spring for low-voltage technology, consisting of
a metallic support, which at least
on one surface side partially with a
Contact material in a gas-tight sealed housing with a gas atmosphere below OK
reduziertem Druck durch Zerstäuben beschichtet Prfindune bezieht sich auf ein Verfahren zur wird, gekennzeichnet durch die Vereini- *™ίϊώ2 elektrischen Schaltkontaktplättgung folgender Merkmale: cS ode?einer Schaltkontaktfeder für die Schwachdie Gasatmosphäre enthält inerte und/oder ctromtechnik. , ... solche reaktive Gase, die mit dem Kontakt- a Die Relais der elektrischen Schwachstromtechnik, werkstoff zu einer Verbindung, wie Karbid, insbesondere der Nachrichtentechnik, werden in zu-Borid oder Nitrid, reagieren; nehmendem Maße als Schutzgasrelais mit magnetider Druck liegt im Bereich von 10~2 mm Hg h Betätigung ausgeführt. An die Kontaktwerkbis 1 mm Hg; ao stoffe werden besonders hohe Anforderungen gestellt, die Kontaktschicht wird mittels Hochfre- wenn ^6 von den Relais erwarteten hohen bcnaltquenzplasmaentladung auf den Träger (10) Z!mlen von größenordnungsmäßig 10? bis \QS erin einer Dicke von 1 bis 100 μχα abgeschie- rdcht werden sonen. Als Kontaktwerkstoffe werden den, welche in einem geschlitzten Hohlzylin- beispielsweise schwer verformbares Metalle wie WoIfder (2) erzeugt wird, innerhalb dessen eine ram Molybdän, Rhenium, Ruthenium oder Basis-Elektrode (4) angeordnet ist; legierungen der genannten Metalle verwendet. Inswenigstens die innere Mantelfläche des Hohl- besOndere gelangen Schaltkontaktplattchen oder Zylinders (2) besteht aus dem zu zerstäuben- Schaltkontaktfedern zur Anwendung, welche aus den Kontaktwerkstoff; einem metallischen Träger bestehen, der nut dem der zu beschichtende Oberflächenteil des Kontaktwerkstoff wenigstens auf einer Oberflächen-Trägers (10) wird in einem bestimmten Ab- seite tenweiSe beschichtet ist. Als Werkstoffe fur den stand außerhalb des Hohlzylinders, dem Träger eignen sich ferromagnetische Werkstoffe, wie Schlitz (3) zugekehrt, angeordnet. beispielsweise Eisen-Nickel-Legierungen, aber auchreduced pressure by sputtering coated PRFI ndune relates to a method of, is characterized by of association * ™ ίϊώ2 electrical Schaltkontaktplättgung following features: cS ode a switching contact spring is mildly for the gas atmosphere contains inert and / or ctromtechnik?. , ... such reactive gases with the contact a, the relay of the low-voltage electrical engineering, material to a compound such as carbide, in particular of telecommunication are in to boride or nitride react; increasingly designed as a protective gas relay with magnetic pressure is in the range of 10 ~ 2 mm Hg h actuation. To the contact mechanism up to 1 mm Hg; ao materials are particularly high demands, the contact layer by means of high-frequency when ^ 6 of the relay expected high bcnaltquenzplasmaentladung to the carrier (10) Z! m len of the order of 10? to \ Q S erdcht in a thickness of 1 to 100 μχα so n e n. The contact materials are those which are produced in a slotted hollow cylinder - for example, difficult to deform metals such as WoIfder (2), within which a ram of molybdenum, Rhenium, ruthenium or base electrode (4) is arranged; alloys of the metals mentioned are used. Inswenigstens the inner lateral surface of the hollow be s d On he e reach Schaltkontaktplattchen or cylinder (2) consists of the switching to zerstäuben- contact springs for use, which consists of the contact material; m a metal support consist of the groove which the i S e coated surface to be coated portion of the contact material on at least one surface support (10) is in a certain intervals we page ts. Suitable materials for the stand outside the hollow cylinder, the carrier, are ferromagnetic materials, such as the slot (3) arranged facing. for example iron-nickel alloys, but also , . , , Noii^ilher Messine, Bronze oder reine Metalle wie,. ,, Noii ^ ilher Messine, bronze or pure metals like
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- NeusiIber M»ang, Ergebnisse hinsichtkennzeichnet, daß als Kontaktwerkstoff Mo, W, 35 ^J^rid^Snind Lebensdauer werden Re, Pt, Pd, Rh, Au, Ag, Ru, Ir oder eine Basis- hch Kontaktwidemana ^ ^^ ^^2. The method of claim 1, characterized overall NeusiIber M "ang, profits or losses respects indicates that as the contact material Mo, W, 35 ^ J ^ rid ^ Snind service life Re, Pt, Pd, Rh, Au, Ag, Ru, Ir or a basic hch Kontaktwidemana ^ ^^ ^^ legierung eines Metalls dieser Gruppe oder eine ^^^'^1 oder mit einer Basislegierungalloy of a metal of this group or a ^^^ '^ 1 or with a base alloy Legierung aus wenigstens zwei Metallen dieser ^f™^Xen MetaU _ das ist eine Legierung,Alloy of at least two metals of these ^ f ™ ^ X en MetaU _ that is an alloy, Gruppe zerstaubt wird. H^ren Hauptbestandteil ein schwer verformbares Me-Group is atomized. The main component is a difficult to deform material 3. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch ge- 4<> ^n Ha^ptbestan ^ ^ ^ ^3. The method according to claim 1 characterized by 4 <> ^ n Ha ^ ptbestan ^ ^ ^ ^ kennzeichnet, daß das in dem Hohlzylinder (2) gLJ^k^gddcbt zusätzlich eine bei Konerzeugte Hochfrequenzplasma durch em Magnet- Kontak^erkstomcni ^ ^ ^ verschwdßende indicates that the in the hollow cylinder (2) gLJ ^ k ^ gddcbt in addition a high-frequency plasma generated at Kon by em magnetic contact ^ erstomcni ^ ^ ^ dissipates feld verdichtet wird. Schicht aus einem Edelmetall aus der Gruppe Gold,field is compressed. Layer of a precious metal from the group gold, 4. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch ge- ™rpiatinmetall oder aus einer Edelmetall-Basiskennzeichnet,daß die innerhalb des Hohlzylinders « fllb p e''P'aV™et^is dieser Gruppe - das ist eine (2) angeordnete Elektrode (4) stabförmig ausge- ^^^^^S^SSaiiS ein Edelmetall bildet ist, in der Achse des Hohlzyhnders hegt Lgerui. ..ren η P wir uffl die Rei. und aus dem zu zerstäubenden Kontaktwerkstoff dte^ ;· :;;.i veIbiidene Erosion herabzusetzen.4. The method according to claim 1 characterized overall ™ r piatinmetall or a noble metal base indicates that the inside of the hollow cylinder "f llb p e '' P 'a V ™ et ^ i s of this group - this is a (2) arranged Electrode (4) is rod-shaped - ^^^^^ S ^ SSaiiS is a noble metal, in the axis of the hollow cylinder lies Lgerui. ..ren η P we uffl die Rei . and from the contact material to be atomized dte ^ ; ·: ;;. I veI to reduce biidene erosion. Verfahren nach einem der vorhergel.nd.n 5o JJ^-^Ä ^S kann,^Procedure according to one of the foregoing and n 5 o JJ ^ - ^ Ä ^ S can, ^ Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß em Edelmetall ^"""^ j. k Ut vielfach dieClaims, characterized in that em precious metal ^ """^ j. K Ut often the platfen- oder bandförmiger Träger (10) verwendet ^f^\\^ Ζ^Ζ£ Ko^St Z Plate or ribbon-shaped carrier (10) used ^ f ^ \\ ^ Ζ ^ Ζ £ Ko ^ St Z wird, der auf einem drehbaren Korper (9) aufge- auf dem irager J»™Be"" zehnfachethat on a rotatable body (9) is tenfold on the irager J »™ B e "" wickelt ist, «ter während der Zerstäubung und gh-r -rformb^«JJSÄ^SÄwraps is, «ter during atomization and gh-r -rformb ^« JJSÄ ^ SÄ S Absehe dung langsam gedreht wird. 55 Dicke oesitzen, diMj w μ S the assembly is rotated slowly. 55 Thickness sit, diMj w μ 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch ge- mäßig etwa 10 μΐη stark sern6. The method according to claim 5, thereby moderately about 10 μΐη strongly sern kennzeichnet, daß der platten- oder bandförmige Ein besonders ^«J^indicates that the plate or ribbon-shaped A is particularly ^ «J ^ Träger (10) auf einem kegelstumpfförmigen Kör- Herstellung ^.^X^Carrier (10) on a frustoconical body production ^. ^ X ^ per derart aufgewickelt ist, daß die Windungen richtentechmk bestimmten ^ des Träeers sich gegenseitig überlappen. 6o oder Schaltkontaktfedern, die inis wound by such that the turns richtentechmk certain ^ of the wearer overlap each other. 6o or switch contact springs that are included in 7 vSen nS^Anforuch 1 dadurch ge- großen Stückzahlen benötigt werden7 vSen nS ^ Requirement 1 as a result, large numbers of items are required kennzdSuS^iS £Σ£^Ά& ^e WTS^SSÄ i^kennzdSuS ^ iS £ Σ £ ^ Ά & ^ e WTS ^ SSÄ i ^ gase und bis etwa 20Volumprozent Wasserstoff ^dgases and up to about 20 percent by volume hydrogen ^ d
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