DE1767988A1 - Verfahren zum Erhitzen von teilchenfoermigem Material - Google Patents

Verfahren zum Erhitzen von teilchenfoermigem Material

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plasma volume
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DE19681767988
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Macdonald Peter Compton
Riley Arthur Leonard
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British Titan Ltd
Original Assignee
British Titan Ltd
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H01J37/321—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being inductively coupled to the plasma
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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