DE1765645A1 - Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Schaltung oder Stanze - Google Patents

Description

Anmelderlns Stuttgart, den 24»Juni 1968

Electro GcnnactiTs Systems _t Inc« P 1816 S/kg 87 Westgate DX
Brocfcfcon„ M

Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Schaltung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Schaltung, die eine leitfähige Folie auf einer iaolierancien Trä.-erachinht aufweist, bei dem die Folie mit eineir. Film aus eiitea lichtempfindlichen» nicht ätzbarer» Material oderirtj der Film anschließend selektiv belichtet, erctwickelt ν>ηά in den durch Beiich» ten und Entwickeln festgelegten Bereichen entfernt und anschließend in äleu«.ji Bereiohen die leitfähige Folie weggeätzt wirdο

RAD ORIGINAL· 109835/130Q ^ΒΛυ

Gedruckte Schaltungen finden in der Elektroindustrie und insbesondere in dar Elektronik rJ.elfältlg« Anwendung, Verfahren zxv Verbindung vtm isolierenden Trägerschichten mit leitfähigan Folien, das Abdecken von gewissen Boreichen dieser Folien mit einem Film aus nicht ätzbare© Material, das Wegätzen der nicht abgedeckten Teile der Folien und schließlich das Entfernen des Filmes sind bekannt» Seit einiger Zeit werden derartige Techniken auch bei der Herstellung von Kabeln unbestimmter Länge benutzt₈ die aus parallelen flachan Leitern auf einem flexiblen dielektrischen Band bestehen»

Es gibt verschiedene Verfahren» die benutzt werden, um die leitl'ähige Folie mit einem Film aus nicht ätzbarem Material abzudecken und die gewünschte Schaltungestruktux· su Jihalten, vwn die leitfähige Folie anschließend einem Ätzprozeß unterworfen wirdο Als "nicht ätzbar" werden hier solche Materialien bezeichnet_s die von der Ätslösung, die dem Entfernen der ungeschützten Teile der leitfähigen Folie diente nicht angegriffen weiden Zuweilen werden solche Materialien auoh als "Resist" beseiohnet.

109835/1300

BAD ORIGINAL

lei einem verkältBfcsmäüig alten and venig wirksamen Verfahre*t dae In dtr britischen Patentschrift 461

ist» wird die gesamte Oberfläche der leitfolie mit einem säurebeständige» Material bedeckt und es werden die Bereiche_s in denen keine Leiterbahnen erwüneeht sind, mechanisch van der Abdeckung befreit» Me ußge&ahütatan. ::öile der leitfähigen Folie werden dann weggeätzt 2nd schließlich wird auch das säurebeständige Material er^fernt_{ das noch die erzeugten Leiterbahnen bedeckt= Bei einer wirksameren Technik} die derzeit bei der Herstellung gedruckter Schaltungen mit Erfolg angewendet wird; wird die leitfähige Folie alt einem SiId der gewünschten Schaltung aus nicht ätzbarem Material bedruckt und es werden anschließend die unbedruckten Teile der Schicht weggeätztο Danach wird schließlich dad beim Brücken des Schaltungsbildes aufgebrachte Material entfernte Ein anderes nützliches Verfahren rerwendet das Bedecken der leitfähigen Folie mit einem lichtempfindlichen Film oder Lack (Photoresist),, Die bedeckte Oberfläche wird dann Über ein Negativ belichtet, das auf den Film ein EiId der gewünschten Schaltung erzeugte

109835/1300

Der belichtete PiIa wird entsprechend den Üblichen fotografischen Verfahren "entwickelt"₉ woduroh eine nicht ätzbare Abdeckung entsprechend dem gewünschten Schaltungebild erhalten wirdo Die verbliebenen Teile des Filmes können gehärtet oder in anderer Weise behandelt werden, um ihre Widerstandsfähigkeit gegenüber der Ätzflüssigkeit zu erhöben, und die gange Folie wird dann dem Ätzprozeß ausgesetzt, um ihre nicht abgedeckten Seile wegzuätzen und so das gewünschte Schaltungsbild erhalten»

Die beiden vorstehend beschriebenen Verfahren finden, obwohl sie nützlich sind, ihre Grenzen, wenn sie bei der fortlaufenden Herstellung von Kabeln unbestimmter Länge, die aus parallelen flachen Leitern bestehen, und auch von aufeinanderfolgenden gleichen Schaltungen auf einem flexiblen dielektrischen Band eingesetzt werden sollen. Die zuerst beschriebene Methode, das Bedrucken der leitfähigen Folie mit einem Sohaltungsbili tnter Verwendung von nicht ätzbarem Material erfolgt am wirksamsten in Siebdruckteobttiko Bas nioht ätzbare MateriPil

109835/1300 bad original

wird dabei in einer verhältnismäßig dicken Schicht in sich wiederholenden Schritten aufgetragene Verfahren dieser Art sind jedoch für dae kontinuierliche Aufbringen von Schaltungsbildern auf ein sich bewegendes leitfähiges Band nioht befriedigend und folglich müssen andere Techniken gesucht werden₀ Das Rotationsdruckverfahren erscheint zunächst für den kontinuierlichen Druck von Schaltungsbildern auf ein bewegtes Band besser geeignete Die Farben, die in den meisten Fällen beim Rotationsdruck verwendet werden, werden jedoch von den normalerweise als Ätzmittel verwendeten Chemikalien angegriffen» Darüber hinaus sind solche Farben dünn und werden als sehr dünner Belag aufgebracht» Obwohl dünne Farbschichten wünschenswert sind, wenn eine hohe Güte hinsichtlich der Lage und der Abmessungen der Leiteraüge erreicht werden solle ergibt die Maskierung der leitfähigen Folie durch im Rotationsdruck aufgebrachte Farbe eine steigende Tendenz für das Auftreten von Foren und es weisen die a3 erzeugten Schaltungen kleinste Fehlerstellen auf, die ihre Funktion ungünstig beeinflussen. Ein Verfahren, mit dem vereuoht wurde, die Porenbildung

109835/1300

su vermindern, machte von einem zweiten DruckVorgang Gebrauch, bei dem ein· zweite Farbsohioht auf die erste aufgebracht wurde. Dies war jedoch unbefriedigend, «eil es schwierig ist, den zweiten Druck alt dem ersten genau

zur Deckung zu bringen« '

Das fotografische Verfahren ist ebenfalls nicht völlig zufriedenstellend, wenn es darum geht, ein Schaltungsbild kontinuierlich auf ein sich bewegendes Band aus leitfähigem Material aufzubringen,, Die benötigten fotografischen Einrichtungen sind verhältnismäßig teuer und das erzeugte Sohaltungsbild ist nicht so genau definiert, wie dies die Toleranzen gedruckter Schaltungen erfordern« Darüber hinaus besteht auoh hier eine Tendenz für das Auftreten von Poren im Sohaltungsbild, was, wie beim Drucken, Fehlerstellen in der fertigen Schaltung zur Folge bat«

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese laohteile der bekannten Verfahren zu vermeiden und ein Verfahren zu schaffen, mit dessen Hilfe insbesondere kontinuierlich auf laufende Bander, gedruckte Schaltungen erzeugt werden können, die eich duroh eine besonders gate Maßhaltigkeit und zugleich duroh ein Minimum an Fehlerstellen auszeichnen.

109835/1300

^ BAD ORIGINAL

Biese Aufgabe wird nach der Erfindung dadurch gelöst, daß die Selektion der zu belichtenden Bereiche durch Bedrucken der nicht zu belichtenden Bereiche dee lichtempfindlichen Filmes mj.t lichtundurchlässigem Material erfolgt und anschließend die beschichtete und bedruckte Folie mit Licht überflutet wird«

hat eich gezeigt, laß bei Anwendung dee erfindungsgemäßen Verfahrene gedruckte Schaltungen auf einer bandförmigen leitfähigen Folie mit lädierendem Träger besser und billiger hergestellt werden können, Die einseinen Schritte des erflndungsgemäßen Verfahsns werden nachstehend in der richtigen Reihenfolge nach einmal ausgeführt: Es wird ein film aus lichtempfindlichem Material auf die leitfähige Folie aufgebracht) das Sohaltungsbild unter Verwendung von lichtundurohlässigem Material auf I die Oberfläche des lichtempfindlichen Filmes gedruckt, die beschichtete und bedruckte Folie belichtet» der FiIa aua lichtempfindlichem, nicht ätsbarem Material entwickelt, indem teile des Filmes entfernt werden, um das durch Belichten dee bedruckten Filmes latent vorhandene Sohaltungsbild hervorzubringen, die Folie geätet und naoh dem Xtien der verbliebene Teil des lichtempfindlichen Pilmee von der geät*ten Folie entfernte

•Α.-.

109835/1300 BAD OBlGlHAL

θ -.

Bei einer bevorzugten Aueführungsform der Erfindung wird für den lichtempfindlichen; nicht ätzbaren Film ein Positivmaterial verwendet, dae mit einem Muster bedruckt wird₈ das den gewünschten Stromwegen entepriohto Nach der Belichtung und Entwicklung bleibt eine Maskierung von unentwickelten Filmteilen, die raicht lichtundurchlässigem Material bedruckt sind, auf den Stromwegen zurückc Anschließend wird die leitfähige Folie geätzt und darauf die Maskierung entfernt.

Bei einer zweiten bevorzugten Aueführungaform der Erfindung beateht der licht srapfAndliohe« nicht ätssbare Film aus e:\nem Negativmaterial und wird überall dort bedruckt; vr* sich keine Stromwege der Schaltung befinden ε ollen ο liach der Belichtung und Entwicklung bleibt in dem Bereich der Strcmwege eine Maskierung von entwickeltem Fi?,miaairerial zurUoko Die elitfähige Folie wird geätzt \znd schließlich wird die Maskierung entfernt ₃

Weitere Einzelheiten und Ausgestaltungen der Erfindung sind der folgenden Beschreibung zu entnehmen, in der

BAD ORIGINAL

109835/1300

die Erfindung anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeiapiele näher beschrieben und erläutert wird ο Die der Beschreibung und der Zeichnung zu entnehmenden Merkmale können bei anderen AusfUhrungsformen der Erfindung einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Komuination Anwendung finden» Bs zeigen:

Figo 1 eine söhematieche Darstellung einer Vorrichtung zur Durchführung der ersten Ausführungeart des

Verfahrens,

Figo 2 einen Querschnitt durch ein Band, das aus einem isolierenden Träger besteht, mit dem eine leitfähige Folie Ysrbunden ist,

Figo 3 einen Querschnitt durch das Band nach Figo 2 nach Bedecken der? leitfähigen Folie mit einem Film lichtempfindlichen₉ nicht ätzbaren Materials,

Figo A- e.nen Querschnitt durch das Band naoh Figo 3» vvih dem Aufdrucken des Sohaltungsbildes auf den lichtempfindlichen Film«

109835/1300

Figo 5 einen Querschnitt duroh das Band nach Figo 4 nach dem Entfernen des unbedeckt gebliebenen und belichteten lichtempfindlichen Filmee,

Fig. 6 einen Querschnitt duroh das Band naoh Figo 5 nach dem Wegätzen der unmaskierten Teile der leitfähigen Folie und

Figo 7 einen Querschnitt duroh das Band naoh Fig. 6 naoh dem Entfernen der aus dem lichtempfindlichen Film und der aufgedruckten Farbe bestehende Maskierung.

Die Vorrichtung nach Fig. "* weist eine Vorratsrolle mit einem Band 11 auf, das mit einer leitfähigen Folie versehen ist_; die gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren bedruo&t werden so:1. Wie aus Fig, 2 ersichtlich, besteht das Band 11 aus uem isolierenden Träger 92, beispielsweise aus Polyajaid-Polyimid, mit dem eine durchgehende Folie aus leitfähigem Material 94, beispielsweise aus Kupfer, verbunden ist» Sie leitfähige Folie 94 kann in bekannter Weise mit dem isolierenden Träger verbunden werdeηο In dem dargestellten Beispiel ist der Träger

109835/1300 *AD original

in dar Weis« hergestellt, öaß ate Folie 94 mit einem Rohmaterial bedecke wird, das eine feste und in ihren Abmessungen atabila Schioht aus Polyamid-Pclyimid bildet_s die fe:t an der leitfähigen folie haftete Entsprechend dem Zweck; dem die fertiggestellte gedruokte Schaltung dienen .soll, kann die Dioke des Trägers und der Folie variiert werden,.

Das Band 11 wird kontinuierlich von der Vorratsrolle 10 abgezogen und über geeignete Führungsmittel mit nach unten gerichteter leitfähiger Folie in eine Dunkelkammer eingeführt, in der die sich bewegende Folie mit lichtempfindlichem Material beschichtet wird? Die Dunkelkammer ist frei von Licht ooloher Wellenlängen, die das lichte jt}.fendliche Material beeinflussen könnten; sie }tann Jedoch mit Lioht anderer Wellenlängen beleuchtet sein Die leitfähige Folie wird zuerst über die Besohichtungev.alze H geführt, die mit einem Teil ihres Umfangeβ in ein Bad '6 lichtempfindlichen Materials eintaucht_f das in einem Gefäß 18 enthalten ist» Das lichtempfindliche Material ist eine filmbildendt ?lüsßigkeit und ergibt beim Irooknen einen festen FiIm₉ der

BAD ORIGlNAl.

109835/1300 ~~*

an der leitfähigen Folie haftet und nach der Belichtung in einem Entwickler löslich let, in dem der unentwickelte PiIm unlöslich ist» Der lichtempfindliche Film erhält nunmehr Zeit zum Trocknen und wird dann über Transported"*en 20 geführte Falle es wünschenswert erscheint; kann in dem Trockenbereich zur Beschleunigung dee Trockenprozeasee eine höhere Temperatur erzeugt und/ oder ein Luftstrom zugeführt werden» Ein Querschnitt durch das Band in diesem Stadium seiner Behandlung zeigt Fig« Das Band besteht zu diesem Zeitpunkt aus dem Träger 92_s aus der leitfähigen Schicht 94 und dem lichtempfindlichen Film SSo

Die beschichtete leitfähige Folie wird dann durch den Rotaticrisdrucker 22 geführt, und ee wird das gewünsohte Sehe]fcungebild mit einer geeignet pigmentierten Druckfarbe auf den lichtempfindlichen Film gedruckt. Der Rotationsdrucker 22 enthält eine Druckwalze 24 und eine obere Walze 25, die der Druckwalze 24 dicht benachbart ist₉ um einen guten mechanischen Kontakt zwieohen der abgedeckten leitfähigen Folie und der Druckwaise zu erzielen» Die Farbe wird der Druckwalze 24 kontinuierlich aus einem Bad 30 mittels einer Farbwalze 28 zugeführt,

109835/1300

BAD ORIGINAL

die in das Bad 30 teilwed.ee aintauoh?_t das in einer Wanna 32 enthalten iat₀ Naoh dem Trocknen der Farbe wird das Band über die Transportwalzen 34 weitarbewegto Bai Bedarf können beliebige Trookenteohniken eingesetzt werdem Einen Schnitt durch das Band in diesem Stadium seiner Behandlunf zeigt Pig. 4« Das Band besteht nunmeli:? aus dem Träger 92, dar Schicht 94» dam unbelichteten ^iIm 91 und dar aufgedruckten farbschicht

Die beschichtete und badruckte leitfähige Folie gelangt nunmehr aus der Dunkelkammer 12 heraus und passiert Lichtquellen 36, von denen die Folie mit Licht überflutet wird, so daß die unbedruckten Teile des lichtempfindlichen Filties belichtet werden. Die chemische Änderung, die in den belichteten Teilen des Filmes erfolgt , erlaubt ein selektives Entfernen dieser Teile des Filoies von der leitfähigen Folie mit Hilfe einer schwach alkalischen Lösung (Entwickler)· Daher wird das Band über Rollen 38 durch ein Bad 40 gezogen, das sich in einem Gefäß 42 befindet» Das Band wird der Lösung lange gonug ausgesetzt, um alle belichteten Teile dee lichtempfindlichen Filmes zu entfernen und nur solche

109835/1300

Bereiche übrigzulassen, die infolge ihrer Maskierung durch die Farba nicht belichtet wurden₀ Das Band wird anechließend geätzt, indem es Ubtr Rollen 44 duroh eine Ätzlösung 45 gezogen wird, die sioh in einem Gefäß 48 befindete

Die für die Entfernung dar unmaskierten Teile der leitfähigen Folie verwendete Technik hängt von der Art der Folie ab, und es gibt hierfür Yiele bekannte Techniken« Beispielsweise ka;rm eine Säure gegen die Sohioht gespritzt oder auf eine andere Weiss mit ihr in Kontakt gebracht werden, um so eine Atzung der nicht abgedeckten Bereiche des Metalls zu ei .»eichen* Einen Querschnitt duroh das Banc nach dein itzp^ )zp3 zeigt fg. 6_O Bs besteht nunmehr aus dem Träger 92, de: i.eitfähigen Folie 94 im Bereich der Strompfade wai der lichtempfindlichen Abdeokung 96' in diasem Bereiche Je nachdem, wie widerstandsfähig die verwendete Farbe gegen das Ätzmittel war, können auch noch Teile der Farbschicht 98 vorhanden sein.

Die abschließe idsi Schritte bei der Herstellung der gedruckten Schaltung sind dia Entfernung der Farbe und des

.A

109835/1300 ^BAD original

lichtempfindlichen Pilmee von den verb^iebenen Stromwegeno Hiereu sind normalerweise zwei aufeinanderfolgende Verfahrensechritte erforderlich» In dem ersten Schritt wird das Band fiber Rollen 50 durch ein Lösungemittelbad 52 in einem Behälter 54 gezogen, das zur Entfernung der Farbe dient Im zweiten Verfahrensschritt wird das ti

Band über Bollen 56 durch ein Lösungsmittelbad 58 in einem Gefäß 60 gezogene Dieses zweite Lösungsmittel dl§ni zur Entfernung der unboliohtet gebliebenen Teile des lichtempfindlichen Filmes von den Strnmwegen« Gege» benenfalls kann d.^e Entfernung das lichtempfindlichen Piimes in der Weise erreicht werden, daß der Film belichtet und entwickelt virdr Einen Querschnitt durch eine gedruckte Schaltung₍ die gemäß der Erfindung hergestellt wurde, zeigt Fig« 7c Bas Band besteht nunmehr -aus dem Träger 9" und den Stromwegen 94-·

Die isolierende Trägerschicht, mit der die leitfähige Folie verbunden ist, kann aus jedem geeigneten IsolaticnsmateriaJL bestehen? beispielsweise aus thermoplastischen oder duroplastischen Kunststoffen; wie den Kondeneationeprodukten von Harnstoff-Formaldehyden und Melamin«

BAD 109835/1300

formaldehyde*!, Polyamiden, Fluorkohlenwasserstoffen, Celluloaeacetaten und Polyamiden, oder aus glasartigen oder keramischen Materialien, wie sie in dieser Technik bekannt sind«. Für die leitfähige Folie kann ebenfalls irgend eines der bekannten Materialien verwendet werden, beispielsweise Aluminium, Magnesium, Zink oder Kupfer» Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt die Anwendung jeder bekannten Drucktechnik für das Aufbringen des Sohaltungeuueters und den lichtempfindlichen Film. Es ist möglich schrittweise arbeitende Druckverfahren, beispielsweise die Siebdruokteohnik, anzuwenden« Das erfindungsgemäße Verfahren kann jedoch auoh unter Anwendung der Flaohdruckteohnik durchgeführt werden, wenn wirtschaftliche oder andere Gründe dies fordern« In den meisten Fällen dürfte jedoch der Rotationsdruck am billigsten sein»

An den folgenden Beispielen soll das erfindungegemäße Verfahren nooh näher erläutert Werdens

Beispiel I

Zur Herstellung einer gedruckten Schaltung wird eine Kupferfolie mit einer Dioke von etwa 0,07 mm verwendet,

109835/1300 bad

die fest mit einem isolierenden Träger in Form einer festen dielektrischen Polyamid~Polyimid-Sohioht mit einer Dicke von 0,05 mm verbunden ist, Ein Band aus der Folie und dem Träger wird von einer Vorratsrolle kontinuierlich in eine Dunkelkammer eingeführt, in der die Kupferfolie mit einem Photoresistfilm (Typ AZ 111 der Shipley Company, Ine) versehen wird ο Dies wird erreicht, indam die Folie über eine Besohichtungswalze geführt wird j die teilweise in einem Bad umläuft, das den Raumtemperatur aufweisenden Photoresist enthält, wie es in Fi£„ ^ dargestellt ist. Der hierbei erzeugte Film ist etwa 0,005 mm dick und wird durch Hindurchführen durch einen erwärmten luftstrom mit einer Temperatur von etwa 70 bis 8O⁰C während etwa 10 Minuten getrocknet» Das getrocknete Band wird dann, wie in Figo 1 gezeigt, durch einen Kotationsdruoker geführt, von dem d- λ Schaltungsbild auf den Film unter Verwendung einer Farbe aufgedruckt wird, die aus CAICO oil black 8603 und einer Gummiersubstanz (PLIOLITE S5A) in einem organischen Lösungsmittel (DOWCLENE EC) besteht.

_BAD 109835/1300

Die bedruckte Folie wird getrocknet« indem sie über Rollen duroh einen heißen Luftstrom bewegt wirdο Die beschichtete und bedruckte Folie wird dann aus der Dunkelkammer herausgeführt und einer intensives weißes Lioht liefernden Lichtquelle, vorzugsweise einer mit Wolframoarbid-Elektroden, 1 bis 1₉5 Hinuten lang ausgesetzte Das Band wird anschließend dürob ein Raum» temperatur aufweisendes Entwioklerbad (Entwickler AZ 303 der Shipley Company, Ine) geführt; die Einwirkungszeit Iüträgt etwa 5 bis 10 Minutenο Die be» liohteten Seile des Pbotoresist-Filmea werden hierbei von der Folie abgelöst und ea verbleibt eine doppelte Maskierung über den Bereichen der Folie, die die Strom« wege bilden sollen,. Die nicht abgedeckten Teile der leitfälligen Folie werden dann in einem Bad während 3 bis 5 Minuten weggeätzt₉ das Eisen(III)«Chlorid in einer Konzentration von 42 Baumegraden bei etwa 32⁰C enthalte Das Band wird daraufhin aus der Atzlösung entfernt und gewässert, um den Ätzprozeß zu beenden. Anschließend wird das Band in eine Trichloräthylen-Lösung geführt, um die Farbe zu entfernen» Abschließend werden

.A

109835/1300 8AO original

die Beste des lichtempfindlichen Materials belichtet und entwickelt, um sie zu entfernen und die nach dem Ätzprozeß verbliebenen Leiterbahnen freizulegen»

Beispiel II

Das Verfahren nach Beispiel I wird im wesentlichen wiederholt mit der Ausnahme, daß als Photoresist ein Negativmaterial (eoB KPR) verwendet wird, das ein negativeβ Bild ergibt ο Da« Verfahren gemäß Beispiel II

da-

unterscheidet sich ferner durch von dem zuvor beschriebenen Verfahrens daß ein negatives Schaltungsbild ge» druckt wird, d«h> die Farbe wird auf die Teile dee Fhotoresiat-Filmes gedruckt, unter denen sioh die bei dem sieb anschließenden Ätzprozeß zu entfernenden Teile der leitenden Folie befinden» Nach der Belichtung muß zunäohst die farbe beispielsweise cur~h Waschen in einer Irlohlorätoylen-Lösung entfernt werden, ehe die En'iwioklung des Filme β erfolgen kann.. Der lichtempfindliche PiIa wird anschließend unter Verwendung eines Üblichen Entwicklers entwickelt, um diejenigen Teile des

109835/1300

Phot:resiet-Filmes ζ'α entfernen, die infolge der sie bedenkenden Farbschicht nicht belichtet wurden» In diesem Falle bleiben also die belichteten Bereiche des Filmeβ ale Abdeckung cer leitfähigen Folie erhalten. Die "J β it fähige Folie wird anschließend wie in Beispiel I geätzt j um die gewünschten Stromwege au erhalten, Schließlich wird das Band mit geeigneten Lösungemitteln behandeltj um die verbliebenen Teile dee Photoresist-Filmes z"~. entfernenα

10 9 8 3 5/1300 ^BAD original

Claims (1)

1, Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Schaltung, die eine leitfähige folie auf einer isolierenden Trägerschicht aufweist, bei dem die Folie mit einem PiIm aus einem lichtempfindlichen; nicht ätzbaren Material bedeckt, der Film anschließend selektiv belichtet, entwickelt und in den durch Belichten und Entwickeln festgelegten Bereichen entfernt und anschließend Ln diesen Bereichen die leitfähige Folie weggeätzt v/irä; dadurch gekennzeichnet« daß die Selektion der zu belichtenden Bareiche durch Bedrucken dsr nicht zu belichtenden Bereiche das lichtempfindlichen Filmes (96) mit lichtundurchlässigem Material (98) erfolgt und anschließend die beschichtete und bedruckte Folie (94) mit Licht überflutet wird,

2, Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als lichtempfindliches Material (96^N ein Positivmaterial verwendet wird, das mit einem positiven Bild der gewünschten Schaltung bedruckt wird und dessen belichtete Bereiche beim Entwickeln entfernt werden,

BAD ORIGINAL 109835/1300

« 22 -

so daß die belichteten Bereiche dea Filmee (96) als nioht ätsbare Abdeckung der leitfähigen Folie

(94) zurückbleiben_o

Vermehren nach Anspruch ), daduroh gekennzeichnet, da3 als !!el: fcgmpf im'Hchea Material (96 J ein Negativmaterial verw-'ä^det wird_: das mit einem negativen Bild der gewünechten Schaltung bedruckt wird und dessen onbelishtete Bereiche beim Enwickeln entfernt werden» se daß die belichteten Bereiche des Filmes (96) als nicht ätzbare Abdeskuri^ der leitfähigen Folie (94) zurückbleiben,

4ο Verfahren nach Anspruch ' bis 3« dadurch gekennzeichnet, daß das Bedrucken des Filmes (96) im Rotationsdruokverfahren erfolgic.

BAD ORIGINAL 109835/1300