DE1764573A1 - Schaltanordnung - Google Patents
SchaltanordnungInfo
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Description
. HELMUT MISSLING 63©iessen, 27«6.196ö
DIPL.-ING. RICHARD SCHLEE b.smarckstrasse «3
Patentanwälte H/EP 9627, ■ „ _
Allmänna Svenska Elektriska Aktiebolaget, V ä st e r as /Schweden
Die Erfindung betrifft eine Schaltanordnung mit mindestens einem ;
Thyristor mit einem Halbleiterkörper mit Basis- und Emitterschichten,
wobei'an einer der Basisschichten des Thyristors eine Steuerbaw.
Zündelektrode-.zum'Zünden des Thyristors angeschlossen ist.
Ein Thyristor, d.h. ein steuerbares Schaltorgan mit einem Halbleiterkörper
Talΐ■ vier Scnichten von abwechselnd, entgegengesetztem
Leitmigstyp verträgt imxer statischen Verhältnissen eine gewisse
höchste Sperrspannung in der Durchlaßrichtung, wobei die Anode
positiv im Yex-hältnis zur Kathode ist. Wenn diese Spannung überschritten
wirrl, zündet der Thyristor mit. sogenannter Selbstzündung.
Bei -einer schnell steigenden Sperrspannung tritt eine Selbstzündugdes
Thyristors bereits, bei einer niedrigeren Spannung ein. Dies beruht darauf, daß ein kapazitiver Entladungsstrom durch den als
Kondensator dienenden und bei Sperrspannung in der Durchlaßrichtung sperrenden mittleren PN-Übergang fließt, dieser Strom erzeugt
eine größere Ladungsträgerinjektion von den Außenschichten des
Halbleiterkörpers (den Emitterschichten) gegen den mittleren Übergang. Das Vorkommen dieser Form von Selbstzündung (dV/dt-Zündung)
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"bedeutet eine Begrenzung des Anwendungsgebiets eines Thyristors,
es ist deshalb wünschenswert, die Widerstandskraft des Thyristors
gegen eine dV/dt-Zündung so viel wie möglich zu erhöhen.
Bisher gewöhnlich verwendete Thyristoren haben eine Steuerelektrode
auf einer der beiden mittleren Schichten (Basisschichten) des Thyristors, die an einem Steuergerät angeschlossen ist, das Zündstron
zur Zündung des Thyristors liefert. Von den beiden Basisscr.ichten
ist gewöhnlich die eine verhältnismäßig hochohmig und die andere,
auf der die Steuerelektrode angebracht ist, verhältnismäßig nie-ieroiimig,
v/obei die erstere normalerweise Ii-Iei tend'und die Ie totere
P-ieitend ist. Es ist "bekannt, daß die Widerstandskraft eir.es Thyristors
gegen eine dV/dt-Zündung zunimmt, wenn man der Steuerelektrode während des Sperrinterva.lls eine solche Vorspannung giot,
daß der zwischen der Basisschicht, auf der die Steuerelektrode angebracht
ist, und aem an diese grenzenden Emitterschicht befindl5.che
P2I-Übergang in der Sperrichtung vorgespannt wird. Die Erhöhung' der
sogenannten dV/dt-Festigkeit des Thyristors, die hierdurch erreicht
wird, ist jedoch begrenzt. Eine große Verbesserung in dieser Hinsicht
wird bei einem erfindungsgemäßen Thyristor erreicht. Sr ist
dadurch gekennzeichnet, daß an der Ba,sisschicht, auf der die Zündelektrode
angebracht ist, wenigstens eine weitere Elektrode, Vorspannungselektrode, und an dieser eine Spannungsquelle angeschlossen ist, die der Vorspannungselektrode wenigstens während des
Intervalls, in dem der Thyristor in der !Durchlaßrichtung sperrt,
eine solche Spannung (Vorspannung) zuführt, daß der zwischen der Basisschicht und der angrenzenden Emitterschicht gelegene PN-Übergang
in der Sperrichtung vorgespannt wird.
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_ 3 —
Nach einer Weiterentwicklung der Erfindung werden mehrere Vorspannungselektroden
am Rande der Basisschicht, gleichmäßig verteilt, angebracht. Hierdurch wird erreicht, daß der größte Abstand zwischen
einem beliebigen Punkt auf der Baisschicht und der nächsten
Vorspaniiungselektrode auf einen niedrigen Wert herabgesetzt werden
kann, was die Wirkung dieser Elektroden erhöht. Wenn man bei einem Thyristor, bei dem der Halbleiterkörper als kreisförmige Scheibe
ausgeführt ist, drei voneinander gleich entfernte Vorspannungselektroden
auf dem Rand der Basisschicht anbringt, wird der ge- ^
nannte Abstand höchstens gleich dem Radius der Basisschicht.
Bei einer weiteren Ausführungεform werden sechs gleich voneinander
entfernte Vorspannungselektroden am Rande der Basisschicht und
eine an. deren Mittelpunkt angebracht, wobei der genannte Abstand
nur ungefähr gleich dem halben BasLsschichtradius wird und die dV/dt-Zündungsfestigiceit
des Thyristors weiter zunimmt.
Die genannte Wirkung kann in einer einfachen Weise dadurch erhal-
ten werden, daß man nach einer Ausführungsform der Erfindung die ^i
Basisschicht mit einer Vorspannungselektrode versieht, die mit der
Basisschicht längs wenigstens des Hauptteils ihres Umfanges in
Kontakt ist und somit den Hauptteil der Emitterschicht umschließt.
Die einfach Weise, bei einem erfindungsgemäßenThyristor die
Steuerelektroden an ein Steuergerät anzuschließen, ist, die Elek
troden an das Steuergerät parallel zueinander zu schalten, wobei
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-A-
das Steuergerät während des SperrIntervalls des Thyristors Vorspannung
und während des Leitintervalls Zündspannung an die Elektroden liefern kann. Diese Methode hätte - wenn der Zündverlauf bei allen
Elektroden beginnen würde - den Vorteil, daß die Zündung des Thyristors schnell erfolgen würde und sein Vermögen, während des Zündvorganges
^iinen schnell anwachsenden Belastungsstrom auszuhalten*
groß wäre. Es zeigt sich jedoch, daß aufgrund der unvermeidlichen Ungleichmäßigkeiten im Thyristor die Zündung in der Kegel nur bei
einer der Elektroden beginnt· Eine Verbesserung im Vergleich mit
einem Thyristor mit nur einer Zündelektrode wird also nicht erhalten. Wenn man dagegen nach einer Ausfuhrungsform der Erfindung
keinen Zündstrom an die Vorspannungselektroden anschließt, sondern nur an einer oder eventuell einige wenige Zündelektroden, erreicht
man, daß der Zündverlauf bei einer bestimmten Elektrode (eventuell
einigen wenigen Elektroden) beginnt. Der Thyristor kann dann dort so ausgeführt v/erden, daß die größtmögliche Zündfestigkeit erhalten
wird.
Die Vorspannungselektroden,können dann an die Zündelektroden über
eine oder mehrere Dioden angeschlossen werden, die so gerichtet sind, daß zwar eine Vorspannung,, aber nicht eine Zündspannung den
Vorspannungselektroden zugeführt wird. Diese Dioden können in die
Thyristorkapsel eingebaut werden, wobei diese nur eine einzige Durchführung zum Anschluß der Steuerelektroden zu haben braucht.
Indem man bei einem4 Thyristor, bei dem den Vorspannungselektroden
nur Vorspannung und der Zündelektrode nur Zündspannung zugeführt
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ex, kann eine wesentliche Yereinfachung des Steuergeräts erreicht herden.« dieses kann dann zweckmäßig in zwei, !feile geteilt
werden, einen, -der nur 2Mdspannung in- 4ie, 2ündelektrod# liefert,'
und einen* der nur Yorspaniiung an. die Yorspannungselektroaen liefert*
Biese beiden !E^iIe lcomien dam ,,besonders einfach -.ausgeführt'
werden» '; = . ■' . ,..;..-.-· * -'" * - - ^-
einer-."anderen Ausführungs-fö3*m dea?- Erfindung,
Zlmdstrom .zugeführt wird, sind die Bleictroäen iji"^sa: * W
§ruppen aufgeteilt» Me Imittersöliiöiit des 'üäiyristörs ist bei Jeder
Elektrode in der ersten Gruppe so - ausgeführt,. d^ß-idie Strömdieäite
■des Eiindströines am Sande der -Smittersehicht wesefitliGh'mieäriger '
bei de-n Elektroden in dieser. G-ruppe als bei d^ Elektroden in-der
anderen Gru-ppp ist. Bie erste Gruppe besteht dann aus den;'Elektroden-, bei denen man nieht ."wünscht.,, daß eine Zündung erfolge η soll,
und die andere Gruppe aus, der (evtl. den) Elektrodeln), wo der
Zündverlauf beginnen soll. Auch bei dieser Äusführun.gsform wird "■
also erreicht, daß die Zündung bei einer bestimmten Elektrode be- ^m
ginnt, so daß der !Ehyris tor dort für·· eine große Zündfestigkeit"'
ausgeführt werden kann» -.- - ■ -:- " :■· ■"-■''* "■" '· '"''
ilach einer. Weiterentwickluxig dieser AusführTangsform ist dieEtnittersehicht
bei. jeder Elektrode der ersten;.Gruppe mit einer Äusrieh— '
rüung versehen, /wobei die Länge des Randes der Ausnehmung -gro-jß:r-'-ist
vergü-ichen mit den Dimensionen der Kontaktfläche der Elektrode
mit der Bas.issohicht und der Abstand zwischen dem-Rand der" Ausneii-
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mung und der Elektrode konstant längs de© HsupiteiXs d©g Ksn&e.g ist»
Der Zündstrom wird, hierdurch· längg: deg Randes, der ApgAehBun^ ¥"#3?-".
teilt, und. die Stromdichte -wird so niedrig, dal die ^iindwig·.·..&©&■. ;..:
den Elektroden'der anderen Gruppe erfolgt» Der Rand ..de?
kann zweckmäßig wenigstens wie ein Teil der Kreislinie mit"den
Mittelpunkt in der Elektrode ausgeführt werden, ·
Wach einer anderen'"Weiterentwicklung dieser Ausfilhrunggfor»
Maja der - Basisschioht zwischen der Enittersß.hicht und jeder der,
Blektrodem in der ersten Sruppe eine geriagere Dick© als im
zwischen der Bmitterschicht und jeder der Blektro-deri in
*■. +-"'C . ■ --: : ■
Gruppe., zweelasäißig· dadiireh, daß die ■ .Baai&schieht · bei den
nungseleifctroden durch Ätzen oder Sandst:ähl"behandlung
wird» Böreh passende Wahl der Mcfcewernxjaderung feaan die
dichte des ^Zündstromes* am Eande der Imitterschißht bei den
niangseiektrodenso "weit herabgesetzt wenden, d,sS eine
an der ZündeIeictröäe bzw. den Ziindelelttröden erfolgt» ■ ' "
,,«; .-;.■· . · ■· ; -:'.V-;o;,!-;:f3-i£'^· :.,-■■■■. ·■ ·'-■·■
Di-e 'Erfindung ist* im.folgenden anhand' der Zeichnung besehri«beil,
Pig. 1 zeigt im Schni'tt das Priiizip eines Thyristors bekannter ■
AusfuUruS^i^lui'* einer trägerplatte 1 aus Metall liegt ein Halb- ■
leiterkörper, der äie abwechselnd F- und N-Ieitenden Schichten 2—5;·
enthräit:. Auf der li-Emitte"rsehieht 5 ist der £athodenkoBtai:t 6
ie
tefadiit, · äai .dem'die Käthodenzuleitmag 7 aaag#ßchl©ssen ist-IP—BaBtss3hlöh1f'""4,
die ?ori den teagiAeai Ba.sissehicihtein den kleinstieiii
Widerstandi'tiat, ist die Btemerelektrode 9 angebraclitv Mit Hilfe
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schematisch, gezeigten Steuergeräts, Spannungsquelle 10 und Schalter
11, kamt der Steuerelektrode eine im Verhältnis zur Katode positive
Spannung zur Zündung des Thyristors zugeführt werden. Dieser ist in
;5eihe mit dem Belastungswiderstand 14 an der Spannungsquelle 15 angeschlossen*
Figur 2 zeigt einen erfindungsgemäßen Thyristor von der Kathodenseite
gesehen. Der Kathodenkontakt 6 und die H-Emitt er schicht 5
sind mit einer Ausnehmung 6". versehen, lurch welche die Steuerelek- M
trode 94 (Sündelektrode) zu der P-3asisschicht 4 geführt und an
dieser angeschlossen ist. Zwischen dieser Elektrode und dem Kathodenanschluß
7 ist das Steuergerät 10, 11 angeschlossen. Drei Vorspannungselektroden
91 bis 95 sind auf dem Rand der P-Basisschicht
:ngebracht und an 4er Vor spannungs o.u eile 12 angeschlossen, die
diesen Elektroden eine negative Vorspannung im Verhältnis zur Kathode gibt. Die Widerstandskraft des Thyristors gegen die dV/dt-Zündung
wird hierc.ureh. verglichen mit früher bekannten Thyristoren,
oeiz'-äclitlxch erhöht, Ein Zweckmäßiger Wert der Vorspannung ist von
der GröSeiiordnung von einigen Volt bis zv dem Zelinfachen, je nach ^
4&r &röSe das Tliyrxstors, der Resistivität und Dicke des Halbleiterkörper
(yor allem der P-3asisschieht) usw. Bei einem typischen
Kraftthyristor erwiesen sich eine negative Vorspannung von
ca ΊΟ V und ein totaler (negativer) Steuerstrom von 100 mÄ durch
die drei Vorspannungselektroden als zweckmäßige Werte. Die laterale Resistanz der P-Basisschicht, gemessen z.B.. zwischen zwei zusammengeschaiteten
Vorspannungäelektroden und der,dritten Vorspannungselektrode, beeinflußt stark den günstigen Effekt der Vor spannungs-·
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8AD OWGINAL
elektroden, sie muß verhältnismäßig niedrig gehaxten we ro'en. Im
oben angeführten Beispiel hat es sich gezeigt, daß die !Resistanz
der Schicht, getiEssen in der angegebenen Weise, nicht größer sein
soll als 1 kilo—ohm. Die Vorspannung sett ei le 12' kann ohne !Fachteil
ständig an den Vor spanmmgs elektroden angeschlossen sein und somit
besonders einfach gemacht werden. 3ei dieser Ausführungsform können
die Energiequellen für die Zünd- bzw. Yorspannung unabhängig voneinander
gewählt werden, was z.B. bei reihengeschalteten Thyristoren
ein großer Vorteil ist.
Der Thyristor in Figur 3 (gezeigt von der Kathodenseite) hat sieben
auf der P—Basisschicht &■ angebrachte Steuerelektroden, sechs 91
bis 96 am Rande der Basisschicht, und eine 97 an deren Zentrum. Die letztgenannte ist durch die Öffnung 61 im Kathodenkontakt C
una in der N-Emitterschicht 5 in die Basisschicht eingeführt. Die
sechs am Rande angeordneten Steuerelektroden sind über die Dioden 131 bis 136 mit der zentralen Steuerelektrode verbunden. Zwischen
uieser und dem Kathodenanschluß 7 ist das Steuergerät 10, 11, 12
angeschlossen. Mit dem Schalter 11 in der gezeigten Lage liefert
das Steuergerät eine positive Spannung (Zündspannung) an die Elektrode
97, die Zündelektrode, wobei die Dioden verhindern, daß diese Spannung den Elektroden 91 bis °6, den Vorspannungselektroden,
zugeführt wird. Kit dem Schalter 11 in der anderen Lage w.irci allen sieben Steuerelektroden negative Vorspannung zugeführt, da
kein Punkt auf dem Thyristor sich weiter in irgendeiner Steuerelektrode
befindet als ca den halben Basisschichtradius, haben.die
Elektroden einen besonders guten Effekt, wenn es gilt, aV/dt-Zün-
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düngen zu verhindern. Ein Vorteil dieser Ausführungsform ist, daß
die Dioden zweckmäßig innerhalb der Thyristorkapsel angebracht
■'.-erden können und dann nur eine Durchführung durch diese sowohl
für Zünd- als auch für Vorsparmungszufuhr erforderlich ist.
Figur 4 zeigt einen Thyristor, bei den drei am Steuergerät 10, 1 *,
12 angeschlossene Steuerelektroden 91, 92, 93 am Rande der P-easisschicht
angebracht sind. Das Steuergerät kann in der vorhin beschriebenen Weise entweder Zünd- oder Vorspannung liefern. Es jtt
ist wie oben gesagt wünschenswert, daß der Thyristor immer an ein
oder derselben Stelle zündet, die dann für aie größtmögliche Zündxes.tigkeit
ausgeführt werden kann. Der Rand der Emitterschicht 'i>-ist
deshalb bei den Elektroden 91 und 93 mit halbkreisförmigen Ausnehmungen
versehen. Diese sind so groß, daß die Länge des Randes tiier Ausnehmung verglichen mit der Länge der Kontaktxläche der
Steuerelektrode mit der .-iasieschicht groß ist. Bei der Elektrode
'j2 ±βτ auch eine AuBn.ehmung in der Emitterschieht angeordnet. Diese
Ausnehmung hat ν eneiiLiich icleinere Dimensionen, die Länge ihres
j rand es is I ungefähr gleich gro:.' der Länge der Koniaktf lache der -™
«Steuerelektrode mit der.1 ^asiyschicht. Wenn da3 Steuergerät Zündfspannung
an die Steuerelektrode;! abgibt,, fließt von jeder von diesen
ein Zurede tr ο μ durch, dia "Susis schicht gegen den Hand der Emit-LerschichL.
r>ei den Elektroden. -Ji ux;d r>"j wird die Züridstronidichte
ata ire Ae der Emitterschioii.' viel kleiner als bei der Elektrode 92,
v/a.i >;ur-jj'oJ.ge hat, daß aer ZU,, ivorg'.uif immer bei dieser Elektrode
beginnt. L.res setzt jedoi.-h voran«, daß r-ich der ga;iüe i:arid.der
i'.iri^fir. r-'ii ileit'j'jL'j.ituOrif·., ■; i.r,d ·γ;, h^upi/sächlich im gleichen
10 9835/1298 \ -ro~
Bad
- ίο -
Abstand von dei* betreifenden Steuerelektrode befindet, ao daZ aer
-liü/idstroni gleichmäßig längs des Landes verteilt wird. 'Die::ζ hethode
':■·. ηππ natürlich auch bei einer 2:entral angebrachten·, Steuerelo^tiroue
verwendet werden. -.· ·- ■..''■■..·..
Figur 5 zeigt einen erfindungsgeicäßen Thyristor, der mit einer
Zündelektrode 91 1JiId einer Vorspanriungselektrode 92 versehe;-:, ict.
Die letztere ist so ausgebildet, daß sie mit der Basisschicht <V
längs des größeren Teils aes Umkreises der Basisschicht in Kontakt
ist una dadurch eine gute Wirkung .beim Verhindern einer c.V/dt-Zünäimg
hat. Die Steuer- und Vorspannungselektroden- sind wie beim
Thyristor in Figur 2 an separate Spannungsquellen angeschlossen. Es
ist natürlich auch möglich, wie beim Thyristor .in Figur 4, die Elektroden an dieselbe Spannungsquelle (Steuergerät) anzuschließen.
Um sicherzustellen, daß die Zündung an den .Zündelelctroden 91 stattfindet,
kann dann zweckmäßig die Bas.isschicht 4, z.B. durch Ätzen
oder Sandstrahlen, zwischen dem Smitterrand und .der Vorspanr-ungselektrode
92 dünner gemacht werden als zwischen dem. Emitter und ..-.
der Zündelektrode 91·
Lie gezeigten und beschriebenen Thyristoren slad;(nur Beispiele ,· und
viele andere Ausführungsformen sind im Rahmen der Erfindung denkbar
. ;':.■
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Claims (1)
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Patentansprüche:
1. Schaltanordnung mit;-einem-Thyristor .mit' einem Halbleiterkörper
4uit Baris- und Emitterschichten, wobei an einer der Basisschichten
des Thyristors eine Steuerelektrode (Zündelektrode) zum Zünden des Thyristors-angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß an der
gen aim leu jsasisschicht--wenigstens eine weitere Elektrode,-.Vorspan-,
mm^selekirode, und an dieser eine Vorspannungs /jelle angeschlossen
. ΐοΐτ ■ dui-cli die wenigstens während des Intervalle ε, in dea der Thy-
ri'.-,ΐΰτ in der Durchlaßrichtung sperrt, der Vorspannungselektrode
eine solche Vorspannung sugei'üli-rt- wi_M, daß der zwischen der Basissieh
t uiiä der ai:gre::.;enden■-SmixterGcIiicht. gelegene 'PE-Übergang ir.
der SPe-CL1IdIiUi-I1;: vov^espaiiiit v/i?:d.
2. Schaltanordnung -lach Anspruch 1, dadurcli gekemizeiaijr.et, c.aS
dej." Voi^iipaimungse-leit'.roie nu;?. Spannung nit einer solchen Polarität
wijgerüjn-t v/ira, daß der genannte Übergang in der Sperricirtung voraiUL.t
v/ird.
5· Sclialtaiiordiiung nach Anspruch 2, bei der die Zündelektrode an
der genannten Spannungsouelle angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet-,
daß die Vorspannungselektrode über eine Diode an der
Zündelektrode angeschlossen und die Diode so gerichtet ist, daß
Vorspannung, aber keine Zündspannung der Vorspannungselektrode zu
geführt wird.
-12-
10 9 8 3 5/1298 bad original
4· SchaItanOrdnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
der Zündelektrode mir Zündspannung zugeführt wird.
5' Schaltanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Sündelektrode mit einer Zündspannungs-uelle verbunden ist, die
Spannung zur Zündung des Thyristors liefert, uni daß die Vorspanüungs-'iielle
eine von der Zündspanmmgsquelle getrennte SpaxLnu.rigs-'.uelle
ist.
L. Schaltanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5>
dadurch gekeruiZeichKet,
daß wenigstens ein Teil der an der Vorspannungsouelle
angeschlossenen Elektroden am Rande der Basisschicht angebracht ist
i;fid die Elektroden gleichmäßig längs dieser verteilt sind.
7. Schaltanordnung nach Anspruch 6, bei der der Halbleiterkörper als kreisförmige Scheibe ausgeführt ist, dadurch gekennzeichnet,
daß drei an der V.orspannungsuuelle angeschlossene Elektroden am
Eande der Basisschicht mit 120° Zwischenraum, gesehen vom Mittelpunk.t
der Scheibe, angebracht sind.
u. Schaltanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
sieben an der Vorspannungsouelle angeschlossene Elektroden auf der 3asisschicht angebracht sind, sechs auf deren Rand mit 60 Zwischenraum
und eine am Mittelpunkt der Schicht.
5. Schaltanordnung nach einem der Ansprüche 1 und β bis L1 bei der
sämtlichen Elektroden Zündstrom zugeführt wird, dadurch gekennseichnet,.
daß die Elektroden in zwei Gruppen aufgeteilt sind und
109835/1298
-13-
BAD OWG^A
— "13— '
die an der genannten 3asisschioht liegende Emitterschicht des !Thyristors
bei jeder Elektrode &r ersten Gruppe so-ausgebildet ist,
daß die Stromdichte, des Zündstromes am Rande der Emitterschieht
bei den Elektroden dieser Gruppe wesentlich niedriger als bei den Elektroden der auderen Gruppe ist.
10. "Schaltanordnung nach Anspruch 9? dadurch gekennzeichnet, laß
die Emitterschicht bei jeder der Elektroden der ersten Gruppe mit
einer Auonöhuung vergehen ist, wobei die länge des Händes der Ausnehmtaig,
verglichen mit den Dimensionen der Kontaktfläche der Elektrode mit der Basisschicht» groß ist, und daß die Ausnehmung so
ausgebildet i3t, daß der kürzeste Abstand zwischen dem Rande der
Ausnehmung und der Elektrode längs wenigstens dem Hauptteil des
Randes konstant ist.
11, Schaltanordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dai3
der Rand der Ausnehmung wenigstens wie ein Teil einer Kreislinie mit dem Mittelpunkt in der Elektrode zugeführt ist.
12.. Schaltanordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
die Basisschicht zwischen jeder der Elektroden der ersten Gruppe und der■ Eraitterschioht eine "kleinere Dicke als zwischen der Emit-
;,e;-'rjchicht und den Elektroden der anderen Gruppe hat.
15. Schaltanordnung nach Anspruch 1, bei der eine Vorspannung3-oiektrode
an derselben Sasisschicht wie die Zündelektrode ■ angeschlossen
ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Torspannungselektrode
in Kontakt mit der go/:annten /iasisschicht längs wenigstens des
Ilauptteili-: ihres Uinicrelses angebracht ist.
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