DE1673178C3 - zentration einer Lösung - Google Patents

Description

peraturkoeffizienten des Feldeffekttransistors (81) der erfindungsgemäßen pH-Meßanlage enthält ein entspricht, und daß der Halbleiter (101) und der 30 zylindrisches Gehäuse, das aus drei zylindrischen Teilen Feldeffekttransistor (81) so angeordnet ist, daß sie 11, 13 und 15 zusammengesetzt ist. Das äußere Teil 11 gleiche Umgebungstemperatur haben. hat die Form eines Bechers, dessen öffnung einen

Zylinderstumpf 17 eng umschließt, der sich vom

geschlossenen Ende des mittleren Teils 13 nach außen

35 erstreckt. Das offene Ende des becherförmigen Teils 11

Die Erfindung betrifft eine Anlage zum Bestimmen ist mit einer ringförmigen, glatten Oberfläche 19 der pH-Konzentration einer Lösung mit einer pH-emp- versehen, die einer um den Stumpf 17 herum findlichen Elektrode, die neben ein auf die Wasserstoff- verlaufenden, abgestuften ringförmigen Fläche 21 ionenkonzentration der Lösung ansprechendes Element gegenüberliegt. Ein Ring 23 liegt in einer Rille um den einen elektrischen Innenleiter enthält und mit einer 40 Stumpf 17 und bildet eine flüssigkeitsdichte Dichtung Gleichstrom verstärkerschaltung, bei der die Vorver- zwischen der Innenfläche des Teils 11 und dem äußeren stärkerstufe aus einem Feldeffekttransistor besteht, Umfang des Stumpfes 17. Zwei Klammern 25 sind mit dessen Steuerelektrode mit dem Innenleiter der Schrauben 27 an ihrem einen Ende an der Außenfläche Elektrode verbunden ist. des becherförmigen Teils 11 befestigt. Das andere Ende

Eine Anlage der vorgenannten Art ist aus »GIT 45 der Klammern enthält einen Schlitz 29, in den ein Fachzeitschrift für das Laboratorium«, 9. Jahrg. (1965) Zapfen 31 einrasten kann, der seitlich aus dem mittleren Seiten 647 bis 656, bekannt. Bei der bekannten Anlage Teil 13 herausragt. Hierdurch kann das äußere Teil 11 müssen zur Erzielung einwandfreier Meßergebnisse bequem mit dem mittleren Teil 13 durch eine leichte Temperaturschwankungen weitgehend vermieden wer- Drehung abnehmbar befestigt werden, wobei die den. Weiterhin muß die Verbindungsleitung zwischen 50 Zapfen 31 in den Schlitzen 29 einrasten. Das mittlere dem Innenleiter der Meßelektrode und der Vorver- Teil 13 besitzt im Inneren ebenfalls einen becherförmistärkerstufe sorgfältig gegen äußere Feuchtigkeitsein- gen Hohlraum. Das Teil 15 ist eine flache Kreisscheibe, flüsse sowie elektromagnetische Streufelder abge- die am offenen Ende des mittleren Teils 13 durch schirmt werden, um störende Drifterscheinungen Schrauben 34 befestigt wird. Ein Ring 35, der in einer auszuschalten. 55 ringförmigen Rille der Oberfläche 33 liegt, die das

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine offene Ende des becherförmigen Teils 13 umgibt, bildet Anlage der eingangs genannten Art zu schaffen, die sich einen flüssigkeitsdichten Abschluß gegen die angrendurch eine verbesserte, auch unter dem Einfluß rauher zende Fläche der Platte 15. Das zusammengesetzte und schwankender Umweltbedingungen weitgehend Gehäuse bildet also zwei hohle, zylinderförmige konstant bleibende Meßrichtigkeit auszeichnet. 60 Kammern 37 und 39, die durch eine öffnung 41

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Anlage der miteinander verbunden sind, die sich durch das eingangs genannten Art. die erfindungsgemäß dadurch geschlossene Ende des mittleren Teils 13 an der gekennzeichnet ist. daß der Feldeffekttransistor unter Unterkante des Zylinderstumpfes 17 erstreckt und mit denselben Umgebungstemperaturbedingungen wie die einem Innengewinde versehen ist, in das ein Stöpsel 43 pH-empfindliche Elektrode angeordnet ist. Dadurch es eingeschraubt werden kann, dessen Innenkern 45 aus werden Meßfehler aufgrund von Temperatarschwan- Holz oder porösem Keramikmaterial besteht und eine kungen weitgehend vermieden. Der Feldeffekttransi- Flüssigkeitsverbindung zwischen den Kammern 37 und stör steht zweckmäßigerweise in Wärmeaustausch mit 39 schafft.

Eine pH-empfindliche Sonde 47 mit einem an ihrem unteren Ende vorgesehenen Gewindeabschnitt 49 erstreckt sind durch die in der Außenwand des Teils 11 vorgesehene öffnung 51 radial nach innen in die Kammer 37 hinein, so daß die Spitze der Sonde, die durch eine pH-empfindliche Glas-Membran 53 dargestellt wird, der Einlaßöffnung 55 einer Zuleitung 57 direkt gegenüberliegt Die Achsen der öffnungen 51 und 55 und der Sonde 47 verlaufen entlang einem Durchmesser durch den Mittelpunkt der Zylinderkam mer 37 unter einem Winkel von 30° gegen die Horizontale. Die Lösung mit unbekanntem pH-Wert, die üblicherweise mit konstanter Geschwindigkeit zugeführt wird, trifft in einem nach oben gerichteten Strom direkt auf die pH-empfindliche Glas-Membran 53 an der Spitze der schräg nach unten gerichteten Sonde 47. Diese Anordnung hat eine selbstreinigende Wirkung, durch die die äußere Oberfläche der pH-empfindlichen Glas-Membran 53 von Ablagerungen freigehalten wird, die seine Genauigkeit und Empfindlichkeit beeinflussen könnten. Die in die Kammer 37 einströmende Flüssigkeit fließt über die Auslaßöffnung 61 der Kammer 37 nach außen in die Ableitung 59.

Die Kammer 39 bildet die Bezugszelle zur Messung des Potentials der durch die Kammer 37 fließenden Lösung mit unbekanntem pH-Wert. Die Kammer 39 enthält eine vollständig gesättigte Salzlösung 63, die aus kristallinem Kaliumchlorid, gelöst in destilliertem Wasser, besteht. Zu Beginn ist die Kammer 39 mit einem Überschuß an kristallinem Kaliumchlorid gefüllt, mehr als für eine vollständig gesättigte Lösung notwendig wäre, so daß eine gewisse Menge ungelöster Kristalle 65 vorhanden sind, die dafür sorgen, daß die Lösung für eine längere Betriebsdauer gesättigt bleibt, während der durch den die Flüssigkeitsverbindung bildenden Kern 45 allmählich Salz entweicht. In der Praxis braucht die Bezugszelle im Dauerbetrieb nur alle sechs Monate oder in noch größeren Zeitabständen nachgefüllt zu werden; während dieser Zeit bleibt die Salzlösung 63 eine vollständig gesättigte Lösung. Ein dünner Silber/ Silberchlorid-Draht 67 oder auf Wunsch auch eine Kalomelelektrode erstreckt sich durch eine schmale öffnung im oberen Teil der Kammer 39 nach unten in die Salzlösung 63.

Das obere Ende des dünnen Drahtes 67 reicht von der kleinen öffnung bis in eine Vertiefung in der Außenwand des Teils 13, wo er mit einer Ausgangsleitung 69 verbunden ist. Die Vertiefung ist mit einem geeigneten Isoliermaterial 70 ausgefüllt, das den Draht 67 und die Ausgangsleitung 69 festhält und den Raum um die öffnung herum abschließt, um Leckströme zu vermeiden.

Die in die Kammer 37 einströmende Lösung mit unbekanntem pH-Wert steht mit dem einen Ende des Verbindungskerns 45 in Kontakt, während das andere Ende des Kerns 45 mit der Salzlösung 63 in der Kammer 39 in Verbindung steht.

Die das Gehäuse bildenden Teile It, 13 und 15 bestehen aus geeignetem, nichtleitendem Material, da> mit den Lösungen chemisch nicht reagiert. <,₀

Fig. 2 zeigt das Innere der pH-empfindlichen Elektrode, wobei die pH-empfindliche Glas-Membran 53, die.aus sehr dünnem, speziell behandeltem Glas besteht, mit dem unteren Ende eines rohrförmigen, nicht behandelten Glasmantels 73 verschmolzen ist, der die <is eigentliche Sonde bildet und als Isolator dient. Der rohrförmige Glasmantel 73 umschließt ein längliches, enees Glasrohr 75, das sich vom oberen Ende der Sonde

ein gewisses Stück in das hohle Innere hinein erstreckt. Eine dünne Silber/Silberchlorid-Elektrode 77 (oder Kalomel, wenn die Elektrode in der Bezugszelle ebenfalls aus Kalomel besteht) verläuft im Inneren des engen Hohlrohrs 75 und reicht über dessen Spitze hinaus in den geschlossenen Raum im unteren Abschnitt des Glasrohrs 73. Die Spitze des engen Glasrohrs 75 schließt um den Draht 77 dicht ab. Der über die Spitze hinausragende Abschnitt des Drahtes 77 ist mit Silberchlorid beschichtet. Ein Elektrolyt aus einer gesättigten Salzlösung, und zwar die gleiche Lösung, die in der Bezugszelle enthalten ist, also Kaliumchlorid in destilliertem Wasser, befindet sich im Inneren des von der Glas-Membran 53 abgeschlossenen Glasrohrs 73, und füllt dieses so weit aus, daß der beschichtete Abschnitt des Drahtes 77 und die Spitze des Rohrs 75 in die Lösung eintauchen. Um gute Ergebnisse zu erzielen, sollte die Vergleichslösung 79 genügend viel Kaliumchlorid enthalten, so daß auch bei den höchsten zu erwartenden Temperaturen eine gesättigte Salzlösung gewährleistet ist. Da die Sonde vollständig abgedichtet ist, können sich die chemischen Verhältnisse der Salzlösung nicht auf Grund von Salzverlusten ändern. Daher bleiben die Vergleichslösung 63 in der Bezugszelle und die Vergleichslösung 79 in der pH-empfindlichen Elektrode vollständig gesättigt und besitzen sogar gleiche Verhältnisse an gelöstem Salz, soweit beide Lösungen gleiche Temperatur haben, was normalerweise der Fall ist. Auf jeden Fall sind etwa auftretende Unterschiede zwischen den Lösungen sehr gering, da normalerweise nur sehr geringe Temperaturunterschiede auftreten.

Das obere Ende des Glasrohrs 73 der Sonde ist gleitend in das unlere Ende des rohrförmigen, mit Gewinde versehenen Basisteils 49 eingelassen. Das obere Ende des Drahtes 77 ist mit der Steuerelektrode des Feldeffekttransistors 81 verbunden, der sich im Inneren dieses Basisteils 49 befindet. Die Ausgangselektroden des Feldeffekttransistors 81 sind mit zwei Ausgangsleitungen 83 und 85 verbunden, die aus dem oberen Ende des Basisteils 49 herausragen. Nachdem der Draht 77 und die Ausgangsleitungen 33 und 85 mit den Elektroden des Feldeffekttransistors 81 verbunden worden sind, wird flüssiges Füllmaterial 87 in das obere Ende des Basisteils 49 gegossen, das den Innenraum des engen Rohrs 75 und das obere Ende des Basisteils 49 ausfüllt. Wenn das Füllmaterial 87 erhärtet ist, sind der Feldeffekttransistor und seine Verbindungslei'ungen fest vergossen, und das Glasroh- 73 der Sonde mit dem Basisteil 49 fest verbunden. Es wird Füllmaterial 87 mit einer hohen Dielektrizitätskonstante verwendet.

Der Einbau des; Feldeffekttransistors 8t in die Sondenanordnung bietet Vorteile. Die Temperatur der Sonde und ihrer Salzlösung 79 ist im wesentlichen gleich der Temperatur der Lösung mit unbekanntem pH-Wert, zu der eine Verbindung besteht. Wenn sich die Temperatur ändert, ändert sich auch der hohe Widerstand der pH empfindlichen Glasmembran 53. Da die effektive F.ingangsimpedan/ des Feldeffekttransistors 81, d.h. die Änderung des Eingangsstroms pro Einheitsänderung der Fingangsspannung. mehrfach größer als die Impedanz der Glas-Membran 53 ist, hat eine temperaturbedingte Änderung der Innenimpedanz der pH-empfindlichen Elektrode einen vernachlässigbar kleinen Einfluß auf die Gesamtimpedanz der Schaltung. Der an der Steuerelektrode des Feldeffekttransistors anliegende Eingangsstrom ändert sich jedoch in Abhängigkeit von der Temperatur beträchtlich. Obwohl

der absoluteWert dieses Stroms sehr niedrig ist, könnte einem negativen und gemeinsamen Potential anliegen,

eine temperaturbedingte Änderung des Stroms eine Ein Glättungskondensator 95, der zwischen der

wahrnehmbare Änderung im Spannungsabfall an der gemeinsamen Klemme und Erdpotential liegt, verhin-

Glas-Membran 53 verursachen, wenn dessen Impedanz dert, daß Rauschsignale fehlerhafte Änderungen des

konstant bliebe. Die Impedanz der Glasmembran 53 5 Betriebspotentials erzeugen.

ändert sich jedoch angenähert im gleichen Verhältnis Obwohl Verstärkerschaltungen der oben erläuterten und im entgegengesetzten Richtungssinn, so daß der an Art am gebräuchlichsten sind, da sie aus wenigen der Glas-Membran 53 auftretende Spannungsabfall im Schaltelementen aufgebaut sind, verwendet man wesentlichen konstant bleibt und sich nur sehr wenig manchmal Differentialverstärker, in deren Vorverändert. Beispielsweise wird der innere Widerstand einer ίο stärkerstufe zwei Feldeffekttransistoren vorgesehen typischen Glaselektrode bei einem Temperaturanstieg sind, da hierfür geerdete Spannungsquellen verwendet um 6° bis 7° Celsius um die Hälfte verringert, während werden können, die weniger empfindlich gegen der Leckstrom des Feldeffekttransistors sich bei einer Rauschstörungen sind. Da Feldeffekttransistoren außer-Temperaturzunahme von etwa 8° bis 9° Celsius ordentlich klein sind, lassen sich bequem zwei dieser verdoppelt. Durch geeignete Auswahl einer pH-emp- 15 Transistoren in der pH-empfindlichen Sonde unterbrinfindlichen Glas-Membran 53 und eines Feldeffekttransi- gen. Außerdem gibt es Schaltungen in Modulbauweise, stors können die Auswirkungen von Temperatur- die sowohl Vorverstärker wie Verstärker enthalten, die Schwankungen weitgehend kompensiert werden, so daß als integrierte Schaltkreise einen außerordentlich auf Temperaturschwankungen beruhende Fehler bei kleinen Raum einnehmen und bequem in eine übliche der Ablesung des pH-Wertes nahezu oder vollständig 20 pH-empfindliche Sonde hineinpassen,
ausgeschaltet werden. Die Temperatur am Feldeffekt- In der gezeigten Schaltung wird ein bestimmter Teil transistor 81 kann den an der Membran 53 auftretenden des vom Operationsverstärker 89 gelieferten Ausgangsraschen Temperaturschwankungen normalerweise signals über die einstellbare Ausgangsklemme eines nicht folgen, praktisch treten solche raschen Tempera- Potentiometers % zum invertierenden Eingang des turänderungen aber nur selten auf. Der kurze Silber- 25 Verstärkers 89 rückgekoppelt. Die Höhe der negativen draht 77 dient jedoch als wirksamer Wärmeleiter Rückkopplung und somit die Verstärkung des Operazwischen der Lösung 79 und dem Feldeffekttransistor tionsverstärkers 89 sollte mit dem Potentiometer 96 so 81. so daß auch bei raschen Temperaturänderungen die eingestellt werden, daß beobachtete Abweichungen der Temperaturdifferenz zwischen den beiden Punkten pH-Empfindlichkeit der Glas-Membran 53 von der minimal klein gehalten wird. 30 idealen Proportionalitätsfunktion nach W. Nernst

In einer abgewandelten Ausführungsform kann der kompensiert werden können. Ein Schreiber 97 zwischen Feldeffekttransistor 81 in einem Schaltungsaufbau dem Ausgang des Operationsverstärkers 89 und dem innerhalb einer Abzweigdose (nicht dargestellt) sehr gemeinsamen Potential dient dazu, die gemessenen nahe an der Basis der Sonde vorgesehen sein. pH-Werte als Funktion der Ausgangsspannung auf/.uvorzugsweise dort, wo im wesentlichen die gleichen 35 zeichnen. Wenn die Anlage dazu verwendet wird, die Temperaturen herrschen wie in der zu messenden pH-Konzentration einer Lösung zu regeln, kann der Lösung. In diesem Fall muß jedoch die kurze Sollwert wahlweise auf einen bestimmten pH-Wert Ausgangsleitung von der Sonde, die das Ende des festgelegt werden, indem die Ausgangsklemme eines Drahtes 77 mit der Steuerklemme des Feldeffekttransi- Potentiometers 99 so eingestellt wird, daß sie dem stors 81 verbindet, durch ein Kabel abgeschirmt und 40 Differenzverstärker 98 eine gewünschte Bezugsspangeeignet isoliert werden, um Störsignale auf Grund der nung liefert, die mit dem Ausgangssignal vom hohen Impedanz der Ausgangsleitung zu vermeiden. Operationsverstärker 89 verglichen wird. Der Ausgang Auf jeden Fall sollte die Verbindung zwischen dem des Differenzverstärkers 98 betreibt dann einen Feldeffekttransistor 81 und dem Silber/Silberchlorid- Regelkreis 100, der Säuren oder Basen hinzufügt, um die Draht 77 so kurz wie möglich sein, um Fehler durch 45 richtige pH-Konzentration der Lösung herzustellen. Rausch- und Drifterscheinungen zu verhindern. Wenn der Regelkreis 100 beispielsweise dazu verwen-

Fig.4 zeigt eine schematische Darstellung einer det wird. Säure hinzuzugeben, um die pH-Konzentra-

bevorzugten Ausführungsform einer Verstärkerschal- tion unter einem bestimmten Wert zu halten, liefert der

tung. Der Feldeffekttransistor 81, der sich innerhalb Differenzverstärker 98 immer dann ein Signal an den oder in der Nähe der pH-empfindlichen Sonde befindet 50 Regelkreis 100 zur Betätigung einer Säurepumpe, wenn

ist mit seiner Steuerelektrode (G) direkt an den die Ausgangsspannung vom Operationsverstärker 89

Innenleiter 77 der pH-empfindlichen Sonde angeschlos- über das Bezugspotential ansteigt

sen. Die als Quelle bezeichnete Ausgangselektrode (S) Wie in der Zeichnung dargestellt ist liegen die

des Feldeffekttransistors 81 ist über die Ausgangslei- Eingangsklemmen des Potentiometers 92 zwischen dem rung 83 mit der nicht invertierenden Eingangsklemme 55 positiven Potential der Quelle 93 und dem gemeinsamen

eines Operationsverstärkers 89 und über einen BeIa- Potential. Die Stellung der regelbaren Ausgangsklemme

stungswiderstand 91 mit der einstellbaren Ausgangs- des Potentiometers 92 ist so gewählt daß im

klemme des Potentiometers 92 verbunden. Die Aus- Feldeffekttransistor 81 zwischen Quelle und Senke

gangsleitung 85 verbindet die als Senke bezeichnete derjenige Strom fließt bei dem Ttmperaturänderungen Ausgangselektrode (DJ mit der negativen Klemme einer 60 den geringsten Einfluß auf die Verstärkung oder die

stabilisierten Gleichspannungsquelle 93. Ein typischer Spannungsübertragungscharakteristik haben. Der Wert

Feldeffekttransistor 81 hat eine Eingangsimpedanz von dieses speziellen Stroms läßt sich für einen bestimmten

mehr als ΙΟ¹² Ohm, die um ein Vielfaches höher als die Feldeffekttransistor 81 leicht ausrechnen oder im

Impedanz typischer Glaselektroden ist Versuch bestimmen, da es sich hierbei um denjenigen Die Silber/Silberchlorid-{oder Kalomel) Elektrode 67 65 Strom zwischen Quelle Sund Senke D des Transistors

in der Bezugszelle ist über die Ausgangsleitung 69 mit handelt der einen Temperaturkoeffizienten von Null für

der einstellbaren Ausgangsklemme eines Potentiome- die Spannung zwischen Steuerelektrode und Quelle S

ters 94 verbunden, dessen Eingangsklemmen zwischen erzeugt Die Einstellung des Potentiometers 94, dessen

Ausgangsklemme mit der Bezugszelle verbunden ist, dient dazu, die Anzeige so einzustellen, daß sie mit dem bekannten pH-Wert einer Pufferlösung übereinstimmt, die zur Eichung der Anlage verwendet wird.

Der durch die Steuerelektrode C des Feldeffekttransistors 81 fließende Signalstrom ändert sich mit der Temperatur, was — wie schon erwähnt wurde — eine entgegengesetzte Wirkung beim Temperaturkoeffizienten des Widerstands der pH-empfindlichen Glas-Membran 53 hat, wenn der Feldeftekttransistor 81 den gleichen Temperaturschwankungen ausgesetzt ist. Wenn sich jedoch der Feldeffekttransistor 81 nicht in unmittelbarer Nähe der Glas-Membran 53 befindet oder wenn sein Temperaturkoeffizient nicht eng an den der Glas-Membran 53 angeglichen werden kann, um die gewünschte Kompensation zu erzielen, kann das Problem einer temperaturbedingten Drift des .Signalstroms dadurch gelöst werden, daß man eine in Sperrichtung vorgespannte Flächenkontaktdiode 101 oder einen ähnlichen Halbleiter, etwa einen weiteren Feldeffekttransistor, zwischen die Steuerelektrode (G) des Feldeffekttransistors 81 und ein wählbares positives Potential bringt. Die Diode 101 wird sorgfältig ausgewählt, so daß sie den gleichen Temperaiurkoeffi-/ienten für den Leckstrom hat wie der Feldeffekttransistor 81. Obwohl der Absolutwert dieser Stromänderung extrem niedrig ist. kann er eine unerwünschte Änderung des Spannungsabfalls an der hohe Impedanz aufweisenden Glas-Membran 53 zur Folge haben. Bei der vorliegenden Anordnung wird jedoch eine Erhöhung des l.eckstroms an der Steuerklemmc über die in Sperrichtung vorgespannte Diode 101 geleitet, so daß an der Glas-Membran 53 kein merklicher Spannungsabfall auftritt. Wenn die Werte der Diode 101 und des Feldeffekttransistors 81 sorgfältig ausgewählt wurden, ist die Arbeitsweise der Anlage fast vollständig unabhängig von TeniperaUiranderungen innerhalb eines weiten Temperaturbereichs.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

dem pH-empfindlichen Element Vorzugsweise wird dar Patentansprüche: Feldeffekttransistor innerhalb der pH-empfindlichen Elektrode angeordnet Dabei kann die Verbindungslei-

1. Anlage zum Bestimmen der pH-Konzentration tung zwischen dem Innenleiter der Elektrode und der einer Lösung mit einer pH-empfindlichen Elektrode, .s Steuerelektrode des Feldeffekttransistors zwangsläufig die neben ein auf die Wasserstoffionenkonzentra- sehr kurz gehalten und damit der Einfluß äußerer tion der Lösung ansprechendes Element einen Störgrößen wie Feuchtigkeit und elektromagnetischer elektrischen Innenleiter enthält und mit einer Streufelder auf die Meßrichtigkeit praktisch ausgeschal-Gleichstromverstärkerschaltung, bei der die Vorver- tet werden. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der stärkerstufe aus einem Feldeffekttransistor besteht to Erfindung erzielt man optimale Temperaturkompensadessen Steuerelektrode mit dem Innenleiter der tion, wenn man in Sperrichtung mit der Steuerelektrode Elektrode verbunden ist dadurch gekenn- des Feldeffekttransistors einen Halbleiter vorsieht der zeichnet, daß der Feldeffekttransistor(81)unter einen Temperaturkoeffizienten für den Leckstrom denselben Umgebungstemperaturbedingungen wie besitzt der dem Leckstromtemperaturkoeffizienten des die pH-empfindliche Elektrode-angeordnet ist 15 Feldeffekttransistors entspricht, und den Halbleiter

2. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich- sowie den Feldeffekttransistor so anordnet, daß sie net, daß der Feldeffekttransistor (81) mit dem gleiche Umgebungstemperatur haben.
pH-empfindlichen Element (53) in Wärmeaustausch Die Erfindung wird nun näher anhand von Zeichnunsteht. gen erläutert, in denen zeigen

3. Anlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch 20 F i g. 1 einen Längsschnitt durch eine Ausführungsgekennzeichnet, daß der Feldeffekttransistor (81) form der Erfindung entlang der Linie 1-1 in Fig. 2,
innerhalb der pH-empfindlichen Elektrode angeord- Fig. 2 einen Querschnitt entlang der Linie 2-2 in net ist. Fig. 1,

4. Anlage nach Anspruch 1 bis 3, gekennzeichnet Fig.3 eine Seitenansicht der Ausführungsform nach durch einen Halbleiter (101), der in Sperrichtung mit 25 Fig. 1 und 2und

der Steuerelektrode des Feldeffekttransistors (81) F ig. 4 ein Schaltbild der Schaltungsanordnung für die

verbunden ist und einen Ternperaturkoeffizienten in den F i g. 1 bis 3 dargestellte Ausführungsform,
für den Leckstrom besitzt, der dem Leckstromtem- Die in F i g. 1, 2 und 3 dargestellte Ausführungsform