DE1572900B1 - Spektrometer - Google Patents

Spektrometer

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DE1572900B1
DE1572900B1 DE19671572900D DE1572900DA DE1572900B1 DE 1572900 B1 DE1572900 B1 DE 1572900B1 DE 19671572900 D DE19671572900 D DE 19671572900D DE 1572900D A DE1572900D A DE 1572900DA DE 1572900 B1 DE1572900 B1 DE 1572900B1
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Dipl-Phys Dr Claus Freitag
Dipl-Ing Dr Rudolf Grosskopf
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • G01J1/10Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
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    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry

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  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Spektrometer, bei dem über einen Unterbrecher, z. B. einen rotierenden Sektorspiegel, ein Meß- und ein Vergleichsstrahlenbündel abwechselnd einem Strahlungsempfänger zugeleitet werden. Bei einem solchen Zweistrahlgerät ist im Vergleichs strahlengang eine Abschwächvorrichtung angeordnet, und das der Differenz der Intensitäten in beiden Strahlengängen entsprechende Ausgangssignal des Strahlungsempfängers dient zur Steuerung dieser Abschwächvorrichtung. Die bei Intensitätsabgleich erreichte Stellung der Abschwächvorrichtung stellt dann den Meßwert dar. Dieser Meßwert wird normalerweise registriert, indem die Bewegung der Abschwächvorrichtung auf ein Registriergerät übertragen wird, welches die Probendurchlässigkeit über der Wellenlänge aufzeichnet.
  • Bei einem Zweistrahlgerät der beschriebenen Art ist der abgeglichene Zustand unabhängig von der Intensität der benutzten Strahlungsquelle oder deren spektraler Verteilung sowie unabhängig von Absorptionen des Meß- und Vergleichsstrahlenbündels in beispielsweise Kohlendioxyd oder Wasserdampf.
  • Diese Einflüsse wirken sich jedoch auf die Größe des Ausgangssignals des Strahlungsempfängers aus, welches den Stellmotor für die Abschwächvorrichtung steuert. Dadurch wird das Dämpfungsverhalten des Gerätes beeinflußt, so daß z. B. bei zu starkem Absinken der Intensitäten der beiden Strahlenbündel der Stellmotor bei schnellem Registrieren den Intensitätsunterschieden nicht schnell genug zu folgen vermag und das aufgezeichnete Spektrum verwaschen wird. Im anderen Fall kann auch eine Überregelung eintreten.
  • Es ist bekannt, zur Vermeidung dieser störenden Effekte die verfügbare Strahlungsenergie zu messen und durch entsprechende Regelung konstant zu halten. Zu diesem Zweck wird meist die Spaltbreite des im Strahlengang angeordneten Monochromators geregelt.
  • Bezeichnet man in üblicher Weise mit 1o die Intensität des ungeschwächten Lichtstrahls (Meß- bzw.
  • Vergleichsstrahlenbündel nicht abgeschwächt) mit I die Intensität des geschwächten Lichtstrahls (Meßstrahlenbündel nach Durchsetzen des Meßobjekts bzw. Vergleichsstrahlenbündel nach Durchsetzen der Abschwächvorrichtung im Fall des Abgleichs) und mit a die Schwächung des Meßstrahlenbündels (a Io = I im Fall des Abgleichs), so besteht die erwähnte Regelung darin; die Größe 1o konstant zu halten.
  • Es ist ein Spektrometer bekannt (USA.-Patent 2900 866), bei dem das auf den Empfänger fallende Licht mittels eines zweiten Unterbrechers zusätzlich unterbrochen wird, wobei sich diese Unterbrechung bezüglich Frequenz oder Phase von dem Wechsel Meß-/Vergleichslicht unterscheidet. Ein auf diesen zweiten Unterbrecher ansprechender Demodulator liefert ein Signal, das der Summe aus Meß- und Vergleichslicht, d. h. im Fall des Abgleichs der Größe I, proportional ist. Dieses Signal wird nun um den über die Abschwächvorrichtung gewonnenen Faktor l/a verstärkt und gibt somit das Signals, (ist). Dieses Signal wird mit der elektrisch vorgegebenen Größe In (soll) verglichen, und ein eventuelles Differenzsignal regelt die Spaltbreite des Monochromators.
  • Es ist ferner ein Zweistrahl-Spektrometer bekannt (deutsches Patent 1 157 406), bei dem ebenfalls über einen zweiten Unterbrecher ein Signal erzeugt wird, das der Größe I (ist) proportional ist. Aus der elektrisch vorgegebenen Größer, (soll) wird nach Gewinnung des Faktors a das Signal a 1o (soll) = I (soll) gewonnen. Dieses Signal wird mit dem Signal l (ist) verglichen, und das Differenzsignal regelt beispielsweise die Spaltbreite des Monochromators.
  • Diesen bekannten Spektrometem ist der Nachteil gemeinsam, daß die Dunkelpausen, d. h. die Zeit innerhalb jeder Periode, während der der Strahlungsempfänger durch den zweiten Unterbrecher vollkommen abgeschirmt ist, für den Vergleich von Meß-und Vergleichs strahl nicht genutzt werden können.
  • Dadurch wird die bei vorgegebener Auflösung und Genauigkeit erforderliche Registrierdauer verlängert.
  • Ziel der vorliegenden Erfindung ist ein Spektrometer, bei dem die notwendige Regelung auf Konstanz der Größer, ohne eine Verlängerung der Registrierdauer möglich ist.
  • Die Erfindung geht aus von einem Spektrometer, bei dem über einen ersten Unterbrecher ein Meß-und ein Vergleichs strahlenbündel abwechselnd einem Strahlungsempfänger zugeleitet werden, der ein zur Steuerung einer Abschwächvorrichtung für das Vergleichsstrahlenbündel dienendes Signal liefert, und bei dem mittels eines zweiten Unterbrechers ein Signal zur Regelung des Spannungspegels proportional der Intensität 1o des ungeschwächten Vergleichsstrahlenbündels erzeugt wird. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß der zweite im Vergleichsstrahlengang angeordnet und so ausgebildet ist, daß er nur einen Teil der Energie des ihm zugeordneten Strahlenbündels unterbricht.
  • Der gemäß der Erfindung ausgebildete zweite Unterbrecher ebenso angeordnet sein wie der zweite Unterbrecher bei den vorstehend besprochenen bekannten Geräten. In an sich bekannter Weise kann dann aus dem vom zweiten Unterbrecher modulierten Signal die notwendige Regelgröße gewonnen werden.
  • Mit Hilfe dieser Regelgröße läßt sich die Spaltbreite des Monochromators so beeinflussen, daß die Strahlungsenergie konstant bleibt. Die Regelgröße kann bei entsprechend abgewandelten Anordnungen auch verwendet werden, um die Verstärkung des Verstärkers oder die Zeitkonstante eines eventuell im Regelkreis vorhandenen, an sich bekannten RC-Gliedes zu regeln. Dann ergibt sich die Möglichkeit, die Spaltbreite am Monochromator so zu wählen, daß der vom Monochromator durchgelassene Wellenlängen- oder Wellenzahlbereich bei Veränderung der Wellenlänge einer vorgegebenen Funktion folgt. Der unterschiedlich großen Strahlungsenergie wird dann im Regelkreis für die Registrierung durch entsprechende Regelung der Verstärkung oder der Zeitkonstante Rechnung getragen.
  • Eine ganz besonders vorteilhafte Ausbildung des Erfindungsgedankens besteht darin, den zweiten Unterbrecher im Vergleichsstrahlengang an einer Stelle anzuordnen, an der die auf den Empfänger bezogene wirksame Strahlungsdichte auch bei durch die Meßblende geschwächtem Strahl gleich der bei ungeschwächtem Strahl vorhandenen Strahlungsdichte ist.
  • Das vom zweiten Unterbrecher modulierte Signal ist dann unmittelbar der Größe In (ist) proportional, d. h., die relativ aufwendige Gewinnung des Faktors a bzw. 1/a und die notwendige Multiplikation der Größe 1 (ist) bzw. 1o (soll), wie sie bei den bekannten Geräten notwendig ist, entfällt bei der beschriebenen Ausbildung des neuen Spektrometers.
  • Bei einer als Abschwächvorrichtung dienenden Meßblende im Vergleichsstrahlengang ist es vorteilhaft, den zweiten Unterbrecher in unmittelbarer Nähe der Meßblende oder eines Bildes von ihr so anzuordnen, daß er nur den Teil der Querschnittsfläche des Strahlenbündels abwechselnd abdeckt und freigibt, der von der Meßblende erst bei sehr kleinen Probendurchlässigkeiten verdunkelt wird. Der zweite Unterbrecher wird also oberhalb eines sehr kleinen Wertes der Probendurchlässigkeit mit gleichbleibender, von der Meßblendenstellung unabhängigen Strahlungsdichte beaufschlagt, so daß das vom zweiten Unterbrecher modulierte Signal oberhalb eines gewissen vorbekannten Wertes unmittelbar der Strahlungsenergie 1o proportional und unabhängig vom Schwächungsfaktor a der Meßblende ist.
  • Es kann auch zweckmäßig sein, die Vorrichtung so auszubilden, daß die Meßblende selbst die Funktion des zweiten Unterbrechers ausübt, indem sie mit einer von der Frequenz (f) des ersten Unterbrechers verschiedenen Frequenz (12) um eine der Abgleichstellung entsprechende Mittellage mit einer Amplitude schwingt, die nur einen Bruchteil des gesamten Verstellweges der Meßblende ausmacht. Die beiden Frequenzen fl und 19 können grundsätzlich völlig unabhängig voneinander gewählt werden, doch ist es vorteilhaft, die Frequenz 12 der Schwingung der Meßblende in einer festen vorgegebenen Beziehung zur Frequenz, des ersten Unterbrechers zu wählen.
  • Ganz besonders vorteilhaft ist es, 1, kleiner als fit zu wählen, um die höhere Wechsellichtempfindlichkeit des Empfängers bei geringen Frequenzen ausnutzen zu können.
  • Um eine gute Registrierung auch bei geringer Probendurchlässigkeit zu ermöglichen, ist es zweckmäßig, Mittel vorzusehen, die bei Absinken der Durchlässigkeit der Meßblende unter einen vorgegebenen Wert den zweiten Unterbrecher in seiner Mittellage festhalten.
  • Die Erfindung soll im folgenden an Hand der Ausführungsbeispiele darstellenden F i g. 1 bis 10 näher erläutert werden. Dabei zeigt Fig. 1 eine Prinzipdarstellung des nach der Erfindung aufgebauten Spektrometers, F i g. 2 a das vom Strahlungsempfänger des in Fig. 1 dargestellten Gerätes gelieferte Gesamtsignal in seiner zeitlichen Abhängigkeit, F i g. 2 b das Signal der Frequenz 12, F i g. 2 c das Signal der Frequenz lt, F i g. 3 einen am Ort der Meßblende angeordneten zweiten Unterbrecher in der Stellung, in der er den größten Schatten wirft, F i g. 4 den Unterbrecher der F i g. 3 in der Stellung, in der er den kleinsten Schatten wirft, F i g. 5 die Meßblende der F i g. 3 bei sehr kleiner Probendurchlässigkeit, wobei der zweite Unterbrecher in seiner Mittellage festgehalten ist, F i g. 6 eine Rückansicht einer Vorrichtung zur Betätigung des zweiten Unterbrechers, Fig. 7 eine Seitenansicht der Vorrichtung nach Fig. 6, Fig. 8 eine Vorderansicht der Vorrichtung nach Fig. 6, Fig. 9 eine als Kammblende ausgebildete Meßblende, die zugleich als zweiter Unterbrecher verwendet ist, F i g. 10 eine als Kammblende ausgebildete Meßblende sowie einen ebenfalls als Kammblende ausgebildeten zweiten Unterbrecher.
  • In Fig. 1 ist mit 1 eine Strahlungsquelle bezeichnet. Die von dieser Quelle ausgehende Strahlung wird mit Hilfe der rotierenden Sektorspiegel 2 und 3 sowie der feststehenden Spiegel 4 und 5 abwechselnd über den Meßstrahlengang 6 und den Vergleichsstrahlengang 7 geleitet. Die Meß- und die Vergleichsstrahlung trifft deshalb abwechselnd auf den schematisch dargestellten Monochromator 8.
  • Im Meßstrahlengang befindet sich die Probe 9, während im Vergleichsstrahlengang eine Vergleichssubstanz 10, eine Meßblende 11 sowie ein zweiter Unterbrecher 12 angeordnet sind.
  • Die durch den Ein und Austrittsspalt 13 des Monochromators 8 tretende Strahlung trifft auf den Strahlungsempfänger 14. Dort wird sie in ein elektrisches Signal umgewandelt, das über den Verstärker 15 zu den beiden phasenempfindlichen Gleichrichtern 16 und 17 gelangt.
  • Der Gleichrichter 16 erhält vom Frequenzgeber 18 ein Steuersignal der Frequenzft, das synchron zum Lichtwechsel zwischen Meß- und Vergleichsstrahl ist. Das Ausgangssignal des Gleichrichters 16 gelangt über den Leistungsverstärker 19 zum Servomotor 20. Dieser Motor dient sowohl zur Verstellung der Meßblende 11 als auch zur Bewegung des Schreibstiftes des Registriergerätes 21. Der Papiervorschub dieses Registriergerätes erfolgt synchron zur Verstellung der Wellenlänge am Monochromator 8.
  • In bekannter Weise verstellt der Servomotor20 die Meßblende 11 so lange, bis die Lichtintensitäten im Meßstrahlengang 6 und im Vergleichsstrahlengang 7 gleich groß sind.
  • Der zweite Unterbrecher 12 im Vergleichsstrahlengang 7 arbeitet mit einer Frequenz 12. Der Gleichrichter 17 erhält vom Frequenzgeber 22 ein Steuersignal der Frequenz 12, das synchron der Bewegung des Unterbrechersl2 ist. Das Ausgangssignal des Gleichrichters 17 ist direkt proportional der Größer (ist). Dieses Signal wird mit der Spannung aus einem Sollwertgeber 23 verglichen, die proportional der Größer, (soll) ist. Bei Vorliegen einer Differenzspannung wird diese im Verstärker 24 verstärkt und dem Potentiometer 25 zugeführt. Über das Potentiometer 25 erhält der Servomotor 26 Spannung, und dieser Motor dient zur Betätigung der Spalte des Monochromators 8 und zur Verschiebung des Abgriffs am Potentiometer 25.
  • Dieses Potentiometer, dessen Schleifer zusammen mit den Spalten 13 bewegt wird, dient dazu, im Regelkreis trotz des quadratischen Zusammenhangs zwischen Spaltbreite und Energie einen Abgleich in kürzester Zeit unabhängig von der Spaltbreite zu gewährleisten. Potentiometerschleifer und Monochromatorspalte sind dazu so miteinander gekoppelt, daß der Schleifer des Potentiometers 25 bei wachsender Spaltbreite zum oberen Ende 27 und bei abnehmender Spaltbreite des Monochromators 8 zum unteren Ende des Potentiometers 25 bewegt wird.
  • Der zeitliche Verlauf des vom Strahlungsernnfänger 14 erzeugten Signals ist in F i g. 2 a dargestellt.
  • Bei dieser Darstellung ist angenommen. daß der Vergleichsstrahlengang 7 und der Meßstrahlenrang 6 nicht die gleiche Durchlässigkeit haben. Während der mit 27, 28 bezeichneten Signalperioden gelangt Strahlung aus dem Vergleichsstrahlengang'7 auf den Strahlungsempfänger 14 ; während der Signalperioden 29 gelangt Strahlung aus dem Meßstrahlengang 6 auf den Signalempfänger. Wie man aus Fig. 2 a erkennt, ergibt sich während der Signalperioden27 eine größere Signalamplitude als während der Perioden 28. Dies beruht auf der durch den zweiten Unterbrecher 12 bewirkten Modulation des Signals.
  • Zur Veranschaulichung des Modul ations effekts dienen die F i g. 3 und 4. In diesen Figuren sind mit 30 Teile bezeichnet, welche die obere und die untere Begrenzung des Strahlenganges bilden. Als Meßblende ist hier die den Strahlengang umschließende Aperturblende 31 gewählt, welche der in F i g. 1 mit 10 bezeichneten Meßblende entspricht. Am Ort der Aperturblende 31 ist der zweite Unterbrecher angeordnet, welcher hier als schmaler, um seine Längsachse drehbarer undurchsichtiger Streifen 32 ausgebildet ist. Dieser Streifen entspricht dem zweiten Unterbrecher 12 in F i g. 1. Der Streifen 32 liegt mit seiner Längsrichtung senkrecht zur Papierebene und deckt in der in Fig. 3 dargestellten Querlage nur einen Bruchteil F2/F ; der gesamten vom Strahlengang beaufschlagten Fläche, ab. Die in Fig. 3 dargestellte Lage des Streifens 32 entspricht den in F i g. 2 mit 28 bezeichneten Signalperioden. Die mit 27 bezeichneten Signalperioden entsprechen der in F i g. 4 dargestellten Lage des Streifens 32. In dieser Lage wirft der Streifen 32 praktisch keinen Schatten, so daß die durchgelassene Energie in diesem Fall um den Anteil F2/F größer ist als im Fall der F i g. 3.
  • Wie man aus den Fig.3 und 4 ferner erkennt, erzeugt der mit der Frequenz 12 hier und herpendelnde Streifen 32 ein über den Gleichrichter 17 isoliertes Signal, welches unmittelbar der Intensität 1o (ist) proportional ist und das unter Beschränkung auf Probendurchlässigkeiten über einem bestimmten kleinen Grenzwert von beispielsweise 5 ovo unabhängig von der Abgleichstellung der Meßblende 31 ist. Aus diesem Grund ist bei dem neuen Spektrometer die bei den bekannten Geräten erforderliche Vorrichtung zur Berücksichtigung der Meßblendenstellung im Regelkreis für die Spaltbreite überflüssig.
  • Sinkt die Probendurchlässigkeit unter den erwähnten kleinen Grenzwert ab, so wird der Streifen 23 in der in Fig. 5 dargestellten Mittellage bei F2/2 festgehalten, und die Regelung auf konstante Energie wird außer Betrieb gesetzt, und zwar so lange, bis sich die Meßblende 31 wieder auf einen Wert geöffnet hat, welcher oberhalb des Wertes F2 liegt.
  • Zerlegt man das in F i g. 2 a dargestellte Signal in seine Komponenten, so ergibt sich zunächst ein hier nicht dargestellter Gleichstromanteil, dann der in F i g. 2 b dargestellte Anteil mit der Frequenz 12 und der in F i g. 2 c dargestellte Anteil mit der Frequenz f,. Mit Hilfe des Servomotors 20 wird die Meßblende im Vergleichsstrahlengang 7 so lange verändert, bis das in F i g. 2 c dargestellte Signal zu Null wird. Der Servomotor26 arbeitet in der Art, daß das in Fig. 2 b dargestellte Signal konstant bleibt.
  • Damit wird erreicht, daß die Größer, (ist) stets der Größe lo (soll) entspricht.
  • Wird die Wellenlänge der den Monochromator 8 verlassenden Strahlung in bekannter Weise verändert, so ergibt sich mit der in F i g. 1 dargestellten Vorrichtung auf dem Registriergerät 21 ein Spektrogramm bei größtmöglicher Auflösung und Registrier- geschwindigkeit. Die auf den Strahlungsempfänger 14 fallende Strahlung wird bei dieser neuen Vorrichtung nie ganz unterbrochen, sondern es wird immer nur ein geringer Bruchteil der gesamten Strahlungsenergie unterbrochen, so daß also keine Verlängerung der Registrierdauer notwendig wird.
  • Bei der in den F i g. 6, 7 und 8 dargestellten Vorrichtung ist der in F i g. 3 ersichtliche Streifen 32 auf einer Achse 33 befestigt, welche einen Stabmagneten 34 trägt. Zwei Metallplatten 37 und 38 dienen zur Halterung der mit den Polschuhen 35 und 36 ausgerüsteten Elektromagneten sowie zur Lagerung der Achse 33. Zur Erregung der Magneten 35 und 36 dienen die Wicklungen 39 bzw. 40. Diese Wicklungen werden so erregt, daß der Streifen 32 um seine Längsachse in zwei verschiedene Lagen gedreht und dort jeweils für eine gewisse Zeit festgehalten wird.
  • In einer dieser Lagen (F i g. 3) wirft der Streifen 32 einen größeren Schatten als in der anderen Lage (Fig. 4). Ein zusätzlicher Elektromagnet mit den Polschuhen 41 ist zum Festhalten des Streifens 32 in der in Fig. 5 dargestellten Mittellage vorgesehen.
  • Dieser Elektromagnet wird erregt, sobald die öff nung der Meßblende 31 unter einen vorgegebenen Wert sinkt.
  • F i g. 9 zeigt eine Kammblende 42, welche zugleich als Meßblende und als zweiter Unterbrecher verwendet ist. Die Kammblende 42 schwingt dazu, wie durch den Doppelpfeil 43 dargestellt ist, um die mit 44 bezeichnete Mittellage mit der Amplitude 45 hin und her, wobei 45 nur einen Bruchteil des gesamten Verstellweges 46 der Blende 42 ausmacht. Die Kammblende 42 kann sinusförmig oder rechteckförmig um die Mittellage 44 schwingen, die der Abgleichstellung der Meßblende entspricht.
  • Die in Fig. 10 mit 47 bezeichnete kammförmige Meßblende wird nicht in Schwingungen versetzt, sondern sie wird durch den Servomotor 20 lediglich in die Abgleichstellung 44 gebracht. Als zweiter Unterbrecher ist hier eine ebenfalls kammförmige Blende 48 verwendet, welche, wie durch den Doppelpfeil 49 dargestellt, mit einer Amplitude 50 um die Mittellage 44 schwingt, welche ebenfalls wieder kleiner ist als der gesamte Verstellweg der Meßblende 47.

Claims (9)

  1. Patentansprüche: 1. Spektrometer, bei dem über einen ersten Unterbrecher ein Meß- und ein Vergleichsstrahlenbündel abwechselnd einem Strahlungsempfänger zugeleitet werden, der ein zur Steuerung seiner Abschwächvorrichtung für das Vergleichsstrahlenbündel dienendes Signal liefert, und bei dem mittels eines zweiten Unterbrechers ein Signal zur Regelung des Spannungspegels proportional der Intensität Io des ungeschwächten Vergleichsstrahlenbündels erzeugt wird, d a -durch gekennzeichnet, daß der zweite Unterbrecher (12) im Vergleichsstrahlengang angeordnet und so ausgebildet ist, daß er nur einen Teil der Energie des ihm zugeordneten Strahlenbündels unterbricht.
  2. 2. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Unterbrecher (12) im Vergleichs strahlengang (7) an einer Stelle angeordnet ist, an der die auf den Empfänger (14) bezogene wirksame Strahlungsdichte auch bei durch die Meßblende (11) geschwächtem Strahl gleich der bei ungeschwächtem Strahl vorhandenen Strahlungsdichte ist.
  3. 3. Spektrometer nach Anspruch 1 und 2 mit einer als Abschwächvorrichtung dienenden Meßblende im Vergleichsstrahlengang, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Unterbrecher (12, 32) in unmittelbarer Nähe der Meßblende (11, 31) oder eines Bildes von ihr so angeordnet ist, daß er nur den Teil der Querschnittsfläche des Strahlenbündels abwechselnd abdeckt und freigibt, der von der Meßblende (11, 31) erst bei sehr kleinen Probendurchlässigkeiten verdunkelt wird.
  4. 4. Spektrometer nach Anspruch 1 und 2 mit einer als Abschwächvorrichtung dienenden Meßblende im Vergleichsstrahlengang, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßblende (42) selbst die Funktion des zweiten Unterbrechers ausübt, indem sie mit einer von der Frequenz (fl) des ersten Unterbrechers verschiedenen Frequenz (fn) um eine der Abgleichsstellung entsprechende Mittellage (44) mit einer Amplitude (45) schwingt, die nur einen Bruchteil des gesamten Verstellweges (46) ausmacht.
  5. 5. Spektrometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz (12) der Schwingung der Meßblende in einer festen vorgegebenen Beziehung zur Frequenz (li) des ersten Unterbrechers steht.
  6. 6. Spektrometer nach Anspruch 1 bis 3 mit einer das Vergleichsstrahlenbündel umschließenden Meßblende, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Unterbrecher als schmaler, um seine Längsachse drehbarer undurchsichtiger Streifen (32) ausgebildet und im Zentrum der Meßblende (31) angeordnet ist.
  7. 7. Spektrometer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Drehung des Unterbrecherstreifens (32) Elektromagneten (35, 36) vorgesehen und so gesteuert sind, daß der Streifen periodisch in zwei verschiedene Lagen gedreht und dort jeweils eine vorbestimmte Zeit festgehalten wird, wobei er in einer Lage (Fig. 3) einen größeren Schatten wirft als in der anderen (Fig. 4).
  8. 8. Spektrometer nach Anspruch 1, 2 und 4 mit einer kammförmigen Meßblende, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Unterbrecher (48) ebenfalls kammförmig ausgebildet und so gegen die stillstehende Meßblende (47) bewegt ist, daß er die Größe der vom Vergleichsstrahlenbündel durchsetzten freien Fläche periodisch verändert.
  9. 9. Spektrometer nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (41) vorgesehen sind, die bei Absinken der Durchlässigkeit der Meßblende (31) unter einen vorgegebenen Wert den zweiten Unterbrecher (32) in seiner Mittellage festhalten.
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